FI87660B - Foerfarande och anordning foer dragning av monokristaller - Google Patents
Foerfarande och anordning foer dragning av monokristaller Download PDFInfo
- Publication number
- FI87660B FI87660B FI885595A FI885595A FI87660B FI 87660 B FI87660 B FI 87660B FI 885595 A FI885595 A FI 885595A FI 885595 A FI885595 A FI 885595A FI 87660 B FI87660 B FI 87660B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- crucible
- melt
- post
- loading
- electrical
- Prior art date
Links
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 44
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 4
- 239000012526 feed medium Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001137251 Corvidae Species 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 235000015108 pies Nutrition 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000008207 working material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/20—Controlling or regulating
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D9/00—Level control, e.g. controlling quantity of material stored in vessel
- G05D9/12—Level control, e.g. controlling quantity of material stored in vessel characterised by the use of electric means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
1 87660
Menetelmä ja laite yksittäiskiteiden vetämiseksi
Keksintö kohdistuu menetelmään kideyksilöiden vetämiseksi upokkaassa sijaitsevasta sulatteesta tyhjön 5 alaisena tai suojakaasun alaisena pienennetyssä paineessa ja laitteeseen menetelmän suorittamiseksi, jossa laitteessa on tyhjökammio, johon on sovitettu upokas upokkaan kan-natuspultille ja joka on kuumennettavissa kuumennuselemen-tin lämpösäteilyn kautta ja jonka yhteydessä on vetoele-10 mentti muodostettu sulatteen yläpuolelle, jolla elementillä kideyksilö on vedettävissä pois ylöspäin sulatteen pinnasta ja jonka yhteyteen on muodostettu syöttöputki, jonka täyttösuppilo päättyy upokkaan yläpuolelle ja jonka yli panosaine on jälkipanostustilasta jälkitäytettävissä upok-15 kaaseen vetotapahtuman aikana.
Tavallisesti kideyksilöiden vetämiseksi olevien tunnettujen laitteiden yhteydessä sulatusupokas täytetään ennen sulatusupokasta ympäröivän kattilan tyhjentämiseksi välttämättömällä määrällä sula-ainesta, esimerkiksi piira-20 keillä, lisättynä tarvittavalla seosaineella (kuten esim.
boorilla, antimonilla tai fosforilla). On myös jo ehdotettu (julkaisu DE-OS 2 821 481), että sauvavetämisen yhteydessä jälkipanostetaan piirakeita, samalla kun kuumennetun kvartsilasiputken kautta, joka on upotettu ulkoa ko-25 kooja-astian seinän ja laitteen ulko-osan läpi piisulat- . teeseen, rakeita jälkisyötetään.
Lisäksi on tunnettua (EP-patenttijulkaisu 0 170 ·-' 856) sovittaa kattilan ulkopuolelle syöttölaite piirakeita varten, jonka ulosmenoputki on yhteydessä sylinterimäisen, 30 osittain rakeilla täytetyn säiliön kanssa, jossa pyörii moottorikäyttöinen annostuslevy, jossa on syvennyksiä, jotka täyttyvät rakeilla, kun levy kulkee säiliön toiselle sivulle kerrostettujen rakeiden läpi. Levy kuljettaa silloin vastaanotetun annoksen rakeita ulosmenoputken toi-35 sen pään eteen, niin että nämä sitten voivat vieriä ulos- 2 87660 menoputken yli sulatusupokkaaseen saakka. Sylinterimäinen säiliö on muutoin yhdistysnysän kautta, johon on kytketty eristysventtiili, yhdistetty toiseen säiliöön, johon on varastoitu rakeita, jolloin käsin liikuteltava mäntä siir-5 tää nämä rakeet avatun venttiilin tapauksessa yhdistys-nysään ja siten annostuslevyllä varustetun säiliön sisään.
Lopuksi erään vanhemman laitteen mukaan sula-aineksen jatkuvaa syöttämistä varten sulatusupokasta varten ki-deyksilöiden vetämisen yhteydessä tyhjökattilassa, jossa 10 on suljettavat säiliöt, erotus- tai sulkuventtiili ja sulatusupokkaaseen avautuva, säiliön kanssa yhdistetty ulos-menoputki (julkaisu P 3 737 051.0), on ehdotettu, että ensimmäinen säiliö varustetaan sisällä olevalla, säiliön muotoa vastaavalla vuorauksella, suppilon muotoisella 15 osalla ja tähän liittyvällä sylinterimäisellä ulosmenolla, jolloin ulosmeno on siirrettävissä laskuventtiilin välityksellä toisen säiliön yhdistysnysään, jossa rakeiden kuljetin sijaitsee, joka puolestaan avautuu tyhjökattilan seinän läpi johdetun ulosmenoputken kautta sulatusupokkaan 20 yläpuolella olevalle alueelle.
