FI85768B - Foerfarande foer utfoerning av ytplasmonresonansmaetning samt i foerfarandet anvaendbar givare. - Google Patents

Description

5 1 85768

Menetelmä pintaplasmonresonanssimittauksen suorittamiseksi sekä menetelmässä käytettävä sensori

Keksintö kohdistuu patenttivaatimuksen 1 johdanto-osassa esitettyyn, pintaplasmonresonanssi-ilmiötä hyväksikäyttävään menetelmään eri aineiden analysoimiseksi, sekä patenttivaatimuksen 5 johdanto-osassa 10 esitettyyn sensoriin menetelmän toteuttamiseksi.

Pintaplasmon on erityinen sähkömagneettinen aalto, joka etenee metallin pinnalla (H. Raether, "Surface plasmons on smooth and rough surfaces and on grat-15 ings", Springer-Verlag, Berlin, 1988). Pintaplasmonin optinen viritys voidaan saada aikaan, jos p-polarisoi-dussa kollimoidussa valonsäteessä tapahtuu kokonaisheijastus lasisubstraatin pinnalla, joka on päällystetty ohuella metallikalvolla (ns. Kretschmann-konfiguraa-20 tio). Jotta tämä tapahtuisi, fotonien impulssin tulisi sopia metallikalvon vastakkaisella pinnalla oleviin • pintaplasmoneihin. Tämä tapahtuu tietyllä aallon pituudella tietyssä kriittisessä valon tulokulmassa. Ilmiö havaitaan terävänä heijastuneen valon inten-25 siteetin miniminä muutettaessa tulokulmaa. Kulma tai aallonpituus, jolla tämä putous tapahtuu, riippuu ratkaisevasti metallikalvon päällä olevan pintakerroksen ominaisuuksista, ja sen vuoksi ilmiötä voidaan käyttää valvomaan tällä pintakerroksella tapahtuvia 30 muutoksia, jotka johtuvat esim. tietystä kemiallisesta ...· tai biologisesta reaktiosta, tai tietyn aineen kon- sentraation muutoksesta tämän pinnan välittömässä läheisyydessä.

35 Periaatteessa mitä tahansa ainetta, jonka dielektrinen funktio on negatiivinen, voidaan käyttää plasmonien viritykseen. Useimmat metallit täyttävät tämän vaatimuksen näkyvän aallonpituuden alueella. Ideaalisella 2 85768 materiaalilla (SPR-materiaali) tulisi olla negatiivinen dielektrisen vakion reaaliosan kerron ja mahdollisimman suuri tämän kertoimen itseisarvo ja samalla mahdollisimman pieni imaginäärisen osan kertoimen 5 itseisarvo. Aikaisemmissa SPR-ilmiötä hyväksikäyt tävissä menetelmissä metalleja ja niiden paksuuksia on yleensä valittu käyttäen kriteerinä terävintä piikkiä ja heijastuneen valon intensiteetin mahdollisimman täydellistä häviämistä. Eniten käytetyt 10 metallit ovat tämän vuoksi hopea ja kulta, hopean antaessa terävimmät piikit. Jyrkästä käyrästä johtuen menetelmän herkkyys on hyvä käytettäessä vakiotulokul-maa. Haluttaessa parantaa menetelmän dynamiikkaa voidaan lisäksi käyttää useita tulokulmia, joilla 15 intensiteettimittaus voidaan suorittaa samanaikaisesti, ja tällainen menetelmä on esitetty mm. GB-patenttihake-muksessa 2,197,065. Tällöin voidaan seurata myös piikin sijaintia, eli mittauksesta saadaan enemmän toisistaan riippumattomia tietoja.

20

Jotta saavutettaisiin tietty herkkyys, on SPR-materiaali lisäksi päällystetty erityisellä pintakerroksella, jolla on tietty affiniteetti tutkittavaan materiaaliin. Tässä kerroksessa tapahtuvat muutokset muodostavat 25 mittauksen perustan.

