FR2491615A1 - Procede de mesure optoelectronique et dispositifs pour la determination de la qualite de surfaces a reflexion diffuse - Google Patents
Procede de mesure optoelectronique et dispositifs pour la determination de la qualite de surfaces a reflexion diffuse Download PDFInfo
- Publication number
- FR2491615A1 FR2491615A1 FR8118617A FR8118617A FR2491615A1 FR 2491615 A1 FR2491615 A1 FR 2491615A1 FR 8118617 A FR8118617 A FR 8118617A FR 8118617 A FR8118617 A FR 8118617A FR 2491615 A1 FR2491615 A1 FR 2491615A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- detectors
- measurement
- measuring
- reflected
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 24
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 5
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 230000001755 vocal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
PROCEDE DE MESURE OPTOELECTRONIQUE POUR LA DETERMINATION DE LA QUALITE DE SURFACES A REFLEXION DIFFUSE. LE FASCEAU 9 EST DIRIGE PERPENDICULAIREMENT A LA SURFACE A ETUDIER 12 ET LE FAISCEAU A REPARTITION SPATIALE, REFLECHI PAR L'ELEMENT DE SURFACE ECLAIRE, EST DECELE PAR LES DETECTEURS PHOTO-ELECTRIQUES 8 DANS UN ANGLE SOLIDE, QUI EST ADAPTE A L'ELARGISSEMENT PROBABLE DU FAISCEAU PAR SUITE DE LA REFLEXION DIFFUSE; ET DES VALEURS INTEGRALES SONT FORMEES A PARTIR DE L'ENSEMBLE DES VALEURS MESUREES ET CONSTITUENT LA MESURE DE LA QUALITE DE SURFACE. APPLICATION NOTAMMENT AUX PIECES METALLIQUES DONT LA SURFACE A ETUDIER EST ECLAIREE PAR LE FAISCEAU PARALLELE D'UNE SOURCE ET LA REPARTITION D'INTENSITE DU FAISCEAU REFLECHI EST MESUREE PAR DES DETECTEURS PHOTO-ELECTRIQUES, PUIS INTERPRETEE ELECTRONIQUEMENT.
Description
La présente invention concerne un procédé de mesure optoélectro-
nique pour détermination de la qualité de surfaces à réflexion dif-
fuse, et en particulier de pièces métalliques, dans lequel la surface à étudier est éclairée par le faisceau sensiblement parallèle d'une source de lumière et la répartition d'intensité du faisceau
réfléchi est mesurée par des détecteurs photoélectriques, puis inter-
prétée électroniquement, ainsi que des dispositifs pour la mise en
oeuvre dudit procédé.
De tels procédés et dispositifs de mesure présentent une grande
importance pour l'assurance de qualité de pièces fabriquées mécani-
quement, car le maintien d'une qualité donnée, par exemple sur des surfaces d'ajustage, de portée de joint, de frottement ou peintes,
est essentielle pour la fonction de la pièce considérée.
Divers procédés et appareils sont connus pour mesurer la qualité de surface ou la rugosité de surface. Des instruments à palpeur sont le plus souvent utilisés pour la mesure de rugosité. Ils comportent
une petite tête dans laquelle une pointe de diamant explore mécanique-
ment la surface. Les valeurs mesurées sont tracées après amplification
et/ou enregistrées. Ces appareils ont atteint un haut niveau techni-
que. Les inconvénients résident dans l'exploration linéaire de la surface et le temps nécessaire à l'opération de mesure, qui ne peut pas être effectuée sans contact mécanique et n'est que difficilement automatisable. Dans l'ouvrage "Technische Oberflâchenkunde", Verlag J. Springer, Berlin 1936, pp. 98-99, G. Schmaltz décrit un procédé de mesure dans
lequel l'indicatrice de rétrodiffusion, déterminée par des photodétec-
teurs mobiles, est interprétée photométriquement. La mesure de la
qualité de surface utilisée est soit un facteur, qui décrit l'appro-
ximation d'une courbe de Gauss par la courbe de lumière diffusée, soit l'angle de demi-valeur, pour lequel l'intensité du rayonnement est
tombée à la moitié de l'intensité rayonnée dans l'angle de luisance.
Ce procédé présente la limitation suivante: une distribution normale de la courbe de lumière diffuse est admise par hypothèse ou deux
valeurs mesurées seulement de la courbe de diffusion totale sont uti-
lisées pour caractériser la qualité de surface. Indépendamment du fait que l'hypothèse d'une distribution normale de la courbe de lumière diffuse n'est pas vérifiée par la plupart des structures
superficielles, le dépouillement basé sur deux points de mesure seu-
lement conduit à des résultats imprécis.
Le document DE-AS 2 260 090 décrit un dispositif de mesure, utilisant comme mesure de la rugosité la largeur à demi-amplitude de la répartition de lumière diffuse autour de l'angle de luisance, pour un angle d'incidence compris entre 60 et 85 . Cette mesure est formée au total à partir de trois points mesurés de la répartition de lumière diffuse: la valeur mesurée au maximum de la courbe et les deux valeurs à demiamplitude. L'inconvénient réside dans le fait que la largeur à demiamplitude n'est pas définie de façon univoque sur des courbes de répartition plates ou à plusieurs pics, du type observé pour les rugosités industrielles, et ne constitue pas une mesure fiable au sens statistique. Des fluctuations aléatoires des valeurs mesurées, et notamment de la valeur maximale représentant la valeur de référence, agissent directement sur le résultat de mesure. Le faible angle d'incidence nécessaire pour la mesure rend le montage de mesure sensible aux variations de distance et, par suite des dimensions élevées, le dispositif de mesure est utilisable uniquement quand on dispose de suffisamment d'espace et de temps pour la manutention fastidieuse. La publication de F. Piwonka et Th. Gast dans "Technisches Messen" (1979) 12, pp. 451-458, décrit par ailleurs un procédé qui
enregistre l'indicatrice de rétrodiffusion à l'aide de photorécep-
teurs tournants, pour calculer ainsi la profondeur totale de rugosité.
Ce procédé est applicable uniquement sur des surfaces usinées pério-
diquement, sur un tour par exemple, car la largeur des stries de la surface rugueuse striée doit être connue. L'étendue de mesure de ce
montage ne couvre que le domaine de rugosité grossière de la surface.
Le brevet DE-PS 2 241 617 décrit par ailleurs un procédé pour
la mesure de rugosité, utilisant un laser. Dans ce procédé, l'éprou-
vette plane est usinée mécaniquement au tour, puis la lumière rétroréfléchie suivant la direction d'incidence est mesurée en fonction de l'angle. La répartition de probabilité des dérivées
partielles du profil de rugosité est calculée à partir de la réparti-
tion lumineuse. Les conditions aux limites physiques dont il faut tenir compte et le mouvement relatif nécessaire entre le dispositif
de mesure et l'échantillon limitent fortement le domaine d'emploi.