On osoittautunut, että edellä kuvattua lajia olevien laitteiden yhteydessä upokassisäkkeeseen kylvyn pinnan alueelle upokkaan reunaan syntyy jo lyhyen käyttöajan jälkeen erittäin voimakas kuluminen. Upokkaan työaineeseen 25 vaikuttaa sulate tässä kohdassa erittäin voimakkaasti, niin että muodostuu rengasura tai ympäri kulkeva ura upo-kassisäkkeen sisäpinnalle, joka huomattavasti lyhentää laitteen tämän kalliin osan kestoaikaa.
Esillä olevan keksinnön tehtävänä on nyt vähentää 30 tällaisia kulumisilmiöitä upokkaan sisäkkeen sisäpinnassa ja luoda menetelmä ja laite, jotka ovat sopivia pidentämään upokassisäkkeen kestoaikaa olennaisesti.
Keksinnön mukaan tämä tehtävä ratkaistaan keksinnön mukaisella menetelmällä siten, että upokkaan jälkipanosta-35 minen tapahtuu, riippuen upokkaaseen kulloinkin sisälty- 1; 3 87660 neestä sulatteen määrästä sulatteen pinnan laskemisen jälkeen annetun tason alapuolelle, annetun tason yläpuolella olevaan ylempään täyttötasoon asti, niin että sulatteen pinta kiteen vetotapahtuman aikana säännöllisesti nousee 5 ja laskee annetun tason suhteen heilahtelevasti ylös ja alas.
Keksinnön mukainen laite on tunnettu kattilan yläosaan sovitetuista nysistä sulatteen pinnan etäisyyden tutkimiseksi upokkaan reunan suhteen olevan laitteen pitä-10 miseksi, jolloin alasäiliöön sovitettu jälkipanostuslait-teen rakeiden kuljetin toimii riippuen tutkimislaitteen tuottamista impulsseista tai signaaleista.
Edullisesti laitteesta sulatteen pinnan valvomiseksi lähtevät signaalit voidaan jalostaa sähköisen kyt-15 kinpiirin toimesta mukaan lukien kytkinohjelma sähköisiksi impulsseiksi ja johtaa jälkipanostuslaitteen tärytys-laitteen toimintaan tai toiminnasta pois kytkemiseksi tai säätämiseksi.
Tarkoituksenmukaisesti muodostetaan sulatteen pin-20 nan etäisyyden upokkaan reunasta tutkimista varten oleva laite signaalilähettimestä - esimerkiksi laserlähteestä -ja signaalin vastaanottimesta - esimerkiksi laservalovas-taanottimesta, jolloin näiden molempien laitteiden tuottamat arvot johdetaan sähköisten signaalijohtojen kautta 25 edelleenjalostamista varten sähköiseen kytkinpiiriin tai ohjelmasäätimeen, joka puolestaan on yhdistetty sähköisen signaalijohdon kautta jälkipanostuslaitteen tärytyslait-teeseen tai kuljettimeen.
Erään edullisen suoritusmuodon mukaan sulatteen 30 pinnan tasoa tarkkailevan laitteen mittausarvoa käytetään hyväksi siinä, että sulakylpyä varten olevaa säiliötä, ’ erityisesti upokasta, liikutetaan säädön puitteissa ylös- ja alaspäin, jotta sulatteen pinta toisaalta saadaan ase-tusarvoon tai lähelle asetusarvoa ja jotta toisaalta väl-35 tetään se, että sulatteen pinta olisi aina saman matkan päässä upokkaan reunasta.
