FI100618B - Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusant urin valmistamiseksi - Google Patents

Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusant urin valmistamiseksi Download PDF

Info

Publication number
FI100618B
FI100618B FI920917A FI920917A FI100618B FI 100618 B FI100618 B FI 100618B FI 920917 A FI920917 A FI 920917A FI 920917 A FI920917 A FI 920917A FI 100618 B FI100618 B FI 100618B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
polyimide
conductivity
resistive
additives
humidity sensor
Prior art date
Application number
FI920917A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI920917A0 (fi
Inventor
Walter Scharizer
Helmut Mitter
Herbert Soellradi
Norbert Rossak
Original Assignee
E & E Elektronik Gmbh
Imi Tech Fibres Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from AT57190A external-priority patent/AT403527B/de
Application filed by E & E Elektronik Gmbh, Imi Tech Fibres Gmbh filed Critical E & E Elektronik Gmbh
Publication of FI920917A0 publication Critical patent/FI920917A0/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI100618B publication Critical patent/FI100618B/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/042—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by using materials which expand, contract, disintegrate, or decompose in contact with a fluid
    • G01M3/045—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by using materials which expand, contract, disintegrate, or decompose in contact with a fluid with electrical detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S252/00—Compositions
    • Y10S252/963—Humidity or moisture indicators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Description

100618
Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi - Användning av en svällande plast samt forfarande för till-verkning av en resistiv fuktighetsgivare.
5
Keksintö koskee paisumiskykyisen muovin käyttöä, johon johtavuuden parantamiseksi on dispergoitu lisäaineita, kuten hiilipölyä, esim. nokea, metallipölyä tai vastaavaa, resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi, sekä menetelmää sellaisen resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi.
10
Tunnetaan resistiivisiä kosteusantureita, ts. kosteusantureita, joissa sähköinen vastus muuttuu ilman kosteudesta riippuen, joissa metalli- tai puolijohdeoksi on kosteudelle herkkänä materiaalina. Mainittuja kosteudelle herkkiä materiaaleja käytetään pääasiassa sintrattujen kappaleiden, keramiikan, kalvojen, poltettujen paksukalvo-15 tahnojen ja kemiallisesti sakkautuneiden päällysteiden muodossa. Sellaisille kos-teusantureille on mainituissa suoritusmuodoissa tunnusomaista suuri herkkyys, ts. suuri vastuksen muutos kosteuden muuttuessa, mutta ne ovat kuitenkin vain välttävästi stabiileja, ja niillä on suhteellisen hidas vaste ja erityisesti pitkät vasteajat. Koska sellaisten antureiden kosteutta vastaanottavat tilavuudet ovat suhteellisen 20 suuret, voidaan hitaat vasteominaisuudet ymmärtää. 1
Metalli- ja puolijohdekosteusantureilla on lisäksi yleensä voimakkaasti epälineaarinen vastus/kosteusominaiskäyrä sekä suhteellisen suuret vastukset, mikä nostaa ar- : viointielektroniikan kustannuksia. Mainittua lajia olevia antureita löydetään esim.
: : 25 patentista DE-1 698 096, julkaisuista DE-2 728 092 ja DE-3 024 297, US-patentista 2 453 143 ja julkaisusta DE-2 938 434.
• · • · · • · · • · ·
Keksinnöllä pyritään nyt siihen, että käytettäväksi asetetaan resistiivinen kosteusan- :·. turi, joka voidaan valmistaa yksinkertaisella tavalla ja jolle on ominaista hyvä vas- • · · 30 tus/kosteusominaiskäyrän lineaarisuus sekä arviointiin erityisen sopiva vastustaso. Keksinnön mukaisesti tätä varten ehdotetaan, että resistiivisen kosteusanturin vai- • » · mistamiseen käytetään paisumiskykyistä muovia, johon johtavuuden lisäämiseksi on dispergoitu lisäaineita, kuten hiilijauhetta, metallipölyä ja vastaavaa. Paisumiskykyi-siä muoveja, kuten esim. polyimidia, on kapasitiivisten kosteusantureiden yhteydes-35 sä jo ehdotettu. Se, että paisumiskykyiset muovit, joissa on johtavuutta lisääviä lisäaineita, soveltuvat resistiivisten kosteusantureiden valmistukseen, ei ollut mitenkään läheinen ajatus. Sellaisen paisumiskykyisen muovin toimintamekanismia johtavuutta lisäävien lisäaineiden matriisina resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi ei ole 2 100618 mitenkään täydellisesti selvitetty. Yllättäen suhteellisen lineaariseksi havaittu vas-tus/kosteusominaiskäyrä voidaan johtaa siitä, että paisumiskykyisen muovin paisuessa kosteuden kasvaessa, johtavuutta lisäävien lisäaineiden suhteellinen etäisyys kasvaa, niin että havaitaan positiivinen vastuksen muutos kosteuden kasvaessa.
5 Paisumiskykyistä muovia olevan polymeerimatriisin käytöstä on tällöin se etu, että voidaan käsitellä suhteellisen ohuita kerroksia, jolloin reaktionopeutta voidaan lisätä merkittävästi, jolloin voidaan saavuttaa sellainen seikka, että perustavan johtavuuden lisääminen lisäaineiden, kuten hiilipölyn, esim. noen, metallispölyn jne. avulla, tarjoaa mahdollisuuden resistiivisten kosteusantureiden muodostamiseen, joilla on 10 niihin kytkettyä arviointielektroniikkaa varten edulliset vastusarvot, jolloin vastusar-voa voidaan säätää laajoissa rajoissa. Oleellisesti lineaarisen positiivisen vastusomi-naiskäyrän ohella yllättävää on ennenkaikkea suuri vaste- eli reaktionopeus, joka tuo mukanaan selvän parannuksen kosteusanturin erityisen yksinkertaisen valmistuksen yhteydessä. Sellaisten resistiivisten kosteusantureiden valmistusta varten käytetään 15 paisumiskykyisenä muovina polyimidia ja/tai kopolyimidia, jolloin edullisella taval la johtavuuslisäaineena käytetään jopa 50 painoprosenttia grafiittia tai 3-15 painoprosenttia nokea, jonka ominaisala on suurempi kuin 100 m^/g, erityisesti 1000 m^/g. Vastus/kosteusominaiskäyrän suuri stabiilisuus ja suuri lineaarisuus saavutetaan siten, että johtavuuslisäaineita käytetään dispergointiaineiden, kuten silok-20 saanien kanssa ja että niiden suurin hiukkaskoko on 25 pm.
Periaatteessa sellainen paisumiskykyinen muovi voidaan levittää tavanomaisella tavalla vastaavalle eristävälle alustamateriaalille mekaanisen stabiilisuuden varmis-,: : tamiseksi. Anturimassa voidaan tällöin levittää johtavuusaineiden homogeenisen li- ·[[[: 25 säämisen jälkeen linkoamalla, upottamalla tai ruiskuttamalla tai myös sivelemällä, painamalla tai vastaavalla tavalla, jolloin erityisesti edullisena pidetyssä tapauksessa polyimideja käytettäessä paisumiskykyisenä muovina erityisen edullinen menetelmä sellaisen resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi käsittää oleellisesti, että pai-:·, sumiskykyistä dianhydridi- tai isosyanaattipolyimidia liuotetaan polaariseen liuotti- • I c 30 meen, kuten N-metyylipyrrolidoniin, että tämän jälkeen liuokseen dispergoidaan ja saatetaan homogeenisesti jakaantumaan johtavuuslisäaineita, kuten nokea, ja että • · · liuos sen jälkeen levitetään inertille alustalle ja kuivataan. Polyimidien ja/tai kopoly-imidien liuosta varten polaarisissa liuottimissa voidaan tällöin käyttää myös täydellisesti imidisoituja materiaaleja, minkä takia voidaan saavuttaa erityisen homogeeni-35 siä ja vastaavasti ohuita kerroksia, joilla on vastaavasti suuri reaktionopeus. Polaa-' ·' ’ listen liuottimien käyttö, jotka voidaan poistaa kuivaamalla, sallii paisumiskykyisten muovien homogeenisten ja ohuiden kerrosten levittämisen inerteille alustoille yksin- 3 100618 keltaisella tavalla, jolloin muoviin ennalta on lisätty johtavuutta lisääviä lisäaineita. Eristävänä alustamateriaalina voidaan tällöin käyttää tavanomaisella tavalla lasia, keramiikka piikiekkoja tai vastaavia, jolloin voidaan saavuttaa mielivaltaisia kerros-vahvuuksia täydellisellä homogeenisuudella, kun käytetään polyimideja täydellisesti 5 imidisoidussa tilassa polaarisessa liuottimessa, sillä tätä seuraavassa liuottimen poistamisessa, erityisesti haihdutuksessa, ei tapahdu mitään kemiallista reaktiota päällystyksessä ja jolloin siten voidaan välttää pinnan epähomogeenisuuksien muodostu-misvaara. Tällä tavalla voidaan myös äärettömän vähäisillä kerrosvahvuuksilla säätää toistettavia vastusarvoja. Edullisesti menetellään keksinnön mukaisesti kuivausta 10 varten siten, että kuivaus suoritetaan vähintään kahdessa vaiheessa, jolloin ensimmäisessä vaiheessa suoritetaan kuivaus välillä 80-140 °C olevissa lämpötiloissa, erityisesti 120 °C:ssa, ja jokaisessa seuraavassa vaiheessa 50-80 °C korkeammassa lämpötilassa, minkä takia saavutetaan homogeeninen ja sileä pinta, joka mahdollistaa toistettavat vasteominaisuudet vastusarvon oleellisesti samana pysyvällä 15 perusasetuksella. Resistiivisten kosteusantureiden tapauksessa jää kapasitiivisilla antureilla tarvittava, kosteutta päästävä peite-elektrodi pois, niin että suhteellisesti erityisen lyhyet vasteajat tulevat mahdollisiksi. Polaarisena liuottimena voidaan polyimidien tapauksessa edullisesti käyttää dimetyyliformamidia, dimetyyliaseta-midia, dimetyylisulfoksidia, N-metyylipyrrolidonia tai sulfolaania, jolloin täydelli-20 nen liukeneminen sellaiseen polaariseen liuottimeen voidaan varmistaa silloin, kun polyimidina käytetään kopolymeeria, jossa on 3,3',4,4'-bentsofenonitetrakarboksyy-·’ 1' lihappodianhydridia ja 60-100 mooliprosenttia toluyylidiamiinia (2,4- ja/tai 2,6-iso- ; meereja) tai toluyylidi-isosyanaattia (2,4- ja/tai 2,6-isomeereja) ja 0-40 moolipro- : senttiä 4,4-metyylibis-(fenyyliamiini) tai 4,4'-metyylibis-(fenyyli-isosyanaatti), ja : 25 erityisesti lineaarista polyimidia, jonka keskipaino on välillä 30000-300000 yksik- :1·.· köä ja keskiluku välillä 10000-60000. Sellainen lineaarinen polyimidi voidaan liuoksesta levittää upottamalla, ruiskuttamalla tai linkoamalla, ja tällä tavalla var-niistetään, että päällystetty kerros on koko pinnalta yhtä paksu ja ilman hienoja rei- :·. kiä, jolloin voidaan levittää kerroksia merkittävästi pienemmällä paksuudella, millä • .
\. 30 on erityistä merkitystä reaktionopeuden kannalta.
• · · ·
Lineaariseksi polyimidiksi, jolla on suuri herkkyys ja nykyisiin polyimidikalvoihin verrattuna parempi reaktiokäyttäytyminen, havaittiin kopolymeeri jossa on 3,3',4,4'-bentsofenonitetrakarboksyylihappodianhydridia ja 60-100 mooliprosenttia toluyyli-35 diamiinia (2,4- ja/tai 2,6-isomeereja) tai toluyylidi-isosyanaattia (2,4- ja/tai 2,6-isomeereja) ja 0-40 mooliprosenttia 4,4-metyylibis-(fenyyliamiini) tai 4,4'-metyyli-bis-(fenyyli-isosyanaatti). Sellaisen kopolymeerin käytölle, erityisesti sellaisen tilastollisen kopolymeerin käyttämiselle, jonka keskipaino on välillä 30000-300000 yk- 4 100618 sikköä ja keskiluku välillä 10000-60000 yksikköä, on tunnusomaista, että se ilman muuta liukenee edellä mainittuihin voimakkaasti polaarisiin liuottimiin, jolloin voidaan varmistaa kuivumisen jälkeen syntyvän polyimidikerroksen tarttuminen alusta-materiaaliin ja erityisesti varmuudella välttää sen alustamateriaalilla liukumisen tai 5 siitä irtoamisen vaara siten, että ennen polyimidikerroksen levittämistä levitetään tarttumisen välittäjää, erityisesti organofunktionaalista silaania, jossa on yksi tai useampia aktiivisia pääteryhmiä (kuten esim. aminopropyylitrietoksisilaani, amino-etyyliaminopropyylitrimetoksisilaani tai 3-glysidioksipropyylitrietoksisilaani, jne). Sellaiset organofimktionaaliset silaanit ovat yksinkertaisesti työstettäviä ja niillä on 10 on suuri affiniteetti tavallisesti käytettyihin alustamateriaaleihin, kuten lasiin, keramiikkaan, metalliin, jne., samoin kuin kosteudelle herkän kerroksen valmistamiseen käytettyyn lineaariseen liukenevaan polyimidiin. Sellaisten organofunktionaalisten silaanien hyvän liukenevuuden johdosta, sekä vesipitoisiin että vettä sisältämättömiin liuottimiin, voidaan erityisesti upottamalla, ruiskuttamalla tai linkoamalla levit-15 tää tarttumista välittävän aineen äärimmäisen ohuita kerroksia alustamateriaalille, niin että anturin kokonaispaksuus kasvaa vain epäoleellisesti tarttumista välittävän aineen johdosta.
Polaarisen liuottimen täydellinen poistaminen useammassa vaiheessa esitetyillä läm-20 pötila-alueilla aikaansaa ohuen, homogeenisen polyimidikerroksen alustalle ja poly-imidin tasaisen läpikuivumisen koko pinnalta ja komponentin syvyydeltä. Samalla sellaisella lämpötilakäsittelyllä saavutetaan yllättäen vastus/kosteusominaiskäyrän suurempi linearisointi, jolloin suurin kuivauslämpötila edullisesti valitaan pienem- :.: · mäksi kuin 280 °C, edullisesti noin 260 °C:ksi.
:.j 25
Liittyvän arviointipiirin kustannusten pitämiseksi vähäisinä säädetään edullisesti • · johtavan, paisumiskykyisen muovin ominaisvastus välille 0,5 ohm*cm - 50 kohm*cm, erityisesti välille 5 ohm*cm - 30 kohm*cm.
« · • · • c < 30 Polymeerin tällä tavalla kuivauksen, kiinteyttämisen, ja mahdollisesti kovettamisen \ * avulla suoritetun käsittelyn jälkeen voidaan alustalle ennalta järjestetyt liitoskosket- • · · tunet vapauttaa mekaanisesti, laserin avulla tai plasmaetsauksella ja liittää antun liitoslankoihin.
35 Polymeerimatriisin levittäminen voi tällöin tapahtua välittömästi alustalle tai käyt-·· tämällä välissä tarttumista välittävää ainetta, jolloin resistiivisiä antureita varten myös tähän liittyen polymeerin päälle voidaan valmistaa elektrodistruktuuri höyrys-tämällä tai sputteroimalla, ja mahdollisesti strukturoida se fotolitografisesti. Sellai 5 100618 sen toteutuksen yhteydessä liitoskoskettimia ei enää tarvitse vapauttaa polymeeristä, niin että polymeerin strukturointi voidaan jättää pois.
Keksintöä selitetään lähemmin seuraavassa piirustuksessa kaaviollisesti esitettyjen 5 suoritusesimerkkien avulla. Siinä kuvio 1 esittää keksinnön mukaisen ensimmäisen suoritusmuodon mukaisen kosteusanturin; kuvion 2 leikkauksen pitkin kuvion 1 viivaa II-II kuvion 1 anturin läpi, ja kuvio 3 muunnetun suoritusmuodon samanlaisena esityksenä kuin kuvio 2.
10 Kuvioissa 1, 2 ja 3 on viitenumerolla 1 merkitty eristävä alusta, joka voi muodostua esim. lasista, keramiikasta hapetetusta piikiekosta tai muusta sähköä eristävästä orgaanisesta tai epäorgaanisesta alustamateriaalista. Puhdistetulle ja kuivatulle alustalle 1 levitetään prosessissa katodi-sumutusmenetelmällä ensin NiCr-kerros, jonka vahvuus on 200 nm, ja sen jälkeen Au-kerros, jonka kerrosvahvuus on 150 nm. 15 Tämä NiCr-Au-kerros strukturoidaan sen jälkeen fotolitografisesti toisiinsa lomittuvien kampaelektrodien 2 ja 3 muotoon.
Elektrodein 2 ja 3 varustetulle, puhdistetulle ja kuivatulle, mahdollisesti tarttumista välittävällä aineella käsitellylle alustan eli substraatin pinnalle levitetään täydelli-20 sesti imidisoidussa tilassa olevan polaariseen liuottimeen vielä liukenevan polyimi-din tai kopolyimidin liuosta, joka on tehty johtavaksi lisäämällä liuokseen nokea ' '' noin 6 % polyimidiosuuteen verrattuna ja joka sen jälkeen kuivataan.
: Sen jälkeen ohut polymeerikerros 4 poistetaan joko mekaanisesti tai plasmaetsauk- : : 25 sella tai laserin avulla elektrodien liitäntäpinnoilta, niin että mahdollistetaan elekt- :*·.· rodien 2, 3 kosketuksen muodostaminen liitoslankoihin 5.
• · »·· • · * » · ·
Nokea tai grafiittia lisäämällä johtavaksi tehtyä polyimidikerrosta 4 varten käytetään :·, lineaarista kopolymeeria, jossa on 3,3',4,4'-bentsofenonitetrakarboksyylihappodian- \. 30 hydridia ja 60-100 mooliprosenttia toluyylidiaminia (2,4-ja/tai 2,6-isomeereja) tai toluyylidi-isosyanaattia (2,4- ja/tai 2,6-isomeereja) ja 0-40 mooliprosenttia 4,4-me- • · · tyylibis-(fenyyliamiini) tai 4,4'-metyylibis-(fenyyli-isosyanaatti) voimakkaasti polaarisessa liuottimessa, kuten esim. dimetyyliformamidi, dimetyyliasetamidi, dime-tyylisulfoksidi, N-metyylipyrrolidoni tai sulfolaani. Sellaisen tilastollisen kopoly-35 meerin levittämisen jälkeen, jonka keskipaino on välillä 30000-300000 yksikköä ja keskiluku välillä 10000-60000, kuivataan polyimidi nousevassa lämpötilassa, joka on välillä 105-280 °C, jolloin kuivaaminen tehdään kolmessa vaiheessa ja jokaisessa vaiheessa nostetaan lämpötilaa edellisessä vaiheessa vallinneeseen lämpötilaan näh- 6 100618 den 50-80 °C. Kuivaus tapahtui esim. lämpötiloissa 120 °C, 190 °C ja 260 °C. Lineaarinen polyimidi levitetään liuoksesta upottamalla, ruiskuttamalla tai linkoamalla. Periaatteessa voidaan tilastollista kopolyimidia käsitellä niin, että polyimidikerros 4 valmistetaan suoraan polykondensoitumisella saadusta liuoksesta. Samaten poly-5 imidin voidaan kuitenkin antaa ennalta saostua, jolloin se kuivataan ja varastoidaan, ja sopiva liuos valmistetaan vasta tarpeen mukaan.
Kuvion 3 mukaisessa suoritusmuodossa puhdistetulle ja kuivatulle, mahdollisesti tarttumista välittävällä aineella käsitellylle alustan eli substraatin 1 pinnalle levite-10 tään noella tai grafiitilla johtavaksi tehty polyimidiliuos jälleen linkoamalla, ja kuivataan kiertoilmauunissa kolmessa vaiheessa lämpötiloissa noin 120 °C, 190 °C ja 260 °C.
Tällä tavalla valmistetulle johtavalle, ohuelle polyimidikerrokselle 4 levitetään sen 15 jälkeen prosessissa katodi-sumutusmenetelmällä ensin NiCr-kerros, jonka vahvuus on 200 nm, ja sen jälkeen Au-kerros, jonka kerrosvahvuus on 150 nm. Tämä NiCr-Au-kerros strukturoidaan sen jälkeen fotolitografisesti toisiinsa lomittuvien kampaelektrodien 2 ja 3 muotoon ja saatetaan kosketukseen liitoslankoihin.
20 Linkoamalla ja painamalla saadaan erityisen pieniä kerrosvahvuuksia ja siten suuri vastenopeus, jolloin kyseeseen tulevat paksuusalueet välillä 0,3 pm - 10 pm, edulli- • » : ‘ | sesti välillä 0,5 pm - 2 pm.
• · • · · • ♦ · • · • · · • f ·
• « I
• « « · • .
I · t • · I • » · · • · • · • a · 7 100618 140.00 j %12(12%) 137.50 -· ^,r _r]
R [Ohm] 135.00 -- JOT
^^JD4N(12%) " CT"^ 132.50 1 .nr'
I *" X
I **" 130.00 -I--:-^-i-j-j-.-,--j-1_, 0 1G 20 30 40 50 60 70 80' 90 100
Suht. kosteus (%) 1250.00 -r *· *: Λ^Γ(6%) 1200.00 -- R[Ohm] \ ‘ 1150.00 -- " * * * JOr 1100.00 -I-(-1-1-1-1-1-1-1-(-( 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Suht. kosteus (%)

Claims (7)

100618 8
1. Paisumiskykyisen muovin käyttö resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi, johon muoviin johtavuuden parantamiseksi on dispergoitu lisäaineita, kuten hiilipö- 5 lyä, metallipölyä tai vastaavaa, tunnettu siitä, että paisumiskykyisenä muovina käytetään polyimidia ja/tai kopolyimidia.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen käyttö, tunnettu siitä, että johtavuuslisäainee-na käytetään jopa 50 painoprosenttia grafiittia tai 3-15 painoprosenttia nokea, joiden 10 ominaisala on suurempi kuin 100 m^/g, erityisesti 1000 m^/g.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen käyttö, tunnettu siitä, että johtavuuslisä-aineita käytetään dispergointiaineiden, kuten siloksaanien, kanssa ja että niiden suurin hiukkaskoko on 25 pm. 15
4. Menetelmä resistiivisen kosteusanturin valmistamiseksi, tunnettu siitä, että dianhydridi- tai isosyanaattipolyimidia liuotetaan liuottimeen, kuten esim. N-metyy-lipyrrolidoniin, että liuokseen sen jälkeen dispergoidaan ja saatetaan homogeenisesti jakaantumaan johtavuuslisäaineita, kuten nokea, ja että liuos sen jälkeen levitetään 20 inertille alustalle (1) ja lopuksi kuivataan.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kuivaaminen suoritetaan ainakin kahdessa vaiheessa, jolloin ensimmäisessä vaiheessa kuivaus suoritetaan lämpötilassa välillä 80-140 °C, erityisesti 120 °C:ssa, ja jokaisessa seu- 25 raavassa vaiheessa 50-80 °C:lla nostetussa lämpötilassa.
• · • · · • · · • · :*·*: 6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että suurimmaksi kuivauslämpötilaksi valitaan alle 280 °C, edullisesti noin 260 °C. • · • · • « \.:.m 30
7. Patenttivaatimuksen 4, 5 tai 6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että johta- • · · \ van, paisumiskykyisen muovin ominaisvastus säädetään välille 0,5 ohm*cm - 50 kohm*cm, erityisesti välille 5 ohm*cm - 30 kohm*cm. « » 9 100618
FI920917A 1989-08-29 1992-02-28 Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusant urin valmistamiseksi FI100618B (fi)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT203389 1989-08-29
AT203389 1989-08-29
AT57190 1990-03-09
AT57190A AT403527B (de) 1990-03-09 1990-03-09 Resistiver feuchtigkeitssensor auf der basis eines quellfähigen kunststoffes, sowie verfahren zur herstellung eines resistiven feuchtigkeitssensors
PCT/AT1990/000084 WO1991003734A1 (de) 1989-08-29 1990-08-29 Verwendung eines quellfähigen kunststoffes, sowie verfahren zur herstellung eines resistiven feuchtigkeitssensors
AT9000084 1990-08-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI920917A0 FI920917A0 (fi) 1992-02-28
FI100618B true FI100618B (fi) 1998-01-15

Family

ID=25593192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI920917A FI100618B (fi) 1989-08-29 1992-02-28 Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusant urin valmistamiseksi

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5348761A (fi)
EP (1) EP0489826B1 (fi)
JP (1) JPH05506711A (fi)
DE (1) DE59010077D1 (fi)
FI (1) FI100618B (fi)
WO (1) WO1991003734A1 (fi)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177662A (en) * 1992-02-05 1993-01-05 Johnson Service Company Capacitance humidity sensor
DK90192D0 (da) * 1992-07-09 1992-07-09 Rasmussen Kann Ind As Elektrisk regnfoeler og fremgangsmaade til fremstilling af et foelerelement dertil
US5821129A (en) * 1997-02-12 1998-10-13 Grimes; Craig A. Magnetochemical sensor and method for remote interrogation
US5804721A (en) * 1997-02-14 1998-09-08 Yankielun; Norbert E. Capacitor for water leak detection in roofing structures
DE19708529C1 (de) * 1997-03-03 1998-07-30 Sze Spezial Elektronik Hagenuk Fluidsensor für flüssige und gasförmige organische Verbindungen sowie Verfahren zu seiner Herstellung
WO1999001733A1 (en) * 1997-07-02 1999-01-14 Duracell Inc. Organic solvent vapor detector
DE69838727T2 (de) * 1997-07-07 2008-03-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Ptc thermistorchip sowie seine herstellungsmethode
DE29822007U1 (de) 1998-12-10 1999-04-08 Bischoff Robert Elektrodenanordnung für ein elektrisches Bauelement und als Träger für Sensoren
US6397661B1 (en) 1998-12-30 2002-06-04 University Of Kentucky Research Foundation Remote magneto-elastic analyte, viscosity and temperature sensing apparatus and associated methods of sensing
US6359444B1 (en) 1999-05-28 2002-03-19 University Of Kentucky Research Foundation Remote resonant-circuit analyte sensing apparatus with sensing structure and associated method of sensing
KR100351810B1 (ko) * 1999-12-13 2002-09-11 엘지전자 주식회사 절대습도센서
US6688162B2 (en) 2000-10-20 2004-02-10 University Of Kentucky Research Foundation Magnetoelastic sensor for characterizing properties of thin-film/coatings
US6450015B1 (en) 2000-12-08 2002-09-17 Eastman Kodak Company Ambient condition sensor for a photosensitive media cartridge
US6639402B2 (en) 2001-01-31 2003-10-28 University Of Kentucky Research Foundation Temperature, stress, and corrosive sensing apparatus utilizing harmonic response of magnetically soft sensor element (s)
DE10131810A1 (de) * 2001-06-30 2003-02-27 Clariant Gmbh Verfahren zur Herstellung von optisch aktiven Cyanhydrinen und deren korrespondierenden Säuren
DE10164911B4 (de) * 2001-10-06 2007-07-05 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Messung einer Komponente eines Gasgemisches
DE10149333B4 (de) * 2001-10-06 2007-06-28 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Messung der Feuchtigkeit von Gasen
US7176344B2 (en) * 2002-09-06 2007-02-13 Sca Hygiene Products Ab Sensoring absorbing article
JP3855950B2 (ja) * 2003-03-19 2006-12-13 株式会社デンソー 容量式湿度センサ
EP1580702A1 (en) 2004-03-25 2005-09-28 IBM Corporation wireless service purchasing system
DE102006042605B4 (de) 2006-09-11 2020-01-16 Robert Bosch Gmbh Sensorelement für Gassensoren und Verfahren zum Betrieb desselben
WO2009072682A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-11 Byoung Hwan Choi A leakage sensor using sponge paper and a cutoff valve using that
US8565927B1 (en) * 2009-02-03 2013-10-22 Green Badge LLC Irrigation interrupter
US8978452B2 (en) 2011-08-11 2015-03-17 3M Innovative Properties Company Wetness sensor using RF circuit with frangible link
US9681996B2 (en) 2011-08-11 2017-06-20 3M Innovative Properties Company Wetness sensors
CN104519846B (zh) * 2012-06-15 2018-03-09 It健康有限公司 利用了导电性纤维状导线的大小便检测传感器及检测装置
US9304098B2 (en) 2013-02-04 2016-04-05 Veris Industries, Llc Capacitive humidity sensor with hysteresis compensation
DE102013110291A1 (de) * 2013-03-06 2014-09-11 Heraeus Sensor Technology Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Rußsensors mit einem Laserstrahl
US10782261B2 (en) * 2014-03-25 2020-09-22 The Procter & Gamble Company Apparatus for sensing environmental humidity changes
JP6448007B2 (ja) * 2014-07-23 2019-01-09 国立研究開発法人物質・材料研究機構 高速応答・高感度乾湿応答センサー
EP3078964B1 (en) * 2015-04-09 2017-05-24 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor and method
CN115508027A (zh) * 2015-06-30 2022-12-23 美国圣戈班性能塑料公司 泄漏检测系统
CN106092203B (zh) * 2016-07-26 2018-10-26 华南师范大学 一种多功能传感器设备及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE234789C (fi) *
US3582728A (en) * 1969-03-06 1971-06-01 Johnson Service Co Capacitance humidity sensing element
JPS5431715B2 (fi) * 1972-09-20 1979-10-09
GB1464605A (en) * 1973-08-14 1977-02-16 Nippon Sheet Glass Co Ltd Humidity-sensitive sensor
JPS52131198A (en) * 1976-04-27 1977-11-02 Toshiba Corp Moisture sensitive element
EP0076131B1 (en) * 1981-09-28 1986-04-09 Hitachi, Ltd. Humidity sensor and method for preparing a humidity sensor
JPS6156952A (ja) * 1984-08-28 1986-03-22 Sharp Corp 感湿抵抗素子
JPS63127150A (ja) * 1986-11-17 1988-05-31 Seiko Epson Corp 湿度センサ
US4761710A (en) * 1987-06-23 1988-08-02 Industrial Technology Research Institute Polyimide capacitive humidity sensing element
KR940002635B1 (ko) * 1988-06-27 1994-03-26 세이꼬 엡슨 가부시끼가이샤 습도 센서
GB2222261B (en) * 1988-08-22 1992-09-16 Seiko Epson Corp Humidity measuring apparatus
DE3919864A1 (de) * 1989-06-19 1990-12-20 Testoterm Mestechnik Gmbh & Co Kapazitiver feuchtesensor
US4965698A (en) * 1989-09-27 1990-10-23 Johnson Service Company Capacitance humidity sensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE59010077D1 (de) 1996-02-29
EP0489826A1 (de) 1992-06-17
FI920917A0 (fi) 1992-02-28
EP0489826B1 (de) 1996-01-17
US5348761A (en) 1994-09-20
WO1991003734A1 (de) 1991-03-21
JPH05506711A (ja) 1993-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI100618B (fi) Paisumiskykyisen muovin käyttö sekä menetelmä resistiivisen kosteusant urin valmistamiseksi
FI94556C (fi) Hygrometri
FI84862B (fi) Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav.
TW200426857A (en) Resistor compositions having a substantially neutral temperature coefficient of resistance and methods and compositions relating thereto
KR940002635B1 (ko) 습도 센서
WO2001075940A2 (en) Electronic device and process of making electronic device
WO1995030231A1 (en) Capacitive humidity sensor with polyimide dielectric
WO2007102262A1 (ja) 湿度センサ
JP2011223030A (ja) 電気部品及びその製造方法
US4142400A (en) Nitrogen dioxide sensing element and method of sensing the presence of nitrogen dioxide
EP1369683A4 (en) MOISTURE SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
KR20090063623A (ko) 전도성 재료 및 그 제조방법
WO1993016377A1 (en) Humidity sensor and its manufacture
JPH04285819A (ja) 抵抗素子
JP2005003543A (ja) 湿度センサ用感湿素子
JPH05505234A (ja) 膨潤性プラスチックの用法と容量性湿度センサの製造方法
JP2015007618A (ja) 容量型ガスセンサ及びその製造方法
JP2004177405A (ja) 電気容量式湿度検知素子及び電気容量式湿度検知素子の製造方法
Li et al. Miniature humidity micro-sensor based on organic conductive polymer–poly (3, 4-ethylenedioxythiophene)
Nevrela et al. Body temperature sensor based on PEDOT: PSS
Lin et al. Preparation and properties of conductive polyimide films
JPH06287448A (ja) 高分子複合圧電体及びその製造方法
EP0123954B1 (en) Structure containing a layer consisting of polyimide and an inorganic filler and method for producing such a structure
SU603353A3 (ru) Материал дл изготовлени контактного покрыти конденсаторов
Janoska et al. Thick film temperature sensors using standard pastes

Legal Events

Date Code Title Description
GB Transfer or assigment of application

Owner name: E + E ELEKTRONIK GESELLSCHAFT M.B.H.

MA Patent expired