Les publications décrivent par ailleurs des procédés de mesure de la rugosité avec dépouillement de l'échantillonnage de points dans le champ de diffusion de la lumière réfléchie. Il est nécessaire d'utiliser pour ce faire un dispositif d'éclairage satisfaisant à
des conditions de cohérence données, un laser par exemple.
L'invention a pour objets un procédé et un dispositif de mesure
permettant de déterminer la qualité de surface avec une grande pré-
cision, avec utilisation d'instruments simples et maniables.
Le dispositif doit permettre d'effectuer des mesures sur des
surfaces planes, convexes ou concaves, ainsi que sur des points dif-
ficiles d'accès, tels que biseaux, gorges et trous, sans contact mécanique ou avec un contact non destructif et suivant une séquence
de mesure rapide. Le dispositif de mesure doit être utilisable manuel-
lement et pouvoir être inséré sans difficulté dans des équipements
automatiques, sans nécessité d'emploi d'une lumière cohérente.
Selon une caractéristique essentielle de l'invention, le faisceau est dirigé à peu près perpendiculairement à la surface à étudier et le faisceau à répartition spatiale, réfléchi par l'élément de surface éclairé (spot), est décelé par les détecteurs photoélectriques dans un angle solide, qui est adapté à l'élargissement probable du faisceau par suite de la réflexion diffuse; et des valeurs caractéristiques intégrales sont formées à partir de l'ensemble des valeurs mesurées
par les détecteurs et constituent la mesure de la qualité de surface.
L'idée fondamentale de l'invention consiste essentiellement à déceler le faisceau diffusé, réfléchi par le spot, à l'aide d'un tube de mesure et dans un angle solide adapté à la diffusion et par suite à la plage de qualité probable de la surface à étudier, puis à former à partir des valeurs d'intensité mesurées par des détecteurs, à la façon des moments connus en mécanique et en statistique, des valeurs caractéristiques intégrales S, utilisables comme mesure de
la qualité de surface.
Les équations suivantes sont utilisées pour former les valeurs caractéristiques: n -x (a) S = p -i avec x = 1 ou 2 1=1 i i n (b) w = Z wi. Pi i=1 D.i.g. (c). p. 3-- c Pi- n Di..g. i=l avec: wi angle du faisceau diffusé, déterminé par le détecteur i n nombre de détecteurs utilisés pour le dépouillement w moyenne des valeurs Pi et wi P i Pi signal de mesure Di normalisé selon l'équation (c) gi facteur de correction du signal de mesure Di
9i 3-
Dans le procédé selon l'invention, les signaux mesurés par les n détecteurs, avantageusement disposés en ligne, servent à produire des valeurs Pi normalisées à l'aide de l'équation (c), compte tenu des facteurs de correction gi' Contrairement au cas des procédés et montages connus, précédemment décrits, les signaux de mesure de tous les détecteurs décelant le rayonnement réfléchi interviennent
dans le dépouillement. Seules, les propriétés de diffusion de la struc-
ture superficielle sont interprétées par suite de la formation du quotient Pi, les coefficients de réflexion spectrale spécifiques du matériau n'exerçant aucune influence sur le résultat de mesure. Une valeur moyenne w est calculée à partir des valeurs Pi et des valeurs wi. Les valeurs caractéristiques S ou S sont enfin formées La i' i 2 valeur caractéristique de diffusion S2 quadratique est la valeur statiquement fiable; le calcul de la valeur caractéristique S1 est
par contre plus facile.
Le rôle des facteurs de correction g. est de:
- compenser les dispersions de fabrication des valeurs caractéris-
tiques électriques et optiques des composants employés, et - corriger les variations géométrico-optiques de la distribution
de lumière diffusée, dues aux composants optiques.
2 4 9 16 1 5
Les facteurs compris entre 0 et 1 sont pour ce faire déterminés au cours d'une opération d'étalonnage, à l'aide d'une surface de
référence à diffusion connue.
L'approximation de ces facteurs permet en outre - d'influencer l'allure des courbes caractéristiques de S ou S2 sur un grand domaine de qualité de surface, par pondération différente de la courbe de lumière diffusée, afin d'effectuer une linéarisation par exemple; - de renforcer ou de supprimer certaines composantes de la courbe de lumière diffusée, afin de dépouiller séparément par exemple
la lumière diffusée et la lumière réfléchie régulièrement.
L'invention présente les principaux avantages suivants: - la qualité de surface est déterminée par formation de ia moyenne sur un spot - des valeurs caractéristiques intégrales S ou S sont formées,
1 2
qui permettent une indication fiable et précise même dans le cas de courbes de lumière diffusée de forme quelconque, la nature de la répartition, normale par exemple, ne devant pas être connue
- la formation de valeurs caractéristiques couvre tous les détec-
teurs et des fluctuations aléatoires de la courbe de lumière
diffusée, produites par des erreurs d'alignement ou des irrégula-
rités statistiques de la surface, sont éliminées par formation de la moyenne
les valeurs caractéristiques intégrales sont invariantes par rap-
port au pivotement de la répartition de lumière diffusée dans le plan de mesure - les caractéristiques optiques de qualité de la surface, telles
que le comportement en diffusion et les caractéristiques de struc-
ture, sont décrites avec précision par les valeurs caractéristiques S1 ou S2
- il existe entre les valeurs caractéristiques S ou S et les gran-
deurs caractéristiques de rugosité normalisées une relation
étroite et très bien reproductible quand les conditions de fabri-
cation sont connues - l'adaptation de l'angle solide décelé par le dispositif de mesure
2 4 9 1 6 1 5
à l'angle du faisceau diffusé donne une grande étendue de mesure qui, rapportée à la rugosité moyenne R, est comprise entre R > 0,01 pm et R < 10 vn - la rotation du plan de mesure permet une détermination séparée des rugosités transversale et longitudinale - le montage de mesure est insensible aux variations de distance par suite de l'incidence sensiblement verticale - la mesure avec contact non destructif ou sans contact peut s'effectuer manuellement ou automatiquement, même sur des points de mesure difficilement accessibles
- des mesures sont possibles sur des surfaces au repos ou mobiles.
La détermination électronique des valeurs caractéristiques S1
ou S2 peut être analogique ou numérique. Le calcul des valeurs carac-
téristiques dans un calculateur est préférable, car ce dernier permet de façon simple la mémorisation de données de mesure, une conduite
dialoguée et une documentation importante des résultats de mesure.
Pour ajuster une allure donnée des courbes des valeurs caracté-
ristiques S1 ou S2 sur un domaine de qualité de surface, il convient de multiplier les valeurs caractéristiques dans le calculateur par un
facteur d'échelle et/ou d'utiliser des puissances des valeurs caractc-
ristiques. La détermination de grandeurs caractéristiques de rugosité normalisées, telles que rugosité moyenne R ou profondeur moyenne de a
rugosité R, s'effectue indirectement par des opérations d'étalonnage.
Des surfaces de rugosité connues sont mesurées optiquement, nuis une relation est établie entre les grandeurs caractéristiques S1 ou S2 et des grandeurs caractéristiques de coupe. La courbe caractéristique correspondante est mémorisée dans un calculateur. Pour obtenir une
précision de mesure élevée, il convient de mesurer et mémoriser plu-
sieurs courbes caractéristiques correspondant aux procédés d'usinage
usuels.