Keksinnön tarkoituksena on esittää parannus em.

menetelmiin ja esittää menetelmä ja sensori, jolla SPR-menetelmän käyttömahdollisuuksia voidaan laajentaa. 30 Tämän toteuttamiseksi keksinnön mukaiselle menetelmälle on pääasiassa tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa, ja sensorille on puolestaan tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 5 tunnusmerkkiosassa. Käyttämällä 35 materiaalina katalyyttisesti aktiivista materiaalia voidaan materiaalin katalyyttiset ominaisuudet ja SPR-ominaisuudet yhdistää uusia analyysimahdollisuuksia luovalla tavalla.

tl 3 85768

Menetelmässä ja sensorissa voidaan käyttää myös materiaaleja, joilla on suhteellisen suuri optinen absorptio. Tällainen materiaali, vaikka sen aikaansaama 5 piikki on leveä, on kuitenkin käytettävissä SPR- antureissa edellytyksellä, että analyysit suoritetaan oikein valitulla tulokulmalla ja aallonpituudel la .

10 Keksintöä selostetaan seuraavassa lähemmin viittaamalla oheisiin piirustuksiin, joissa kuva 1 esittää tyypillistä keksinnön mukaisella sensorimateriaalilla saatavaa resonanssi-15 käyrää, kuva 2 havainnollistaa keksinnön mukaisen menetel män periaatetta, 20 kuva 3 esittää eräällä keksinnön mukaisella sensorilla suoritettua koetta, kuva 4 esittää eräällä perinteisellä sensorilla | : suoritettua koetta, ja 25 kuva 5 esittää erästä keksinnön mukaista sensoria .sekä siihen liittyvää oheislaitteistoa.

SPR-mittauksen onnistuminen riippuu lähinnä kahdesta 30 tekijästä.

Materiaalikerroksen materiaalin tulee sinänsä olla SPR-kelpoista, ts. sillä täytyy olla tietyt dielek-·". triset ominaisuudet, joista on ollut edellä puhetta.

.··. 35 Hyvän herkkyyden takaamiseksi tulee intensiteettiä tulokulman funktiona kuvaavassa käyrässä ainakin jonkin osuuden olla riittävän jyrkkä, jotta käyrän pieni siirtyminen tällä kohtaa materiaalikerroksen 4 85768 toisella pinnalla tapahtuvien muutosten johdosta aiheuttaisi mahdollisimman suuren intensiteetin muutoksen.

5 - Materiaalikerroksen toisella pinnalla täytyy tapahtua tutkittavan materiaalin vaikutuksesta riittävän suuren intensiteetin muutoksen aiheuttava muutos. Tällaisen muutoksen voi aiheuttaa pinnan dielektris-ten ominaisuuksien muutos sen läheisyydessä olevan 10 aineen konsentraation muutoksen johdosta.

Keksinnön mukaisesti materiaalikerros valitaan mittauksessa siten, että se toisaalta on SPR-kelpoista materiaalia sinänsä ja toisaalta sen vastakkainen, 15 säteilystä poispäin kääntynyt pinta itsessään muodostaa tutkittavan materiaalin vaikutuksesta ominaisuuksiltaan muuttuvan alueen sen ansiosta, että materiaalikerros on katalyyttista materiaalia, joka kykenee katalysoimaan jotakin kemiallista reaktiota, johon tutkittava 20 materiaali osallistuu. Vaikka kyseistä reaktiota ei tapahtuisikaan kyseisellä pinnalla, aiheuttaa jo se, että materiaalilla on katalyyttisiä ominaisuuksia tutkittavaan aineeseen nähden, tutkittavan materiaalin kerääntymisen materiaalikerroksen pinnalle riittävän 25 suuressa konsentraatiossa, jotta kyseinen muutos SPR-olosuhteissa voitaisiin mittausteknisesti havaita.

