FI122616B - Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav - Google Patents

Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav Download PDF

Info

Publication number
FI122616B
FI122616B FI20105096A FI20105096A FI122616B FI 122616 B FI122616 B FI 122616B FI 20105096 A FI20105096 A FI 20105096A FI 20105096 A FI20105096 A FI 20105096A FI 122616 B FI122616 B FI 122616B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
module
substrate
coating
space
glass substrate
Prior art date
Application number
FI20105096A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20105096A0 (sv
FI20105096A (sv
Inventor
Arto Pakkala
Matti Putkonen
Olli Jylhae
Original Assignee
Beneq Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beneq Oy filed Critical Beneq Oy
Publication of FI20105096A0 publication Critical patent/FI20105096A0/sv
Priority to FI20105096A priority Critical patent/FI122616B/sv
Priority to TW100102412A priority patent/TW201213984A/zh
Priority to US13/576,590 priority patent/US8780314B2/en
Priority to EP11739440.3A priority patent/EP2531885A4/en
Priority to CN201180007993.XA priority patent/CN102770801B/zh
Priority to PCT/FI2011/050073 priority patent/WO2011095681A1/en
Priority to EA201290729A priority patent/EA201290729A1/ru
Priority to KR1020127022924A priority patent/KR20120115566A/ko
Publication of FI20105096A publication Critical patent/FI20105096A/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI122616B publication Critical patent/FI122616B/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45523Pulsed gas flow or change of composition over time
    • C23C16/45525Atomic layer deposition [ALD]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45523Pulsed gas flow or change of composition over time
    • C23C16/45525Atomic layer deposition [ALD]
    • C23C16/45555Atomic layer deposition [ALD] applied in non-semiconductor technology
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06Joining glass to glass by processes other than fusing
    • C03C27/10Joining glass to glass by processes other than fusing with the aid of adhesive specially adapted for that purpose
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • G02F1/133311Environmental protection, e.g. against dust or humidity
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/54Encapsulations having a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/214Al2O3
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/50Protective arrangements
    • G02F2201/503Arrangements improving the resistance to shock

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
  • Ecology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Environmental Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Claims (25)

1. Förstärkt konstruktionsmodul (2), inne-fattande ett väsentligt plant glassubstrat (1), ett väsentligt plant andra substrat (3) och ätminstone ett 5 mellanläggselement (5) mellan glassubstratet (1) och det andra substratet (3) i beröring med glassubstra-tets (1) plana yta och med det andra substratets (3) plana yta, vilket ätminstone ena mellanläggselement (5) halier glassubstratet (1) och det andra substratet 10 (3) skilt frän varandra vid dessa tvä substrats kanter och avgränsar ett utrymme (7) mellan dessa tvä substrat innanför modulen (2), kännetecknad av att modulen (2) innefattar en ytbeläggning (9), som omger modulen (2) omkring modulens (2) utsida, vilken 15 ytbeläggning (9) är anordnad längs ytan pä glassubstratet (1), det andra substratet (3) och det ät minstone ena mellanläggselementet (5) , pä ytorna rik-tade mot modulens (2) utsida, för att öka modulens (2) styrka. 20
2 . Modul (2) enligt patentkrav 1, kän netecknad av att utrymmet (7) mellan de tvä substraten är ett slutet utrymme.
3. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1-2, kännetecknad av att ytbeläggningen (9) är 25 en enhetlig tunnfilm.
^ 4. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 o -3, kännetecknad av att det andra substra- c\j ^ tet (3) bestär av glas. o co
5. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 o x 30 - 4, kännetecknad av att modulen (2) är en cc modul (2) i en flat panelskärm. co
6. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 io ° -5, kännetecknad av att utrymmet (7) mellan ^ tvä substrat innefattar flytkristaller, som lämpar sig 35 för en flytkristallskärm.
7. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 - 6, kännetecknad av att ätminstone ett mel-lanläggselement (5) sluter ett utrymme (7) för att förhindra ett gasflöde frän modulens (2) utsida tili 5 modulens (2) insida.
8. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 - 7, kännetecknad av att mellanläggselementets (5) material valts i gruppen bestäende av epoxyhart-ser, elastomerer och glassmältor.
9. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 - 8, kännetecknad av att det väsentligt plana glassubstratet (1) är i genomsnitt tunnare an 1,5 millimeter .
10. Modul (2) enligt nägot av patentkraven 1 15 -9, kännetecknad av att ytbeläggningens (9) tjocklek är under 50 nanometer.
11. Förfarande för att tillverka en förstärkt konstruktionsmodul (2), vilken modul innefattar ett väsentligt plant glassubstrat (1), ett väsentligt 20 plant andra substrat (3) och ätminstone ett mellan-läggselement (5) , vilket förfarande innefattar anord-nandet av det ätminstone ena mellanläggselementet (5) mellan det väsentligt plana glassubstratet (1) och det väsentligt plana andra substratet (3) i beröring med 25 glassubstratets (1) plana yta och det andra substra-tets (3) plana yta, vilket ätminstone ena mellanlägg-o selement (5) häller glassubstratet (1) och det andra CVJ ^ substratet skilt frän varandra vid dessa tvä substrats o ^ kanter och avgränsar ett utrymme (7) mellan dessa tva ° 30 substrat innanför modulen (2) , kännetecknat X £ av att förfarandet innefattar - utformning av en ytbeläggning (9), som om-o g ger modulen (2) omkring modulens (2) utsida, δ längs ytan pä glassubstratet (1) , det andra CM 35 substratet (3) och det ätminstone ena mellan- läggselementet (5), pä ytorna riktade mot mo-dulens utsida, för att öka modulens styrka.
12. Förfarande enligt patentkrav 11, k ä n -netecknat av att utrymmet (7) mellan de tvä 5 substraten är ett slutet utryirane.
13. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 12, kännetecknad av att ytbeläggningen (9) är en enhetlig tunnfilm.
14. Förfarande enligt nägot av patentkraven 10 11 - 13, kännetecknat av att utformningen av ytbeläggningen (9) innefattar att deponera en enhetlig film längs ytan pä ytorna riktade mot modulens utsida.
15. Förfarande enligt nägot av patentkraven 15 11 - 14, kännetecknat av att utformningen av ytbeläggningen (9) innefattar - att föra en första prekursor tili ett re- aktionsrum, sä att ätminstone en del av den första prekursorn adsorberas i ytorna riktade mot modulens 20 utsida, och att därefter rengöra reaktionsrummet, och - att föra en andra prekursor tili ett reakt-ionsrum, sä att ätminstone en del av den andra prekursorn reagerar med den adsorberade delen av den första prekursorn, och att därefter rengöra reakt- 25 ionsrummet. OJ o
16· Förfarande enligt nägot av patentkraven CVJ 11 - 15, kännetecknat av att utformningen av ytbeläggningen innefattar att deponera en ytbe-oo ° läggning (9) med en process av typ atomskiktsbelägg- ί 30 ning (Atomic Layer Deposition, ALD).
^ 17. Förfarande enligt nägot av patentkraven S 11 - 16, kännetecknat av att det andra sub- O o stratet (3) bestär av glas. CM
18. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 17, kännetecknat av att modulen (2) är en modul i en flat panelskärm.
19. Förfarande enligt nägot av patentkraven 5 11 - 18, kännetecknat av att utrymmet (7) mellan tvä substrat innefattar flytkristaller, som lämpar sig för en flytkristallskärm.
20. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 19, kännetecknat av att det ätminstone 10 ena mellanläggselementet (5) sluter ett utrymme (7) för att förhindra ett glasflöde frän modulens (2) ut-sida tili modulens (2) insida.
21. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 20, kännetecknat av att mellan- 15 läggselementets (5) material valts i gruppen bestä-ende av epoxyhartser, elastomerer och glassmältor.
22. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 21, kännetecknat av att det väsentligt plana glassubstratet (1) är i genomsnitt tunnare än 20 1,5 millimeter.
23. Förfarande enligt nägot av patentkraven 11 - 22, kännetecknat av att ytbeläggning-ens (9) tjocklek är under 50 nanometer.
24. Förfarande enligt patentkraven 11, 25 kännetecknat av att förfarandet används för cvj 1- att trllverka en modul (2) för en bildskärm. o (M ,1
25. Användning av en modul (2) enligt patent ee 1 krav 1 l en bildskräm. co o X en CL CD O) o m o δ (M
FI20105096A 2010-02-02 2010-02-02 Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav FI122616B (sv)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20105096A FI122616B (sv) 2010-02-02 2010-02-02 Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav
TW100102412A TW201213984A (en) 2010-02-02 2011-01-24 Strengthened structural module and method of fabrication
CN201180007993.XA CN102770801B (zh) 2010-02-02 2011-01-31 强化结构模件和制造方法
EP11739440.3A EP2531885A4 (en) 2010-02-02 2011-01-31 REINFORCED STRUCTURAL MODULE AND METHOD OF MANUFACTURE
US13/576,590 US8780314B2 (en) 2010-02-02 2011-01-31 Strengthened structural module and method of fabrication
PCT/FI2011/050073 WO2011095681A1 (en) 2010-02-02 2011-01-31 Strengthened structural module and method of fabrication
EA201290729A EA201290729A1 (ru) 2010-02-02 2011-01-31 Упрочненный конструкционный модуль и способ его изготовления
KR1020127022924A KR20120115566A (ko) 2010-02-02 2011-01-31 보강 구조 모듈 및 제조방법

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20105096A FI122616B (sv) 2010-02-02 2010-02-02 Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav
FI20105096 2010-02-02

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20105096A0 FI20105096A0 (sv) 2010-02-02
FI20105096A FI20105096A (sv) 2011-08-03
FI122616B true FI122616B (sv) 2012-04-30

Family

ID=41727645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20105096A FI122616B (sv) 2010-02-02 2010-02-02 Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8780314B2 (sv)
EP (1) EP2531885A4 (sv)
KR (1) KR20120115566A (sv)
CN (1) CN102770801B (sv)
EA (1) EA201290729A1 (sv)
FI (1) FI122616B (sv)
TW (1) TW201213984A (sv)
WO (1) WO2011095681A1 (sv)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102468307A (zh) * 2010-11-15 2012-05-23 联建(中国)科技有限公司 基板模组、显示面板以及触控面板
JP6361327B2 (ja) 2014-07-02 2018-07-25 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、及び電子機器
US20160376705A1 (en) * 2015-06-25 2016-12-29 The Regents Of The University Of California Method for optical coating of large scale substrates

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI57975C (fi) 1979-02-28 1980-11-10 Lohja Ab Oy Foerfarande och anordning vid uppbyggande av tunna foereningshinnor
US4389973A (en) 1980-03-18 1983-06-28 Oy Lohja Ab Apparatus for performing growth of compound thin films
US6174377B1 (en) 1997-03-03 2001-01-16 Genus, Inc. Processing chamber for atomic layer deposition processes
US6689626B2 (en) 1998-07-20 2004-02-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Flexible substrate
TW548239B (en) * 2000-10-23 2003-08-21 Asm Microchemistry Oy Process for producing aluminium oxide films at low temperatures
US6926572B2 (en) * 2002-01-25 2005-08-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Flat panel display device and method of forming passivation film in the flat panel display device
US6887521B2 (en) * 2002-08-15 2005-05-03 Micron Technology, Inc. Gas delivery system for pulsed-type deposition processes used in the manufacturing of micro-devices
KR100641793B1 (ko) * 2002-12-26 2006-11-02 샤프 가부시키가이샤 표시패널 및 그 제조방법
US20110043742A1 (en) * 2003-02-21 2011-02-24 Cavanaugh Shanti A Contamination prevention in liquid crystal cells
JP2007516347A (ja) * 2003-05-16 2007-06-21 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 原子層蒸着によって製造されたプラスチック基板用のバリアフィルム
US20060284556A1 (en) * 2003-11-12 2006-12-21 Tremel James D Electronic devices and a method for encapsulating electronic devices
KR100700000B1 (ko) * 2004-10-19 2007-03-26 삼성에스디아이 주식회사 표시장치와 그 제조방법
US20080259268A1 (en) * 2007-04-12 2008-10-23 Fujifilm Corporation Process of producing substrate for liquid crystal display device
US7990060B2 (en) * 2007-05-31 2011-08-02 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
US20090079328A1 (en) 2007-09-26 2009-03-26 Fedorovskaya Elena A Thin film encapsulation containing zinc oxide
FI120832B (sv) * 2007-12-03 2010-03-31 Beneq Oy Förfarande för att förbättra hållfastheten hos en tunn glas
JP2010055918A (ja) * 2008-08-28 2010-03-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器
WO2011112587A1 (en) * 2010-03-09 2011-09-15 First Solar, Inc. Deposition chamber cleaning system and method

Also Published As

Publication number Publication date
FI20105096A0 (sv) 2010-02-02
US8780314B2 (en) 2014-07-15
FI20105096A (sv) 2011-08-03
EA201290729A1 (ru) 2013-03-29
EP2531885A1 (en) 2012-12-12
WO2011095681A1 (en) 2011-08-11
CN102770801A (zh) 2012-11-07
CN102770801B (zh) 2015-11-25
US20120307193A1 (en) 2012-12-06
EP2531885A4 (en) 2014-08-06
KR20120115566A (ko) 2012-10-18
TW201213984A (en) 2012-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2502834C2 (ru) Способ и устройство для реакторов осаждения
US20140141218A1 (en) Laminate body, gas barrier film, method of manufacturing laminate body, and laminate body manufacturing apparatus
EA022723B1 (ru) Многослойное покрытие, способ изготовления многослойного покрытия
FI122616B (sv) Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav
JP2004538176A (ja) 基体材料およびバリヤー層材料からなる複合材料
US10961622B2 (en) Gas barrier film and method of manufacturing the same
US8993063B2 (en) Low-temperature synthesis of silica
CN104451600B (zh) 一种氧化铋薄膜材料的制备方法
EP3114248A1 (en) Atomic layer deposition of germanium or germanium oxide
Chen et al. Spatial atomic layer deposition of ZnO/TiO2 nanolaminates
TWI544098B (zh) 處理多層薄膜之方法
Kwon et al. Postsynthetic modification strategies to improve polycrystalline metal-organic framework membranes
Li et al. Grain boundary engineering of polycrystalline metal-organic framework membranes for gas separation
EP3237651B1 (en) Ald method and apparatus including a photon source
US9745661B2 (en) Method and apparatus for forming a substrate web track in an atomic layer deposition reactor
CN103614708B (zh) 一种渐变式间距的石墨舟
JP6790445B2 (ja) ガスバリア性フィルム
Hegemann et al. Vertically Nanostructured Plasma Polymer Films Controlling Surface and Subsurface Functionality
JPS6135847A (ja) 薄膜の製造方法
JPS6054911A (ja) 紫外線カツト膜
JP2010126793A (ja) 成膜方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 122616

Country of ref document: FI

Kind code of ref document: B

MM Patent lapsed