Une autre possibilité consiste à faire varier le domaine de longueur d'onde du faisceau de mesure, afin d'ajuster diverses places d'angle de diffusion. La diffusion sur des surfaces de rugosité donnée
est plus grande aux faibles longueurs d'onde, en lumière UV Dar exem.-
ple, qu'aux grandes longueurs d'onde, en lumière IR par exemple. Le
rayonnement utilisé ne doit pas être monochromatique, mais peut cou-
vrir un assez grand domaine de longueur d'onde, de 100 nm par exemDle.
Une autre possibilité consiste à utiliser un faisceau de mesure
polarisé. Lors de la réflexion d'un rayonnement polarisé, des sur-
faces rugueuses présentent un comportement différent de celui de surfaces lisses, qui permet de déduire la qualité de la surface en tenant compte de l'orientation du plan de vibration du rayonnement
par rapport à la structure de la surface. A partir de l'état de pola-
risation du rayonnement dans le lobe de rayonnement réfléchi, les valeurs caractéristiques S1 ou S2 sont ainsi utilisables comme mesure
de la qualité de surface.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront
mieux compris à l'aide de la description détaillée ci-dessous d'exem-
ples de réalisation du dispositif de mesure et des dessins annexés 1s sur lesquels la figure 1 représente un dispositif de mesure de lumière diffusée selon l'invention;
la figure 2 représente un dispositif de mesure avec source de rayon-
nement dans le tube de mesure; -
la figure 3 représente un dispositif de mesure avec guide de lumière flexible; la figure 4 représente un tube de mesure à pointe conique; la figure 5 représente un tube de mesure à sortie latérale du faisceau; la figure 6 représente le schéma synoptique du système de mesure avec un calculateur de traitement des valeurs mesurées; et la figure 7 représente la variation de la valeur caractéristique S2
en fonction de la qualité de divers échantillons de surface.
Le dispositif de mesure selon figure 1 comprend une source de rayonnement 1, par exemple une diode infrarouge munie d'une lentille en verre rapportée, dont le rayonnement 9 facalisé et sensiblement parallèle traverse un diviseur de faisceau 2, un groupe de lentilles 3 et une lame de verre plan-parallèle 4. Un diaphragme circulaire 5 limite le spot à un diamètre d'environ 1 à 3 mm. La lame de verre 4 ferme le système avec étanchéité. Le faisceau 6 réfléchi par la
24 9 1 6 1 5
surface 12 est dévié par la réfringence d'un groupe de lentilles 3 et traverse en retour le diviseur de faisceau, qui renvoie un flux
partiel aussi grand que possible sur le détecteur photoélectrique 8.
Les détecteurs 81, 8i à 8n utilisés sont des photodiodes ou des détecteurs pyroélectriques, individuels ou en réseau linéaire ou matriciel. Les détecteurs convertissent le rayonnement en signaux électriques, qui est filtré, amplifié et traité analogiquement ou numériquement de façon à fournir les valeurs caractéristiques de
diffusion Si ou S2 constituant la mesure de la qualité de surface.
Un écran 16 indique la variation de l'éclairement énergétique E, mesuré par les détecteurs 81 à 8. Afin d'améliorer le rapport signal/ bruit, les détecteurs sont munis d'un filtre optique qui limite le domaine de réception spectrale au domaine de longueur d'onde de la
source de rayonnement.
Une autre amélioration est obtenue par fonctionnement en lumière
modulée. Pour ce faire, la lumière de la source est pulsée électri-
quement ou optiquement à une fréquence donnée et le signal de mesure est interprété avec sélection en fréquence. Par ses dimensions, et notamment sa longueur, et le groupe de lentilles 3 et la lame dé verre 4 qu'il contient, le tube de mesure 7 détermine l'angle solide dans lequel le faisceau réfléchi est transmis aux détecteurs 81i à n Le groupe de lentilles 3 peut être supprimé dans le cas le plus
simple. L'angle solide résulte alors des caractéristiques géomntri-
ques du dispositif de mesure, et essentiellement de l'angle d'ouver-
ture de la ligne de détecteurs 8. Des groupes de lentilles à distance focale positive augmentent l'angle solide et des lentilles divergentes
le limitent.
Dans le procédé selon l'invention, il est inutile de disposer les détecteurs dans le plan focal du groupe de lentilles ou de produire une image réelle de l'élément de surface éclairé, ce qui
présente des avantages pour le dimensionnement du tube de mesure.
Plusieurs tubes de mesure interchangeables, présentant des
caractéristiques optiques différentes, sont prévus pour chaque dis-
positif de mesure. Une adaptation est ainsi possible à la plage angulaire de diffusion, probable pour une mesure et résultant du
2 2491615
domaine de qualité de la surface à étudier. Le domaine de la qualité de surface résulte des procédés d'usinage précédant la mesure, tels que tournage de précision, rectification plane, polissage. Le choix
du tube de mesure approprié s'effectue sur cette base.
Comme le montre la figure 1, une lentille cylindrique 17 est insérée sur le trajet de la lumière diffusée. Elle concentre le faisceau diffusé à répartition spatiale sous forme d'un bandeau lumineux dans le plan de mesure, qui est déterminé par les rayons médians 9, 10 et contient la ligne de détecteurs 8. Cette disposition réduit l'influence perturbatrice de la dispersion du faisceau sur des surfaces convexes et augmente le flux énergétique utilisable. Cette lentille cylindrique peut être intégrée dans le groupe de lentilles 3. Il est même avantageux de constituer le groupe de lentilles 3 sous
forme d'un groupe de lentilles cylindriques croisées, dont les dis-
tances focales sont choisies de façon que dans un plan le faisceau diffusé soit décelé sous l'angle optimal pour la détermination de la qualité de surface et que dans le second plan, le faisceau réfléchi
soit concentré dans un bandeau lumineux, qui contient les détecteurs 8.
Dans le cas de lentilles à réfringence élevée, il convient d'aplatir leur centre, afin que le faisceau incident ne soit pas modifié, tandis que le faisceau réfléchi avec diffusion est réfracté par les surfaces bombées. Cette intervention optique est ensuite compensée pendant le
traitement électronique des valeurs mesurées.
Un autre détecteur photoélectrique 11 (détecteur de référence) mesure la partie du faisceau 9 provenant de la source 1 et déviée par le diviseur de faisceau 2. Un circuit de quotient et/ou soustraction
compense les fluctuations d'intensité du faisceau pendant le traite-
ment des données de mesure. La mesure peut s'effectuer avec un léger contact mécanique, le tube de mesure 7 du petit dispositif maniable
de mesure de la lumière diffusée reposant à peu près perpendiculai-
rement sur la surface à mesurer 12. Une détérioration de la surface à mesurer est pratiquement évitée car la surface d'appui du tube de
mesure est relativement grande et seules de faibles forces agissent.