4 87660 Tätä tarkoitusta varten upokkaan akseli on sovitettu laiteen alaosaan pituussuunnassa siirtyväksi ja se on sähkömekaanisesti tai sähköhydraulisesti toimivan nostolaitteen välityksellä sulatteen pinnan tasoa tarkkaile-5 van laitteen signaaleista riippuvaisesti yhdessä upokkaan kannatuspultin, tukiupokkaan ja upokassisäkkeen kanssa liikutettavissa pystysuunnassa ylös- ja/tai alaspäin, niin että kiteenvetotapahtuman aikana sulatteen pinnan taso paikallaan pysyvään päätykuumentimeen tai kattilan kansi-10 osaan nähden pysyy vakiona, mutta sulatteen pinta nousee ja laskee upokkaan reunaan nähden.
Keksintö mahdollistaa mitä erilaisimpia sovellutusmahdollisuuksia, kaksi niistä on kuvattu lähemmin oheisessa piirustuksessa, joissa 15 kuvio 1 esittää osakuvannon laitteesta yksinäiski- teiden vetämiseksi pituusleikkauksena ja laitteeseen kuuluvan jälkipanostuslaitteen kaaviokuvana ja kuvio 2 esittää kuvion 1 mukaisen laitteen täydennettynä sähköhydraulisella laitteella sulateupokkaan nos-20 tamiseksi ja laskemiseksi.
Kuvion 1 mukainen laite muodostuu olennaisesti laitteen rungon kaksiseinämäiselle kattilanpohjalevylle 3 asetetusta, samoin kaksiseinämäisestä kattilasta 4, joka muodostaa tyhjökammion 52, kattilaan 4 sovitetusta, katti-25 lanpohjalevylle 3 laakeroidusta tukiputkesta 5, jossa on tätä ympäröivä lämpöeristys 6, tukiputken 5 pitämästä, : rengasmaisesta ammeesta 7, jossa on siihen laakeroidut grafiittihuopalevyt 8, kahdesta kattilanpohjalevyssä 3 pidetystä virransyöttölaitteesta 9 ammeen 7 yläpuolella 30 pidettyä pohjakuumenninta 10 varten, kahdesta muusta, kattilanpohjalevyssä 3 pidetystä virransyöttölaitteesta 11, joihin kulloinkin on ruuvattu kiristysleuat 12, jotka puolestaan kannattavat pääty- tai sylinterikuumentimia 13, sulatusupokkaasta 14, ammeelle 7 tukeutuvasta säteilysuo-35 japutkesta 15, jossa on sivulla oleva lämpöeristys 16, 5 87660 säteilysuojaputkea 15 kannattavasta peitelevystä 17, jossa on ylempi päädyn puoleinen lämpöeriste 18 ja läpivienti 19, suojalasi 21, läpimeno 20, syöttöputki 23 panosainetta varten, peitelevyn 17, 17a, 18 läpi viedyt täyttösuppilot 5 24 ja kiertyvä ja ylös alas liikkuva upokkaan akseli 25 upokkaan kannatuspultin 26 pitämiseksi.
Molempien virransyöttölaitteiden 9 pitämä pohja-kuumennin 10 muodostuu kahdesta vastakkain sovitetusta kuumenninjalasta 31 ja kahdesta näihin yhdistetystä, kul-10 loinkin meanderimaisesti muodostetusta kuumennusletkusta 33 (joista vain toinen on kuvattu). Kuumennusletkut 33 muodostavat yhdessä pohjakuumentimen 10 keskustaan aukon 35, jonka kautta ulottuu läpi upokkaan kannatuspultti 26, jonka yläpää on yhdistetty kiinteästi tukiupokkaaseen 14 15 ja jonka avulla upokkaan sisäkettä 28 sen tukiupokas 14 mukana, voidaan liikuttaa sekä ylös ja alas että myös kiertosuunnassa. Päätykuumennin 13 on muodostettu ympyrämäisestä, litteästä osasta 38 ja onton sylinterin muotoisesta sivuosasta 39. Onton sylinterin muotoinen osa 39 20 on varustettu kahdelta vastakkaiselta osaltaan alaspäin ulottuvilla kuumennusjaloilla 40, jotka kulloinkin tarttuvat loviin 41, jotka on muodostettu virransyöttölaitteiden 11 pitämiin kahteen kiristysleukaan 12. Jotta varmistettaisiin päätykuumentimen 13 varma virransiirto ki-25 ristysleukojen 12 molemmissa lovissa 41, on lisäksi viety lisäkiiloja 42 puolisuunnikkaan muotoisiin loviin 41.