On selvää, että on olemassa toisaalta lukuisia kata-lyyttisesti aktiiveita materiaaleja, esim. metalleja, 30 jotka samalla ovat SPR-kelpoisia. Lisäksi on olemassa lukuisia aineita, jotka osallistuvat reaktioon, joita ainakin jokin SPR-kelpoinen materiaali kykenee katalysoimaan heterogeenisessä katalyysissä, jossa katalyytti ja reagoiva materiaali ovat eri faasissa. Menetelmässä 35 käytettävä heterogeeninen katalyytti voidaankin valita tutkittavan materiaalin ja katalyytin SPR-kelpoisuuden mukaan. Eräinä heterogeenisessä katalyysissä yleisesti käytettyinä aineina, joiden dielektrisen vakion il 5 85768 reaaliosa on negatiivinen, voidaan mainita titaani, koboltti, nikkeli, platina, alumiini ja palladium. Kyseisten materiaalien perinteisiä SPR-menetelmiä varten liian heikot ominaisuudet (esim. terävän 5 intensiteettiminimin aiheuttavan tulokulman kohdalla sijaitsevan selvän piikin puuttuminen) eivät enää ole esteenä lähdettäessä soveltamaan kyseisiä materiaaleja nykyisen keksinnön mukaisesti. Lisäksi on huomattava, että vaikka edellä onkin lueteltu puhtaita metalleja, 10 voidaan menetelmässä käyttää lisäksi katalyyttisesti aktiiveja metalliseoksia tai jopa puolijohteita, sillä edellytyksellä että niiden dielektrisen vakion reaaliosa on negatiivinen. Alla olevassa taulukossa on esitetty joidenkin metallien dielektriset vakiot 15 tietyllä aallonpituudella.

Taulukko. Eräiden metallien optiset vakiot

Metalli aallonpi- dielektrinen SPR- tuus (nm) vakio suhde

Ag 632,8 -18,22+i 0,48 37,96 I " Cu 632,8 -14,67+i 0,72 20,38

Au 632,8 -10,92+i 1,49 7,33 AI 650,0 -42,00+i 16,40 2,56 : V Pd 620,0 -14,40+i 14,60 0,99

Pt 640,0 -11,10+i 15,70 0,71

Ni 620,0 -9,60+i 14,09 0,68

Co 617,0 -12,10+i 18,00 0,67

Pb 650,0 -8,67+i 13,40 0,65

Ti 617,0 -6,71+i 19,86 0,34

Fe 632,8 -1,02+i 17,81 0,06

Cr 617,0 -0,84+i 20,92 0,04 V 617,0 3,41+i 21,38 -0,16 • “·· W 636,0 4,30+i 21,32 -0,20 SPR-suhde = dielektrisen vakion realiosa vastakkais-merkkisenä jaettuna imaginääriosan kertoimella 6 85768

Mittauksessa käytettävän sähkömagneettisen säteilyn aallonpituus ja säteilyn tulokulma voidaan valita SPR-materiaalin ja tutkittavan materiaalin mukaan. Yleensä SPR-menetelmien yhteydessä puhutaan valosta, 5 mutta on huomattava, että jotkut sopivat aallonpituudet saattavat olla näkyvän valon ulkopuolella IR-alueella.

Kuten kuvasta 1 näkyy, metalleilla, joilla on suhteellisen suuri optinen absorptio, resonanssikäyrän (inten-10 siteetti tulokulman funktiona) piikki on leveä ja minimikohta on täten epämääräinen. Keksinnön mukaisesti metalleilla, joilla on tällainen leveä SPR-vaste, on käyttökelpoisuutta SPR-mittauksissa, mikäli käytetään hyväksi metallien katalyyttisiä ominaisuuksia. Mittaus 15 voidaan tällöin suorittaa aina hyvällä herkyydellä sellaisessa tulokulmassa, jossa tutkittavan materiaalin mittausalueella intensiteettiä tulokulman funktiona kuvaavat käyrät ovat mahdollisimman hyvin erillään toisistaan. Tällöin voidaan käyttää hyväksi esim. 20 resonanssikäyrän laskevaa osuutta, johon vaikuttavat eniten resonanssiolosuhteissa tapahtuvat muutokset. Koko käyrän muotoa sekä minimikohdan sijaintia ei | | tarvitse määrittää, mikäli mittaus suoritetaan tietyllä ' : pitoisuusalueella.

25

Vaihtoehtoisesti absoluuttisten intensiteettiarvojen avulla tapahtuvien pitoisuusmääritysten sijasta voidaan määrittää intensiteettiarvon muutosnopeus, ts. intensiteetin aikaderivaatta lähtien siitä ajan hetkestä, 30 jolloin pinta joutui kosketuksiin tutkittavan materi aalin kanssa. Tämä kertoo aineen pitoisuuden, vaikka mittauksen lopputilanteessa käyrän tasainen osuus olisikin siirtynyt käytetyn tulokulman alueelle.

35 Kuvassa 2 on esitetty kokellisesti eräällä keksinnön mukaisella materiaalilla, palladiumilla, suoritettu koe. 13,4 nm paksu palladiumkerros peitettiin monomole-kyläärisillä Cd-behenaattikerroksilla siten, että I: 1 85768 kerrosten määrää lisättiin 2:sta 8:aan. Jokaisen kerrosparin lisäyksen jälkeen suoritettiin SPR-mittaus, ja intensiteettiä tulokulman funktiona kuvaavat käyrät rekisteröitiin. Yhden Cd-behenaattikerroksen paksuus 5 oli 3 nm. Kuvassa 2 on paljaalla palladiumpinnalla saatua käyrää merkitty kirjaimella A, kahdella kerroksella saatua käyrää kirjaimella B, neljällä kerroksella saatua käyrää kirjaimella C ja kahdeksalla kerroksella saatua käyrää kirjaimella D. Kuvasta 2 on selvästi 10 havaittavissa, että pinnalla tapahtuvat muutokset siirtävät huomattavasti laskevan käyräosuuden paikkaa, jolloin suoritettaessa mittaus sopivalla tulokulmalla, joka sijaitsee kaikissa tutkittavan materiaalin mittausalueen käyrissä niiden laskevalla osuudella, 15 jotka osuudet ovat riittävän hyvin erillään toisistaan on tuloksena vastaavasti maksimaalinen intensiteettiar-vojen muutos ja hyvä herkkyys. Kuvasta 2 käy ilmi, että materiaaleja, jotka eivät ole käytettyjä SPR-materiaaleina tiettyjen ennakkoluulojen vuoksi, voidaan 20 hyvin käyttää myös tässä tarkoituksessa, mikäli niiden katalyyttisiä ominaisuuksia käytetään samalla hyväksi.

: Koska palladiumia voidaan käyttää SPR-materiaalina, tuo se mukanaan eräitä uusia mahdollisuuksia SPR-25 analyysiin. Palladiumin katalyyttiset ominaisuudet vetyä sisältäviä aineita kohtaan tekevät sen erittäin kiinostavaksi juuri näiden aineiden analyysiin. Palladium hajottaa vetymolekyylejä pinnallaan ja sillä on hyvä affiniteetti eräisiin vetyä sisältäviin 30 aineisiin. Tätä piirrettä on tähän mennessä käytetty hyväksi vetyä sisältävien molekyylien pitoisuuksia • mittaavissa puoli johdeantureissa. Aineita, joita ' palladiumilla voidaan mitata näissä anturityypeissä, ·'· _ ovat vety, ammoniakki, rikkivety, alkoholit, etyleeni .·*· 35 jne. (J. Lundström, M. Armgarth, A. Spetz, F. Wind- quist, "Gas sensors based on catalytic metal-gate field-effect devices", Sensors and actuators, 10, 399-421 (1986)).

β 85768

Kuvassa 3 on esitetty palladiumilla suoritettu SPR-koe, jossa palladiumin pintaan on vuorotellen johdettu vetykaasua, ilmaa ja heliumia. Kuvan 3 käyrä kuvaa 5 intensiteettiarvoa, joka on saatu keksinnön mukaisella menetelmällä, ajan funktiona. Kuten kuvasta näkyy, palladiumin herkkyys vedylle on selvä, minkä lisäksi ilmiö on reversiibeli. Erikoinen ilmiö on intensiteet-tiarvon nouseminen vedyn johdosta. Koska vedyllä on 10 pienempi taitekerroin kuin ilmalla, tulisi intensiteet- tiarvojen laskea palladiumin pinnan läheisyyteen johdetun vetykaasun johdosta. Intensiteettiarvot kuitenkin nousevat huomattavasti, mikä kuvaa juuri sitä, että vety muuttaa itse palladiumin pintakerroksen 15 ominaisuuksia palladiumin katalyyttisten ominaisuuksien ansiosta. Lisäksi voidaan havaita ainoastaan vähäinen heliumin aiheuttama kuoppa käyrässä, mikä kuvaa hyvin palladiumin selektiivisyyttä vedyn suhteen.

20 Kuvassa 4 on esitetty kuvan 3 mittakaavassa perin teisellä materiaalilla, kullalla suoritettu SPR-koe. Huomattava ero palladiumiin verrattuna on se, että tässä vety aiheuttaa odotetusti intensiteettiarvojen laskemisen. Tulokset muilla kaasuilla, hiilidioksidilla 25 ja heliumilla, ovat myös odotetut.

Kuvassa 5 on esitetty eräs sensori, joka sopii erityisen hyvin käytettäväksi keksinnön mukaisessa menetelmässä. Sensori käsittää monokromaattisen valonlähteen 30 1 sekä kollimoivan optiikan 2, joka on järjestetty yhdensuuntaistamaan valonlähteestä 1 tulevan valonsäteen ja johtamaan se polarisaattorin 3 läpi tiettyyn tulokulmaan φ metallikerroksen pinnalle 5a. Metallipin-ta muodostuu valoa läpäisevän eristemateriaalin 4, 35 lasiprisman päälle kiinnitetyn metallikalvon sisäpin nasta, ja tällä pinnalla tapahtuva kokonaisheijastus : johtaa valonsäteen detektoriin 6. Valonsäde 1, optiikka 2 ja prisma 4 on järjestetty siten, että kollimoitu li , 85768 valonsäde osuu prisman ja metallikerroksen rajapintaan 5 optimaalisessa tulokulmassa φ, joka on tutkittavan aineen mittausalueella siten, että kaikkien mittauksen onnistumisen kannalta oleellisia pitoisuusarvo ja 5 vastaavien käyrien jyrkkä osuus on tulokulman kohdalla.

Tällöin saadaan pitoisuuteen verrannollinen inten-siteettiarvo tai intensiteettiarvon aikaderivaatta.

Metallikerroksen 5 toisella puolella 5b on analysoitava 10 aine, joka palladiumin ollessa metallikerroksena on siis jotain vetyä sisältävää ainetta. Tällä kohtaa voidaan käyttää esim. läpivirtauskennoa ja tämä kohta voidaan eristää muusta ympäristöstä myös selektiivisellä eristävällä kerroksella 8, kuten kalvolla, joka 15 päästää lävitse ainoastaan analysoitavaa ainetta mikäli tutkittavassa ympäristössä on muita aineita, joihin nähden materiaalikerroksen materiaalilla on katalyyttisiä ominaisuuksia. Lisäksi kuvassa on viitenumerolla 7 merkitty sinänsä tunnettua säteily-20 lämmittäjää, joka estää vesimolekyylien kondensoitumi- sen metallikerroksen pinnalle.

Tarkka tulokulman φ arvo voidaan laskea useista teki-.·· - jöistä, kuten metallikerroksen paksuudesta, valon 25 aallonpituudesta sekä eristeen 4 että metallin 5 dielektrisistä vakioista tällä allonpituudella. Esim. palladiumin ollessa metallikerroksen 5 materiaalina ja valonlähteenä He-Ne-laserin aallonpituudella 632,8 nm sekä prisman ollessa BK-7-optista lasia, palladium-30 kerroksen paksuuden tulisi olla 13 nm ja tulokulman 42,7°.

‘ Tarkkuutta ja selektiivisyyttä voidaan parantaa käyttämällä myös niin kutsuttua differentiaalimittaus-’···' 35 ta, jolloin samasta valonlähteestä tulee kaksi valon- ;· sädettä, joista toinen ohjautuu SPR-pinnan aktiiviseen osaan, ja toinen ohjautuu saman pinnan ei-aktiiviseen osaan, jolloin mittaustietoina käytetään pikemminkin 10 85768 heijastuneiden valonsäteiden intensiteettieroja kuin absoluuttista intensiteettiä.

Edellä on kuvattu ns. fixed-angle-menetelmä (vain 5 yksi tulokulma), jota toteuttava sensori on herkkä ja halpa. Keksintöä voidaan soveltaa kuitenkin myös useampaa tulokulmaa samanaikaisesti käyttävässä menetelmässä, jolloin saadaan aikaan parempi mittaus-dynamiikka. Keksintöä voidaan myös soveltaa esim. 10 hakijan aikaisemmassa patenttihakemuksessa 901186 esitetyissä sensorityypeissä.

Kaikkia edellisissä menetelmissä saatuja mittaustietoja voidaan käsitellä detektoriin yhdistelyllä mikroproses-15 sorilla 9, ja se voi tällöin myös moduloida valonläh teitä ja synkronoida detektoria.

Kaikissa em. tapauksissa sensori voidaan miniatyrisoida helposti käyttämällä saatavissa olevia elektro-optisia 20 komponentteja (LED:it, detektorit, lämmittimet) ja kuituoptisia liitäntöjä.

Keksinnön mukainen menetelmä mahdollistaa uusien sensorimateriaalien käytön sekä uusien aineiden analy-25 soinnin SPR-ilmiön avulla tapahtuvilla mittauksilla.

Keksintöä voidaan käyttää hyvin laajalla alueella, kuten lääketieteellisessä diagnostiikassa, elintarviketeollisuudessa, prosessien valvonnassa, ympäristön tilan seurannassa, vuotojen havainnoinnissa jne.

i!

Claims (7)

1. Menetelmä pintaplasmonresonanssimittauksen (SPR) 5 suorittamiseksi, jossa sähkömagneettisen säteilyn säde (12) suunnataan sitä läpi päästävän osan (4) läpi materiaalikerroksen (5) pinnalle (5a), jolloin materiaalikerros (5) on vastakkaiselta puoleltaan (5b) saatettu yhteyteen tutkittavan materiaalin kanssa, 10 ja resonanssi-ilmiön aiheuttamaa heijastuneen säteilyn intensiteetin muutosta käytetään hyväksi tutkittavan materiaalin analysoimiseksi, tunnettu siitä, että materiaalikerros on katalyyttistä materiaalia, jonka dielektrisen vakion reaaliosa on negatiivinen käytetyl-15 lä sähkömagneettisen säteilyn aallonpituudella ja joka kykenee katalysoimaan kemiallista reaktiota, johon tutkittava materiaali osallistuu, jolloin mittaus suoritetaan sellaisella aallonpituudella ja säteilyn tulokulmalla (φ) pinnalle (5a), että heijastuneen 20 säteilyn intensiteetissä on havaittavissa vastak- kaiselle puolelle (5b) materiaalia katalyyttisten : . . ominaisuuksien johdosta kerääntyneen materiaalin : pitoisuudesta johtuva muutos

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, ;;; tunnettu siitä, että materiaalikerroksessa (5) käytetään materiaalia, jonka tyypillinen resonanssi-käyrä on ilman terävää resonanssipiikkiä.

3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että materiaali on palladiumia.

..· · 4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että tutkittava materiaali on vetyä 35 sisältävää materiaalia, kuten vetykaasua, ammoniakkia, rikkivetyä tai orgaanista ainetta, kuten alkoholia tai hiilivetyä. i2 85768

5. Sensori patenttivaatimuksen 1 mukaisen menetelmän toteuttamiseksi, jolloin se käsittää sähkömagneettisen säteilyn lähteen (1) 5 materiaalikerroksen pinnan (5a), jonka kerroksen vastakkaisella puolella on elimet tutkittavan materiaalin saattamiseksi yhteyteen tällä puolella olevan kerroksen pinnan (5b) kanssa, jolloin 10 säteilynlähde (1) on suunnattu pintaan (5a) nähden siten, että säteily tulee pintaan tulokulmassa (Φ), jossa tapahtuu pintaplasmonresonanssi-ilmiö detektorin (6) pinnasta (5a) heijastuneen ja 15 resonoineen valonsäteen intensiteetin mittaamiseksi, sensorin käsittäessä edelleen laitteen (9) intensiteettiäkö jen käsittelememiseksi, tunnettu siitä, että materiaalikerros on katalyyttistä 20 materiaalia, jonka dielektrisen vakion reaaliosa on negatiivinen käytetyllä sähkömagneettisen säteilyn aallonpituudella ja joka kykenee katalysoimaan kemiallista reaktiota, johon tutkittava materiaali osallistuu . 25

6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen sensori, tunnettu siitä, että materiaalikerroksen (5) materiaali on materiaalia, jonka tyypillinen resonanssikäyrä on ilman terävää resonanssipiikkiä. 30

7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen sensori, tunnettu siitä, että materiaali on palladiumia. ii 13 85768