Pour la mesure sur des surfaces très sensibles, la portée du tube de mesure doit être réalisée dans un matériau non dur, tel qu'une :10 matière plastique. Une mesure sans contact mécanique est obtenue par ajustement d'une faible distance 13, ce qui permet aussi de mesurer des surfaces mobiles. Ce mode de fonctionnement est avantageusement
utilisable dans des dispositifs automatiques. -
Afin de déterminer les grandeurs caractéristiques de la surface, appelées rugosités transversale et longitudinale dans la technique de mesure de rugosité, sur des structures de rugosité orientées, telles que des marques d'outil ou stries, le plan de mesure de l'apnareil est orientable transversalement ou longitudinalement par rapport à
la direction des stries. Une autre possibilité de mesure des pro-
priétés de diffusion d'une surface en fonction de la direction, sans rotation de 900 de l'appareil de mesure, consiste à utiliser une
matrice constituée par plusieurs lignes de détecteurs ou un montace-
de lignes de détecteurs en croix. Dans ce dernier cas, une seconde ligne de détecteurs est disposée perpendiculairement à la liane de détecteurs 8 et reçoit le rayonnement réfléchi perpendiculairement au plan de mesure. Une possibilité d'extension de l'étendue de mesure du dispositif, fixée par la géométrie et l'optique des tubes de mesure,
consiste à faire varier la longueur d'onde du rayonnement er.ploy.e.
La lumière de la source 1 est alors monochromatique ou un domaine de longueur donné est obtenu par filtrage du rayonnement d'une source
à large spectre.
Une autre possibilité est offerte par la mesure de lumière diffusée à l'aide d'un rayonnement polarisé. Un filtre polarisant 14 est alors prévu pour produire un rayonnement polarisé et un filtre
polarisant 15 pour l'analyse du rayonnement réfléchi.
Dans le cas de la figure 2, le dispositif de mesure selon figure 1 est modifié de façon que la source 1, une petite source de rayonnement à semiconducteurs par exemple, se trouve dans le tube de mesure 7. Ce montage présente l'avantage que l'incidence du faisceau de la source 1 ne se fait pas à travers.le groupe de lentilles 3, qui décèle néanmoins le faisceau diffusé. Il est ainsi possible de déceler le faisceau diffusé dans un grand angle solide, comme cela est nécessaire pour la grande plage de rugosité. Dans ce montage, le diviseur de faisceau 2 se trouve entre la source 1 et la diode de
2 4 9 1 6 1 5
référence 11, tandis que la ligne de détecteurs 8 est montée dans le
bottier du dispositif.
L'emploi d'un guide de lumière est avantageux dans le cas de conditions d'accès défavorables, afin par exemple d'effectuer des mesures sur les surfaces internes de pièces ou dans la machine d'usi- nage. Il convient d'utiliser comme guide de lumière un faisceau rangé
de fibres optiques, dont la section peut être rectangulaire ou circu-
laire et/ou des convertisseurs de section à fibre optique sont utili-
sables. Le guide de lumière est de préférence inséré dans le montage selon figure 1, entre le tube de mesure 7 et le diviseur de faisceau
2, et guide à la fois le rayonnement incident et le rayonnement réfléchi.
Un guide de lumière est également utilisable dans le montage selon figure 2 pour le guidage du faisceau réfléchi. Il est utilement disposé
entre le tube de mesure 7 et la ligne de détecteurs 8.
La figure 3 représente un montage dans lequel la source 1 se trouve également dans le tube de mesure 7, directement à l'intérieur du groupe de lentilles 3. La suppression du diviseur de faisceau augmente
le rayonnement utilisable de la source. Un guide de lumière 18 flexi-
ble transmet le flux lumineux réfléchi aux détecteurs 8. Pour l'éclai-
rage de l'élément de surface à mesurer, il est possible d'utiliser
un second guide de lumière à diamètre plus faible, disposé concentri-
quement au guide de lumière 18. Ce guide de lumière supplémentaire doit être sorti du bottier du dispositif, séparément du guide de lumière 18, et permet de transmettre au point de mesure la lumière
d'une source de grande puissance.
La figure 4 représente une forme de réalisation du tube de - mesure avec une pointe conique, Cette forme du tube de mesure convient
pour des points de mesure limités dans l'espace.
La figure 5 représente le schéma d'une autre forme de réalisa-
tion du tube de mesure, dans laquelle un miroir de renvoi 19 fait sortir la lumière latéralement, ce qui est avantageux par exemple
pour des mesures dans un alésage ou une gorge de pièce.
La figure 6 représente le schéma synoptique du système de mesure.
Un calculateur est utilisé pour le traitement des valeurs mesurées.
Cet appareil électronique de base permet le raccordement de plusieurs capteurs de lumière diffusée. L'opération de mesure est illustrée sur le schéma synoptique. Une diode électroluminescente est alimentée par une source de courant et éclaire la surface de l'échantillon à mesurer. Les photodiodes d'un réseau linéaire convertissent le flux lumineux réfléchi en signaux électriques, qui sont transmis par un multiplexeur à l'électronique (désignée par "interface"), avec commande par le calculateur. Dans l'électronique, les signaux sont
filtrés, amplifiés puis disponibles, après conversion analoaicue-
numérique, sous forme de valeurs numériques pour traitement par le
calculateur. Le résultat des mesures est consigné dans un procès-
verbal ou représenté graphiquement sur un écran ou un traceur.
La figure 7 représente des caractéristiques obtenues par des mesures comparatives du procédé selon l'invention et de mesures par instruments à palpeur sur des surfaces usinées par rectification plane et polies. La valeur caractéristique de diffusion S. est sans dimension et représentée, après multiplication par un facteur d'échelle, en fonction de la rugosité moyenne R mesurée avec un instrument à palpeur. Le dispositif décrit est destiné à la détermination de la qualité de surfaces métalliques planes, concaves ou convexes. Ce dispositif de mesure permet en outre de déterminer la qualité de surface sur des pièces en autres matériaux, tels que matériaux semiconducteurs,
matières plastiques et porcelaine.
Un procédé de mesure analogue à celui selon l'invention est également utilisable pour déterminer la qualité de surface ou la diffusion de pièces en matériau transparent, tel que du verre. La pièce à étudier est éclairée dans ce cas par sa surface opposée à la
tête de mesure, la lumière transmise étant dispersée par les struc-
tures irrégulières. La mesure de la lumière diffusée s'effectue alors sensiblement de la façon précédemment décrite pour la lumière diffusée réfléchie. Bien entendu, diverses modificatqons peuvent être apportées par l'homme de l'art au principe et aux dispositifs qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans
sortir du cadre de l'invention.
Claims (18)
1. Procédé de mesure optoélectronique pour détermination de la qua-
lité de surfaces à réflexion diffuse, et en particulier de pièces métalliques, dans lequel la surface à étudier est éclairée par le faisceau sensiblement parallèle d'une source de lumière et la répar-
tition d'intensité du faisceau réfléchi est mesurée par des détec-
teurs photoélectriques, puis interprétée électroniquement, ledit procédé étant caractérisé en ce que le faisceau est dirigé a peu près perpendiculairement à la surface à étudier et le faisceau à répartition spatiale, réfléchi par l'élément de surface éclairé (spot), est décelé par les détecteurs photoélectriques dans un angle solide, qui est adapté à l'élargissement probable du faisceau par
suite de la réflexion diffuse; et des valeurs caractéristiques inté-
grales sont formées à partir de l'ensemble des valeurs mesurées par
les détecteurs et constituent la mesure de la qualité de surface.