Säteilynsuojaputkessa 15 on neljä suorakulmaista reikää 43, 43', ..., jotka - jaettuna yhdenmukaisesti sätei ly suojaputken 15 kehälle - on sovitettu tämän alareu-30 naan. Näiden reikien 43, 43', ... kautta on viety ensik sikin kiristysleuat 12 ja toiseksi pohjakuumentimen 10 : kuumennusjalat 31. Lisäksi säteilysuojaputki 15 on varus tettu vinosti kulkevalla porauksella 45, joka on sama-ak-selinen peitelevyn 17, 17a suojalasin 21 kanssa ja katti-35 lan 4 seinään kiinnitetyn nysän 47 suojalasin 46 kanssa.
6 87660 Säteilysuojaputken 15 sivuseinässä olevat muut aukot 48 mahdollistavat kaasun esteettömän läpivirtauksen kattilan 4 sisätilan yläosasta alaosaan. Kattila 4 on muutoin kan-siosansa 4' alueelta varustettu kauluksella 48, joka mah-5 dollistaa vetoelementin 49 läpimenon. Lisäksi kattilan 4 kansiosassa 4' on toinen nysä 50 varustettuna tarkastelu-lasilla 51 ja kolmas nysä 63 varustettuna tarkastelulasil-la 64.
Kahteen virransyöttölaitteeseen 9 pohjakuumennin 10 10, joka on leikattu meanderimaiseksi, on ruuvattu gra- fiittimuttereilla 27. Pohjakuumentimen 10 tehtävänä on kuumentaa upokas 14, 28 tai sulate alemmalta päätysivulta lähtien. Kahteen lisäksi olevaan virransyöttölaitteeseen 11 on kiristysleuoilla 12 kiinnitetty toinen kuumennuskap-15 pale 13, joka on muodostettu maljakuumentimena. Ylempi päätykuumennus parantaa jatkuvasti syötetyn panosaineen sulamista. Päätykuumennin 13 voi piisulatteen tapauksessa olla peitetty SiC:llä, jotta vältettäisiin, että grafiit-tihiukkaset putoavat sulatteeseen ja syntyy hiiliepäpuh-20 tauksia. Myös estetään SiO:n reaktio grafiitin kanssa (2C + SiO - SiC + CO). Katkoviivoin merkitty viiva esittää argonkaasuvirtausta, joka voidaan kauluksen 48 ja keskiau-kon 53 kautta, sulatteen yli tai upokkaan 14 ympäri aukko-: jen 48 kautta johtaa alaspäin ja vetää pois putkinysien 60 . ··. 25 kautta.
: . . Kuumennuslaitteen keskustassa sijaitsee grafiitti- ^ ’ upokas 14, johon on pistetty upokas 28, joka on muodostet tu sulan kanssa reagoimattoman työaineen kanssa. Jotta varmistettaisiin sulatteen rauhoittuminen panostuksen yh-30 teydessä vetotapahtuman aikana, on lisärengas 29, joka samoin on muodostettu sulatteen kanssa reagoimattomasta työaineesta, pistetty upokkaan 28 sisään. Renkaassa 29 sijaitsevat alapäässä katkot 30, joiden kautta sulanut ·:·. panosaine voi virrata upokassisäkkeen 28 keskustaan. Mo- 35 lempien kuumentamien 10, 13 ympärille on sijoitettu lämpö- li 7 87660 eristys 8, 16, 18, joka on muodostettu ammeeseen 7 laakeroiduista grafiittihuopalevyistä 8, sivussa olevasta lämpöeristyksestä 16, joka on muodostettu sylinterinä ja työnnetty säteilysuojaputken 15 päälle ja ylemmästä pää-5 dynpuoleisesta ympyränrenkaan muotoisesta lämpöeristeestä 18. Ylemmät peitelevyt 17, 17a tukeutuvat - yhdessä lämpö-eristeen 18 kanssa - kattilan 4 sylinterimäiseen sisäpintaan.
Kattilan 4 kansiosaan 4' kauluksen 48 viereen veto-10 elementin 49 läpivientiä varten on kiinnitetty ohjausput-ki 32, johon on laakeroitu tanko 34 pituussuunnassa siirtyvästä, jonka yläpää on muodostettu ruuvikarana 37, joka on tartunnassa käyttöakselin 57 kanssa, joka puolestaan on käytettävissä moottorikäyttöyksiköllä 54. Upokkaan puolei-15 nen (alempi) tangon 34 pää on varustettu kiinnitysistukal-la 58, johon on kiristetty korkeaseosteisestä työaineesta muodostuva ohutsauva 56, joka on sama-akselinen läpimenevän reiän 22 ja läpiviennin 20 ja aukon 36 kanssa.
Jotta voitaisiin pitää sulatteen koostumus vakio-20 na, korkeaseosteinen ohutsauva 56 on moottorikäyttölait-teen 54 avulla pystysuunnassa alaspäin laskettavissa sulatteeseen tai nostettavissa siitä ylöspäin. Ohutsauvan 56 sulaan kylpyyn uppoamisen jälkeen ohutsauvan 56 sisään : uponnut pää sulatetaan, minkä johdosta sulatteen koostu- 25 musta voidaan säätää tai pitää vakiona.
Upokassisäkkeessä 28 olevan sulatteen täyttöaste voidaan valvoa laitteella, joka muodostuu signaalilähet-timestä 65 (laservalolähde), joka on pantu tarkastelula-silla 64 varustetulle nysälle 63 ja jonka mittasäde on 30 suunnattu sulatteen pintaan 55. Mittasäteen (esim. lasersäteen) heijastus otetaan sitten impulssinvastaanottimel-la 68 (laservalon vastaanotin), joka on pantu nysälle 66, ja tulkitaan sähkövirtapiirissä tai ohjelmasäätimessä 74. Laite voi nyt tuottaa signaaleja, jotka vastaavat hetkel- 1.. 35 listä sulatteen pintaa ja johtaa nämä rakeiden kuljetti- 8 87660 meen tai alasäiliössä 76 olevaan tärytyslaitteeseen.
Jotta estettäisiin sulatetta vahingoittamasta sulatteen pinnan 55 alueella kvartsista muodostuvaa upokas-sisäkettä 28 suhteellisen lyhyenä käyttöaikana sulan pin-5 nan alueella niin voimakkaasti, että tämä tulee käyttökelvottomaksi, tapahtuu sulan aineen jälkipanostaminen syöt-töputken 23 ja täyttösuppilon 24 kautta jälkipanostuslait-teesta 72 sillä tavalla, että sulatteen pinta 55 ensiksi lasketaan vähäiseen määrään annetun tason alapuolelle ja 10 sitten tähän liittyen täytetään vähäiseen määrään annetun tason yläpuolelle; ts. että sulaa ainetta jälkipanoste-taan, niin että upokassisäkkeessä 28 olevaa sulatteen määrää vuorottaisesti määrätty aikaväli pidetään jonkin verran alapuolella tai jonkin verran yläpuolella annettua 15 arvoa. Jotta saavutettaisiin tämä vaikutus, piirustuksissa puhtaasti kaavamaisesti kuvattua jälkipanostuslaitetta 72 riippuen laitteesta 63 - 68 lähetetyistä signaaleista ohjataan sähköisesti sähköisen kytkinpiirin 74 muokkaamalla ohjelmalla. Jälkipanostuslaite itse muodostuu yläsäiliöstä 20 75, jossa panostusaine sijaitsee raemuodossa, alasäiliöstä 76, jossa on tärytyslaite tai kuljetin, jonka välityksellä panosaine johdetaan syöttöputkeen 23 ja kaksi säiliötä 75, 76 keskenään yhdistävästä putkenkappaleeseen kytketystä sulkuventtiilistä 72, jossa on siihen kuuluva liikutuslai-25 te 70. (Kysymyksessä olevan tyyppinen jälkipanostuslaite on kuvattu kaikissa yksityiskohdissaan vanhemmassa DE-pa-tenttihakemuksessa 3 737 051.0 lähemmin.)
Kuvion 2 mukaisessa suoritusmuodossa upokkaan akseli 25 on pystysuoraan siirtyvä ja lisäksi varustettu kau-30 luksella 86, jolla se tukeutuu painekappaleen 88 rullalaa-keriin 87, joka painekappale on sovitettu liikkumaan porauksessa 89 nuolen A suunnassa. Painekappale 88 puolestaan tukeutuu hydraulisylinterin 83 mäntään 90, joka on painejohdon 91, 92 välityksellä yhdistetty hydraulipumpun .35 81 sähkömagneettisesti ohjattavaan monitieventtiiliin 82.
9 87660
Magneettiventtiili 82 on signaalijohdon 85 välityksellä ohjattavissa siten, että mäntä 90 yhdessä upokkaan kanna-tuspultin 26 ja kannatusupokkaan 14 kanssa nostaa tai laskee upokkaan akselia 25 upokassisäkkeineen 28 aina sen 5 mukaan, painetaanko hydraulipumpun 81 kuljettama paineaine painejohdon 91 kautta hydraulisylinteriin vai päästetäänkö se palautusjohdon 93 kautta paineaineen varastosäiliöön. Heti kun sulatteen pinta 55 alkaa laskea, upokasta 14, 28 voidaan nostaa ylöspäin kohottamalla painetta hydraulisy-10 linterissä 83, kunnes pinta on jälleen saavuttanut asetus-arvon mukaisen tasonsa. Jos tehdään jälkipanostus, upokasta 14, 28 pitää silloin laskea alaspäin. Tällä tavalla saadaan aikaan upokkaan jatkuva ja tasainen nousu ja lasku, minkä ansiosta estyy upokassisäkkeen 28 ennenaikainen 15 kuluminen.
Claims (6)
1. Menetelmä kideyksilöiden (61) vetämiseksi upokkaassa (14, 28) sijaitsevasta sulatteesta tyhjön alaisena 5 tai suojakaasun alaisena pienennetyssä paineessa, laitteella, jossa on upokas (14, 28), joka on sovitettu tyhjö-kammioon (52) upokkaan kannatuspultille (26) ja on kuumennettavissa kuumennuselementin (10, 59) lämpösäteilyn kautta ja jonka yhteyteen on sovitettu vetoelementti (49) su-10 latteen yläpuolelle, jolla elementillä kideyksilö (61) on vedettävissä pois sulatteen pinnasta (55) ylöspäin ja jonka yhteyteen on muodostettu syöttöputki (23), jonka täyt-tösuppilo (24) päättyy upokkaan (14, 28) yläpuolelle ja jonka yli panosaine jälkipanostuslaitteesta (72) on jälki-15 täytettävissä upokkaan (14, 28) sisään vetotapahtuman aikana, tunnettu siitä, että upokkaan (14, 28) jäl-kipanostaminen tapahtuu, riippuen upokkaaseen (14, 28) kulloinkin sisältyneestä sulatteen määrästä sulatteen pinnan (55) laskemisen jälkeen annetun tason alapuolelle, 20 annetun tason yläpuolella olevaan ylempään täyttötasoon asti, niin että sulatteen pinta (55) kiteen vetotapahtuman aikana säännöllisesti nousee ja laskee annetun tason suhteen heilahtelevasti ylös ja alas.
2. Laite patenttivaatimuksen 1 mukaisen menetel-25 män suorittamiseksi, tunnettu kattilan (4) yläosaan (4') sovitetuista nysistä (63, 66) sulatteen pinnan (55) etäisyyden tutkimiseksi upokkaan reunan (73) suhteen olevan laitteen (65 - 68) pitämiseksi, jolloin alasäiliöön (76) sovitettu jälkipanostuslaitteen (72) rakeiden kulje- 30 tin toimii riippuen tutkimuslaitteen (65 - 68) tuottamista impulsseista tai signaaleista.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että laitteista (65 - 68) sulatteen pinnan valvomiseksi lähtevät signaalit jalostetaan sähköisen 35 kytkinpiirin (74) toimesta mukaan lukien kytkinohjelma li 87 660 sähköisiksi impulsseiksi ja johdetaan jälkipanostuslait-teen (72) tärytyslaitteen toimintaan tai toiminnasta pois kytkemiseksi tai säätämiseksi.
4. Patenttivaatimuksen 2 tai 3 mukainen laite, 5 tunnettu siitä, että sulatteen pinnan (55) upokkaan reunan (73) suhteen olevan etäisyyden tutkimiseksi oleva laite (63 - 68) on muodostettu signaalilähettimestä (65), esimerkiksi laservalolähteestä, ja signaalivastaan-ottimesta (68), esimerkiksi laservalovastaanottimesta, 10 jolloin näiden molempien laitteiden tuottamat arvot johdetaan sähköisten signaalijohtojen (77, 78) kautta edel leen jalostettaviksi sähköiseen kytkinpiiriin tai ohjelma-säätimeen (74), joka puolestaan on sähköisen signaalijohdon (79) välityksellä yhdistetty jälkipanostuslaitteen 15 (72) tärytyslaitteeseen tai kuljettimeen.
5. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen laite, tunnettu siitä, että sulatteen pinnan tasoa tarkkailevan laitteen (63-68, 74, 77, 78) mittaus-arvoon sovitettu käytettäväksi hyväksi siinä, että sulate- 20 kylpyä varten olevaa säiliötä, erityisesti upokasta (14, 28), liikutetaan säädön puitteissa ylös- ja alaspäin, jotta sulatteen pinta toisaalta saadaan asetusarvoon tai lähelle asetusarvoa ja jotta toisaalta vältetään se, että sulatteen pinta olisi aina saman matkan päässä upokkaan : 25 reunasta.
6. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisen laite, tunnettu siitä, että upokkaan akseli (25) on sovitettu laitteen alaosaan (3, 80) pituussuunnassa siirtyväksi ja se on sähkömekaanisesti tai sähköhyd- - 30 raulisesti toimivan nostolaitteen (81 84) välityksellä sulatteen pinnan (55) tasoa tarkkailevan laitteen (63 -68, 74, 77, 78) signaaleista riippuvaisesti yhdessä upokkaan kannatuspultin (26), tukiupokkaan (14) ja upokassi-säkkeen (28) kanssa liikutettavissa pystysuunnassa (A) 35 ylös- ja/tai alaspäin, niin että kiteenvetotapahtuman ai- i2 87 660 kana sulatteen pinnan (55) taso (B) paikallaan pysyvään päätykuumentimeen (13) tai kattilan (4) kansiosaan (4') nähden pysyy vakiona, mutta sulatteen pinta (55) nousee ja laskee upokkaan reunaan (73) nähden. i: 13 87660
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3806917 | 1988-03-03 | ||
DE3806917 | 1988-03-03 |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI885595A0 FI885595A0 (fi) | 1988-12-01 |
FI885595A FI885595A (fi) | 1989-09-04 |
FI87660B true FI87660B (fi) | 1992-10-30 |
FI87660C FI87660C (fi) | 1993-02-10 |
Family
ID=6348748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI885595A FI87660C (fi) | 1988-03-03 | 1988-12-01 | Foerfarande och anordning foer dragning av monokristaller |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2740239B2 (fi) |
DE (1) | DE3904858C2 (fi) |
FI (1) | FI87660C (fi) |
IT (2) | IT8823017A0 (fi) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2662803B1 (fr) * | 1990-05-31 | 1992-09-04 | Aerospatiale | Dispositif et installation de cristallogenese pourvus de moyens d'observation. |
KR100237848B1 (ko) * | 1991-04-26 | 2000-01-15 | 후루노 토모스케 | 단결정의 인상방법 |
DE4123336A1 (de) * | 1991-07-15 | 1993-01-21 | Leybold Ag | Kristallziehverfahren und vorrichtung zu seiner durchfuehrung |
DE4301072B4 (de) * | 1993-01-16 | 2006-08-24 | Crystal Growing Systems Gmbh | Verfahren zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze |
DE10120730B4 (de) | 2001-04-27 | 2006-08-24 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Phasengrenze |
CN114675676B (zh) * | 2022-03-15 | 2024-10-11 | 东莞南玻太阳能玻璃有限公司 | 液面深度调节方法和装置、电子设备、存储介质 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3740563A (en) * | 1971-06-25 | 1973-06-19 | Monsanto Co | Electroptical system and method for sensing and controlling the diameter and melt level of pulled crystals |
DE2149093C3 (de) * | 1971-10-01 | 1975-07-24 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) | Vorrichtung zur Züchtung von Einkristallen durch Ziehen aus einer Schmelze |
JPS5130528Y2 (fi) * | 1972-03-21 | 1976-07-31 | ||
JPS5013862U (fi) * | 1973-06-04 | 1975-02-13 | ||
DE2337169C2 (de) * | 1973-07-21 | 1975-06-26 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zum Ziehen von Einkristallstäben |
BE872578A (fr) * | 1978-12-06 | 1979-03-30 | Centre Rech Metallurgique | Dispositif pour controler la surface de la charge d'un four a cuve |
DE2903061A1 (de) * | 1979-01-26 | 1980-08-07 | Heliotronic Gmbh | Verfahren zur herstellung grosskristalliner vorzugsorientierter siliciumfolien |
US4282184A (en) * | 1979-10-09 | 1981-08-04 | Siltec Corporation | Continuous replenishment of molten semiconductor in a Czochralski-process, single-crystal-growing furnace |
US4410494A (en) * | 1981-04-13 | 1983-10-18 | Siltec Corporation | Apparatus for controlling flow of molten material between crystal growth furnaces and a replenishment crucible |
US4454096A (en) * | 1981-06-15 | 1984-06-12 | Siltec Corporation | Crystal growth furnace recharge |
US4508970A (en) * | 1982-07-15 | 1985-04-02 | Motorola, Inc. | Melt level sensing system and method |
DE3407456A1 (de) * | 1984-02-29 | 1985-09-05 | Werner & Mertz Gmbh, 6500 Mainz | Kombiniertes reinigungs-/bleich-mittel fuer die behandlung des spuelwassers von toilettenautomaten und dessen anwendung |
CA1261715A (en) * | 1984-07-06 | 1989-09-26 | General Signal Corporation | Apparatus and process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique |
JPS6153190A (ja) * | 1984-08-17 | 1986-03-17 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 結晶ブ−ル成長方法 |
JPS6186493A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-01 | Toshiba Mach Co Ltd | 半導体結晶引上機 |
DD253437A1 (de) * | 1986-10-22 | 1988-01-20 | Freiberg Spurenmetalle Veb | Verfahren und anordnung zur ueberwachung und regelung von kristallzuechtungsprozessen |
-
1988
- 1988-12-01 FI FI885595A patent/FI87660C/fi not_active IP Right Cessation
- 1988-12-20 IT IT8823017A patent/IT8823017A0/it unknown
-
1989
- 1989-02-17 DE DE3904858A patent/DE3904858C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-02 JP JP1048665A patent/JP2740239B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-03 IT IT8919640A patent/IT1229561B/it active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI885595A (fi) | 1989-09-04 |
IT8919640A0 (it) | 1989-03-03 |
DE3904858A1 (de) | 1989-09-14 |
JPH01317187A (ja) | 1989-12-21 |
IT8823017A0 (it) | 1988-12-20 |
IT1229561B (it) | 1991-09-04 |
JP2740239B2 (ja) | 1998-04-15 |
FI885595A0 (fi) | 1988-12-01 |
FI87660C (fi) | 1993-02-10 |
DE3904858C2 (de) | 2001-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7279128B2 (en) | Molten metal pressure pour furnace and metering valve | |
KR101216256B1 (ko) | 단결정 실리콘 연속성장 시스템 및 방법 | |
EP0537988B1 (en) | An apparatus for supplying granular raw material for a semiconductor single crystal pulling apparatus | |
FI87660B (fi) | Foerfarande och anordning foer dragning av monokristaller | |
US20120266808A1 (en) | Side feed system for czochralski growth of silicon ingots | |
JPS6337313B2 (fi) | ||
JP2008531444A5 (fi) | ||
AU632886B2 (en) | Melt replenishment system for dendritic web growth | |
EP0196809B1 (en) | Apparatus for melting waste | |
EP0366310A1 (en) | Dispensing apparatus for molten metal and method thereto | |
US3960503A (en) | Particulate material feeder for high temperature vacuum system | |
KR101267453B1 (ko) | 원료 투입기 | |
US4904143A (en) | Apparatus for the continuous feeding of material to be melted | |
EP0306240A2 (en) | Apparatus for measuring ignition loss | |
US5180562A (en) | Apparatus for pulling monocrystals | |
JPH0711396B2 (ja) | 溶融金属撹拌装置 | |
JPH0523580Y2 (fi) | ||
US20130098290A1 (en) | Side feed system for czochralski growth of silicon ingots | |
WO2022144387A1 (en) | Use of buffer members during growth of single crystal silicon ingots | |
US3632099A (en) | Molten metal supplying apparatus | |
JPH03290392A (ja) | 単結晶製造装置 | |
KR20120133017A (ko) | 피드유닛 및 이를 구비하는 잉곳 성장장치 | |
JPH061688A (ja) | 粒状ドープ剤供給装置及び方法 | |
JPH11255576A (ja) | シリコン単結晶の引上げ装置及びその引上げ方法 | |
US4934664A (en) | Melting trough for melting metal with sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TC | Name/ company changed in patent |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING |
|
MM | Patent lapsed | ||
MM | Patent lapsed |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG |