ES2846834T3 - Unidad de bomba y procedimiento para fabricar la misma - Google Patents

Abstract

Una unidad de bomba (1), que comprende: una bomba (2; 42) que incluye un elemento piezoeléctrico (4) y un mecanismo de descarga (5; 45) para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico (4); y un mecanismo de válvula (3; 43) unido a la bomba (2; 42), en el que: el mecanismo de descarga (5; 45) incluye un cuerpo de la bomba (8; 48), un diafragma del lado de la bomba (9; 49) que define una cámara de la bomba (S1) en cooperación con el cuerpo de la bomba (8; 48), al menos una válvula de entrada de flujo (14; 50) que se dispone en un paso de entrada de flujo (13; 56) definido en el cuerpo de la bomba (8; 48) y que se conecta con la cámara de la bomba (S1), y una válvula de salida de flujo (17; 51) que se dispone en un paso de salida de flujo (16; 58) definido en el cuerpo de la bomba (8; 48) y que se conecta con la cámara de la bomba (S1); el mecanismo de válvula (3; 43) incluye un cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) que se conecta con el paso de entrada de flujo (13; 56), y un paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53) que se conecta con el paso de salida de flujo (16; 58); se permite que la válvula de entrada de flujo (14; 50) se abra cuando la presión en un lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo (14; 50) es mayor que la presión en la cámara de la bomba (S1); se permite que la válvula de salida de flujo (17; 51) se abra cuando la presión en la cámara de la bomba (S1) es mayor que la presión en el lado de aguas abajo de la válvula de salida de flujo (17; 51); y el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43) incluyen cada uno una pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37; 22 a 24, 65 a 76) apiladas en una dirección de apilamiento predeterminada y unidas entre sí por soldadura por difusión, asegurándose el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43) entre sí mediante soldadura por difusión, caracterizada porque el mecanismo de válvula (3; 43) incluye además un diafragma del lado de la válvula (7; 47) dispuesto en el cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) y que divide el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53), en el que el diafragma del lado de la válvula (7; 47) puede restringir el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53) cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) es mayor que una presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53).

Description

DESCRIPCIÓN

Unidad de bomba y procedimiento para fabricar la misma

Campo técnico

La presente invención se refiere a una unidad de bomba que incluye una bomba de desplazamiento positivo para descargar fluido que cambia el volumen en una cámara de bomba y un mecanismo de válvula para restringir el flujo de fluido a través de la bomba cuando aumenta la presión en el lado de aguas arriba de la bomba.

Antecedentes de la técnica

Como ejemplo de la unidad de bomba mencionada anteriormente, se conoce un conjunto de microbomba divulgado en el documento de patente 1.

El conjunto incluye una bomba que tiene un elemento piezoeléctrico y un mecanismo de descarga para descargar el fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico, una placa basal a la que se une la bomba y una junta dispuesta entre la bomba y la placa basal.

El mecanismo de descarga incluye un cuerpo de bomba, un diafragma del lado de la bomba que define una cámara de bomba en cooperación con el cuerpo de la bomba, una válvula de entrada de flujo que se dispone en un paso de entrada de flujo definido en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba, y una válvula de salida de flujo que se dispone en un paso de salida de flujo definido en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba.

El diafragma del lado de la bomba vibra de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico para aumentar y reducir repetidamente el volumen de la cámara de la bomba.

La válvula de entrada de flujo se abre cuando la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo es mayor que la presión en la cámara de la bomba. La válvula de salida de flujo se abre cuando la presión en la cámara de la bomba es mayor que la presión en el lado de aguas abajo de la válvula de salida de flujo.

Por lo tanto, cuando el volumen en la cámara de la bomba aumenta debido a la vibración del diafragma del lado de la bomba, la válvula de entrada de flujo se abre y la válvula de salida de flujo se cierra para succionar fluido hacia la cámara de la bomba a través del paso de entrada de flujo. Por otro lado, cuando el volumen en la cámara de la bomba disminuye debido a la vibración del diafragma del lado de la bomba, la válvula de entrada de flujo se cierra y la válvula de salida de flujo se abre para hacer que el fluido salga de la cámara de la bomba a través del paso de salida de flujo.

Como se mencionó anteriormente, la válvula de entrada de flujo y la válvula de salida de flujo se abren cuando la presión en su lado aguas arriba es mayor que la presión en su lado aguas abajo y, por lo tanto, cuando la presión en el lado aguas arriba de la bomba aumenta, el fluido puede indeseablemente se haga fluir a través del paso de salida de flujo.

En consecuencia, la placa basal incluye un mecanismo de válvula para restringir el flujo de fluido cuando aumenta la presión en el conducto de entrada.

Específicamente, el mecanismo de válvula incluye un cuerpo de mecanismo de válvula que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo que se conecta con el paso de entrada de flujo, y un paso de conexión del lado de salida de flujo que se conecta con el paso de salida de flujo, y un diafragma del lado de la válvula dispuesto en el cuerpo del mecanismo de válvula y que divide el paso de conexión del lado de entrada de flujo del paso del lado de salida de flujo.

Cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida, la diferencia de presión hace que el diafragma del lado de la válvula se empuje en una dirección para cerrar el paso de conexión del lado de salida de flujo. En consecuencia, el flujo de fluido a través del paso del lado de salida de flujo se restringe cuando aumenta la presión en el lado de aguas arriba de la bomba.

Sin embargo, en la unidad de bomba divulgada en el documento de patente 1, la bomba está unida al mecanismo de válvula (placa basal) a través de la junta. La junta se proporciona para sellar la unión entre la bomba y el mecanismo de válvula, y se forma al suministrar elastómero sin curar mediante serigrafía y que calienta posteriormente el elastómero sin curar para curarlo.

Por lo tanto, la provisión de la junta en la unidad de bomba del documento de Patente 1 da como resultado un aumento en el número de componentes y requiere una etapa para formar la junta en la junta entre la bomba y el mecanismo de válvula, lo que complica el proceso de fabricación.

El documento de patente 2 divulga una unidad de bomba de acuerdo con el preámbulo de la reivindicación 1.

Lista de referencias

Literatura de patentes

Documento de Patente 1: Publicación de patente japonesa no examinada núm. 2013-117213 Documento de patente 2: US 20140248170 A1

Sumario de la invención

Un objeto de la presente invención es proporcionar una unidad de bomba con un número reducido de componentes y capaz de simplificar un proceso de fabricación de la misma, y un procedimiento para fabricar la unidad de bomba.

Para lograr el objeto mencionado anteriormente, la presente invención proporciona una unidad de bomba, que comprende: una bomba que incluye un elemento piezoeléctrico y un mecanismo de descarga para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico; y un mecanismo de válvula unido a la bomba, en el que: el mecanismo de descarga incluye un cuerpo de bomba, un diafragma del lado de la bomba que define una cámara de bomba en cooperación con el cuerpo de la bomba, al menos una válvula de entrada de flujo que se dispone en un paso de entrada de flujo definida en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba, y una válvula de salida de flujo que se dispone en un paso de salida de flujo definido en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba; el mecanismo de válvula incluye un cuerpo del mecanismo de válvula que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo que se conecta con el paso de entrada de flujo y un paso de conexión del lado de salida de flujo que se conecta con el paso de salida de flujo, y un diafragma del lado de la válvula dispuesto en el mecanismo de válvula cuerpo y dividir el paso de conexión del lado de entrada de flujo del paso de conexión del lado de salida de flujo; se permite que la válvula de entrada de flujo se abra cuando la presión en un lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo es mayor que la presión en la cámara de la bomba; se permite que la válvula de salida de flujo se abra cuando la presión en la cámara de la bomba es mayor que la presión en un lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo; se permite que el diafragma del lado de la válvula restrinja el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo cuando una presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de fluido; y el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula incluyen cada uno una pluralidad de piezas de capa metálica apiladas en una dirección de apilamiento predeterminada y unidas entre sí mediante soldadura por difusión, el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula se aseguran entre sí mediante soldadura por difusión.

Además, un procedimiento para fabricar una unidad de bomba de acuerdo con la presente invención comprende: una etapa de preparación para preparar una pluralidad de piezas de capa metálica para formar el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula; una etapa de unión para unir la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión; y una etapa de fijación para fijar el elemento piezoeléctrico al mecanismo de descarga.

De acuerdo con la presente invención, es posible proporcionar una unidad de bomba con un número reducido de componentes y simplificar un procedimiento para fabricar la unidad de bomba.

Breve descripción de los dibujos

La Figura 1 es una vista en perspectiva que muestra una configuración general de una unidad de bomba de acuerdo con una primera realización de la presente invención.

La Figura 2 es una vista en planta de la unidad de bomba mostrada en la Figura 1.

La Figura 3 es una vista en sección tomada a lo largo de la línea MI-MI de la Figura. 2.

La Figura 4 es una vista en sección que muestra el funcionamiento de la unidad de bomba mostrada en la Figura 2, la vista que muestra un estado en el que se ha hecho que el fluido fluya hacia una cámara de bomba.

La Figura 5 es una vista en sección que muestra el funcionamiento de la unidad de bomba mostrada en la Figura 2, la vista que muestra un estado en el que se ha hecho que el fluido salga de la cámara de la bomba.

La Figura 6 es una vista en sección que muestra el funcionamiento de la unidad de bomba mostrada en la Figura 2, la vista que muestra un estado en el que el flujo de fluido está restringido por un diafragma del lado de la válvula.

La Figura 7 es una vista en perspectiva despiezada de la unidad de bomba mostrada en la Figura 1.

La Figura 8 es una vista en perspectiva despiezada de una sección de la cámara mostrada en la Figura 7.

La Figura 9 es una vista en perspectiva despiezada de una sección intermedia mostrada en la Figura 7.

La Figura 10 es una vista en perspectiva despiezada de una sección del cuerpo de válvula mostrada en la Figura 7.

La Figura 11 es una vista en sección ampliada que muestra parte de la Figura. 2.

La Figura 12 es una vista en planta que muestra un ejemplo de una placa de metal articulada que se puede usar para fabricar la unidad de bomba de acuerdo con la primera realización.

La Figura 13 muestra una modificación de la primera forma de realización, la Figura. 13 correspondiente a la Figura.

2.

La Figura 14 muestra una modificación de la primera forma de realización, la Figura. 14 correspondiente a la Figura.

2.

La Figura 15 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la presión (contrapresión) de la unidad de bomba de acuerdo con la primera realización.

La Figura 16 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la frecuencia de la unidad de bomba de acuerdo con la primera realización.

La Figura 17 es un gráfico que muestra una relación entre el tiempo y el caudal para explicar el escape de aire de la unidad de bomba de acuerdo con la primera realización.

La Figura 18 es una vista en perspectiva despiezada de una sección intermedia de una unidad de bomba de acuerdo con una segunda realización de la presente invención.

La Figura 19 es una vista en perspectiva despiezada de una sección de cuerpo de válvula de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización de la presente invención.

La Figura 20 muestra una vista en sección tomada a lo largo de la línea XX de la Figura. 18 y una vista en sección por la línea XX de la Figura. 19 juntas.

La Figura 21 es una vista en sección tomada a lo largo de la línea XXI de la Figura. 18 con una sección de cámara mostrada adicionalmente.

La Figura 22 es una vista en planta que muestra una válvula de flujo de entrada de flujo en la primera realización. La Figura 23 es una vista en planta que muestra una válvula de entrada de flujo en la segunda realización. La Figura 24 es una vista en planta que muestra las piezas de capa metálica decimocuarta a decimosexta en la sección del cuerpo de la válvula en la primera realización como se ve desde el diafragma del lado de la válvula. La Figura La Figura 25 es una vista en planta que muestra la decimocuarta y decimoquinta pieza de capa metálica en la sección del cuerpo de la válvula en la segunda realización como se ve desde un diafragma del lado de la válvula.

La Figura 26 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la presión (contrapresión) de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización.

La Figura 27 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la frecuencia de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización.

La Figura 28 es una vista en planta que muestra una modificación de la válvula de entrada de flujo de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización.

La Figura 29 es una vista en planta que muestra una modificación de la válvula de entrada de flujo de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización.

La Figura 30 es una vista en planta que muestra una modificación de la válvula de entrada de flujo de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización.

Descripción de las realizaciones

A continuación, se describirán realizaciones de la presente invención con referencia a los dibujos adjuntos. Se debe señalar que las siguientes realizaciones ilustran ejemplos de la invención y no limitan el alcance de protección de la invención.

<Primera realización (Figuras 1 a 12)>

Se describirá una unidad de bomba 1 de acuerdo con una primera realización de la presente invención con referencia a las Figuras. 1 a 3. Se debe señalar que la Figura 2 es una vista en planta de la unidad de bomba 1 mostrada en la Figura 1 con un elemento piezoeléctrico 4 eliminado.

La unidad de bomba 1 incluye una bomba 2 para descargar fluido, y un mecanismo de válvula 3 para restringir el flujo de fluido a través de la bomba 2 cuando aumenta la presión del fluido en el lado corriente arriba de la bomba 2.

La bomba 2 incluye el elemento piezoeléctrico 4 y un mecanismo de descarga 5 para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico 4.

El mecanismo de descarga 5 incluye un cuerpo de bomba 8, un diafragma del lado de bomba 9 que define una cámara de bomba S1 en cooperación con el cuerpo de bomba 8, cuatro válvulas de entrada de flujo 14 que se disponen respectivamente en conductos de entrada (solo se muestra una de ellas). en la Figura 3) 13 formada en el cuerpo de bomba 8 y que se conecta con la cámara de bomba S1, y una válvula de salida de flujo 17 que se dispone en un paso de salida de flujo 16 formado en el cuerpo de bomba 8 y que se conecta con la cámara de bomba S1 .

La cámara de bomba S1 es un espacio (véase la Figura 2) que tiene una forma sustancialmente circular en vista en planta. El paso de salida de flujo 16 se conecta a un centro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta. Los cuatro pasos de entrada de flujo 13 se proporcionan cada 90 grados alrededor de un eje central J (véase la Figura 3) de la cámara de bomba S1. Cada paso de entrada de flujo 13 tiene, en la vista en planta que mira la unidad de bomba 1 a lo largo del eje central J (eje que se extiende en una dirección de apilamiento de las piezas de capa metálica 22 a 37 descrita más adelante), una porción que se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 y una porción que se encuentra fuera de la cámara de bomba S1. El paso de salida de flujo 16 se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta.

El cuerpo de la bomba 8 incluye asientos de válvula de entrada de flujo 15 para cerrar los pasos de entrada de flujo 13 en cooperación con las válvulas de entrada de flujo 14, y un asiento de válvula de salida de flujo 18 para cerrar el paso de salida de flujo 16 en cooperación con la válvula de salida de flujo 17.

Cuando la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 14 es igual o menor que la presión en la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 14 entra en estrecho contacto con el asiento de válvula de entrada de flujo 15 para cerrar el paso de entrada de flujo 13. Por otro lado, cuando la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 14 es mayor que la presión en la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 14 se deforma elásticamente para separarse del asiento de válvula de entrada de flujo 15 para abrir el paso de entrada de flujo 13.

Cuando la presión en la cámara de la bomba S1 es igual o menor que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 17, la válvula de salida de flujo 17 entra en estrecho contacto con el asiento de válvula de salida de flujo 18 para cerrar el paso de salida de flujo 16. Por otro lado, cuando la presión en la cámara de bomba S1 es mayor que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 17, la válvula de salida de flujo 17 se deforma elásticamente para separarse del asiento 18 de la válvula de salida de flujo para abrirse. el paso de salida de flujo 16.

El mecanismo de válvula 3 incluye un cuerpo de mecanismo de válvula 6 que tiene un paso de conexión del lado de entrada 10 que se conecta con los pasos de entrada de flujo 13 de la bomba 2 y un paso de conexión del lado de salida de flujo 11 que se conecta con el paso de salida de flujo 16 de la bomba 2, y un diafragma del lado de la válvula 7 dispuesto en el cuerpo 6 del mecanismo de válvula y que divide el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

El diafragma del lado de la válvula 7 se dispone concéntricamente con el diafragma del lado de la bomba 9, y se dispone dentro de la cámara de la bomba S1 en la vista en planta (véase la Figura 2). Además, el diafragma del lado de la válvula 7 se dispone en paralelo al diafragma del lado de la bomba 9. Cada uno de los pasos de entrada de flujo 13 y el paso de salida de flujo 16 de la bomba 2 se dispone entre los diafragmas 7 y 9.

El paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 se extiende desde los conductos de entrada 13 de la bomba 2 hasta una posición en el lado opuesto del diafragma del lado de la válvula 7 de la bomba 2 mientras pasa por alto el diafragma del lado de la válvula 7, y está abierto en una superficie de extremo del cuerpo del mecanismo de válvula 6 en el lado opuesto de la bomba 2.

Específicamente, el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 incluye cuatro porciones conectadas (sólo una de las cuales se muestra en la Figura 3) 10d que conecta respectivamente con los cuatro pasos de entrada de flujo 13 del cuerpo de bomba 8, las primeras porciones de extensión 10c cada una se extiende desde una porción extrema de la porción conectada 10d que se encuentra más alejada del eje central J, las primeras porciones de extensión 10c se extienden en paralelo al eje central J, las segundas porciones de extensión 10b se extienden cada una desde la primera porción de extensión 10c en una dirección hacia el eje central J, y una porción de entrada de flujo 10a que se conecta con las cuatro segundas porciones de extensión 10b. Por lo tanto, el fluido que se hace fluir a través de la porción de entrada de flujo 10a fluye por separado a las cuatro segundas porciones de extensión 10b para ser guiado a los pasos de entrada de flujo 13 de la bomba 2 a través de las segundas porciones de extensión 10b, las primeras porciones de extensión 10c y las porciones conectadas 10d.

Aquí, en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, porción de cada porción conectada 10d, la totalidad de las primeras porciones de extensión 10c y porción de cada segunda porción de extensión 10b se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta, y la otra porción se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta.

Por otro lado, el paso de conexión del lado de salida de flujo 11 se extiende desde el paso de salida de flujo 16 de la bomba 2 hacia el diafragma del lado de la válvula 7, luego se extiende a lo largo de una superficie del diafragma del lado de la válvula 7 en una dirección alejada del eje J, y luego pasa por el diafragma del lado de la válvula 7 para abrirse en una superficie de extremo del cuerpo 6 del mecanismo de válvula opuesta a la bomba 2.

Específicamente, el paso de conexión del lado de salida de flujo 11 incluye una porción conectada 11a que se conecta con el paso de salida de flujo 16 del cuerpo de bomba 8, una primera porción de extensión 11b que se extiende desde un extremo de la porción conectada 11a que se encuentra más cerca del diafragma del lado de la válvula 7 en la dirección que se aleja del eje central J, dos segundas porciones de extensión (sólo una de las cuales se muestra en la Figura 3) 11c, cada una que conecta con un extremo de la primera porción de extensión 11b que se encuentra más lejos del eje central J y en paralelo al eje central J, y una porción de salida de flujo 11d que fusiona las porciones de extensión 11c. El fluido que sale de la cámara de bomba S1 a la porción conectada 11a fluye por separado a las dos segundas porciones de extensión 11c a través de la primera porción de extensión 11b, y los dos flujos se unen en la porción de salida de flujo 11d para hacer que salga. Además, en la porción conectada 11a, se proporciona un tapón 12 para mantener la válvula de salida de flujo 17 en una posición abierta predeterminada cuando la válvula de salida de flujo 17 está abierta.

Aquí, en el paso de conexión del lado de salida de flujo 11, porción de la primera porción de extensión 11b, la totalidad de las segundas porciones de extensión 11c y parte de la porción de salida de flujo 11d se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta, y la otra porción se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta.

El diafragma del lado de la válvula 7 funciona como una pared que define parte del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 (parte de la porción de entrada de flujo 10a y las segundas porciones de extensión 10b), y también funciona como una pared que define parte del paso de conexión del lado de salida de flujo 11 (parte de la porción conectada 11a y la porción de extensión 11b).

Además, el cuerpo 6 del mecanismo de válvula incluye un asiento de válvula 38 operable para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula 7 para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

El diafragma del lado de la válvula 7 se separa del asiento de válvula 38. Además, el diafragma del lado de la válvula 7 tiene una elasticidad para deformarse elásticamente para entrar en contacto con el asiento de válvula 38 cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 es igual o mayor que una presión de referencia predeterminada que es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

Por lo tanto, se permite que el fluido fluya a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 11 cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 es menor que la presión de referencia, y el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 11 es menor que la presión de referencia se restringe cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 es igual o mayor que la presión de referencia.

A continuación, se describirá el funcionamiento de la unidad de bomba 1 con referencia a las Figuras. 3 a 6.

En un estado detenido de la unidad de bomba 1 mostrada en la Figura 3, se suministra una corriente alterna al elemento piezoeléctrico para hacer que el diafragma del lado de la bomba 9 vibre con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico.

Específicamente, como se muestra en la Figura 4, cuando el diafragma del lado de la bomba 9 se desplaza en una dirección para expandir la cámara de la bomba S1, la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 14 se vuelve mayor que la presión en la cámara de la bomba S1 para permitir que la válvula de entrada de flujo 14 se abra, mientras que la presión en la cámara de la bomba S1 se vuelve más pequeña que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 17 para permitir que la válvula de salida de flujo 17 se cierre. Esto permite que el fluido fluya (sea aspirado) hacia la cámara de la bomba S1.

Por otro lado, como se muestra en la Figura 5, cuando el diafragma del lado de la bomba 9 se desplaza en una dirección para contraer la cámara de la bomba S1, la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 14 se vuelve más pequeña que la presión en la cámara de la bomba S1 para permitir la válvula de entrada de flujo 14 para cerrar, mientras que la presión en la cámara de la bomba S1 se vuelve mayor que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 17 para permitir que la válvula de salida de flujo 17 se abra. Esto permite que el fluido salga de la cámara de la bomba S1.

Aquí, se define un espacio entre el diafragma del lado de la válvula 7 y el asiento de válvula 38. Por lo tanto, es posible evitar una pérdida de presión cuando se hace que el fluido salga, a diferencia de un caso en el que el diafragma del lado de la válvula 7 se dispone en estrecho contacto con el asiento de válvula 38 por adelantado de tal manera que se abra cuando la presión aumenta el paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

Además, como se muestra en la Figura 6, cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 se vuelve igual o mayor que la presión de referencia, el diafragma del lado de la válvula 7 se deforma elásticamente para entrar en estrecho contacto con el asiento de válvula 38, para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

Se debe señalar que los lados opuestos del diafragma del lado de la válvula 7 están configurados para tener áreas receptoras de presión iguales, pero el diafragma del lado de la válvula 7 se deforma elásticamente de manera confiable cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 es igual o mayor la presión de referencia. La razón es que se produce una pérdida de presión en el propio paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y en la apertura de la válvula de entrada de flujo 14 y la válvula de salida de flujo 17, lo que crea una diferencia de presión correspondiente a la presión de referencia entre en el paso de conexión del lado 10 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 11. El área de apertura del asiento de válvula 38 es más pequeña que el área de recepción de presión del lado del diafragma del lado de la válvula 7 que está más cerca del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y, por lo tanto, en un estado en el que el diafragma del lado de la válvula 7 está en estrecho contacto con el asiento de válvula 38, una fuerza actúa en una dirección para empujar el diafragma del lado de la válvula 7 contra el asiento de válvula 38 de acuerdo con la diferencia en el área de recepción de presión entre el lado de entrada y el lado de salida del diafragma del lado de la válvula 7.

Como se muestra en la Figura 3, el mecanismo de descarga 5 y el mecanismo de válvula 3 de la unidad de bomba 1 se forman por separado al unir la pluralidad de piezas de capa metálica 22 a 37 apiladas en la dirección de apilamiento coincidente con el eje central J mediante soldadura por difusión, y se aseguran a cada una de ellas. otros por soldadura por difusión.

Específicamente, el mecanismo de descarga 5 se forma por las piezas de capa metálica 22 a 28, y el mecanismo de válvula 3 se forma por las piezas de capa metálica 29 a 37.

Con referencia a las Figuras 3 y 8, la primera pieza 22 de capa metálica incluye una abertura pasante 22a que tiene una forma circular y que pasa a través de la primera pieza 22 de capa metálica en la dirección de apilamiento, y cuatro porciones de expansión 22b que se extienden cada una desde la abertura pasante 22a en forma radial hacia la dirección exterior del mismo.

La abertura pasante 22a define un área móvil para el diafragma del lado de la bomba 9 en la segunda pieza 23 de capa metálica. Además, el elemento piezoeléctrico 4 se dispone en la abertura pasante 22a (véase la Figura 3).

Las porciones de expansión 22b están previstas para conectar el elemento piezoeléctrico 4 y una fuente de alimentación. Específicamente, como se muestra en la Figura 11, la segunda pieza de capa metálica 23 tiene una superficie (una superficie lateral opuesta a la cámara de bomba S1) formada con una capa conectada 23b a través de una capa aislante 23a. Una primera porción de conexión 4a dispuesta en el elemento piezoeléctrico 4 está eléctricamente conectada a la capa conectada 23b, y una segunda porción de conexión 4b se dispone en una superficie lateral del elemento piezoeléctrico 4 opuesta a la primera porción de conexión 4a. Las porciones de expansión 22b exponen la capa conectada 23b en los lados laterales del elemento piezoeléctrico 4. Esto hace posible conectar un electrodo de la fuente de energía (mostrado sin un carácter de referencia) a la capa conectada 23b, y el otro electrodo de la fuente de energía a la segunda porción de conexión 4b.

De nuevo con referencia de nuevo a las Figuras. 3 y 8, la segunda pieza de capa metálica (pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba) 23 incluye el diafragma del lado de la bomba 9.

La tercera pieza de capa metálica (pieza de capa metálica de la cámara de la bomba) 24 incluye una abertura pasante (abertura de la cámara de la bomba) 24a que define la cámara de la bomba S1.

Con referencia a las Figuras 3 y 9, la cuarta pieza 25 de capa metálica incluye cuatro aberturas pasantes 25a, cada una de las cuales constituye parte del paso de entrada de flujo 13 y una abertura pasante 25b que constituye parte del paso de salida de flujo 16. Cada abertura pasante 25a define un espacio para permitir que la válvula de entrada de flujo 14 se deforme elásticamente hacia la cámara de la bomba.

La quinta pieza de capa metálica 26 incluye las cuatro válvulas de entrada de flujo 14 mencionadas anteriormente y una abertura pasante 26a que constituye parte del paso de salida de flujo 16.

La sexta pieza de capa metálica 27 incluye una abertura pasante 27a que constituye parte del paso de salida de flujo 16. Una superficie lateral de la sexta pieza de capa metálica 27 se forma con los cuatro asientos de válvula de entrada de flujo 15 antes mencionados, y la otra superficie lateral de la sexta pieza de capa metálica 27 se forma con el asiento de válvula de salida de flujo 18 mencionado anteriormente. (no se muestra en la Figura 9). Además, una abertura pasante (mostrada sin un carácter de referencia) que constituye parte del paso de entrada de flujo 13 se forma dentro de cada uno de los asientos 15 de válvula de entrada de flujo de la sexta pieza 27 de capa metálica.

La séptima pieza de capa metálica 28 incluye cuatro aberturas pasantes 28a, cada una de las cuales constituye parte del paso de entrada de flujo 13, y una abertura pasante 28b que constituye parte del paso de salida de flujo 16. La válvula de salida de flujo 17 antes mencionada se dispone en la abertura pasante 28b de la séptima pieza 28 de capa metálica. La válvula de salida de flujo 17 incluye una porción de cierre (mostrada sin un carácter de referencia) para cerrar el paso de salida de flujo 16, y un brazo (mostrado sin un carácter de referencia) que conecta la porción de cierre y una porción de la séptima pieza de capa metálica 28 distinta de la porción de cierre (tiene sustancialmente la misma forma que una válvula de entrada de flujo 50A mostrada en la Figura 28).

La octava pieza de capa metálica 29 incluye cuatro aberturas pasantes 29a, cada una de las cuales constituye parte de la porción conectada 10d del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 29b que constituye parte de la porción conectada 11a del paso de conexión del lado de salida de flujo 11, y una abertura pasante 29c que constituye parte de la primera porción de extensión 11b del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

La novena pieza de capa metálica 30 incluye cuatro aberturas pasantes 30a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 30b que constituye parte de la porción conectada 11a del paso de conexión del lado de salida de flujo 11, y una abertura pasante 30c que constituye parte de la primera porción de extensión 11b del paso de conexión del lado de salida de flujo 11. El tapón 12 se dispone en la abertura pasante 30b de la novena pieza 30 de capa metálica.

La décima pieza de capa metálica 31 incluye cuatro aberturas pasantes 31a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 31b que constituye parte de la porción conectada 11a de paso de conexión del lado de salida de flujo 11, y una abertura pasante 31c que constituye parte de la primera porción de extensión 11b del paso de conexión del lado de salida de flujo 11. La décima pieza de capa metálica 31 corresponde a una pieza de capa metálica de asiento de válvula que incluye el asiento de válvula 38 (no se muestra en la Figura 9) dispuesto en un borde periférico de la abertura pasante 31b.

Con referencia a las Figuras 3 y 10, la undécima pieza de capa metálica 32 incluye cuatro aberturas pasantes 32a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 32b que constituye parte de la primera porción de extensión 11b del el paso de conexión del lado de salida de flujo 11, y dos aberturas 32c que constituyen cada una porción de la segunda porción 11c de extensión del paso de conexión del lado de salida de flujo 11. La undécima pieza de capa metálica 32 corresponde a un lado de salida que define una pieza de capa metálica que incluye la abertura pasante 32b que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7 al paso de conexión del lado de salida de flujo 11 en la duodécima pieza de capa metálica 33. Además, la undécima pieza de capa metálica 32 corresponde a una pieza de capa metálica que crea un espacio que incluye la abertura pasante (abertura que crea espacio) 32b que pasa a través de ella en la dirección de apilamiento para definir un espacio entre el diafragma del lado de la válvula 7 y el asiento de válvula 38. Las cuatro aberturas pasantes 32a se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta (véase la Figura 2).

La duodécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula) 33 incluye el diafragma del lado de la válvula 7. Además, la duodécima pieza de capa metálica 33 incluye cuatro aberturas pasantes 33a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, y dos aberturas pasantes 33b, cada una de las cuales constituye parte de la segunda porción de extensión 11c del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

La decimotercera pieza de capa metálica (lado de entrada de flujo que define la pieza de capa metálica) 34 incluye cuatro aberturas pasantes 34a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 34b que constituye parte de la porción de entrada de flujo 10a y las segundas porciones de extensión 10b del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, y dos aberturas pasantes 34c que constituyen cada una porción de la segunda porción de extensión 11c del paso de conexión del lado de salida de flujo 11. La abertura pasante 34b corresponde a una abertura que define el lado de entrada de fluido que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7 al paso 10 de conexión del lado de entrada en la duodécima pieza 33 de capa metálica.

La decimocuarta pieza de capa metálica 35 incluye cuatro aberturas pasantes 35a, cada una de las cuales constituye parte de la primera porción de extensión 10c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, una abertura pasante 35b que constituye parte de la porción de entrada de flujo 10a y las segundas porciones de extensión 10b del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, y una abertura pasante 35c que constituye parte de la porción de salida de flujo 11d del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

La decimoquinta pieza de capa metálica 36 incluye una abertura pasante 36a que constituye parte de la porción de entrada de flujo 10a del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, y una abertura pasante 36b que constituye parte de la porción de salida de flujo 11d del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

La decimosexta pieza 37 de la capa metálica incluye una abertura pasante 37a que constituye parte de la porción de entrada de flujo 10a del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10, y una abertura pasante 37b que constituye parte de la porción de salida de flujo 11d del paso de conexión del lado de salida de flujo 11.

Se debe señalar que las Figuras. 8 a 10 muestran de la primera a la decimosexta pieza de capa metálica 22 a 37 cada una en forma de una sola placa de metal, pero alternativamente, se puede apilar una pluralidad de placas metálicas para usarlas como una pieza de capa metálica con la superficie frontal y superficie que tiene la misma forma. Por ejemplo, la Figura 3 muestra un ejemplo en el que la pieza 28 de ocho capas metálicas, la pieza 29 de la capa metálica novena, etc. tienen cada una la forma de una pluralidad de placas metálicas. También se puede configurar otra pieza de capa metálica en forma de una pluralidad de placas metálicas. Por otro lado, también es posible utilizar una placa de metal de gran espesor, pero en este caso, la rugosidad superficial de la placa de metal sería grande, lo que influiría negativamente en la soldadura por difusión. Por lo tanto, se prefiere aumentar el grosor de una pieza de capa metálica que utiliza una pluralidad de placas metálicas delgadas como se mencionó anteriormente.

Con referencia a las Figuras 2 y 3, el diafragma del lado de la válvula 7 se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 9 en la vista en planta que mira la unidad de bomba 1 en la dirección de apilamiento (a lo largo del eje central J) como se mencionó anteriormente. En otras palabras, la abertura pasante (lado de salida de flujo que define la abertura; ver la Figura 10) 32b de la undécima pieza de capa metálica 32 y la abertura pasante (abertura que define el lado de entrada de fluido; ver la Figura 10) 34b de la decimotercera pieza de capa metálica 34 se encuentra dentro de la abertura pasante (abertura de la cámara de la bomba; véase la Figura 8) 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. Por lo tanto, el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 11 incluyen cada uno una porción que se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 9 (porciones respectivas de la porción conectada 10d del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y la porción 11a y la primera porción 11b de extensión del paso de conexión del lado de salida de flujo 11 (en lo sucesivo, también denominada "porción interior acostada") en la vista en planta entre los diafragmas 7 y 9.

Aquí, en la soldadura por difusión, es necesario aplicar presión a la pluralidad de piezas de capa metálica apiladas en la dirección de apilamiento, pero es difícil transmitir de manera efectiva la presión a las porciones de las piezas de capa metálica que se superponen al diafragma del lado de la bomba 9 (cámara de bomba S1; espacio). Por lo tanto, es difícil formar las respectivas porciones interiores de los pasos de conexión 10 y 11 mediante soldadura por difusión.

En consecuencia, como se muestra en las Figuras 3 y 7, la unidad de bomba 1 se forma al fabricar por separado una sección de cámara 19 que incluye la primera a la tercera piezas de capa metálica 22 a 24, una sección de cuerpo de válvula 21 que incluye la undécima a decimosexta pieza de capa metálica 32 a 37 y una sección intermedia 20 que se encuentra entre la sección de la cámara 19 y la sección 21 del cuerpo de la válvula.

A continuación, se describirá un procedimiento para fabricar la unidad de bomba 1.

Primero, las piezas de capa metálica 22 a 37 mostradas en las Figuras se preparan 3 y 8 a 10 (etapa de preparación).

Concretamente, en la etapa de preparación, entre la undécima pieza 32 de capa metálica y la decimotercera pieza 34 de capa metálica que definen el área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7, se prepara la undécima pieza 32 de capa metálica como una pieza de capa metálica próxima que se dispone más cerca de la cámara de bomba S1 (tercera pieza de capa metálica 24), la undécima pieza de capa metálica 32 no incluye otra abertura que la pluralidad de aberturas pasantes (aberturas que forman el paso) 32a, 32c y la abertura pasante 32b para formar el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 11, como se muestra en la Figura 10.

Además, en la etapa de preparación, se prepara la décima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica adyacente) 31 que incluye las aberturas pasantes (aberturas de comunicación) 31a, cada una de las cuales tiene un borde periférico que se puede poner en estrecho contacto con el borde periférico de la abertura pasante (primera abertura de formación de paso) 32a entre la pluralidad de aberturas pasantes 32a, 32c, como se muestra en la Figura 9.

A continuación, las piezas de capa metálica 22 a 37 se unen entre sí mediante soldadura por difusión (etapa de unión).

Específicamente, la etapa de unión incluye, como se muestra en la Figura 7, una etapa de unión intermedia (primera etapa de unión) de unir, entre las piezas de capa metálica 22 a 37, las piezas de capa metálica que se incluyen en la sección intermedia 20 mediante soldadura por difusión, una etapa de unión de la cámara de unir las piezas de capa metálica que se incluyen en la sección de la cámara 19 mediante soldadura por difusión, una etapa de unión del cuerpo de la válvula para unir las piezas de capa metálica que están incluidas en la sección 21 del cuerpo de la válvula mediante soldadura por difusión, y una etapa de unión integral (segunda etapa de unión) para unir la sección de la cámara 19, la sección 21 del cuerpo de la válvula y la sección 20 intermedia entre sí.

En la etapa de unión intermedia, como se muestra en las Figuras 3 y 9, la sección intermedia 20 se forma por soldadura por difusión separada de la sección de cámara 19 y la sección de cuerpo de válvula 21. Por tanto, es posible formar de manera fiable, mediante soldadura por difusión, porciones respectivas de los pasos de conexión 10, 11 que están definidos en la sección intermedia 20 y se superponen a la cámara de bomba S1 y las aberturas pasantes 32b, 34b en la vista en planta.

En la etapa de unión de la cámara, como se muestra en las Figuras 3 y 8, se unen las piezas 22 a 24 de la primera a la tercera capa metálica. Alternativamente, las piezas 22 a 24 de la capa metálica primera a tercera pueden unirse a la sección de la cámara 19 en la etapa de unión integral descrita más adelante, omitiendo la etapa de unión de la cámara.

En la etapa de unión del cuerpo de la válvula, las piezas 32 a 37 de la capa metálica de la undécima a la decimosexta se unen mediante soldadura por difusión como se muestra en las Figuras 3 y 10.

Debe observarse que el orden de la etapa de unión intermedia, la etapa de unión de la cámara y la etapa de unión del cuerpo de la válvula no se limita al divulgado anteriormente.

A continuación, en la etapa de unión integral, la sección de la cámara 19, la sección 20 intermedia y la sección 21 del cuerpo de la válvula se unen mediante soldadura por difusión.

Específicamente, en la etapa de unión integral, como se muestra en las Figuras 2, 3 y 7, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que el asiento de válvula 38 y la abertura pasante (abertura que crea un espacio) 32b de la undécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica que crea espacio) 32 se superponen entre sí en la dirección apilada y la undécima pieza de capa metálica 32 se encuentra entre la duodécima pieza de capa metálica 33 y la décima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica de asiento de válvula) 31. En consecuencia, se define un espacio entre el asiento 38 de válvula y el diafragma del lado de la válvula 7.

Además, en la etapa de unión integral, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que la abertura pasante (lado de salida que define la abertura) 32b de la undécima pieza de capa metálica 32 y la abertura pasante (lado de flujo que define la abertura) 34b de la decimotercera pieza de capa metálica 34 se encuentran dentro de la abertura pasante (abertura de la cámara de bomba) 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. En consecuencia, el diafragma del lado de la válvula 7 se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 9 en la vista en planta, lo que permite que la unidad 1 de bomba se compacte en una dirección que interseca perpendicularmente la dirección de apilamiento.

Además, en la etapa de unión integral, la sección intermedia 20 y la sección del cuerpo de la válvula 21 se unen mediante soldadura por difusión en un estado (el estado mostrado en la Figura 2) en el que las aberturas pasantes (aberturas que forman el paso) 32a, 32c de la undécima pieza de capa metálica 32 se encuentra fuera de la abertura pasante 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. Esto hace posible transmitir una presión aplicada a las piezas de capa metálica 22 a 37 desde una porción de la tercera pieza de capa metálica 24 que se encuentra fuera de la abertura pasante 24a a las otras piezas de capa metálica en la etapa de unión integral. Por lo tanto, una porción alrededor de las aberturas pasantes 32c de la undécima pieza 32 de capa metálica puede unirse a la décima pieza 31 de capa metálica mediante soldadura por difusión.

Por otro lado, en la presente realización, las porciones de expansión 22b formadas en la primera pieza de capa metálica 22 se superponen a las aberturas pasantes 32a en la vista en planta como se muestra en la Figura 2, lo que dificulta la transmisión eficaz de una presión aplicada a las piezas de capa metálica 22 a 37 a las porciones respectivas alrededor de las aberturas pasantes 32a debido al espacio dentro de cada porción de expansión 22b en la etapa de unión integral (la presión se transmite a la porción sombreada en cruz mostrada en la Figura 2).

En consecuencia, en la etapa de unión integral, la décima pieza de capa metálica 31 y la undécima pieza de capa metálica 32 se unen mediante soldadura por difusión en un estado en el que los bordes periféricos de las aberturas pasantes 32a de la undécima pieza de capa metálica 32 y la pieza periférica los bordes de las aberturas pasantes 31a de la décima pieza de capa metálica 31 están en estrecho contacto entre sí, como se muestra en las Figuras 3, 7 y 9. El estrecho contacto de los bordes periféricos hace posible suprimir la fuga de fluido a través de los espacios entre las aberturas pasantes 32a y las aberturas pasantes 31a incluso en la estructura mencionada anteriormente en la que es difícil transmitir una presión suficientemente.

Después de que se realiza la soldadura por difusión integral, se realiza una etapa de formación de capa en la que la capa conectada 23b se forma en la superficie lateral de la segunda pieza de capa metálica 23 opuesta a la cámara de bomba S1 a través de la capa aislante 23a. En la etapa de formación de la capa, la capa aislante 23a y la capa conectada 23b se forman en una región que se extiende desde una posición dentro de la abertura pasante 22a hasta posiciones dentro de las porciones de expansión 22b de la primera pieza 22 de capa metálica.

A continuación, se realiza una etapa de unión en la que el elemento piezoeléctrico 4 se une a la segunda pieza de capa metálica 23 con la primera porción de conexión 4a del elemento piezoeléctrico 4 que se conecta eléctricamente a la porción conectada 23b.

El procedimiento para fabricar la unidad de bomba 1 se ha divulgado con referencia a las Figuras. 7 a 10. Alternativamente, se puede adoptar el siguiente procedimiento para fabricar de manera eficiente una pluralidad de unidades de bomba 1.

Específicamente, en la etapa de preparación, se preparan placas metálicas de unión 39 que cada una incluye un número específico de piezas de capa metálica de una de las piezas de capa metálica 22 a 37, el número especificado de piezas de capa metálica que se une entre sí, como se muestra en la Figura 12 (La Figura 12 muestra sólo una placa 39 de metal de unión que incluye una pluralidad de primeras piezas 22 de capa metálica unidas entre sí).

A continuación, en la etapa de unión, las placas 39 metálicas de unión se unen entre sí mediante soldadura por difusión. En consecuencia, se forma una pluralidad de unidades, cada una de las cuales incluye el mecanismo de descarga 5 y el mecanismo de válvula 3. La etapa de unión puede incluir la etapa de unión intermedia descrita anteriormente, la etapa de unión de la cámara y la etapa de unión del cuerpo de la válvula.

Después de la etapa de unión, se realiza una etapa de corte de cortar las placas metálicas de unión 39 en las unidades.

A continuación, en la etapa de unión, el elemento piezoeléctrico 4 se une a la segunda pieza 23 de capa metálica. El paso de fijación se puede realizar antes de la etapa de corte.

De esta manera, es posible fabricar una pluralidad de unidades de bomba 1 sin realizar la etapa de unión una pluralidad de veces. En consecuencia, es posible mejorar aún más la eficiencia de fabricación de las unidades de bomba 1.

Como se describió anteriormente, el mecanismo de descarga 5 y el mecanismo de válvula 3 se forman por separado al unir la pluralidad de piezas de capa metálica 22 a 37 mediante soldadura por difusión, y los mecanismos 3 y 5 se aseguran entre sí mediante soldadura por difusión. Por lo tanto, es posible omitir una etapa como la unión para formar cada uno del mecanismo de descarga 5 y el mecanismo de válvula 3, y eliminar la necesidad de formar una junta en la unión entre el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula como en los casos convencionales.

Además, de acuerdo con la primera realización, pueden proporcionarse los siguientes efectos ventajosos.

El paso de conexión del lado de salida de flujo 11 está abierto cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 es menor que cuando el diafragma del lado de la válvula 7 está deformado (es decir, cuando no se produce una presión anormal en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10).). Por lo tanto, es posible evitar una pérdida de presión en el momento de la descarga de fluido para realizar así una descarga de fluido estable.

El diafragma del lado de la válvula 7 se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 9 en la vista en planta. Por tanto, es posible configurar de forma compacta la unidad de bomba 1 en la dirección que interseca perpendicularmente la dirección de apilamiento. En consecuencia, es posible mejorar la flexibilidad de disposición de la unidad de bomba 1.

Como se muestra en la Figura 7, entre la pluralidad de piezas de capa metálica 22 a 37, la sección intermedia 20 incluye las piezas de capa metálica que se apilan entre la undécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica de proximidad) 32 y la tercera pieza de capa metálica (pieza de capa metálica de cámara de bomba)) 24 se unen mediante soldadura por difusión, por separado de las otras piezas de capa metálica. Esto hace posible formar de manera fiable las porciones de descanso interiores en la sección intermedia 20.

Además, como se muestra en la Figura 2, las aberturas pasantes (aberturas que forman el paso) 32a, 32c de las undécimas piezas de capa metálica 32 se encuentran fuera de la abertura pasante (abertura de la cámara de la bomba) 24a de la segunda pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. Por lo tanto, al unir toda la pluralidad de piezas de capa metálica 22 a 37 mediante soldadura por difusión, es posible aplicar presión a las respectivas porciones periféricas de las aberturas pasantes 32c incluso a través de la segunda pieza de capa metálica 24 que incluye la abertura pasante 24a.

Por lo tanto, es posible proporcionar la unidad de bomba 1 en la que el paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 11 estén formados apropiadamente.

Como se muestra en las Figuras 9 y 10, las piezas 31 y 32 de la capa metálica se unen mediante soldadura por difusión en un estado en el que el borde periférico de la abertura pasante (abertura de formación del primer paso) 32a de la undécima pieza 32 de la capa metálica está en estrecho contacto con la borde de la abertura pasante (abertura de comunicación) 31a de la décima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica adyacente) 31. Esto hace posible, incluso cuando se usa otra pieza de capa metálica que incluye una abertura que se superpone a la abertura pasante 32a, suprimir la fuga de fluido a través de la junta entre las aberturas pasantes 31a, 32a, debido a su estrecho contacto, como se muestra en la Figura 2.

Debido a la capa aislante 23a de la segunda pieza de capa metálica 23, es posible evitar el flujo de corriente eléctrica a través del fluido en la cámara de bomba S1. Por lo tanto, la unidad de bomba 1 puede aplicarse a usos (por ejemplo, como bomba de inyección de fluido médico para uso médico) en los que el flujo de corriente eléctrica a través del fluido está restringido.

En la realización descrita anteriormente, las porciones de expansión 22b de la primera pieza de capa metálica 22 se forman respectivamente en las posiciones que se superponen a las aberturas pasantes 32a de la undécima pieza de capa metálica 32 en la vista en planta como se muestra en la Figura 2, pero las porciones de expansión 22b no se disponen de forma limitada en estas posiciones.

La porción de expansión 22b puede formarse en una posición alejada de la abertura pasante 32a como se muestra en la Figura 13.

Esto permitirá unir de manera fiable la décima pieza 31 de la capa metálica y la undécima pieza 32 de la capa metálica, incluidas las porciones periféricas de las aberturas pasantes 32a, como se muestra por la porción rayada en cruz en la Figura 13, en la etapa de unión integral.

Además, las porciones de expansión 22b pueden omitirse como se muestra en la Figura 14 en un caso en el que se permite que fluya corriente eléctrica a través del fluido en la cámara de bomba S1 desde la fuente de energía.

En este caso, es posible conectar eléctricamente la primera porción de conexión 4a (ver Figura 11) del elemento piezoeléctrico 4 directamente a la segunda pieza de capa metálica 23. Al conectar eléctricamente un electrodo de la fuente de energía a una porción del mecanismo de descarga 5 o el mecanismo de válvula 3 y el otro electrodo de la fuente de energía a la segunda porción de conexión 4b del elemento piezoeléctrico 4 en este estado, la unidad de bomba 1 puede ser conducido.

<Segunda realización>

En primer lugar, se describirá la precisión del caudal de la unidad de bomba 1 descrita anteriormente de acuerdo con la primera realización.

La Figura 15 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la presión (contrapresión) de la unidad de bomba 1 de acuerdo con la primera realización. La presión (contrapresión) se refiere a la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 17. En la Figura 15, la línea con puntos representa una característica cuando se usa una onda cuadrada a 100 Hz (con un voltaje máximo de 240 V y un voltaje mínimo de -60 V), y la línea punteada superior representa una característica ideal para la estructura de la unidad de bomba 1 en las mismas condiciones. Además, en la Figura 15, la línea con triángulos representa una característica cuando se usa una onda cuadrada de 50Hz (con un voltaje máximo de 240 V y un voltaje mínimo de -60 V), y la línea discontinua inferior representa una característica ideal para la estructura de la unidad de bomba 1 en las mismas condiciones.

Como se muestra en la Figura 15, las características de caudal de la unidad de bomba 1 de acuerdo con la primera realización se encuentran por debajo de las características ideales en un rango de presión intermedia (aproximadamente 5 a aproximadamente 100 Kpa) y, por lo tanto, no son lineales.

Este punto se discutirá a continuación.

En la primera forma de realización, la válvula de salida de flujo 17 se dispone en el centro (en el eje central J) de la cámara de bomba S1 en la vista en planta (véase la Figura 3), y las cuatro válvulas de entrada de flujo 14 se disponen en posiciones axialmente simétricas con respecto a una línea recta que pasa por el centro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta (ver Figura 9). En consecuencia, es posible hacer que el fluido fluya hacia la válvula de salida de flujo 17 igualmente desde la pluralidad de lugares alrededor de la válvula de salida de flujo 17. Por tanto, es posible suprimir el estancamiento de fluido en la cámara de bomba S1.

Por otro lado, la válvula de entrada de flujo 14 (véase la Figura 3) se configura para cerrar el paso de entrada de flujo 13 al usar la rigidez de la quinta pieza de capa metálica 26. Por tanto, existe la posibilidad de que se produzca una pequeña fuga a través del paso de entrada de flujo incluso cuando la válvula de entrada de flujo 14 se cierra. Debido a que las cuatro válvulas de entrada de flujo 14 se proporcionan en la primera realización, se considera que la cantidad total de fuga de fluido a través de las válvulas de entrada de flujo 14 aumenta para reducir la precisión del caudal. La razón por la que la característica de caudal está más cerca de la característica ideal cuando la presión (contrapresión) es grande (cuando las válvulas de entrada de flujo 14 se polarizan en una dirección de cierre) es que el estado cerrado de las válvulas de entrada de flujo 14 es estable cuando la presión es grande.

Aunque se proporcionarán más detalles más adelante, en una unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización, el número de válvulas de entrada de flujo se reduce a dos válvulas de entrada de flujo 50 (véase la Figura 18) para mejorar así la característica del caudal en relación con la presión ( contrapresión) mientras se suprime el estancamiento de fluido en una cámara de bomba S1.

Además, la Figura. 16 es un gráfico que muestra una relación entre el caudal y la frecuencia de la unidad de bomba de acuerdo con la primera realización. En la Figura 16, la línea continua representa el caudal cuando se usa una onda cuadrada (con un voltaje máximo de 240 V y un voltaje mínimo de -60 V) para la unidad de bomba 1 de acuerdo con la primera realización. En la Figura 16, la línea discontinua representa una característica ideal para la estructura de la unidad de bomba en las mismas condiciones.

Como se muestra en la Figura 16, la característica de caudal de la unidad de bomba 1 de acuerdo con la primera realización se encuentra por debajo de la característica ideal en un intervalo de aproximadamente 90 a 150 Hz y, por lo tanto, no es lineal.

Se considera que la razón es que la longitud total L1 de la válvula de flujo 14 es larga, es decir, la constante del resorte es pequeña, en la primera realización, como se muestra en la Figura 22. Específicamente, la válvula de entrada de flujo 14 incluye una porción de cierre 14a para cerrar el paso de entrada de flujo 13, y un brazo 14b que soporta la porción de cierre 14a de tal manera que permite que la porción de cierre 14a se mueva entre una posición para cerrar el paso de entrada de flujo 13 y una posición para abrir el paso de entrada de flujo 13. En la válvula de entrada de flujo 14, el brazo 14b es más largo que la porción de cierre 14a y, por lo tanto, la constante elástica del brazo 14b es relativamente pequeña. Por lo tanto, es difícil hacer que la porción de cierre 14a siga al diafragma del lado de la bomba 9 cuando la frecuencia del diafragma del lado de la bomba 9 es relativamente alta.

Aunque se proporcionarán detalles más adelante, en la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización, la característica de caudal mencionada anteriormente en relación con la frecuencia se mejora al aumentar la constante elástica, es decir, en un ejemplo mostrado en la Figura 23, configurar la válvula de entrada de flujo 50 para que tenga una longitud total L2 más corta que la longitud total L1 de la válvula de entrada de flujo 14.

La Figura 17 muestra fluctuaciones del caudal cuando se hace que la unidad de bomba 1 de acuerdo con la primera realización succione aire a propósito mientras la unidad de bomba 1 descarga fluido. En la Figura 17, se aspira aire al comienzo de un período t1 y al comienzo de un período t2. Cuando se aspira aire, el aire se expande y contrae de acuerdo con las vibraciones del diafragma del lado de la bomba 9, lo que dificulta la descarga de una cantidad apropiada de fluido consistente con las fluctuaciones de volumen en la cámara de la bomba S1. Este fenómeno aparece como una disminución del caudal en los períodos t1 y t2. Dado que el caudal se restablece al final de cada uno de los períodos t1, t2, se considera que se ha provocado que el aire salga de la unidad de bomba 1. Aquí, el período t1 es de aproximadamente una hora y el período t2 es de aproximadamente tres horas.

Se considera que la razón por la que se requiere mucho tiempo para la salida de aire es que, como se muestra en la Figura 24, el área en sección del paso de fluido que se extiende desde la abertura pasante 37a (porción de entrada de flujo 10a: ver la Figura 3) a cada abertura pasante 35a (primera porción de extensión 10c: ver la Figura 3) cambia abruptamente para hacer la distribución del caudal en el paso desigual.

Específicamente, en la primera realización, la abertura pasante 35b se encuentra por encima de la abertura pasante 37a, al ser la abertura pasante 35b mayor que la abertura pasante 37a y que define el área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7. Por lo tanto, en la abertura pasante 35b, el caudal de fluido es más alto a lo largo de las líneas rectas que conectan la abertura pasante 37a y la abertura pasante 35a, y la velocidad de flujo es baja en las regiones R1 definidas entre líneas rectas adyacentes, las regiones R1 se indica mediante una trama. Esto se considera una causa de estancamiento del aire en las regiones R1.

Aunque se proporcionarán detalles más adelante, en la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización, la característica de velocidad de flujo se mejora al reducir la variación en el área seccional de fluido en una región entre una abertura pasante 76b para hacer que el fluido fluya hacia una abertura pasante 73b que define un área móvil para un diafragma del lado de la válvula 47 y aberturas pasantes 73a, 74a para hacer que el fluido fluya hacia fuera a través de la abertura pasante 73b, como se muestra en la Figura 25.

A continuación, se describirá la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización con referencia a las Figuras.

18 a la 20. Un elemento piezoeléctrico 4 y una sección de cámara 19 en la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización tienen las mismas configuraciones que las de la primera realización y, por lo tanto, sólo se muestran en la Figura 21, y se omitirán las descripciones de los mismos.

La Figura 18 es una vista en perspectiva despiezada de una sección intermedia 60 de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización. La Figura 19 es una vista en perspectiva despiezada de una sección de cuerpo de válvula 61 de la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización. La Figura 20 muestra una vista en sección tomada a lo largo de la línea XX de la Figura. 18 y una vista en sección por la línea XX de la Figura. 19 juntas. La Figura 21 es una vista en sección tomada a lo largo de la línea XXI de la Figura. 18.

Primero, con referencia a las Figuras. 20 y 21, la unidad de bomba incluye una bomba 42 para descargar fluido, y un mecanismo de válvula 43 para restringir el flujo de fluido a través de la bomba 42 cuando aumenta la presión del fluido en el lado corriente arriba de la bomba 42.

La bomba 42 incluye el elemento piezoeléctrico 4 y un mecanismo de descarga 45 para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico 4.

El mecanismo de descarga 45 incluye un cuerpo de bomba 48, un diafragma del lado de bomba 49 que define una cámara de bomba S1 en cooperación con el cuerpo de bomba 48, dos válvulas de entrada de flujo 50 que se disponen respectivamente en dos conductos de entrada 56 formados en el cuerpo de bomba 48 y que se conecta con la cámara de bomba S1, y una válvula de salida de flujo 51 que se dispone en un paso de salida de flujo 58 formado en el cuerpo de bomba 48 y que se conecta con la cámara de bomba S1

La cámara de bomba S1 es un espacio (no se muestra) que tiene una forma sustancialmente circular en vista en planta. El paso de salida de flujo 58 se conecta a un centro (en un eje central J) de la cámara de bomba S1 en la vista en planta. Los dos conductos de entrada 56 están dispuestos en posiciones simétricas axialmente con respecto a una línea recta que pasa por el eje central J de la cámara de bomba S1 (dispuestos a 180 grados uno del otro, centrado en el eje central J).

De acuerdo con las configuraciones mencionadas anteriormente, la válvula de salida de flujo 51 se dispone en el centro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta, y no se proporciona ninguna otra válvula de entrada de flujo aparte de las dos válvulas de entrada de flujo 50 que están dispuesto en posiciones simétricas axialmente con respecto a la línea recta que pasa por el eje central J de la cámara de bomba S1.

En consecuencia, es posible hacer que el fluido fluya a la válvula de salida de flujo 51 igualmente desde la pluralidad de lugares alrededor de la válvula de salida de flujo 51. Por tanto, es posible suprimir el estancamiento de fluido en la cámara de bomba S1. Además, debido a que el número de válvulas de entrada de flujo 50 se limita a dos, es posible minimizar la cantidad total de fugas a través de las válvulas de entrada de flujo 50 en un estado cerrado.

Además, los pasos de entrada 56 y el paso de salida de flujo 58 se encuentran dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta que mira la unidad de bomba a lo largo del eje central J (en una dirección de apilamiento de las piezas de capa metálica 65 a 76 descrita más adelante).

El cuerpo de bomba 48 incluye asientos de válvula de entrada de flujo 57 para cerrar los pasos de entrada de flujo 56 en cooperación con las válvulas de entrada de flujo 50, y un asiento de válvula de salida de flujo 59 para cerrar el paso de salida de flujo 58 en cooperación con la válvula de salida de flujo 51.

Cuando la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 50 es igual o menor que la presión en la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 50 entra en estrecho contacto con el asiento de válvula de entrada de flujo 57 para cerrar el paso de entrada de flujo 56. Por otro lado, cuando la presión en el lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo 50 es mayor que la presión en la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 50 se deforma elásticamente para separarse del asiento de válvula de entrada de flujo 57 para abrir el paso de entrada de flujo 56.

Cuando la presión en la cámara de la bomba S1 es igual o menor que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 51, la válvula de salida de flujo 51 entra en estrecho contacto con el asiento de válvula de salida de flujo 59 para cerrar el paso de salida de flujo 58. Por otro lado, cuando la presión en la cámara de la bomba S1 es mayor que la presión en el lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo 51, la válvula de salida de flujo 51 se deforma elásticamente para separarse del asiento 59 de la válvula de salida de flujo para abrirse. el paso de salida de flujo 58.

La válvula de salida de flujo 51 incluye una porción de cierre 50a para cerrar el paso de entrada de flujo 56 (capaz de entrar en contacto con el asiento de válvula de entrada de flujo 57), y un brazo 50b que soporta la porción de cierre 50a de tal manera que permitir que la porción de cierre 14a se mueva entre una posición para cerrar el paso de entrada de flujo 56 y una posición para abrir el paso de entrada de flujo 56, como se muestra en la Figura 23. En la válvula de salida de flujo 51, la longitud L2 desde un extremo proximal del brazo 50b hasta un extremo distal de la porción de cierre 50a es más corta que la longitud L1 desde un extremo proximal del brazo 14b hasta un extremo distal de la porción de cierre 14a en la válvula de salida de flujo 14 de la primera realización como se muestra en la Figura 22. Aquí, la porción de cierre 14a de la primera realización y la porción de cierre 50a de la segunda realización tienen sustancialmente el mismo tamaño y, por lo tanto, la diferencia entre la longitud L1 y la longitud L2 corresponde sustancialmente a la diferencia entre la longitud del brazo 14b y la longitud del brazo 50b.

Esta configuración hace posible, en comparación con la válvula de salida de flujo 14 de la primera realización, aumentar la constante elástica de la válvula de salida de flujo 51 (en particular, el brazo 50b). En consecuencia, es posible mejorar la capacidad de seguimiento de la porción de cierre 50a cuando aumenta la frecuencia del diafragma del lado de la bomba 49.

El mecanismo de válvula 43 incluye un cuerpo de mecanismo de válvula 46 que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 que se conecta con los pasos de entrada de flujo 56 de la bomba 42 y un paso de conexión del lado de salida de flujo 53 que se conecta con el paso de salida de flujo 58 de la bomba 42, y el diafragma del lado de la válvula 47 dispuesto en el cuerpo 46 del mecanismo de válvula y que divide el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 del paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

El diafragma del lado de la válvula 47 se dispone concéntricamente con el diafragma del lado de la bomba 49, y se dispone dentro de la cámara de la bomba S1 en la vista en planta (no se muestra). Además, el diafragma del lado de la válvula 47 se dispone en paralelo al diafragma del lado de la bomba 49. Cada uno de los pasos de entrada de flujo 56 y el paso de salida de flujo 58 de la bomba 42 se dispone entre los diafragmas 47 y 49.

El paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 se extiende desde los pasos 56 de entrada de la bomba 42 a una posición en el lado opuesto del diafragma del lado de la válvula 47 de la bomba 42 mientras se deriva el diafragma del lado de la válvula 47, y está abierto en una superficie de extremo del cuerpo del mecanismo de válvula 46 en el lado opuesto de la bomba 42.

Específicamente, el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 incluye una porción conectada 52d (véanse la octava y novena piezas de capa metálica 69, 70 en la Figura 18) que se conecta con los dos pasos de entrada de flujo 56 del cuerpo de la bomba 48 y se configura para fusionar los pasos 56, una primera porción de extensión 52c que se extiende desde un extremo de la porción conectada 52d que se encuentra más alejada del eje central J en la porción conectada 52d (una esquina de la pieza de capa metálica 70 mostrada en la Figura 18) y que se extiende en paralelo al eje central J, una segunda porción de extensión 52b que se extiende desde la primera porción de extensión 52c en una dirección que interseca perpendicularmente el eje central J, y una porción de entrada de flujo 52a que se extiende desde un extremo de la segunda porción de extensión 52 en paralelo al eje central J. La primera porción de extensión 52c y la porción de entrada de flujo 52a se disponen en posiciones diagonalmente opuestas de cada una de las piezas de capa metálica 73 a 76 mostradas en la Figura 19. Como se muestra en la Figura 20, el fluido que se hace fluir a través de la porción de entrada de flujo 52a fluye en la dirección que interseca perpendicularmente el eje central J a través de la segunda porción de extensión 52b y en la dirección paralela al eje central J a través de la primera porción de extensión 52c para luego ramificarse en dos flujos por la porción conectada 52d (véase la Figura 18) para ser guiados a los dos pasos de entrada de flujo 56 de la bomba 42.

Aquí, en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, parte de la porción conectada 52d, la totalidad de la primera porción de extensión 52c, parte de la segunda porción de extensión 52b y la totalidad de la porción de entrada de flujo 52a se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta, y la otra parte se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta.

Por otro lado, el paso de conexión del lado de salida de flujo 53, como se muestra en la Figura 20, se extiende desde el paso de salida de flujo 56 de la bomba 42 hacia el diafragma del lado de la válvula 47, luego se extiende a lo largo de una superficie del diafragma del lado de la válvula 47 en una dirección alejada del eje central J, luego regresa hacia el diafragma del lado de la bomba 49 mientras se extiende en paralelo al eje central J, luego se extiende en la dirección que interseca perpendicularmente con el eje central y pasa por el diafragma del lado de la válvula 47 para abrirse en una superficie de extremo del cuerpo del mecanismo de válvula 46 opuesta a la bomba 42.

Específicamente, el paso de conexión del lado de salida de flujo 53 incluye una porción conectada 53a que se conecta con el paso de salida de flujo 58 del cuerpo de bomba 48, una primera porción de extensión 53b que se extiende desde un extremo de la porción conectada 53a que se encuentra más cerca al diafragma del lado de la válvula 47 en la dirección alejada del eje central J, una segunda porción de extensión 53c que se extiende desde un extremo de la primera porción de extensión 53b que se encuentra más lejos del eje central J en paralelo al eje central J hacia el diafragma del lado de la bomba 49, una tercera porción de extensión 53d (ver la pieza de capa metálica 70 mostrada en la Figura 18) que se extiende desde un extremo de la segunda porción de extensión 53c que se encuentra más cerca del diafragma del lado de la bomba 49 en la dirección que interseca perpendicularmente el eje central J, y una porción de salida de flujo 53e (ver las piezas de capa metálica 71 y 72 mostradas en la Figura 18) que se extiende desde un extremo de la tercera porción de extensión 53d que se encuentra más lejos del eje central J en paralelo al eje central J. El fluido que sale de la cámara de bomba S1 a la porción conectada 53a es guiado a un lado del diafragma del lado de la válvula 47 a través de las porciones de extensión 53b a 53d para hacer que salga a través de la porción de salida de flujo 53e. Además, en la porción conectada 53a, se proporciona un tapón 54 para mantener la válvula de salida de flujo 51 en una posición abierta predeterminada cuando la válvula de salida de flujo 51 está abierta.

Aquí, en el paso de conexión del lado de salida de flujo 53, parte de la tercera porción de extensión 53d y la totalidad de la porción de salida de flujo 53e se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta, y la otra porción se encuentra dentro de la cámara de bomba S1 en la vista en planta.

El diafragma del lado de la válvula 47 funciona como una pared que define parte del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 (parte de la porción de entrada de flujo 52a y la segunda porción de extensión 52b), y también funciona como una pared que define parte del paso de conexión del lado de salida de flujo 53 (parte de la porción conectada 53a y la primera porción de extensión 53b).

Además, el cuerpo del mecanismo de válvula 46 incluye un asiento de válvula 55 que se puede operar para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula 47 para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

El diafragma del lado de la válvula 47 se separa del asiento de válvula 55. Además, el diafragma del lado de la válvula 47 tiene una elasticidad para deformarse elásticamente para entrar en contacto con el asiento de válvula 55 cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 es igual o mayor que una presión de referencia predeterminada que es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

Por lo tanto, se permite que el fluido fluya a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 53 cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 es menor que la presión de referencia, y el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 53 se restringe cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 es igual o mayor que la presión de referencia.

A continuación, se describirá el funcionamiento de la unidad de bomba con referencia a las Figuras. 20 y 21.

Se suministra energía de corriente alterna al elemento piezoeléctrico para hacer que el diafragma del lado de la bomba 49 vibre con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico.

Cuando el diafragma del lado de la bomba 49 se desplaza en una dirección para expandir la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 50 se abre, mientras que la válvula de salida de flujo 51 se cierra. Esto permite que el fluido fluya (sea aspirado) hacia la cámara de la bomba S1.

Por otro lado, cuando el diafragma del lado de la bomba 49 se desplaza en una dirección para contraer la cámara de la bomba S1, la válvula de entrada de flujo 50 se cierra, mientras que la válvula de salida de flujo 51 se abre. Esto permite que el fluido salga de la cámara de la bomba S1.

Además, cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 llega a ser igual o mayor que la presión de referencia, el diafragma del lado de la válvula 47 se deforma elásticamente para entrar en estrecho contacto con el asiento de válvula 55, para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

Como se muestra en las Figuras 18 y 19, el mecanismo de descarga 45 y el mecanismo de válvula 43 de la unidad de bomba se forman por separado al unir la pluralidad de piezas de capa metálica 65 a 76 (incluidas las piezas de capa metálica 22 a 24 mostradas en la Figura 8) apiladas en la dirección de apilamiento coincidente con el eje central J mediante soldadura por difusión, y se aseguran entre sí mediante soldadura por difusión.

Específicamente, el mecanismo de descarga 45 se forma por las piezas de capa metálica 22 a 24 (véase la Figura 8) y las piezas de capa metálica 65 a 68, y el mecanismo de válvula 43 se forma por las piezas de capa metálica 69 a 76. Las piezas de capa metálica 22 a 24 son las mismas que las de la primera realización y, por tanto, se omitirán las descripciones de las mismas.

Con referencia a las Figuras 18 y 21, la cuarta pieza de capa metálica 65 incluye dos aberturas pasantes 65a que constituyen parte del paso de entrada de flujo 56 y una abertura pasante 65b que constituye parte del paso de salida de flujo 58. Las aberturas pasantes 65a definen un espacio para permitir que la válvula de entrada de flujo 51 se deforme elásticamente hacia la cámara de la bomba.

La quinta pieza de capa metálica 66 incluye las dos válvulas de entrada de flujo 50 mencionadas anteriormente y una abertura pasante 66a que constituye parte del paso de salida de flujo 58.

La sexta pieza de capa metálica 67 incluye una abertura pasante 67a que constituye parte del paso de salida de flujo 58. La sexta pieza de capa metálica 67 tiene una superficie lateral formada con los dos asientos de válvula de entrada de flujo 57 mencionados anteriormente y la otra superficie lateral formada con el asiento de válvula de salida de flujo 59 (no se muestra en la Figura 18). Además, una abertura pasante (mostrada sin un carácter de referencia) que constituye parte del paso de entrada de flujo 56 se forma dentro del asiento de válvula de entrada de flujo 57 de la sexta pieza de capa metálica 67.

La séptima pieza de capa metálica 68 incluye dos aberturas pasantes 68a que constituyen parte del paso de entrada de flujo 56, y una abertura pasante 68b que constituye parte del paso de salida de flujo 58. La válvula de salida de flujo 51 mencionada anteriormente se dispone en la abertura pasante 68b de la séptima pieza de capa metálica 68. La válvula de salida de flujo 51 incluye una porción de cierre (mostrada sin un carácter de referencia) para cerrar el paso de salida de flujo 58, y un brazo (mostrado sin un carácter de referencia) que conecta la porción de cierre y una porción de la séptima pieza de capa metálica 68 distinta de la porción de cierre (tiene sustancialmente la misma forma que la válvula de entrada de flujo 50A mostrada en la Figura 28).

Con referencia a las Figuras 18 y 20, la octava pieza de capa metálica 69 incluye dos aberturas pasantes 69a que constituyen parte de la porción conectada 52d del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, y una abertura pasante 69b que constituye parte de la porción conectada 53a del paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

La novena pieza de capa metálica 70 incluye una abertura pasante 70a que constituye parte de la porción conectada 52d del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, una abertura pasante 70b que constituye parte de la porción conectada 53a del paso de conexión del lado de salida de flujo 53 , y una abertura pasante 70c que constituye la tercera porción de extensión 53d del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. Parte del tapón 54 se encuentra en la abertura pasante 70b de la novena pieza de capa metálica 70.

La décima pieza de capa metálica 71 incluye una abertura pasante 71a que constituye parte de la primera porción de extensión 52c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, una abertura pasante 71b que constituye parte de la porción conectada 53a del paso de conexión del lado de salida de flujo 53, una abertura pasante 71c que constituye parte de la segunda porción de extensión 53c del paso de conexión del lado de salida de flujo 53, y una abertura pasante 71d que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. Parte del tapón 54 se encuentra en la abertura pasante 71b de la décima pieza de capa metálica 71.

La undécima pieza de capa metálica 72 incluye una abertura pasante 72a que constituye parte de la segunda porción de extensión 52c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, una abertura pasante 72b que constituye parte de la porción conectada 53a del paso de conexión del lado de salida de flujo 53, una abertura pasante 72c que constituye parte de la segunda porción de extensión 53c del paso de conexión del lado de salida de flujo 53, y una abertura pasante 72d que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. El asiento 55 de válvula mencionado anteriormente (no se muestra en la Figura 18) se dispone en una superficie lateral de la undécima pieza de capa metálica 72 que se encuentra más cerca del diafragma del lado de la válvula 47.

Con referencia a las Figuras 19 y 20, la duodécima pieza de capa metálica 73 incluye la abertura pasante 73a que constituye parte de la primera porción de extensión 52c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, la abertura pasante 73b que constituye la primera porción de extensión 53b del paso de conexión del lado de salida de flujo 53, y una abertura pasante 73c que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. La duodécima pieza de capa metálica 73 corresponde a un lado de salida de flujo que define la pieza de capa metálica que incluye la abertura pasante 73b que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 47 al paso de conexión del lado de salida de flujo 53 en la decimotercera pieza de capa metálica 74 . Además, la duodécima pieza de capa metálica 73 corresponde a una pieza de capa metálica que crea un espacio que incluye la abertura pasante (abertura que crea un espacio) 73b que pasa a través de ella en la dirección de apilamiento para definir un espacio entre el diafragma del lado de la válvula 47 y el asiento de válvula 55. Las aberturas pasantes 73a, 73c se encuentran fuera de la cámara de bomba S1 en la vista en planta (no se muestra).

La decimotercera pieza de capa metálica (pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula) 74 incluye el diafragma del lado de la válvula 47. Además, la decimotercera pieza de capa metálica 74 incluye la abertura pasante 74a que constituye parte de la primera porción de extensión 52c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, y una abertura pasante 74b que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53.

La decimocuarta pieza de capa metálica 75 incluye una abertura pasante 75a que constituye parte de la segunda porción de extensión 52b del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, y una abertura pasante 75b que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. La abertura pasante 75a corresponde a una abertura que define el lado de entrada de flujo que define el área móvil para el diafragma del lado de la válvula 47 al paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 en la decimotercera pieza de capa metálica 74.

La decimoquinta pieza de capa metálica 76 incluye un rebaje 76a que constituye parte de la segunda porción de extensión 52b del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, una abertura pasante 76b dispuesta dentro del rebaje 76a y que constituye la porción de entrada de flujo 52a del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52, y una abertura pasante 76c dispuesta fuera del rebaje 76a y que constituye parte de la porción de salida de flujo 53e del paso de conexión del lado de salida de flujo 53. Un saliente 52e que se proyecta hacia el diafragma del lado de la válvula 47 se forma en una superficie inferior del rebaje 76a de la decimoquinta pieza de capa metálica 76.

Con referencia a las Figuras 19, 20 y 25, se describirán la porción de entrada de flujo 52a, la segunda porción de extensión 52b y la primera porción de extensión 52c del paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 definido por la duodécima a la decimoquinta pieza de capa metálica 73 a 76.

La decimocuarta pieza de capa metálica 75 y la decimoquinta pieza de capa metálica 76 corresponden a una pieza de capa metálica rebajada unida a la decimotercera pieza de capa metálica 74 (pieza de capa metálica de diafragma de válvula) y formada con un rebaje definido 77 (rebaje constituido por la abertura pasante 75a y el rebaje 76a) que incluye una porción definida 77a (véase la Figura 25) para definir un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 47. Se debe señalar que aunque la presente realización ilustra un caso en el que la pieza de capa metálica rebajada está constituida por las dos piezas de capa metálica 75, 76, la pieza de capa metálica rebajada puede estar constituida por una sola pieza de capa metálica formada con un rebaje 77.

Aquí, la porción definida 77a es una porción del rebaje definido 77 que se superpone a la abertura pasante 73b de la duodécima pieza de capa metálica 73 en la vista en planta.

La abertura pasante 76b (correspondiente a la segunda abertura de conexión) de la decimoquinta pieza de capa metálica 76 y la abertura pasante 74a (correspondiente a la primera abertura de conexión) de la decimotercera pieza de capa metálica 74 que se conectan con el rebaje definido 77 se conectan con el rebaje definido 77 en una posición exterior de la porción definida 77a en la vista en planta, y son más pequeñas que la porción definida 77a en la vista en planta.

El rebaje definido 77 incluye un par de porciones de extensión 77b que se extienden y se estrechan respectivamente desde la porción definida 77a hasta las aberturas pasantes 76b, 74a en la vista en planta.

De esta manera, el área en sección del rebaje definido 77 de la pieza de capa metálica rebajada que incluye el par de porciones de extensión 77b y la porción definida 77a varía desde la abertura pasante 76b hasta la abertura pasante 74a en la vista en planta. Específicamente, en la vista en planta, el área en sección del rebaje definido 77 aumenta desde la abertura pasante 76b hasta la porción definida 77a, y disminuye desde la porción definida 77a hasta la abertura pasante 74a.

Aquí, la pieza de capa metálica rebajada se proporciona con el saliente 52e que se proyecta desde la superficie inferior del rebaje definido 77 hacia el diafragma del lado de la válvula 47 en una posición en una línea que conecta la abertura pasante 76b y la abertura pasante 74a y se superpone a la porción definida 77a en la vista en planta. Por tanto, el saliente se proporciona en la porción donde el área de sección de la trayectoria de flujo es mayor en el rebaje definido 77 formado en la pieza de capa metálica rebajada como se describe. Esto hace posible reducir el área de sección de la porción para suprimir la variación en la distribución del caudal en el rebaje definido 77.

Específicamente, en un caso en el que no se proporciona el saliente 52e, el caudal de fluido es mayor en la línea recta que conecta la abertura pasante 76b y la abertura pasante 74a, y por otro lado, el caudal de fluido es bajo en las regiones R2 alejadas de la línea recta en la porción definida 77a, las regiones R2 se muestran en la Figura 25. En este estado, es probable que el aire se estanque en la región R2. Sin embargo, la provisión del saliente 52e reduce el caudal de fluido en línea recta y, a su vez, aumenta el caudal de fluido en las regiones R2, lo que permite evitar el estancamiento de aire en las regiones R2.

Se debe señalar que las Figuras. 18 y 19 muestran la cuarta a la decimoquinta pieza de capa metálica 65 a 76 cada una en forma de una sola placa de metal, pero alternativamente, se puede apilar una pluralidad de placas metálicas para usarlas como una pieza de capa metálica con la superficie frontal y la superficie trasera que tiene la misma forma. Por otro lado, también es posible utilizar una placa metálica de gran grosor, pero en este caso, la rugosidad superficial de la placa metálica sería grande, lo que influiría negativamente en la soldadura por difusión. Por lo tanto, se prefiere aumentar el grosor de una pieza de capa metálica al utilizar una pluralidad de placas metálicas delgadas como se mencionó anteriormente.

Como se mencionó anteriormente, el diafragma del lado de la válvula 47 se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 49 en la vista en planta. En otras palabras, la totalidad de la abertura pasante (abertura que define el lado de salida de flujo; véase la Figura 19) 73b de la duodécima pieza de capa metálica 73 y parte de la abertura pasante (la abertura que define el lado de entrada de flujo; véase la Figura 19) 75a de la decimocuarta pieza de capa metálica 75 se encuentra dentro de la abertura pasante (abertura de la cámara de bomba; véase la Figura 8) 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. Por lo tanto, el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 53 tienen porciones respectivas que se encuentran dentro del diafragma del lado de la bomba 49 en la vista en planta entre los diafragmas 47, 49.

En consecuencia, la unidad de bomba de acuerdo con la segunda realización se forma, de manera similar a la primera realización, al fabricar por separado una sección de cámara 19 que incluye la primera a la tercera piezas de capa metálica 22 a 24, una sección de cuerpo de válvula 61 que incluye la duodécima a decimoquinta pieza de capa metálica 73 a 76, y una sección intermedia 60 situada entre la sección de cámara 19 y la sección de cuerpo de válvula 61.

Específicamente, en la etapa de preparación, entre la duodécima pieza de capa metálica 73 y la decimocuarta pieza de capa metálica 75 que definen el área móvil para el diafragma del lado de la válvula 47, se prepara la duodécima pieza de capa metálica 73 como una pieza de capa metálica próxima que se dispone más cerca de la cámara de bomba S1 (tercera pieza de capa metálica 24), la duodécima pieza de capa metálica 73 no incluye otra abertura que la pluralidad de aberturas pasantes (aberturas que forman el paso) 52c, 53e y la abertura pasante 73b para formar el paso de conexión del lado de entrada de flujo 52 y el paso de conexión del lado de salida de flujo 53, como se muestra en la Figura 19.

Además, en la etapa de preparación, se prepara la undécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica adyacente) 72 que incluye las aberturas pasantes (aberturas de comunicación) 72a, 72d, respectivamente, que tienen bordes periféricos que se pueden poner en estrecho contacto con los bordes periféricos de las aberturas pasantes (primeras aberturas que forman el paso) 52c, 53e de la pluralidad de aberturas pasantes 52c, 53e, como se muestra en la Figura 18.

A continuación, las piezas de capa metálica 65 a 76 se unen mediante soldadura por difusión (etapa de unión).

Específicamente, la etapa de unión incluye una etapa de unión intermedia (primera etapa de unión) para unir, entre las piezas de capa metálica 65 a 76, las piezas de capa metálica que están incluidas en la sección intermedia 60 (veáse la Figura 18), una etapa de unión de la cámara para unir piezas de capa metálica que están incluidas en la sección de la cámara 19 (veáse la Figura 8) mediante soldadura por difusión, una etapa de unión del cuerpo de la válvula para unir las piezas de capa metálica que están incluidas en la sección del cuerpo de la válvula 61 (veáse la Figura 19) mediante soldadura por difusión y una etapa de unión integral (segunda etapa de unión) para unir la sección de cámara 19, la sección de cuerpo de válvula 61 y la sección intermedia 60 entre sí.

En la etapa de unión intermedia, como se muestra en la Figura 18, la sección intermedia 60 se forma mediante soldadura por difusión por separado de la sección de cámara 19 y la sección de cuerpo de válvula 61. Por tanto, es posible formar de manera fiable, mediante soldadura por difusión, las respectivas porciones de los pasos de conexión 52, 53 que se definen en la sección intermedia 60 y se solapan con la cámara de bomba S1 y las aberturas pasantes 73b, 75a, 76b.

En la etapa de unión de la cámara, como se muestra en las Figuras 8 y 21, se unen la primera a la tercera piezas de capa metálica 22 a 24. Alternativamente, la primera a la tercera piezas de capa metálica 22 a 24 pueden unirse a la sección de la cámara 19 en la etapa de unión integral divulgada más adelante, omitiendo la etapa de unión de la cámara.

En la etapa de unión del cuerpo de válvula, la duodécima a la decimoquinta pieza de capa metálica 73 a 76 se unen mediante soldadura por difusión como se muestra en las Figuras 19 y 20.

Se debe señalar que el orden de la etapa de unión intermedia, la etapa de unión de la cámara y la etapa de unión del cuerpo de la válvula no se limita al divulgado anteriormente.

A continuación, en la etapa de unión integral, la sección de la cámara 19, la sección intermedia 60 y la sección del cuerpo de la válvula 61 se unen mediante soldadura por difusión.

Específicamente, en la etapa de unión integral, como se muestra en las Figuras 18 a 20, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que el asiento de válvula 55 y la abertura pasante (abertura que crea un espacio) 73b de la duodécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica que crea un espacio) 73 se superponen entre sí en la dirección de apilamiento y la duodécima pieza de capa metálica 73 se encuentra entre la decimotercera pieza de capa metálica 74 y la undécima pieza de capa metálica (pieza de capa metálica de asiento de válvula) 72. En consecuencia, se define un espacio entre el asiento de válvula 55 y el diafragma del lado de la válvula 47.

Además, en la etapa de unión integral, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que la abertura pasante (abertura que define el lado de salida de flujo) 73b de la duodécima pieza de capa metálica 73 y la porción definida 77a (véase la Figura 25) de la abertura pasante (abertura que define el flujo interior) 75a de la decimocuarta pieza de capa metálica 75 se encuentra dentro de la abertura pasante (abertura de la cámara de bomba) 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. En consecuencia, el diafragma del lado de la válvula 47 se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba 49 en la vista en planta, lo que permite que la unidad de bomba 1 se compacte en la dirección que interseca perpendicularmente la dirección de apilamiento.

Además, en la etapa de unión integral, la sección intermedia 60 y la sección del cuerpo de la válvula 61 se unen mediante soldadura por difusión en un estado en el que las aberturas pasantes (aberturas que forman el paso) 73a, 73c de la duodécima pieza de capa metálica 73 se encuentran fuera de la abertura pasante 24a de la tercera pieza de capa metálica 24 en la vista en planta. Esto hace posible transmitir una presión aplicada a las piezas de capa metálica 22 a 24 y 65 a 76 desde una porción de la tercera pieza de capa metálica 24 que se encuentra fuera de la abertura pasante 24a a las otras piezas de capa metálica en la etapa de unión integral. Por tanto, las porciones alrededor de las aberturas pasantes 73a, 73c de la duodécima pieza de capa metálica 73 se pueden unir a la undécima pieza de capa metálica 72 mediante soldadura por difusión.

Por otro lado, en la segunda realización, de manera similar a la primera realización, las porciones de expansión 22b formadas en la primera pieza de capa metálica 22 se superponen a las aberturas pasantes 73a, 73c en la vista en planta, lo que dificulta la transmisión efectiva de una presión aplicada a las piezas de capa metálica 22 a 24 y 65 a 76 a las porciones respectivas alrededor de las aberturas pasantes 73a, 73c debido al espacio dentro de cada porción de expansión 22b en la etapa de unión integral.

En consecuencia, de manera similar a la primera realización, en la etapa de unión integral, la undécima pieza de capa metálica 72 y la duodécima pieza de capa metálica 73 se unen mediante soldadura por difusión en un estado en el que los bordes periféricos de las aberturas pasantes 73a, 73c de la duodécima pieza de capa metálica 73 está en estrecho contacto con los bordes periféricos de las aberturas pasantes 72a, 72d de la undécima pieza de capa metálica 72, respectivamente. El estrecho contacto de los bordes periféricos permite suprimir la fuga de fluido a través de los espacios entre las aberturas pasantes 72a, 72d y las aberturas pasantes 73a, 73c incluso en la estructura mencionada anteriormente en la que es difícil que la presión se transmita lo suficiente.

Después que se realiza la soldadura por difusión integral, de manera similar a la primera realización, se realiza una etapa de formación de capa en la que se forma una capa conectada 23b en una superficie lateral de la segunda pieza de capa metálica 23 opuesta a la cámara de bomba S1 a través de una capa aislante 23a , como se muestra en la Figura 11. En la etapa de formación de la capa, la capa aislante 23a y la capa conectada 23b se forman en una región que se extiende desde una posición dentro de la abertura pasante 22a hasta posiciones dentro de las porciones de expansión 22b de la primera pieza de capa metálica 22.

A continuación, se realiza una etapa de unión en la que el elemento piezoeléctrico 4 se une a la segunda pieza de capa metálica 23 con la primera porción de conexión 4a del elemento piezoeléctrico 4 que se conecta eléctricamente a la porción conectada 23b.

Se puede fabricar simultáneamente una pluralidad de unidades de bomba de acuerdo con la segunda realización al adoptar el procedimiento de usar una placa metálica correspondiente a la placa metálica de unión 39 mostrada en la Figura 12 de la primera modalidad.

Como se describió anteriormente, la segunda realización puede proporcionar los siguientes efectos ventajosos además de los efectos ventajosos proporcionados por la primera realización.

Como se muestra en la Figura 25, el área de sección del rebaje definido 77 de la decimocuarta pieza de capa metálica 75 y la decimoquinta pieza de capa metálica 76 (pieza de capa metálica rebajada) varía desde la abertura pasante 76b hasta la abertura pasante 74a en la vista en planta.

Aquí, en la segunda realización, se proporciona el saliente 52e que se proyecta desde la superficie inferior del rebaje definido 77 hacia el diafragma del lado de la válvula 47 en la posición en la línea recta que conecta la abertura pasante 76b y la abertura pasante 74a y se superpone la porción definida 77a en la vista en planta. Por tanto, el saliente 52e se proporciona en la porción donde el área de sección de la trayectoria del flujo es mayor en el rebaje definido 77.

Esto hace posible reducir el área de sección de la porción para suprimir la variación en la distribución del caudal en el rebaje definido 77.

Por lo tanto, es posible hacer que el aire salga en un período de tiempo que varía de varias a varias decenas de segundos en la segunda realización, mientras que se necesitan de una a tres horas (el período t1 o t2) para que el aire salga en la primera realización como se muestra en la Figura 17. Como resultado, en un caso en el que se hace que el líquido fluya como fluido, por ejemplo, es posible suprimir el estancamiento del aire y, a su vez, suprimir la reducción en la precisión del caudal.

Además, en la segunda realización, la válvula de salida de flujo 51 se dispone en el centro de la cámara de la bomba S1 en la vista en planta, y solo las dos válvulas de entrada de flujo 50 se disponen en posiciones simétricas puntuales con respecto a la línea recta que pasa por el centro en la vista en planta, como se muestra en las Figuras 18 y 21.

Por consiguiente, es posible hacer que el fluido fluya hacia la válvula de salida de flujo 51 por igual desde los dos lugares alrededor de la válvula de salida de flujo 51. Por tanto, es posible suprimir el estancamiento de fluido en la cámara de bomba S1.

Además, al limitar el número de válvulas de entrada de flujo 50 a dos, es posible mejorar el deterioro de la precisión del caudal (veáse la Figura 15) con respecto a la presión (contrapresión) que se produce al proporcionar las cuatro válvulas de entrada de flujo 14 en la primera realización, el deterioro está causado por un aumento en la cantidad total de fuga de las válvulas de entrada de flujo 14.

Específicamente, la segunda realización permite obtener una característica en la que el caudal cambia linealmente con respecto a la presión (contrapresión) como se muestra en la Figura 26. La línea continua que se muestra en la Figura 26 representa un caso en el que se usa la frecuencia de 100 Hz, la línea discontinua mostrada en la Figura 26 representa un caso en el que se utiliza la frecuencia de 150 Hz, y la línea de puntos y trazos mostrada en la Figura 26 representa un caso en el que se utiliza la frecuencia de 200 Hz.

Además, en la segunda realización, se utilizan las válvulas de entrada de flujo 50 que tienen la longitud L2 más corta que la longitud L1 de las válvulas de entrada de flujo 14 de la primera realización mostrada en la Figura 22. Específicamente, la longitud del brazo de la válvula de entrada de flujo 50 es más corta que la longitud del brazo de la válvula de entrada de flujo 14.

Debido a que la constante del resorte es pequeña en la válvula de entrada de flujo 14 de la primera realización, es difícil, cuando el diafragma del lado de la bomba 9 opera a una frecuencia relativamente alta, hacer que la válvula de entrada de flujo 14 la siga de acuerdo con las fluctuaciones de volumen en la cámara de la bomba S1. Se considera que esto es una causa de deterioro del rendimiento del caudal (véase la Figura 16).

Por el contrario, en la segunda realización, la constante elástica de la válvula de entrada de flujo 50 es mayor que en la primera realización. Esto hace posible, incluso cuando el diafragma del lado de la bomba 49 funciona a una frecuencia relativamente alta, para hacer que la válvula de entrada de flujo lo siga de acuerdo con las fluctuaciones de volumen en la cámara de la bomba S1.

Como resultado, la unidad de bomba de la segunda realización permite obtener una característica de caudal que cambia linealmente de acuerdo con el cambio de frecuencia, como se muestra en la Figura 27. Se debe señalar que la Figura 27 muestra un dato obtenido bajo la misma condición (condición donde se usa una onda cuadrada [con un voltaje máximo de 240 V y un voltaje mínimo de -60 V]) que las características de caudal mostradas en la Figura 16.

Se debe señalar que, en la segunda realización, la forma de la válvula de entrada de flujo 50 no se limita a la mostrada en la Figura 23. Por ejemplo, incluso en el caso de utilizar válvulas de entrada de flujo 50A a 50C mostradas en las Figuras 28 a 30, es posible obtener una característica de caudal que cambia linealmente de acuerdo con el cambio de frecuencia.

Específicamente, la válvula de entrada de flujo 50A mostrada en la Figura 28 incluye una porción de cierre 50c para cerrar el paso de entrada de flujo 56, y tres brazos 50d que sostienen la porción de cierre 50c de tal manera que permite que la porción de cierre 50c se mueva entre una posición para cerrar el paso de entrada de flujo 56 y una posición para abrir el paso de entrada de flujo 56.

La porción de cierre 50c está soportada en tres posiciones por los brazos 50d. Esto hace posible establecer una constante de resorte total de los tres brazos 50d grande en la válvula de entrada de flujo 50A en comparación con la válvula de entrada de flujo 14 mostrada en la Figura 22 que incluye la porción de cierre 14a soportada por un brazo 14b.

Además, los brazos 50d tienen una forma diferente a la del brazo 50b, la forma que tiene una pluralidad de porciones dobladas. Además, el brazo 50d se dispone en tres posiciones igualmente separadas alrededor de la porción de cierre 50c. Debido a tal forma doblada y la disposición de los brazos 50d, la constante elástica se puede incrementar.

La válvula de entrada de flujo 50B mostrada en la Figura 29 incluye una porción de cierre 50e para cerrar el paso de entrada de flujo 56, y un brazo 50f que soporta la porción de cierre 50e de tal manera que permite que la porción de cierre 50e se mueva entre una posición para cerrar el paso de entrada de flujo 56 y una posición para abrir el paso de entrada de flujo 56. La porción de cierre 50e se refiere a una porción sustancialmente circular (porción indicada por la línea discontinua de dos puntos en la figura) que tiene un área equivalente al área de cada una de las porciones de cierre 50a, 50c de las válvulas de entrada de flujo 50, 50A.

La longitud L4 de la válvula de entrada de flujo 50B es ligeramente más corta que la longitud L2 (véase la Figura 23) de la válvula de entrada de flujo 50.

La válvula de entrada de flujo 50C mostrada en la Figura 30 es una modificación de la válvula de entrada de flujo 50B mostrada en la Figura 29 que incluye adicionalmente unos agujeros pasantes 50g formados en el brazo 50f. En consecuencia, la constante de resorte de la válvula de entrada de flujo 50C se establece ligeramente más pequeña.

La presente invención no se limita a las realizaciones descritas anteriormente y puede adoptar las siguientes configuraciones, por ejemplo.

En la realización descrita anteriormente, la undécima pieza de capa metálica 32 se ilustra como un ejemplo de la pieza de capa metálica próxima, la undécima pieza de capa metálica 32 que incluye la abertura pasante 32b que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7 al paso de conexión del lado de salida de flujo 11. Alternativamente, la decimotercera pieza de capa metálica 34 puede usarse como la pieza de capa metálica próxima, la decimotercera pieza de capa metálica 34 que incluye la abertura pasante 34b que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula 7 al paso de conexión del lado de entrada de flujo 10. En este caso, las posiciones relativas del paso de conexión del lado de entrada de flujo 10 y del paso de conexión del lado de salida de flujo 11 están invertidas con respecto al diafragma del lado de la válvula 7.

En las realizaciones descritas anteriormente, la capa conectada 23b se forma en la superficie lateral de la segunda pieza de capa metálica 23 opuesta a la cámara de bomba S1 a través de la capa aislante 23a, como se muestra en la Figura 11. Sin embargo, la capa conectada 23b no se proporciona de manera limitada en la unidad de bomba. Por ejemplo, se puede proporcionar una capa conectada en el elemento piezoeléctrico 4 de antemano, la capa conectada que se conecta eléctricamente a la primera porción de conexión 4a del elemento piezoeléctrico 4 y que se extiende desde la primera porción de conexión 4a hasta una superficie de extremo del elemento piezoeléctrico 4 donde se encuentra la segunda porción de conexión 4b. En este caso, es posible omitir la etapa de proporcionar la capa conectada 23b a la unidad de bomba.

Las realizaciones específicas descritas anteriormente incluyen principalmente la invención que tiene las siguientes configuraciones.

Para lograr el objeto mencionado anteriormente, la presente invención proporciona una unidad de bomba, que comprende: una bomba que incluye un elemento piezoeléctrico y un mecanismo de descarga para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico; y un mecanismo de válvula unido a la bomba, en el que: el mecanismo de descarga incluye un cuerpo de bomba, un diafragma del lado de la bomba que define una cámara de bomba en cooperación con el cuerpo de la bomba, al menos una válvula de entrada de flujo que se dispone en un paso de entrada de flujo definido en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba, y una válvula de salida de flujo que se dispone en un paso de salida de flujo definido en el cuerpo de la bomba y que se conecta con la cámara de la bomba; el mecanismo de válvula incluye un cuerpo del mecanismo de válvula que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo que se conecta con el paso de entrada de flujo y un paso de conexión del lado de salida de flujo que se conecta con el paso de salida de flujo, y un diafragma del lado de la válvula dispuesto en el cuerpo del mecanismo de válvula y dividir el paso de conexión del lado de entrada de flujo del paso de conexión del lado de salida de flujo; se permite que la válvula de entrada de flujo se abra cuando la presión en un lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo es mayor que la presión en la cámara de la bomba; se permite que la válvula de salida de flujo se abra cuando la presión en la cámara de la bomba es mayor que la presión en un lado aguas abajo de la válvula de salida de flujo; se permite que el diafragma del lado de la válvula restrinja el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo cuando una presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de fluido; y el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula incluyen cada uno una pluralidad de piezas de capa metálica apiladas en una dirección de apilamiento predeterminada y unidas entre sí mediante soldadura por difusión, el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula se aseguran entre sí mediante soldadura por difusión.

De acuerdo con la unidad de bomba de la presente invención, el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula se forman por separado al unir la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión, y los mecanismos se aseguran entre sí mediante soldadura por difusión. Por lo tanto, es posible omitir una etapa tal como la de unión para formar cada uno de los mecanismos de descarga y el mecanismo de válvula, y eliminar la necesidad de formar una junta en la unión entre el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula como en los casos convencionales.

Un procedimiento para fabricar unidades de bomba de acuerdo con la presente invención incluye: una etapa de preparación para preparar una pluralidad de piezas de capa metálica para formar el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula; una etapa de unión para unir la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión; y una etapa de fijación para fijar el elemento piezoeléctrico al mecanismo de descarga.

Por tanto, de acuerdo con la presente invención, es posible proporcionar una unidad de bomba con un número reducido de componentes y simplificar su proceso de fabricación.

Aquí, el paso de conexión del lado de salida de flujo puede estar cerrado por el diafragma del lado de la válvula cuando no se produce una diferencia de presión entre el paso de conexión del lado de entrada de flujo y el paso de conexión del lado de salida de flujo. En este caso, sin embargo, debido a que el diafragma del lado de la válvula también está hecho de metal, se produce una pérdida de presión cuando el diafragma del lado de la válvula se abre para descargar fluido, lo que dificulta la descarga estable de fluido.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que el cuerpo del mecanismo de válvula incluya además un asiento de válvula que se pueda operar para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo, y que el diafragma del lado de la válvula se separe del asiento de válvula y tenga una elasticidad para deformarse para entrar en contacto con el asiento de válvula cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo.

De acuerdo con esta configuración, el paso de conexión del lado de salida de flujo está abierto cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es menor que cuando el diafragma del lado de la válvula está deformado (es decir, cuando no se produce una presión anormal en el paso de conexión del lado de entrada de flujo). Por lo tanto, es posible evitar la pérdida de presión mencionada anteriormente para realizar así una descarga de fluido estable.

Como el procedimiento para fabricar la unidad de bomba mencionado anteriormente, se puede adoptar un procedimiento en el que: el cuerpo del mecanismo de válvula incluye además un asiento de válvula que se puede operar para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo; en la etapa de preparación, se prepara una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula que incluye el diafragma del lado de la válvula, una pieza de capa metálica del asiento de válvula que incluye el asiento de válvula, y una pieza de capa metálica que crea un espacio que incluye una abertura que crea un espacio que pasa a través del mismo en la dirección de apilamiento; en la etapa de unión, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que el asiento de válvula y la abertura que crea un espacio se superponen entre sí en la dirección de apilamiento y la pieza de capa metálica que crea el espacio se encuentra entre la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula y la pieza de capa metálica de asiento de válvula; y el diafragma del lado de la válvula tiene una elasticidad para deformarse para entrar en contacto con el asiento de válvula cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo.

De acuerdo con esta configuración, es posible fabricar una unidad de bomba capaz de evitar la pérdida de presión como se mencionó anteriormente al colocar la pieza de capa metálica que crea el espacio entre la pieza de capa metálica del asiento de válvula y la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula y unir estas piezas de capa metálica entre sí mediante soldadura por difusión.

Aquí, el diafragma del lado de la válvula puede estar dispuesto fuera del diafragma del lado de la bomba en una vista en planta que mira a la unidad de la bomba en la dirección de apilamiento. Sin embargo, en este caso, la unidad de bomba tendría un tamaño mayor en una dirección que interseca perpendicularmente la dirección de apilamiento, lo que reduciría la flexibilidad de disposición de la unidad de bomba.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que la pluralidad de piezas de capa metálica incluya una pieza de capa metálica de la cámara de la bomba formada con una abertura de la cámara de la bomba que define la cámara de la bomba, una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula que tiene el diafragma del lado de la válvula, una pieza de capa metálica que define el lado de entrada de fluido unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula, y formada con una abertura que define el lado de entrada de flujo que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula al paso de conexión del lado de entrada de flujo, y una pieza de capa metálica que define el lado de salida de flujo unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula, y formada con una abertura que define el lado de salida de flujo que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula al paso de conexión del lado de salida de flujo, y que la abertura que define el lado de entrada de flujo y la abertura que define el lado de salida de flujo se encuentran dentro de la abertura de la cámara de la bomba en una vista en planta que mira a la unidad de bomba en la dirección de apilamiento.

De acuerdo con esta configuración, el diafragma del lado de la válvula se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba en la vista en planta. Esto permite que la unidad de bomba se haga compacta en la dirección que se interseca perpendicularmente con la dirección de apilamiento y hace posible mejorar la flexibilidad de disposición de la unidad de bomba.

Como procedimiento para fabricar la unidad de bomba mencionado anteriormente, se puede adoptar un procedimiento en el que: en la etapa de preparación, una pieza de capa metálica de la cámara de la bomba formada con una abertura de la cámara de la bomba que define la cámara de la bomba, una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula que tiene el diafragma del lado de la válvula, una pieza de capa metálica que define el lado de entrada de flujo formada con una abertura que define el lado de entrada de flujo que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula al paso de conexión del lado de entrada de flujo, y se prepara una pieza de capa metálica que define la salida de flujo formada con una abertura que define el lado de salida de fluido que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula al paso de conexión del lado de salida de fluido; y en la etapa de unión, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que la abertura que define el lado de entrada de fluido y la abertura que define el lado de salida de fluido se encuentran dentro de la abertura de la cámara de bomba en vista en planta que mira la unidad de bomba en la dirección de apilamiento.

De acuerdo con esta configuración, es posible fabricar una unidad de bomba capaz de mejorar la flexibilidad del diseño como se mencionó anteriormente al realizar soldadura por difusión con la abertura que define el lado de entrada de fluido y la abertura que define el lado de salida de fluido colocada con respecto a la abertura de la cámara de bomba.

Como se mencionó anteriormente, cuando el diafragma del lado de la válvula se encuentra dentro del diafragma del lado de la bomba en la vista en planta, el paso de conexión del lado de entrada de flujo (abertura que define el lado de entrada de fluido) o el paso de conexión del lado de salida de flujo (abertura que define el lado de salida de fluido) se encuentra entre el diafragma del lado de la válvula y el diafragma del lado de la bomba. Por lo tanto, el paso de conexión del lado de entrada de flujo o el paso de conexión del lado de salida de flujo tiene una porción (en lo sucesivo, denominada "porción situada en el interior") que se encuentra dentro de la cámara de la bomba en la vista en planta entre el diafragma del lado de la válvula y el diafragma del lado de la bomba.

Aquí, en la soldadura por difusión, es necesario aplicar presión a la pluralidad de piezas de capa metálica apiladas en la dirección de apilamiento, pero es difícil transmitir la presión de manera efectiva a las porciones de las piezas de capa metálica que se superponen a la cámara de la bomba (espacio). Esto hace que sea difícil formar la porción situada en el interior del paso de conexión del lado de entrada de flujo de la bomba o el paso de conexión del lado de salida de flujo mediante soldadura por difusión.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que una pieza de capa metálica próxima que sea una de las piezas de capa metálica que definen el lado de entrada de flujo y la pieza de capa metálica que define el lado de salida de flujo que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba no incluya otra abertura que una pluralidad de aberturas que forman el paso y una de las aberturas que definen el lado de entrada de flujo y la abertura que define el lado de salida de flujo para formar el paso de conexión del lado de entrada de flujo y el paso de conexión del lado de salida de flujo y que la pluralidad de aberturas que forman el paso se encuentre fuera de la abertura de la cámara de bomba en la vista en planta.

De acuerdo con esta configuración, entre la pluralidad de piezas de capa metálica, las (en adelante, denominada "sección intermedia") apiladas entre la pieza de capa metálica próxima y la pieza de capa metálica de la cámara de la bomba se unen mediante soldadura por difusión, por separado de las otras piezas de capa metálica. Esto hace posible formar de manera fiable la porción situada en el interior en la sección intermedia.

Además, de acuerdo con la configuración descrita anteriormente, las aberturas que forman el paso se encuentran fuera de la abertura de la cámara de bomba en la vista en planta. Por lo tanto, al unir toda la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión, es posible aplicar una presión a las respectivas porciones periféricas de las aberturas que forman el paso de la pieza de capa metálica próxima incluso a través de la pieza de capa metálica de la cámara de la bomba que incluye la abertura de la cámara de la bomba.

Por lo tanto, es posible proporcionar la unidad de bomba en la que el paso de conexión del lado de entrada de flujo y el paso de conexión del lado de salida de flujo estén formados de manera apropiada.

Específicamente, como el procedimiento para fabricar la unidad de bombeo mencionado anteriormente, se puede adoptar un procedimiento en el que: en la etapa de preparación, un lado de flujo que define la pieza de capa metálica y el lado de salida de flujo que define la pieza de capa metálica que está más cerca del La pieza de capa metálica de la cámara de bomba se prepara como una pieza de capa metálica próxima que no incluye otra abertura que una pluralidad de aberturas que forman el paso y una de las aberturas que definen el lado de entrada y la abertura que define el lado de salida para formar la abertura de flujo. en el paso de conexión del lado y el paso de conexión del lado de salida de fluido; y la etapa de unión incluye un primera etapa de unión para unir la pieza de capa metálica próxima, la pieza de capa metálica de la cámara de bomba y una o más de la pluralidad de piezas de capa metálica apiladas entre ellas mediante soldadura por difusión, y una segunda etapa de unión para unir algunos de la pluralidad de piezas de capa metálica que se han unido en el primer paso y la otra de la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión en un estado en el que la pluralidad de aberturas de formación de paso se encuentran fuera de la abertura de la cámara de bomba en la vista en planta.

De acuerdo con esta configuración, la etapa de unión incluye el primer y segundo pasos de unión para hacer posible formar la porción situada en el interior en el primera etapa de unión, y aplicar presión a las respectivas porciones periféricas de las aberturas que forman el paso incluso a través de la pieza de capa metálica de la cámara de la bomba que incluye la abertura de la cámara de la bomba en la segunda etapa de unión.

Aquí, incluso cuando la pieza de capa metálica próxima que incluye las aberturas que forman el paso que se encuentran fuera de la abertura de la cámara de la bomba en la vista en planta se usa como se mencionó anteriormente, hay casos en los que otra pieza de capa metálica incluye una abertura que se superpone a la abertura de formación de paso en se debe utilizar la vista en planta. En este caso, incluso cuando se adopta el procedimiento de fabricación mencionado anteriormente, es difícil aplicar soldadura por difusión a la porción periférica de la abertura que forma el paso de la pieza de capa metálica próxima.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que la pluralidad de piezas de capa metálica incluya una pieza de capa metálica adyacente unida a una superficie lateral de la pieza de capa metálica próxima que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba, y la pieza de capa metálica adyacente se forma con una abertura de comunicación que tiene un borde periférico que está en estrecho contacto con un borde periférico de un primer paso que forma una abertura entre la pluralidad de aberturas que forman el paso.

De acuerdo con esta configuración, la pieza de capa metálica próxima y la pieza de capa metálica adyacente se unen mediante soldadura por difusión en un estado en el que el borde periférico del primer paso que forma la abertura de la pieza de capa próxima está en estrecho contacto con el borde periférico de la abertura de comunicación de la pieza de capa metálica adyacente. Esto hace posible, incluso cuando se utiliza otra pieza de capa metálica que incluye una abertura que se solapa con la primera abertura de formación de paso, suprimir la fuga de fluido a través de la unión entre la primera abertura de formación de paso y la abertura de comunicación, debido a su estrecho contacto.

Específicamente, como el procedimiento para fabricar la unidad de bomba descrito anteriormente, se puede utilizar un procedimiento en el que: en la etapa de preparación, se prepara una pieza de capa metálica adyacente que incluye una abertura de comunicación que tiene un borde periférico capaz de entrar en estrecho contacto con un borde periférico de una primera abertura que forma el paso entre la pluralidad de aberturas que forman el paso; y en la segunda etapa de unión, la pieza de capa metálica adyacente se une a una superficie lateral de la placa próxima que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba en un estado en el que el borde periférico de la abertura de formación del primer paso está en estrecho contacto con el borde periférico de la apertura de comunicación.

De acuerdo con esta configuración, incluso cuando se usa otra pieza de capa metálica que incluye una abertura que se superpone a la primera abertura de formación de paso, es posible suprimir la fuga de fluido a través de la junta entre la primera abertura de formación de paso y la abertura de comunicación uniendo el metal próximo pieza de capa y la pieza de capa metálica adyacente mediante soldadura por difusión en el estado en el que el borde periférico de la primera abertura de formación de paso está en estrecho contacto con el borde periférico de la abertura de comunicación en la segunda etapa de unión.

Aquí, el área móvil para el diafragma del lado de la válvula se puede definir mediante un rebaje formado en una pieza de capa metálica adyacente al mismo. En este caso, se desea hacer el rebaje (área del área móvil para el diafragma del lado de la válvula) lo más grande posible para mejorar la respuesta a la presión del diafragma del lado de la válvula. Por otro lado, un paso de conexión que se conecta con el hueco debe ser más pequeño que el hueco para reducir el tamaño de la unidad de bomba. Para satisfacer tales requisitos, el área de sección varía en un paso que se extiende desde el entrante hasta el paso de conexión y, por lo tanto, la distribución del caudal es desigual en el paso que se extiende desde el entrante hasta el paso de conexión. En consecuencia, en un caso en el que se hace que el líquido fluya como fluido, por ejemplo, existe la posibilidad de que el aire se estanque en el conducto para provocar una reducción en la precisión del caudal.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que la pluralidad de piezas de capa metálica incluya una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula que tiene el diafragma del lado de la válvula y una pieza de capa metálica rebajada unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula y formado con un rebaje definido que tiene una porción definida que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula, que la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula incluye una primera abertura de conexión que se conecta con el rebaje definido en una posición exterior de la porción definida en vista en planta en la unidad de bomba en la dirección de apilamiento, y más pequeña que la porción definida en la vista en planta, que la pieza de capa metálica rebajada incluye una segunda abertura de conexión que se conecta con el hueco definitorio en una posición exterior de la porción definida en la vista en planta, y más pequeño que la porción definida en la vista en planta, que el receso definitorio incluye un par de porciones de extensión que se extienden y que van desde la porción definida hasta la primera abertura de conexión y la segunda abertura de conexión en la vista en planta, y que la pieza de capa metálica rebajada incluye una proyección que se proyecta desde una superficie inferior del receso definitorio hacia el diafragma del lado de la válvula y dispuesta en una línea de conexión la primera abertura de conexión y la segunda abertura de conexión, la proyección superpuesta a la porción definida, en la vista en planta.

El área en sección del rebaje definido de la pieza de capa metálica rebajada que incluye el par de porciones de extensión y la porción definida varía desde la primera abertura de conexión hasta la segunda abertura de conexión en la vista en planta. Específicamente, en la vista en planta, el área en sección del rebaje definitorio aumenta desde la primera abertura de conexión hasta la porción definida, y disminuye desde la porción definida hasta la segunda abertura de conexión.

Aquí, en la configuración descrita anteriormente, la pieza de capa metálica rebajada se proporciona con la proyección que se proyecta desde la superficie inferior del rebaje definido hacia el diafragma del lado de la válvula en la posición en la línea que conecta la primera abertura de conexión y la segunda abertura de conexión y superponiendo la porción definida en la vista en planta. Por tanto, el saliente se proporciona en la porción donde el área de sección de la trayectoria de flujo es mayor en el rebaje definido formado en la pieza de capa metálica rebajada como se describe. Esto hace posible reducir el área de sección de la porción para suprimir la variación en la distribución del caudal en el rebaje definido.

Por lo tanto, debido a que es posible suprimir la variación en la distribución del caudal en el receso de definición, es posible evitar el estancamiento del aire para así suprimir la reducción en la precisión del caudal en un caso en el que el líquido fluya como fluido, por ejemplo.

Aquí, hay casos en los que el elemento piezoeléctrico incluye una porción de conexión para permitir que se conecte al mismo una fuente de alimentación.

En este caso, es posible poner la porción de conexión del elemento piezoeléctrico en contacto directo con el diafragma del lado de la bomba y conectar eléctricamente la fuente de energía a la pluralidad de piezas de capa metálica, por ejemplo.

Sin embargo, debido a que el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula están hechos de metal, cuando la fuente de energía se conecta a la unidad de bomba como se mencionó anteriormente, la corriente eléctrica fluye a través del líquido en la cámara de la bomba en un caso donde el líquido tiene conductividad. Por lo tanto, puede surgir un problema en función del uso del líquido.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que la pluralidad de piezas de capa metálica incluya una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba que tiene el diafragma del lado de la bomba, que el elemento piezoeléctrico incluye una porción de conexión para permitir que se conecte una fuente de alimentación. al mismo, y que la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba tiene una superficie opuesta a la cámara de la bomba, la superficie se forma con una capa conectada eléctricamente conectada a la porción de conexión a través de una capa aislante.

De acuerdo con esta configuración, es posible evitar el flujo de corriente eléctrica a través del fluido en la cámara de la bomba debido a la capa aislante. Por tanto, la unidad de bomba se puede aplicar a usos (por ejemplo, como bomba de inyección de fluido médico para uso médico) en los que el flujo de corriente eléctrica a través del fluido está restringido.

Específicamente, como procedimiento para fabricar la unidad de bomba mencionado anteriormente, se puede adoptar un procedimiento en el que: en la etapa de preparación, se prepara una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba que incluye el diafragma del lado de la bomba, el procedimiento para fabricar la unidad de bomba incluye además una etapa de formación de capa de formar una capa conectada en una superficie de la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba opuesta a la cámara de la bomba a través de una capa aislante, en la que en la etapa de unión, el elemento piezoeléctrico se une a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba en un estado en el que una porción de conexión proporcionada en el elemento piezoeléctrico está eléctricamente conectada a la capa conectada.

De acuerdo con esta configuración, es posible fabricar una unidad de bomba capaz de evitar el flujo de corriente eléctrica a través del fluido en la cámara de la bomba, después de formar una capa aislante y una capa conectada en la etapa de formación de la capa, uniendo el elemento piezoeléctrico a la bomba. pieza de capa metálica de diafragma del lado con la porción de conexión conectada eléctricamente a la capa conectada.

Aquí, en un caso en el que la cámara de la bomba tiene una forma circular en la vista en planta, es posible disponer la válvula de salida de flujo en un centro de la cámara de la bomba en la vista en planta y una pluralidad de válvulas de entrada de flujo en simétrica axialmente. posiciones con respecto a una línea recta que pasa por el centro de la cámara de la bomba en la vista en planta. En consecuencia, es posible hacer que el fluido fluya a la válvula de salida de flujo por igual desde la pluralidad de lugares alrededor de la válvula de salida de flujo. Esto permite suprimir el estancamiento de fluido en la cámara de la bomba. Por lo tanto, es posible aliviar un problema como el estancamiento del aire en la cámara de la bomba que conduce a una reducción en la precisión del caudal en un caso en el que se hace que el líquido fluya como fluido, por ejemplo.

Por otro lado, la válvula de entrada de flujo se configura para cerrar el paso de entrada de flujo al utilizar la rigidez de la pieza de capa metálica. Por lo tanto, existe la posibilidad de que se produzca una pequeña fuga a través del conducto de entrada incluso cuando la válvula de entrada de flujo se cierra. Por lo tanto, si el número de válvulas de entrada de flujo es grande, la cantidad total de fuga de fluido a través de las válvulas de entrada de flujo puede aumentar para reducir la precisión del caudal.

En consecuencia, en la unidad de bomba descrita anteriormente, se prefiere que la cámara de la bomba tenga una forma circular en vista en planta que mira a la unidad de bomba en la dirección de apilamiento, que la válvula de salida de flujo esté dispuesta en el centro de la cámara de la bomba en la vista en planta, y que se proporcionan dos válvulas de entrada de flujo que no incluyen otra válvula que una válvula de entrada de flujo que se dispone en una posición simétrica axialmente a la al menos una válvula de entrada de flujo con respecto a una línea recta que pasa por el centro de la cámara de la bomba en la vista en planta.

De acuerdo con esta configuración, sólo las dos válvulas de entrada de flujo se disponen en posiciones simétricas axialmente con respecto a la línea recta que pasa por el centro de la cámara de la bomba. En consecuencia, es posible suprimir al máximo el aumento en la cantidad de fugas a través de las válvulas de entrada de flujo mientras se reduce el estancamiento de fluido mencionado anteriormente en la cámara de la bomba.

En el procedimiento para fabricar la unidad de bomba divulgado anteriormente, se prefiere que en la etapa de preparación, haya placas metálicas de unión preparadas, cada una con un número específico de piezas de capa metálica de una de la pluralidad de piezas de capa metálica, el número especificado de capa metálica las piezas se unen entre sí, y en la etapa de unión, la pluralidad de placas metálicas de unión se unen entre sí mediante soldadura por difusión para hacer una pluralidad de unidades, cada una de las cuales incluye el mecanismo de descarga y el mecanismo de válvula, y que el procedimiento para fabricar la unidad de bomba comprende además una etapa de corte de cortar las placas metálicas de unión en las unidades después de la etapa de unión.

De acuerdo con esta configuración, es posible fabricar una pluralidad de unidades de bomba sin realizar la etapa de unión una pluralidad de veces. En consecuencia, es posible mejorar aún más la eficiencia de fabricación de las unidades de bomba.

Claims (15)

REIVINDICACIONES

1. Una unidad de bomba (1), que comprende:

una bomba (2; 42) que incluye un elemento piezoeléctrico (4) y un mecanismo de descarga (5; 45) para descargar fluido de acuerdo con el funcionamiento del elemento piezoeléctrico (4); y

un mecanismo de válvula (3; 43) unido a la bomba (2; 42), en el que:

el mecanismo de descarga (5; 45) incluye

un cuerpo de la bomba (8; 48),

un diafragma del lado de la bomba (9; 49) que define una cámara de la bomba (S1) en cooperación con el cuerpo de la bomba (8; 48),

al menos una válvula de entrada de flujo (14; 50) que se dispone en un paso de entrada de flujo (13; 56) definido en el cuerpo de la bomba (8; 48) y que se conecta con la cámara de la bomba (S1), y una válvula de salida de flujo (17; 51) que se dispone en un paso de salida de flujo (16; 58) definido en el cuerpo de la bomba (8; 48) y que se conecta con la cámara de la bomba (S1);

el mecanismo de válvula (3; 43) incluye

un cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) que tiene un paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) que se conecta con el paso de entrada de flujo (13; 56), y un paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53) que se conecta con el paso de salida de flujo (16; 58);

se permite que la válvula de entrada de flujo (14; 50) se abra cuando la presión en un lado aguas arriba de la válvula de entrada de flujo (14; 50) es mayor que la presión en la cámara de la bomba (S1);

se permite que la válvula de salida de flujo (17; 51) se abra cuando la presión en la cámara de la bomba (S1) es mayor que la presión en el lado de aguas abajo de la válvula de salida de flujo (17; 51); y el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43) incluyen cada uno una pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37; 22 a 24, 65 a 76) apiladas en una dirección de apilamiento predeterminada y unidas entre sí por soldadura por difusión, asegurándose el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43) entre sí mediante soldadura por difusión,

caracterizada porque el mecanismo de válvula (3; 43) incluye además

un diafragma del lado de la válvula (7; 47) dispuesto en el cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) y que divide el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53), en el que

el diafragma del lado de la válvula (7; 47) puede restringir el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53) cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) es mayor que una presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53).

2. La unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 1, en la que:

el cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) incluye además un asiento de válvula (38; 55) operable para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula (7; 47) para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53); y

el diafragma del lado de la válvula (7; 47) se separa del asiento de válvula (38; 55) y tiene una elasticidad para deformarse para entrar en contacto con el asiento de válvula (38; 55) cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53).

3. La unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 1 o 2, en la que:

la pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37) incluyen

una pieza de capa metálica de la cámara de la bomba (24) formada con una abertura de la cámara de la bomba (24a) que define la cámara de la bomba (S1),

una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33) que tiene el diafragma del lado de la válvula (7),

una pieza de capa metálica que define el lado de entrada de flujo (34) unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33), y formada con una abertura que define el lado de entrada de flujo (34b) que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula (7) al paso de conexión del lado de entrada de flujo (10), y

una pieza de capa metálica que define el lado de salida de flujo (32) unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33), y formada con una abertura que define el lado de salida de fluido (32b) que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula (7) al paso de conexión del lado de salida de flujo (11); y

la abertura que define el lado de entrada de flujo (34b) y la abertura que define el lado de salida de flujo (32b) se encuentran dentro de la abertura (24a) de la cámara de bomba en una vista en planta que mira la unidad de bomba (1) en la dirección de apilamiento.

4. La unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 3, en la que:

una pieza de capa metálica próxima (32) que es una de las piezas de capa metálica que define el lado de entrada de flujo (34) y la pieza de capa metálica del lado de salida de flujo (32) que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba (24) no incluye otra abertura distinta de una pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c) y una de las aberturas que definen el lado de entrada de flujo (34b) y la abertura que define el lado de salida de flujo (32b) para formar la conexión del lado de entrada la etapa (10) y el paso de conexión del lado de salida de flujo (11); y

la pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c) se encuentran fuera de la abertura de la cámara de la bomba (24a) en la vista en planta.

5. La unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 4, en la que:

la pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37) incluye una pieza de capa metálica adyacente (31) unida a una superficie del lado de la pieza de capa metálica próxima (32) que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba (24), y

la pieza de capa metálica adyacente (31) se forma con una abertura de comunicación (31a) que tiene un borde periférico que se encuentra en estrecho contacto con un borde periférico de una primera abertura que forma el paso (32a) entre la pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c).

6. La unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 1 o 2, en la que:

la pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 24, 65 a 76) incluyen

una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (74) que tiene el diafragma del lado de la válvula (47), y

una pieza de capa metálica rebajada (75, 76) unida a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (74) y formada con un rebaje definido (77) que tiene una porción definida (77a) que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula (47);

la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (74) incluye una primera abertura de conexión (74a) que se conecta con el rebaje definido (77) en una posición exterior de la porción definida (77a) en vista en planta que mira la unidad de bomba (1) en la dirección de apilamiento, y más pequeña que la porción definida (77a) en la vista en planta;

la pieza de capa metálica rebajada (75, 76) incluye una segunda abertura de conexión (76b) que se conecta con el rebaje definido (77) en una posición exterior de la porción definida (77a) en la vista en planta, y más pequeña que la porción definida (77a) en la vista en planta;

el rebaje definido (77) incluye un par de porciones de extensión (77b) que se extienden y estrechan respectivamente desde la porción definida (77a) hasta la primera abertura de conexión (74a) y la segunda abertura de conexión (76b) en la vista en planta; y

la pieza de capa metálica rebajada (75, 76) incluye una proyección (52e) que se proyecta desde una superficie inferior del rebaje definido (77) hacia el diafragma del lado de la válvula (47) y dispuesta en una línea que conecta la primera abertura de conexión (74a) y la segunda abertura de conexión (76b), superponiéndose la proyección a la porción definida (77a), en la vista en planta.

7. La unidad de bomba (1) de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 a la 6, en la que

la pluralidad de piezas de capa metálica incluye una pieza de capa metálica de diafragma del lado de la bomba (23) que tiene el diafragma del lado de la bomba (9; 49);

el elemento piezoeléctrico (4) incluye una porción de conexión (4a, 4b) para permitir que se conecte al mismo una fuente de alimentación; y

la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba (23) tiene una superficie opuesta a la cámara de la bomba (S1), la superficie se forma con una capa conectada (23b) conectada eléctricamente a la porción de conexión (4a) a través de una capa aislante (23a).

8. La unidad de bomba (1) de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 a la 7, en la que

la cámara de bomba (S1) tiene una forma circular en vista en planta que mira a la unidad de bomba (1) en la dirección de apilamiento;

la válvula de salida de flujo (17; 51) se dispone en el centro de la cámara de la bomba (S1) en la vista en planta; y

se proporcionan dos válvulas de entrada de flujo (14; 50) que no incluyen otra válvula distinta de una válvula de entrada de flujo (14; 50) dispuesta en una posición simétrica axialmente a la al menos una válvula de entrada de flujo (14; 50) con respecto a una línea recta que pasa por el centro de la cámara de la bomba (S1) en la vista en planta.

9. Un procedimiento de fabricación de la unidad de bomba (1) de fabricación de la unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 1, que comprende:

una etapa de preparación para preparar una pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37; 22 a 24, 65 a 76) para formar el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43);

una etapa de unión para unir la pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37; 22 a 24, 65 a 76) mediante soldadura por difusión; y

una etapa de fijación para fijar el elemento piezoeléctrico (4) al mecanismo de descarga (5; 45).

10. El procedimiento de fabricación de la unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 9, en el que:

el cuerpo del mecanismo de válvula (6; 46) incluye además un asiento de válvula (38; 55) operable para entrar en contacto con el diafragma del lado de la válvula (7; 47) para restringir así el flujo de fluido a través del paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53);

en la etapa de preparación, una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33; 74) que incluye el diafragma del lado de la válvula (7; 47), una pieza de capa metálica del asiento de válvula (31; 72) que incluye el asiento de válvula (38; 55), y se prepara una pieza de capa metálica que crea un espacio (32; 73) que incluye una abertura (32b; 73b) que crea un espacio que pasa a través de la misma en la dirección de apilamiento;

en la etapa de unión, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que el asiento de válvula (38; 55) y la abertura que crea un espacio (32b; 73b) se superponen entre sí en la dirección de apilamiento y la pieza de capa metálica que crea un espacio (32; 73) se encuentra entre la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33; 74) y la pieza de capa metálica del asiento de válvula (31; 72); y

el diafragma del lado de la válvula (7; 47) tiene una elasticidad para deformarse para entrar en contacto con el asiento de válvula (38; 55) cuando la presión en el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10; 52) es mayor que la presión en el paso de conexión del lado de salida de flujo (11; 53).

11. El procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 9, en el que:

en la etapa de preparación, una pieza de capa metálica de la cámara de la bomba (24) formada con una abertura de la cámara de la bomba (24a) que define la cámara de la bomba (S1), una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la válvula (33) que tiene el diafragma del lado de la válvula (7), un lado de entrada de flujo que define una pieza de capa metálica (34) formada con una abertura que define el lado de entrada de fluido (34b) que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula (7) al paso de conexión del lado de entrada de flujo (10), y se prepara una pieza de capa metálica que define el lado de salida (32) formada con una abertura que define el lado de salida de flujo (32b) que define un área móvil para el diafragma del lado de la válvula (7) al paso de conexión del lado de salida de flujo (11); y

en la etapa de unión, la soldadura por difusión se realiza en un estado en el que la abertura que define el lado de entrada de flujo (34b) y la abertura que define el lado de salida de flujo (32b) se encuentran dentro de la abertura (24a) de la cámara de unidad de bomba (1) en la dirección de apilamiento.

12. El procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 11, en el que: en la etapa de preparación, se prepara uno de la pieza de capa metálica que define el lado de entrada de flujo (34) y la pieza de capa metálica que define el lado de salida de flujo (32) que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba (24) como pieza de capa metálica (32) que no incluye otra abertura distinta de una pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c) y una de las aberturas que definen el lado de entrada de flujo (34b) y la abertura que define el lado de salida de flujo (32b) con el fin de formar el paso de conexión del lado de entrada de flujo (10) y el paso de conexión del lado de salida de flujo (11); y

la etapa de unión incluye un primera etapa de unión para unir la pieza de capa metálica próxima (32), la pieza de capa metálica de la cámara de bomba (24) y una o más de la pluralidad de piezas de capa metálica apiladas entre ellas mediante soldadura por difusión, y una segunda etapa de unión para unir algunas de la pluralidad de piezas de capa metálica que se han unido en el primer paso y la otra de la pluralidad de piezas de capa metálica mediante soldadura por difusión en un estado en el que la pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c) se encuentran fuera la abertura de la cámara de la bomba (24a) en la vista en planta.

13. El procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1) de acuerdo con la reivindicación 12, en el que:

en la etapa de preparación, se prepara una pieza de capa metálica adyacente (31) que incluye una abertura de comunicación (31a) que tiene un borde periférico capaz de entrar en estrecho contacto con un borde periférico de una primera abertura que forma el paso (32a) entre la pluralidad de aberturas que forman el paso (32a, 32c); y

en la segunda etapa de unión, la pieza de capa metálica adyacente (31) se une a una superficie del lado de la placa próxima que está más cerca de la pieza de capa metálica de la cámara de bomba (24) en un estado en el que el borde periférico de la primera abertura que forma el paso (32a) está en estrecho contacto con el borde periférico de la abertura de comunicación (31a).

14. El procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1) de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 9 a 13, en el que

en la etapa de preparación, se prepara una pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba (23) que incluye el diafragma del lado de la bomba (9; 49), comprendiendo además el procedimiento de fabricación de la unidad de bomba (1)

una etapa de formación de capa para formar una capa conectada (23b) sobre una superficie de la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba (23) opuesta a la cámara de la bomba (S1) mediante una capa aislante (23a), en la que

en la etapa de unión, el elemento piezoeléctrico (4) se une a la pieza de capa metálica del diafragma del lado de la bomba (23) en un estado en el que una porción de conexión (4a) proporcionada en el elemento piezoeléctrico (4) se conecta eléctricamente a la capa conectada (23b).

15. El procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1) de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 9 a 14, en el que

en la etapa de preparación, se preparan placas metálicas de unión (39), cada una con un número específico de piezas de capa metálica de una de la pluralidad de piezas de capa metálica (22 a 37; 22 a 24, 65 a 76), estando unidos entre sí el número especificado de las piezas de capa metálica ; y

en la etapa de unión, la pluralidad de placas metálicas de unión (39) se unen entre sí mediante soldadura por difusión para hacer una pluralidad de unidades, cada una de las cuales incluye el mecanismo de descarga (5; 45) y el mecanismo de válvula (3; 43), comprendiendo además el procedimiento de fabricación de una unidad de bomba (1)

una etapa de corte para cortar las placas metálicas de unión (39) en las unidades después de la etapa de unión.