2. Procédé de mesure optoélectronique selon revendication 1, caractérisé en ce que- les valeurs caractéristiques intégrales S1 ou S constituant la mesure de la qualité de surface, sont formées à partir des valeurs mesurées par les détecteurs photoélectriques, à l'aide des équations suivantes n x (a) Sx = wi -wl pi avec x =1 ou 2 i=1 n (b) w = wi.Pi i=l D Di.gi (c) Pi = n
It D..g.
i=1 - avec w. angle du faisceau diffusé décelé par le détecteur i n nombre de détecteurs employés pour le dépouillement w moyenne des valeurs pi et wi Pi signal de mesure Di normalisé selon l'équation (c) gi facteur de correction du signal de mesure Di
24 9 1 6 1 5
3. Procédé de mesure optoélectronique selon revendication 2, caractérisé en ce que les facteurs de correction gi compensent les tolérances des composants optiques et électroniques et/ou pondèrent
les signaux de mesure des divers détecteurs.
4. Procédé de mesure optoélectronique selon revendications 1 à 3,
caractérisé en ce que l'angle de diffusion du faisceau réfléchi est
modifié par variation de la longueur d'onde du faixeau de mesure.
5. Procédé de mesure optoélectronique selon revendications 1 à 4,
caractérisé par la polarisation du faisceau incident en vue de l'ap-
préciation de structures superficielles.
6. Procédé de mesure optoélectronique selon revendication 5, caractérisé en ce qu'une détermination de l'état de polarisation du rayonnement diffusé réfléchi est effectuée à l'aide d'un analyseur
par exemple.
7. Procédé de mesure optoélectronique selon revendications 1 à 6,
caractérisé en ce que la variation de la réflexion de surfaces à
structure de rugosité orientée (anisotrope) en fonction de la direc-
tion est déterminée par rotation du plan de mesure.
8. Procédé de mesure optoélectronique selon revendications 1 à 7,
caractérisé en ce qu'une partie du faisceau incident est transmise a un photodétecteur de référence, dont le signal de sortie compense les fluctuations d'intensité du faisceau par un circuit analogique
ou numérique.
9. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé de mesure selon
revendications 1 à 8, caractérisé par un tube de mesure (7) inter-
changeable, qui est appliqué sur la surface (12) à étudier ou fixé
à une faible distance (13) de cette dernière, comportant un dia-
phragme (5) et dont la longueur et/ou les propriétés optiques déterminent l'angle solide du faisceau diffusé, décelé par les
détecteurs (8).
10. Dispositif de mesure selon revendication 9, caractérisé en ce
que le tube de mesure (7) contient un groupe de lentilles (3).
11. Dispositif selon une des revendications 9 et 10, caractérisé
par une lentille cylindrique (17) qui concentre le faisceau diffusé sous forme d'un bandeau lumineux qui contient les détecteurs (8)
2 4 9 1 6 1 5
- photoélectriques disposés en ligne, sous forme d'un réseau linéaire
par exemple.
12. Dispositif de mesure selon revendication 10, caractérisé en ce que le groupe de lentilles (3) est constitué par des lentilles cylindriques en croix, dont une décèle le faisceau diffusé dans l'angle solide requis et la seconde concentre le faisceau diffusé sous forme d'un bandeau lumineux contenant la ligne de détecteurs (8).
13. Dispositif de mesure selon revendications 9 à 12, caractérisé
en ce que le tube de mesure (7) est fermé avec étanchéité au voi-
sinage du diaphragme (5), par une lame de verre plan-parallèle (4).
14. Dispositif de mesure selon revendications 9 à 13, caractérisé
par un diviseur de faisceau (2), inséré sur le trajet du faisceau incident (9) et déviant une faible partie de ce dernier sur un détecteur de référence (11) et une partie aussi grande que possible
du faisceau réfléchi sur la ligne de détecteurs (8).
15. Dispositif de mesure selon revendications 10 à 14, caractérisé
en ce que les lentilles du groupe (3) sont aplaties au centre, de sorte que le faisceau incident traverse le groupe sans modification, tandis que le faisceau réfléchi avec diffusion est réfracté par les lentilles.
16. Dispositif de mesure selon revendications 10 à 14, caractérisé
en ce que la source de rayonnement (1) est très petite, réalisée de préférence sous forme de source à semiconducteurs et logée dans le tube de mesure (7), entre le groupe de lentilles (3) et le diaphragme (5).
17. Dispositif de mesure selon revendication 16, caractérisé par
l'intégration de la source de lumière (1) au groupe de lentilles (3).
18. Dispositif de mesure selon revendications 9 à 15, caractérisé
par un guide de lumière, avantageusement disposé entre le tube de mesure (7) et la ligne de détecteurs (8), pour le guidage du faisceau
incident et/ou du faisceau réfléchi.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3037622A DE3037622C2 (de) | 1980-10-04 | 1980-10-04 | Einrichtung zur Bestimmung der Oberflächengüte |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2491615A1 true FR2491615A1 (fr) | 1982-04-09 |
FR2491615B1 FR2491615B1 (fr) | 1985-05-17 |
Family
ID=6113657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8118617A Granted FR2491615A1 (fr) | 1980-10-04 | 1981-10-02 | Procede de mesure optoelectronique et dispositifs pour la determination de la qualite de surfaces a reflexion diffuse |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4859062A (fr) |
JP (1) | JPS5791403A (fr) |
CH (1) | CH654914A5 (fr) |
DE (1) | DE3037622C2 (fr) |
FR (1) | FR2491615A1 (fr) |
GB (1) | GB2088552B (fr) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2581753A1 (fr) * | 1985-05-07 | 1986-11-14 | Roulements Soc Nouvelle | Appareil de controle de rugosite par voie optique |
WO1987003957A1 (fr) * | 1985-12-17 | 1987-07-02 | Sin/Schweiz. Institut Für Nuklearforschung | Procede optoelectronique pour examiner des surfaces |
FR2601128A1 (fr) * | 1986-07-03 | 1988-01-08 | Etu Rech Machine Outil Centre | Rugosimetre a source laser pour l'analyse et le controle de qualite des surfaces mecaniques |
EP0358818A1 (fr) * | 1988-09-12 | 1990-03-21 | Moshe Golberstein | Instrument de photométrie de réflexion |
EP0491276A2 (fr) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Siemens Solar Industries L.P. | Système et méthode pour mesurer le voile d'une couche mince |
FR2679025A1 (fr) * | 1991-07-08 | 1993-01-15 | Framatome Sa | Procede et dispositif de controle d'une surface. |
Families Citing this family (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD208670A1 (de) * | 1982-06-29 | 1984-04-04 | Pentacon Dresden Veb | Vorrichtung zur schnellen messung des glanzes beliebiger oberflaechen |
DE3232904A1 (de) * | 1982-09-04 | 1984-03-08 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sonde zum automatischen pruefen von oberflaechen |
DE3304780A1 (de) * | 1983-02-11 | 1984-08-30 | Rodenstock Optik G | Vorrichtung zur ermittlung einer oberflaechenstruktur, insbesondere der rauheit |
DE3337468A1 (de) * | 1983-10-14 | 1985-04-25 | Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München | Verfahren und vorrichtung zur pruefung der oberflaeche von bauteilen |
DE3503231A1 (de) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Helmut A. 6720 Speyer Kappner | Verfahren und einrichtung zur 3-d-erfassung von szenen mittels optischem 2-d-sensor |
GB2177793B (en) * | 1985-06-28 | 1990-03-28 | Ando Electric | Reflected light type surface roughness analyzer |
JP2661913B2 (ja) * | 1986-05-02 | 1997-10-08 | パ−テイクル、メジユアリング、システムズ インコ−ポレ−テツド | 表面分析方法および表面分析装置 |
DE3716241A1 (de) * | 1987-05-15 | 1988-12-01 | Krupp Gmbh | Messverfahren zum bestimmen eines oberflaechenprofils |
FR2620823B1 (fr) * | 1987-09-17 | 1990-08-17 | Centre Tech Ind Papier | Dispositif pour determiner en continu un indice d'etat de surface d'un materiau en feuille en mouvement |
DE3732934A1 (de) * | 1987-09-30 | 1989-04-20 | Heidelberger Druckmasch Ag | Sensoreinrichtung |
US5133019A (en) * | 1987-12-03 | 1992-07-21 | Identigrade | Systems and methods for illuminating and evaluating surfaces |
DE3814606A1 (de) * | 1988-04-29 | 1989-11-09 | Interpane Entw & Beratungsges | Verfahren und vorrichtung zur erfassung von strukturen einer oberflaeche eines flaechigen guts |
US4991971A (en) * | 1989-02-13 | 1991-02-12 | United Technologies Corporation | Fiber optic scatterometer for measuring optical surface roughness |
JPH0660813B2 (ja) * | 1990-01-16 | 1994-08-10 | 政則 栗田 | 表面粗さ測定装置および表面粗さ測定方法 |
US5153844A (en) * | 1990-01-23 | 1992-10-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for measuring surface flatness |
US5196906A (en) * | 1990-06-29 | 1993-03-23 | Tma Technologies, Inc. | Modular scatterometer with interchangeable scanning heads |
JPH04203956A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Bando Chem Ind Ltd | 外観検査方法および装置 |
FI88828C (fi) * | 1991-02-06 | 1993-07-12 | Valmet Paper Machinery Inc | Foerfarande och anordning vid fotoelektrisk identifiering av en materialbana |
JP3323537B2 (ja) * | 1991-07-09 | 2002-09-09 | キヤノン株式会社 | 微細構造評価装置及び微細構造評価法 |
DE4134747C2 (de) * | 1991-10-22 | 1997-09-25 | Fraunhofer Ges Forschung | Lichtmeßanordnung zur Detektion von Oberflächendefekten |
US5326968A (en) * | 1993-03-12 | 1994-07-05 | Honeywell Inc. | Photoelectric sensor with a circular polarizing lens attached to its housing |
US5369284A (en) * | 1993-03-30 | 1994-11-29 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Active edge position measuring device |
US5412473A (en) * | 1993-07-16 | 1995-05-02 | Therma-Wave, Inc. | Multiple angle spectroscopic analyzer utilizing interferometric and ellipsometric devices |
DE4324800C2 (de) * | 1993-07-23 | 1997-05-22 | Olaf Dr Ing Schnabel | Vorrichtung zur Bestimmung von Fehlern von Oberflächen hoher Güte |
DE4408226C2 (de) * | 1994-03-11 | 1997-08-28 | Peter Dr Ing Lehmann | Meßeinrichtung zur prozeßgekoppelten Bestimmung der Rauheit technischer Oberflächen durch Auswertung di- oder polychromatischer Specklemuster |
DE4434473A1 (de) * | 1994-09-27 | 1996-03-28 | Basler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von Gegenständen mit polarisiertem Licht |
NL9401796A (nl) * | 1994-10-28 | 1996-06-03 | Tno | Documentherkenningsinrichting. |
US5708506A (en) * | 1995-07-03 | 1998-01-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for detecting surface roughness in a chemical polishing pad conditioning process |
DE19632763C2 (de) * | 1996-08-14 | 1998-09-10 | Holger Moritz | Meßkopf für die Beobachtung der Photolackentwicklung |
US5912741A (en) * | 1997-10-10 | 1999-06-15 | Northrop Grumman Corporation | Imaging scatterometer |
DE19817664A1 (de) * | 1998-04-21 | 1999-11-04 | Peter Lehmann | Verfahren und Vorrichtung zur Rauheitsmessung an technischen Oberflächen bei Beleuchtung mit einem Specklemuster |
US6184528B1 (en) | 1998-08-27 | 2001-02-06 | Vought Aircraft Industries, Inc. | Method of spectral nondestructive evaluation |
AU1212000A (en) | 1998-10-16 | 2000-05-08 | Ade Optical Systems Corporation | Method and apparatus for mapping surface topography of a substrate |
US6444971B1 (en) * | 1999-12-31 | 2002-09-03 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method and system for compensating intensity fluctuations of an illumination system in a confocal microscope |
WO2002056262A1 (fr) * | 2001-01-16 | 2002-07-18 | Rossisky Federalny Jaderny Tsentr-Vserossisky Nauchno-Issledovatelsky Institut Tekhnicheskoi Fiziki (Rfyats-Vniitf) | Procede de verification de l'authenticite d'un objet |
US6457801B1 (en) | 2001-06-27 | 2002-10-01 | Lexmark International, Inc. | Method and apparatus for measuring ink dry time |
DE10151332B4 (de) | 2001-10-22 | 2007-12-06 | Jenoptik Surface Inspection Gmbh | Vorrichtung zur optischen Messung von Oberflächeneigenschaften |
DE102004021600A1 (de) | 2004-05-03 | 2005-12-08 | Gretag-Macbeth Ag | Vorrichtung zur Inline-Überwachung der Druckqualität bei Bogenoffsetdruckmaschinen |
DE102005007780A1 (de) * | 2005-02-19 | 2006-08-31 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Messung der zonalen Farbgebung |
EP1783454B1 (fr) * | 2005-11-08 | 2009-09-16 | Mitutoyo Corporation | Instrument de mesure de forme |
DE102006015627B4 (de) * | 2006-03-31 | 2008-03-27 | Innovent E.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung und Vermessung von Formabweichungen und Welligkeiten an rotationssymmetrischen Teilen |
JP4967125B2 (ja) * | 2006-12-12 | 2012-07-04 | 国立大学法人広島大学 | 部材表面検査装置及び部材表面検査方法 |
EP1985969B1 (fr) * | 2007-04-26 | 2017-10-25 | Sick IVP AB | Procédé et appareil pour déterminer la quantité de lumière diffusée dans un système de vision artificielle |
US8335360B2 (en) | 2007-05-14 | 2012-12-18 | Historx, Inc. | Compartment segregation by pixel characterization using image data clustering |
ES2599902T3 (es) | 2007-06-15 | 2017-02-06 | Novartis Ag | Sistema y método de microscopio para obtener datos de muestra normalizados |
CA2604317C (fr) | 2007-08-06 | 2017-02-28 | Historx, Inc. | Methodes et systeme permettant de valider des echantillons d'images pour dosages immunologiques quantitatifs |
CA2596204C (fr) | 2007-08-07 | 2019-02-26 | Historx, Inc. | Procede et systeme de determination de la dilution optimale d'un reactif |
WO2009029810A1 (fr) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Historx, Inc. | Sélection de temps d'exposition automatique pour un tissu d'imagerie |
US20090157212A1 (en) * | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Basf Corporation | System and method of determining paint formula having a effect pigment |
JP5058838B2 (ja) * | 2008-02-01 | 2012-10-24 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置および方法 |
JP5036644B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2012-09-26 | 住友重機械工業株式会社 | 表面検査方法、及びびびりマーク検査装置 |
JP5551702B2 (ja) | 2008-09-16 | 2014-07-16 | ヒストロックス,インコーポレイテッド. | バイオマーカー発現の再現性のある定量 |
JP2014163690A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置 |
US9151671B2 (en) * | 2013-08-26 | 2015-10-06 | Thermo Electron Scientific Instruments Llc | Motorized variable path length cell for spectroscopy |
JP6465345B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2019-02-06 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドの表面性状測定方法および装置 |
US9557164B2 (en) | 2015-04-15 | 2017-01-31 | General Electric Company | Data acquisition devices, systems and method for analyzing strain sensors and monitoring turbine component strain |
US9909860B2 (en) | 2015-04-15 | 2018-03-06 | General Electric Company | Systems and methods for monitoring component deformation |
US10697760B2 (en) | 2015-04-15 | 2020-06-30 | General Electric Company | Data acquisition devices, systems and method for analyzing strain sensors and monitoring component strain |
US9932853B2 (en) | 2015-04-28 | 2018-04-03 | General Electric Company | Assemblies and methods for monitoring turbine component strain |
DE102015106737A1 (de) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | Brodmann Technologies GmbH | Verfahren und Einrichtung zur Beurteilung der Oberflächenbeschaffenheit nach der winkelaufgelösten Streulichtmessmethode mit automatischer Lageerkennung des Werkstücks |
DE102015114065A1 (de) * | 2015-08-25 | 2017-03-02 | Brodmann Technologies GmbH | Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Beurteilung der Oberflächenbeschaffenheit eines Wafers |
US9953408B2 (en) | 2015-11-16 | 2018-04-24 | General Electric Company | Methods for monitoring components |
US9846933B2 (en) | 2015-11-16 | 2017-12-19 | General Electric Company | Systems and methods for monitoring components |
US9733062B2 (en) | 2015-11-20 | 2017-08-15 | General Electric Company | Systems and methods for monitoring component strain |
US10012552B2 (en) | 2015-11-23 | 2018-07-03 | General Electric Company | Systems and methods for monitoring component strain |
US9967523B2 (en) | 2015-12-16 | 2018-05-08 | General Electric Company | Locating systems and methods for components |
US9879981B1 (en) | 2016-12-02 | 2018-01-30 | General Electric Company | Systems and methods for evaluating component strain |
US10132615B2 (en) | 2016-12-20 | 2018-11-20 | General Electric Company | Data acquisition devices, systems and method for analyzing passive strain indicators and monitoring turbine component strain |
US10126119B2 (en) | 2017-01-17 | 2018-11-13 | General Electric Company | Methods of forming a passive strain indicator on a preexisting component |
US10872176B2 (en) | 2017-01-23 | 2020-12-22 | General Electric Company | Methods of making and monitoring a component with an integral strain indicator |
US11313673B2 (en) | 2017-01-24 | 2022-04-26 | General Electric Company | Methods of making a component with an integral strain indicator |
US10345179B2 (en) | 2017-02-14 | 2019-07-09 | General Electric Company | Passive strain indicator |
US10502551B2 (en) | 2017-03-06 | 2019-12-10 | General Electric Company | Methods for monitoring components using micro and macro three-dimensional analysis |
US10451499B2 (en) | 2017-04-06 | 2019-10-22 | General Electric Company | Methods for applying passive strain indicators to components |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1548263A1 (de) * | 1966-11-10 | 1969-07-24 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren zu Bestimmung von geometrischen Stoerungen einer Solloberflaeche mittels optischer Mittel |
US3591291A (en) * | 1969-05-26 | 1971-07-06 | Conductron Corp | Method and apparatus for sensing reflected light and diffused light from a surface to indicate the roughness of said surface |
CH575592A5 (fr) * | 1975-04-17 | 1976-05-14 | Volpi Ag | |
US4017188A (en) * | 1975-02-26 | 1977-04-12 | The Bendix Corporation | Surface profile measuring device and method |
DE2800351A1 (de) * | 1978-01-04 | 1979-07-05 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische vorrichtung zur bestimmung der lichtaustrittswinkel bei einer mit einem lichtfleck beaufschlagten materialbahn |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3060793A (en) * | 1960-07-22 | 1962-10-30 | Arthur N Wells | Apparatus for determining ellipticity of surface reflected plane polarized light |
DE2101689A1 (de) * | 1971-01-15 | 1972-07-20 | Ibm Deutschland | Anordnung zur Durchführung eines Verfahrens zum berühungslosen optischen Prüfen und Messen von Oberflächen |
US3782827A (en) * | 1971-08-04 | 1974-01-01 | Itek Corp | Optical device for characterizing the surface or other properties of a sample |
JPS5843681B2 (ja) * | 1972-06-16 | 1983-09-28 | 三菱電機株式会社 | ヒヨウメンジヨウタイカンソクソウチ |
DE2256736C3 (de) * | 1972-11-18 | 1979-01-25 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Meßanordnung zur automatischen Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit einer Werkstückoberfläche |
CH552197A (de) * | 1972-11-24 | 1974-07-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | Einrichtung zum messen der rauhigkeit einer oberflaeche. |
JPS5065254A (fr) * | 1973-10-09 | 1975-06-02 | ||
US3904293A (en) * | 1973-12-06 | 1975-09-09 | Sherman Gee | Optical method for surface texture measurement |
GB1474191A (en) * | 1974-01-21 | 1977-05-18 | Nat Res Dev | Measurement of surface roughness |
DE2532603C3 (de) * | 1975-07-21 | 1978-12-14 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optische Vorrichtung zur Bestimmung des Lichtaustrittswinkels |
US4022534A (en) * | 1976-03-23 | 1977-05-10 | Kollmorgen Corporation | Reflectometer optical system |
JPS52129545A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-31 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for measurement of uniformity in surface roughnes s |
US4162126A (en) * | 1976-12-10 | 1979-07-24 | Hitachi, Ltd. | Surface detect test apparatus |
GB1592511A (en) * | 1977-05-18 | 1981-07-08 | Ferranti Ltd | Surface inspection apparatus |
US4305661A (en) * | 1979-02-27 | 1981-12-15 | Diffracto, Ltd. | Method and apparatus for determining physical characteristics of objects and object surfaces |
JPS5948324B2 (ja) * | 1979-05-24 | 1984-11-26 | 工業技術院長 | 光反射による傾角検出あらさ測定方法 |
DE2924241A1 (de) * | 1979-06-15 | 1981-01-08 | Basf Ag | Goniophotometer zur messung des glanzes und/oder des glanzschleiers von oberflaechen |
US4334780A (en) * | 1979-06-29 | 1982-06-15 | Grumman Aerospace Corporation | Optical surface roughness detection method and apparatus |
DD145956A1 (de) * | 1979-09-12 | 1981-01-14 | Elvira Hundt | Verfahren und vorrichtung zur best mmung der rauhigkeit einer oberflaeche |
US4368982A (en) * | 1980-06-09 | 1983-01-18 | Avery International Corporation | Retroreflectometer |
-
1980
- 1980-10-04 DE DE3037622A patent/DE3037622C2/de not_active Expired
-
1981
- 1981-10-01 JP JP56157390A patent/JPS5791403A/ja active Granted
- 1981-10-02 FR FR8118617A patent/FR2491615A1/fr active Granted
- 1981-10-05 CH CH6385/81A patent/CH654914A5/de not_active IP Right Cessation
- 1981-10-05 GB GB8130045A patent/GB2088552B/en not_active Expired
-
1985
- 1985-01-22 US US06/932,234 patent/US4859062A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1548263A1 (de) * | 1966-11-10 | 1969-07-24 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren zu Bestimmung von geometrischen Stoerungen einer Solloberflaeche mittels optischer Mittel |
US3591291A (en) * | 1969-05-26 | 1971-07-06 | Conductron Corp | Method and apparatus for sensing reflected light and diffused light from a surface to indicate the roughness of said surface |
US4017188A (en) * | 1975-02-26 | 1977-04-12 | The Bendix Corporation | Surface profile measuring device and method |
CH575592A5 (fr) * | 1975-04-17 | 1976-05-14 | Volpi Ag | |
DE2800351A1 (de) * | 1978-01-04 | 1979-07-05 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische vorrichtung zur bestimmung der lichtaustrittswinkel bei einer mit einem lichtfleck beaufschlagten materialbahn |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2581753A1 (fr) * | 1985-05-07 | 1986-11-14 | Roulements Soc Nouvelle | Appareil de controle de rugosite par voie optique |
WO1987003957A1 (fr) * | 1985-12-17 | 1987-07-02 | Sin/Schweiz. Institut Für Nuklearforschung | Procede optoelectronique pour examiner des surfaces |
FR2601128A1 (fr) * | 1986-07-03 | 1988-01-08 | Etu Rech Machine Outil Centre | Rugosimetre a source laser pour l'analyse et le controle de qualite des surfaces mecaniques |
EP0358818A1 (fr) * | 1988-09-12 | 1990-03-21 | Moshe Golberstein | Instrument de photométrie de réflexion |
EP0491276A2 (fr) * | 1990-12-17 | 1992-06-24 | Siemens Solar Industries L.P. | Système et méthode pour mesurer le voile d'une couche mince |
EP0491276A3 (en) * | 1990-12-17 | 1993-02-24 | Siemens Solar Industries L.P. | System and methods for measuring the haze of a thin film |
FR2679025A1 (fr) * | 1991-07-08 | 1993-01-15 | Framatome Sa | Procede et dispositif de controle d'une surface. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4859062A (en) | 1989-08-22 |
DE3037622A1 (de) | 1982-04-22 |
CH654914A5 (de) | 1986-03-14 |
DE3037622C2 (de) | 1987-02-26 |
GB2088552B (en) | 1985-02-06 |
GB2088552A (en) | 1982-06-09 |
FR2491615B1 (fr) | 1985-05-17 |
JPH0153401B2 (fr) | 1989-11-14 |
JPS5791403A (en) | 1982-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2491615A1 (fr) | Procede de mesure optoelectronique et dispositifs pour la determination de la qualite de surfaces a reflexion diffuse | |
EP1932001B1 (fr) | Dispositif optique pour la mesure de vitesse de deplacement d'un objet par rapport a une surface | |
EP1910805B1 (fr) | Refractometre optique pour la mesure de la salinite de l'eau de mer et capteur de salinite correspondant | |
FR2615279A1 (fr) | Capteur de deplacement a fibres optiques decalees | |
EP0015820A1 (fr) | Dispositif pour la mesure des vitesses linéaires sans contact et sans marquage | |
FR3013128A1 (fr) | Dispositif et methode de mise au point tridimensionnelle pour microscope | |
EP0333812A1 (fr) | Dispositif pour determiner en continu un indice d'etat de surface d'une feuille crepee en mouvement | |
FR2873203A1 (fr) | Procede pour determiner des resonances de plasmons de surface sur des surfaces de mesure bidimensionnelles | |
EP3201610A1 (fr) | Procede et systeme d'inspection de plaquettes transparentes pour l'electronique, l'optique ou l'optoelectronique | |
EP0670487B1 (fr) | Procédé et dispositif de détermination de l'absorption d'un rayonnement électromagnétique par un gaz | |
EP1846727B1 (fr) | Palpeur optique ainsi que dispositif et procédé le mettant en oeuvre | |
FR2766922A1 (fr) | Instrument de mesure de l'indice de refraction d'un fluide | |
EP0065429A1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure optique de déplacement et application aux photorépéteurs sur tranche | |
EP0101375B1 (fr) | Procédé et dispositif de détermination sans contact de la rugosité d'une surface | |
EP0064110B1 (fr) | Appareil de photométrie par diffusion | |
CH626992A5 (fr) | ||
FR2629909A1 (fr) | Methode et appareil pour mesurer les micro-distances | |
WO2000009978A1 (fr) | Appareil de mesure de la longueur d'onde d'un faisceau lumineux | |
FR2572805A1 (fr) | Procede de mesure du centrage d'un barreau cylindrique dans un revetement transparent cylindrique et dispositif de mise en oeuvre | |
EP0516562A1 (fr) | Dispositif de mesure de courant par fibre optique | |
FR2515823A1 (fr) | Procede et dispositif de controle optique des etats de surface de produits metallurgiques | |
FR2710146A1 (fr) | Dispositif optique de mesure d'écart transversal. | |
FR2632723A1 (fr) | Systeme de detection pour photometre | |
WO2022189749A1 (fr) | Dispositif optique reflectometrique a balayage angulaire incline de surfaces cibles et procede de mesure associe | |
FR3145210A1 (fr) | Capteur de gaz compact de conception simple |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |