ES2220703T3 - Puntas de rectificado para maquinas de rectificar comprendiendo secciones de grano grueso y de grano fino ligadas por resina. - Google Patents
Puntas de rectificado para maquinas de rectificar comprendiendo secciones de grano grueso y de grano fino ligadas por resina.Info
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Abstract
Punta para el rectificado de entalladura, que comprende un husillo (130) y una región cilíndrica lo suficientemente larga para formar en la misma por lo menos dos ranuras perfiladas para el rectificado de entalladura (140), (142), caracterizada porque la región incluye dos secciones axialmente espaciadas, una de las cuales, por lo menos, es lo suficientemente larga para conformar en la misma por lo menos dos ranuras, siendo la sección (162) axialmente más alejada del husillo de la punta, una sección con ligante de resina, de grano grueso para el rectificado de desbaste de una entalladura en una pieza a elaborar y la sección (160) axialmente más cercana al husillo de la punta, una sección con ligante de resina de grano fino para el rectificado de acabado de la entalladura.
Description
Puntas de rectificado para máquinas de rectificar
comprendiendo secciones de grano grueso y de grano fino ligadas
por resina.
La presente invención se refiere a máquinas de
rectificar y muelas que se utilizan en dichas máquinas para el
rectificado de entalladuras en los bordes de discos, como láminas
cristalinas de sílice, que se utilizan en la construcción de
dispositivos semiconductores, así como a métodos para rectificar
regiones de borde de dichos discos, con el objeto de formar
entalladuras en los mismos. Debido a que las entalladuras tienen
dimensiones relativamente pequeñas con respecto al tamaño de las
láminas cristalinas, las muelas utilizadas para conformar estas
entalladuras suelen recibir el nombre de puntas de rectificado.
En la Patente WO97/48522, se describe una máquina
de rectificar discos, documento que se incorpora aquí a modo de
referencia. La Patente WO97/48522 describe la utilización de una
muela adiamantada o CBN con ligante metálico sobre una máquina de
rectificar para el rectificado de desbaste del borde de un disco,
como una lámina cristalina de semiconductor, antes de utilizar una
muela CBN con ligante de resina, más suave para el rectificado de
acabado del borde del disco, y describe además una técnica in
situ para conformar y volver a conformar un acanalado en la
muela de rectificar CBN con ligante de resina, con el fin de
rectificar la forma correcta en torno al borde del disco.
La máquina incluye también una punta de
rectificado, de pequeño diámetro, para rectificar una entalladura
de proporciones predeterminadas en torno al borde del disco
rectificado.
La memoria de Patente británica n° 2335620
describe una punta para rectificar entalladuras, por ejemplo, que
se utiliza en la máquina descrita en la Patente WO97/48522, donde
la punta tiene una región cilíndrica suficientemente larga para que
se pueda formar una serie de ranuras perfiladas para producir la
entalladura, con la particularidad de que cuando una de éstas
ranuras está demasiado gastada para seguir utilizándola, se pueden
formar en la punta una o más ranuras adicionales. Una realización
de la punta descrita en la memoria consiste en una punta que tiene
una sección adiamantada, con ligante metálico axialmente cercano al
husillo y una sección conformable con ligante de resina axialmente
más alejada del husillo. En la práctica, se utiliza un acanalado en
la sección con ligante metálico para el rectificado de desbaste de
la entalladura y el acanalado formado en la sección conformable
con ligante de resina se utiliza para el rectificado de acabado de
la entalladura.
Uno de los problemas que surge con la disposición
antes citada de la punta de rectificado es el de la alineación de
las secciones con ligante metálico y las de ligante de resina.
Según un aspecto de la presente invención, se
ofrece una punta de rectificado según la reivindicación 1.
La invención supera el problema de alinear las
secciones respectivas que se van a utilizar para el rectificado de
desbaste y de acabado de la entalladura, debido a que es posible
utilizar la misma muela de reavivado o conformado de ranura,
montada en la misma máquina, para conformar las dos ranuras o todas
ellas.
Preferentemente, el tamaño del grano para el
rectificado de desbaste de la entalladura es de dos a tres veces el
tamaño del grano para el rectificado de acabado de dicha
entalladura.
Una de las secciones de rectificado de desbaste y
de acabado, o ambas, de la punta cilíndrica, aunque especialmente
la última, puede tener una longitud suficiente para conformar
sucesivamente una o más ranuras adicionales, una vez que la primera
ranura está demasiado desgastada para seguir utilizándola.
La invención también se refiere a una máquina de
rectificar, de preferencia una máquina de rectificar CNC según la
reivindicación 5.
La invención también se refiere a un método para
formar acanalados para rectificar entalladuras en una punta de
rectificado según la reivindicación 7.
La muela de conformado puede estar montada en el
mismo husillo que la pieza en elaboración.
El material de rectificado puede ser diamante o
CBN con ligante de resina de grano grueso, en el caso de la sección
de rectificado de desbaste y diamante con ligante de resina de
grano fino en el caso de la sección de rectificado de acabado.
El término "con ligante de resina", tal como
se utiliza aquí, incluye el ligante con material vítreo.
Hay que advertir que, contrariamente a lo
indicado en la figura 7 de la memoria de Patente británica n°
2335620, en la que se utiliza una sección con ligante de resina en
lugar de una sección con ligante metálico, es preferible que la
sección para el rectificado de acabado esté más cerca del husillo
de la punta, es decir, la sección más consistente de la punta.
La invención se describirá ahora, a modo de
ejemplo, haciendo referencia a los dibujos adjuntos, donde:
La figura 1 es una vista en perspectiva, no a
escala, del lado en que suele encontrarse un usuario de una máquina
de rectificar, que incorpora una punta de rectificado conformable
acoplada sobre un husillo;
La figura 2 es una vista lateral, no a escala,
del lado en que se suele encontrar el usuario de la máquina
mostrada en la figura 1, y que ilustra un subconjunto;
La figura 3 es una vista de frente de la máquina
mostrada en las figuras 1 y 2;
La figura 4 es una vista lateral del extremo del
subconjunto de la máquina, a escala ampliada y parcialmente en
sección;
La figura 5 es una vista en perspectiva de la
punta conformable, y
La figura 6 es una vista en perspectiva, no a
escala, de la punta conformable, con un primer acanalado para el
rectificado de desbaste de entalladuras y un segundo acanalado para
el rectificado de acabado de entalladuras.
Las figuras 1, 2 y 3 ilustran gráficamente parte
de una estación mecánica global para rectificar entalladuras en
discos circulares (láminas cristalinas) de sílice o material
similar.
La máquina mostrada en las figuras 1 a 3
comprende un pupitre de control (10), desde el cual se extiende una
bancada de máquina (12), que lleva una plataforma flotante (14)
colocada sobre tres pies que absorben las vibraciones, uno de los
cuales se puede ver en la figura 1 (16), y la segunda parte (18)
está montada centralmente delante de la región de base (22) y se
muestra con líneas de punto en la figura 1, y la tercera se puede
ver en la figura 3 (20).
La plataforma (14) incluye una estructura de
soporte o base (22), de una sola pieza, que lleva un cabezal
portapieza (24) que puede deslizarse axialmente a lo largo de una
corredera (26) montada en una superficie superior de la base (22),
y que incluye un motor de accionamiento de husillo (28) y un
soporte de mantenimiento en vacío (30), para llevar las láminas
cristalinas que se van a rectificar.
El rectificado de bordes se realiza mediante una
muela de rectificado (32), que contiene cierto número de acanalados
anulares como (34), para acoplarse en el borde de una lámina
cristalina (pieza a elaborar) designada con el número (36) en la
figura 2.
El husillo de la muela de rectificar (no
mostrado), que descansa en un conjunto de apoyo (38), que se hace
girar por medio de un motor eléctrico (40).
Los elementos (38) y (40) se llevan sobre un
soporte, designado generalmente con el número (42), que se monta
cerca de la línea de centro de la plataforma (14) a un lado de una
placa de refuerzo rígida (44) que se emperna, mediante bridas, a la
plataforma (14) a lo largo de su base y se asegura en su extremo
superior mediante unos pernos, a través de otra brida (46), a la
base de la máquina (22). La función de la placa (44) consiste en
incrementar la rigidez de la plataforma (14) con respecto a la base
(22) y resistir a las vibraciones transversales que, de otro modo,
pueden producirse.
En el otro lado de la placa (44), y en una
posición equidistante, se encuentra un segundo soporte (48) que
lleva una corredera (50), sobre la cual se monta un segundo
accionamiento de husillo (52) que lleva un husillo de rectificado
de entalladuras (57), con una punta de rectificado de entalladuras
(53) en un extremo y un motor de husillo asociado (55).
El movimiento axial del accionamiento del husillo
(52) lo proporciona una unidad de accionamiento (54) (véase figura
2). El accionamiento de husillo (52) también se puede utilizar para
rectificar el diámetro interior de un disco anular.
Los husillos para el rectificado de entalladuras
y de borde del cabezal portapieza están montados en cojinetes con
lubricación por aire y el husillo del cabezal portapiezas suele
tener una velocidad comprendida entre 2 y 1000 revoluciones por
minuto, el husillo de rectificado de bordes suele tener una
velocidad de hasta 6000 revoluciones por minuto y la velocidad del
husillo de rectificado de entalladura (53) suele ser de hasta 70000
revoluciones por minuto.
Sobre el husillo del cabezal portapiezas, hacia
la parte trasera del soporte de mantenimiento (30), se han montado
unas muelas de conformado que se pueden apreciar mejor en la figura
2 (56) y (58). El indexado del cabezal portapiezas (24) en la
dirección de la flecha (60) en la figura 2 permite acoplar el disco
de la pieza a elaborar (36) con una de las muescas (34) en la
muela de rectificar (32) y el movimiento ulterior en la dirección
de la flecha (60) permite que el disco (36) franquee la cara
extrema (62) del conjunto de muela de rectificar, permitiendo de
este modo que las muelas de conformado (56) ó (58) se acoplen a las
ranuras correspondientes en la muela de rectificado (32).
El movimiento lateral de la muela de rectificar o
rectificador de entalladura se consigue inclinando las estructuras
de soporte (42) y (48) lo necesario con respecto a la plataforma
(14). Para ello, ambas estructuras (42) y (48) están sujetas, de
forma orientable, a la plataforma (14) cerca de la línea de centro
de la misma y dos topes (64) y (66) respectivamente (véase figura
3) impiden un movimiento excesivo hacia el exterior.
El movimiento pivotante se realiza mediante unos
pivotes flexibles (que se describirán más adelante), que permiten
el movimiento de pivote alrededor de dos ejes paralelos cerca de la
línea de centro de la plataforma (14), de modo que la estructura
(42) puede describir un pequeño arco como el señalado por la flecha
(68) y la estructura (48) y puede describir un arco como el
indicado con el número de referencia (70).
El dispositivo de accionamiento para realizar el
movimiento de pivote se describirá con referencia a otras figuras
ulteriores.
Unido a la base 22, se encuentra un alojamiento
rectilíneo de policarbonato claro (72) a través del cual sobresale
el husillo de la muela de rectificar. Una gran abertura,
generalmente ovalada, (74) en la parte frontal del bastidor (72)
permite que un cierre (76), de forma similar, montado sobre el
cabezal portapieza (24), se introduzca y cierre la abertura (74) al
realizar el cabezal portapiezas (24) un movimiento de avance
adecuado en el sentido de la flecha (60), según lo indicado
anteriormente.
Un cierre anular hinchable (78) alrededor del
cierre (76), o alternativamente alrededor del labio interno de la
abertura (74), proporciona un cierre hermético a los fluidos entre
el cierre (76) y la abertura (74).
El alojamiento (72) puede deslizarse con respecto
a la base (22) y se disponen unos sellados por fuelle (80) y (82)
entre los accionamientos del husillo (38) y (52), de forma que una
vez realizado el sellado entre el cierre (76) y la abertura (74), el
alojamiento (72) se mueva de hecho axialmente con el conjunto del
cabezal portapiezas (24). Se ha dispuesto holgura suficiente en la
parte posterior del fuelle para permitir que el alojamiento (72) se
mueva de forma continua en dirección de la flecha (60), para
permitir el conformado de las ranuras en la muela de rectificar. El
movimiento en el sentido opuesto también es facilitado por los
fuelles (80) y (82), de modo que el bastidor cerrado (72) puede
seguir también el cabezal portapiezas en (24), en su movimiento en
sentido opuesto al de la flecha (60), para permitir que el borde
del disco (36) se acople a una de las ranuras de rectificado, como
(34).
Se pulveriza fluido refrigerante sobre la pieza a
elaborar a través de las toberas (84) y (86) y se disponen unas
toberas similares para pulverizar un fluido similar sobre las
muelas de conformado, cuando sea necesario. Se ha previsto un
seguro de bloqueo para impedir que el fluido refrigerante se
pulverice si el alojamiento (72) no ha sido cerrado y sellado por
el cierre (76).
Una vez realizada una operación de rectificado y
tras un lavado final con fluido, se puede abrir el alojamiento (72)
desinflando el sello de borde (78) y retirando el cabezal
portapiezas (24) en dirección opuesta al de la flecha (60), hasta
la posición mostrada en la figura 2. La pieza terminada (36) se
puede desmontar y se puede volver a instalar una nueva pieza.
El conformado de la muela se puede realizar
inicialmente antes de montar una pieza a elaborar, en cuyo caso se
cierra el alojamiento (72) mediante un movimiento adecuado del
cabezal portapiezas (24) y del cierre (76) sin montar previamente
una pieza como (36) en el soporte de mantenimiento (30). El
conformado de la muela se realiza mediante un movimiento axial
adecuado del cabezal portapiezas (24) y un movimiento lateral de
soporte (42), de modo que cada una de las ranuras, como la ranura
(34), se acople con la muela de conformado adecuada, como por
ejemplo (56) ó (58). Se aporta fluido refrigerante durante la
operación de conformado de la muela.
Tras el conformado inicial de la muela, el
conjunto se puede separar rompiendo el sello (78) según lo
mencionado anteriormente. Después de montar una pieza para elaborar
(36), se puede volver a cerrar el conjunto y realizar el
rectificado según lo descrito anteriormente.
Por lo general, el nuevo conformado de la ranura
se realiza durante la parada de la máquina, una vez que se ha
quitado una pieza y antes de haberse instalado la pieza siguiente,
si bien en un desarrollo de la máquina, en el que se realiza la
comprobación del perfil del borde de la pieza (36) in situ
sobre el cabezal portapiezas, puede resultar ventajoso permitir que
el re-conformado se realice con la pieza a elaborar
en su sitio.
Si se tiene que entallar una pieza, el soporte
(42) se mueve lateralmente para desacoplar la muela de la pieza a
elaborar y el soporte (48) se mueve lateralmente, en cambio, para
acoplar el borde de la pieza a elaborar (36) con la punta de
ranurado (53). Tras el ranurado, el soporte (48) se mueve en
sentido opuesto con el fin de desacoplar la punta de la pieza a
elaborar.
En una disposición alternativa, se puede montar
una muela de pulido sobre el husillo de la muela así como la muela
de rectificado ranurada, y desplazando axialmente el husillo de la
pieza a elaborar con el fin de que se pueda acoplar la muela de
pulido al borde de la pieza a elaborar (36).
Se dispone en (88) un accionamiento para
desplazar el cabezal portapiezas (24) a lo largo de la corredera
(26).
Como se muestra en la figura 3, un tubo de
drenaje (90) transporta fluido desde el bastidor (72) hasta un
depósito de almacenamiento (92) y se produce el bombeo (no
mostrado) para volver a hacer circular el fluido desde el depósito.
Se puede disponer un filtro en el depósito en la tubería entre el
depósito y la bomba.
El bastidor de control (10) incluye una pantalla
de televisión (94) y un teclado (96) y se conecta una unidad de
control manual (98) por medio de un cable aéreo (100) con una
clavija de conexión (102). El operario puede quitar la unidad (98)
y acercarse a la máquina con la unidad (98) en la mano y, apretando
los botones adecuados, iniciar o detener las operaciones de la
máquina. El alojamiento (10) aloja un sistema de control
informático para suministrar señales de control y potencia a los
accionamientos en la máquina y para recibir señales de
transductores, otros sensores generadores de señal de conmutación,
posición/funcionamiento, etc., en la máquina.
La corredera (26) sobre la que se desliza el
cabezal portapiezas está precargada y el cabezal portapieza es
accionado por servomotores y está equipado con un codificador de
posición de alta resolución para proporcionar un movimiento suave
durante la interpolación del movimiento del eje.
La alimentación de rectificado se realiza en la
forma descrita anteriormente inclinando las estructuras (42) ó (48)
en la forma necesaria para que el elemento de rectificado que lleva
encima se acople con el borde de la pieza a elaborar (36). Aunque
el movimiento no es realmente lineal, sino curvado, esto se puede
arreglar en las señales de control generadas por el sistema de
control alojado dentro del alojamiento (10).
Aunque los chorros (84) y (86) se pueden utilizar
para suministrar fluido de corte durante el rectificado, éstos y
otros chorros se pueden utilizar para dirigir fluido de limpieza
hacia el labio colgante de la laminilla cristalina mientras está
girando todavía, aunque después del rectificado. Esto impide que el
barro de rectificado caiga por la cara posterior de la laminilla
cristalina cuando se quita del soporte de mantenimiento.
Por lo general, los bordes se rectifican en un
proceso de dos etapas utilizando una operación de desbaste con
rectificado de penetración y un segundo ciclo de acabado con
rectificado de penetración, que incluye un rápido avance de la
muela de rectificado hasta que un sensor de contacto detecta el
contacto con la laminilla cristalina de la pieza a elaborar. La
posición del eje de la muela de rectificado, al hacer contacto, se
utiliza para controlar y seguir el desgaste de la muela y
asegurarse de que el material arrancado por ciclo de corte de
acabado se mantiene constante. Las formas de la muela de rectificar
se mantienen utilizando muelas de conformado de diamante con
ligante metálico, montadas de forma permanente sobre el soporte de
mantenimiento del cabezal portapiezas. El proceso de reconformado
puede ser enteramente automático y se puede programar para que se
realice cada enésima lámina cristalina o cuando el perfil del canto
rectificado se vuelve inaceptable (según se puede apreciar por
inspección óptica del perfil del borde del disco) o cuando el punto
de contacto indica un desgaste excesivo de la muela.
Con el objeto de reducir las vibraciones no
deseadas y conseguir que sean mínimos los daños de rectificado, los
componentes estructurales que constituyen la máquina de rectificar
se rellenan por lo menos parcialmente con hormigón polímero, en
particular las secciones de la base (22) y de bancada (12) y,
también, si se desea, la plataforma (14).
La figura 4 ilustra la forma en que se montan dos
estructuras (42) y (48) para que el movimiento flexible permita la
alimentación de la muela. Como se muestra en la figura 4, los
bordes interiores de las dos estructuras (42) y (48) están
conectados a la plataforma (14) por medio de pivotes flexibles, uno
de los cuales se muestra en (104). Se dispone un segundo par de
pivotes flexibles hacia el otro extremo de las estructuras (42) y
(48), más cerca de la base de la máquina (22).
Si bien los pivotes flexibles (102) y (104)
permiten inclinar las estructuras alrededor de un eje, no permiten
fácilmente ningún otro movimiento de las estructuras (42) y (48)
respecto de la plataforma (14) en torno a cualquier otro eje. Por
consiguiente, el acoplamiento de las estructuras (42) y (48) a la
plataforma (14) es muy rígido en todas las direcciones, salvo en
torno al eje de los pivotes flexibles.
La figura 4 es una vista lateral del extremo de
la máquina, aunque a una escala ligeramente reducida. Al igual que
ocurre con las demás vistas, se muestra parcialmente en perspectiva
para mostrar el mecanismo de accionamiento de leva, generalmente
designado con el número (114), que actúa sobre la estructura (48).
En el lado del mecanismo de accionamiento, se muestra una arandela
prisionera (112).
La figura 4 muestra también los dos montajes de
pivote flexible en la base de la unidad (48), el exterior designado
(104) y el interior (118).
Tal como se ha indicado anteriormente, cada una
de las disposiciones del accionamiento de levas se realiza dentro
de un bastidor rígido (110) y éste último se puede ver más
claramente en la figura 4 que la parte horizontal (120) con la que
emperna a una placa saliente del extremo de la base (22).
También se puede ver en la figura 4, el motor
(55) para el accionamiento del soporte de mantenimiento (122), del
que sobresale el husillo para rectificar entalladuras (124). El
motor (55) se encuentra dentro de un alojamiento (52) descrito
anteriormente con relación a la figura 1, y el bastidor (52) se
desliza a lo largo de una corredera (50), tal como se ha descrito
anteriormente.
La figura 4 muestra el sellado por fuelle (82),
que une el alojamiento (52), sellándolo, con la abertura en el
armazón (72), a través del cual sobresalen el motor (55) y la punta
(53) que lleva el husillo (57).
La punta de rectificado de entalladura (53),
mostrada en la figura 2 se tratará ahora con más detalle, en
relación con las figuras 5 y 6.
La punta de rectificado cilíndrico conformable
(53), mostrada en la figura 5 es soportada por un husillo metálico
cilíndrico de diámetro más pequeño (130) y un tubo (132) para
acoplar al husillo (no mostrado) de una máquina de rectificar. La
punta de rectificado cilíndrico (53) tiene aproximadamente 4 mm de
diámetro por 10 mm de extensión axial, y la primera y segunda
ranuras (140), (142) (figura 6) son formadas in situ por la
misma muela de conformado.
La punta es a base de diamante con ligante de
resina, polvo de rectificado con ligante de resina o material con
ligante vítreo.
Volviendo a la figura 5, se puede ver que la
superficie cilíndrica de la punta (53) está dividida en dos
secciones, una sección de grano fino (160) más cercana al husillo de
la punta (130) y una sección de grano basto (162) más alejada del
husillo de la punta (130). El grano basto tiene un tamaño dos a tres
veces superior al del grano fino. Además, se puede ver en la figura
6 que la primera ranura (140) se forma en la sección de grano basto
(162). En la práctica, ésta ranura (140) se utiliza para el
rectificado de desbaste de una entalladura. La segunda ranura
(142), utilizada para el rectificado de acabado de la entalladura,
está formada en la sección de grano fina más rígida (160) de la
punta más cercana al husillo de la punta (130).
En la práctica, en una primera pasada, la ranura
para el rectificado de desbaste de la entalladura (140) entra en
contacto con una entalladura premaquinada en el borde de un disco
de semiconductor fijo (no mostrado), para proceder al rectificado
de desbaste de la entalladura. Durante una segunda pasada, la
ranura de acabado de la entalladura (142) se pone en contacto con
el disco para proceder al rectificado de acabado de la entalladura.
La punta se puede girar, para fines de rectificado, a velocidades
del orden de 30000 rpm o más.
Las ranuras (140) y (142) tienen el mismo perfil
y se conoce de forma precisa su posición axial respectiva. Por
consiguiente, las fuerza de corte durante la pasada de acabado son
constantes, lo cual mejora el acabado de la superficie y la
consistencia del perfil de la entalladura.
En la práctica, la ranura de desbaste (140) quita
aproximadamente el 90% del material de la entalladura, mientras
que la ranura de acabado (142) quita el resto. La muela y el disco
se mueven durante esta operación y los dos ejes correspondientes se
utilizan para interpolar el perfil de la entalladura.
Una de las dos secciones (160), (162) de la punta
(53), o ambas, pueden ser lo suficientemente largas para permitir
conformar una segunda o ulterior ranura para el rectificado de
desbaste o de acabado, en la misma máquina, cuando la primera
ranura (140) ó (142) se desgasta y ya no se puede volver a
conformar. Esto aumenta la vida de la punta (53) antes de que sea
preciso sustituirla.
Como la utilización de una punta relativamente
larga aumenta el riesgo de que pierda su posición estática (salte),
es importante que la entalladura del rectificado de acabado (142)
(o la entalladura o entalladuras de sustitución) se forme en la
sección más rígida de la punta, más cerca del husillo (130). Por lo
general, la vida de la entalladura de rectificado de desbaste
(140) será sustancialmente superior a la vida de la entalladura de
rectificado de acabado (142), pero se puede prever, si se desea, la
formación de una entalladura para rectificado de desbaste de
reposición.
Aunque no se muestra, la muela de conformado de
ranura puede montarse, con el fin de favorecer los fines de
alineamiento, sobre el husillo de trabajo que lleva la pieza a
elaborar, en la que se va a rectificar la entalladura.
Si se utiliza la punta sobre una máquina
rectificadora CNC, ésta última se puede programar automáticamente
para calcular el diámetro del interior de las ranuras en la punta
de rectificado de entalladura y compensar por interpolación para
producir la forma deseada de entalladura durante el proceso de
rectificado.
Se puede utilizar una máquina de rectificar CNC,
como la descrita en la patente WO97/48522 para montar la punta de
rectificado de entalladura y la muela de conformado de ranura.
Claims (7)
1. Punta para el rectificado de entalladura, que
comprende un husillo (130) y una región cilíndrica lo
suficientemente larga para formar en la misma por lo menos dos
ranuras perfiladas para el rectificado de entalladura (140), (142),
caracterizada porque la región incluye dos secciones
axialmente espaciadas, una de las cuales, por lo menos, es lo
suficientemente larga para conformar en la misma por lo menos dos
ranuras, siendo la sección (162) axialmente más alejada del husillo
de la punta, una sección con ligante de resina, de grano grueso
para el rectificado de desbaste de una entalladura en una pieza a
elaborar y la sección (160) axialmente más cercana al husillo de la
punta, una sección con ligante de resina de grano fino para el
rectificado de acabado de la entalladura.
2. Punta de rectificado según la reivindicación
1, donde el tamaño del grano para el rectificado de desbaste de la
entalladura es de dos a tres veces el tamaño del grano del
rectificado de acabado de la entalladura.
3. Punta de rectificado según las
reivindicaciones 1 ó 2, en la que el material de rectificado es
diamante o CBN con ligante de resina, de grano grueso, en el caso
de la sección de rectificado de desbaste (162) y diamante con
ligante de resina de grano fino en el caso de la sección de
rectificado de acabado (160).
4. Punta de rectificado según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 3, donde una de las dos secciones de
rectificado de desbaste y de acabado (162), (160) o ambas, de la
región cilíndrica de la punta, aunque especialmente la última,
tiene una longitud suficiente para que se pueda formar
sucesivamente una o más ranuras cuando la primera ranura está
demasiado desgastada para seguirla utilizando.
5. Máquina de rectificar, de preferencia una
máquina de rectificar CNC, que tiene un husillo de trabajo y un
husillo de rectificado, que lleva una punta de rectificado (53)
para el rectificado de entalladura, caracterizada porque la
punta de rectificado tiene una sección (162) de grano grueso y una
sección (160) de grano fino, siendo la sección axialmente más
alejada del husillo de la punta, la sección de grano grueso y la
sección axialmente más cercana al husillo de punta, la sección de
grano fino, y donde por lo menos una de las secciones tiene una
longitud suficiente para que se formen sobre la misma por lo menos
dos ranuras para el rectificado de entalladura, y que comprende
además una muela de conformado que puede girar para formar una
ranura de rectificado de entalladura en la sección de grano grueso
(162) y una ranura de rectificado de entalladura en la sección de
grano fino (160).
6. Máquina de rectificar según la reivindicación
5, en la que la muela de conformado se monta sobre dicho husillo de
trabajo.
7. Método de conformado de ranuras para el
rectificado de entalladura en una punta de rectificado que incluye
un husillo (130) y una región cilíndrica de grano con ligante de
resina suficientemente larga para que se formen sobre la misma por
lo menos dos ranuras perfiladas de rectificado de entalladura
(140), {142), caracterizado porque la región cilíndrica
presenta dos secciones axialmente espaciadas, una de las cuales por
lo menos es lo suficientemente larga para que se formen sobre la
misma por lo menos dos ranuras, siendo la sección (162) axialmente
más alejada del husillo para el rectificado de desbaste y la otra
sección (160) para el rectificado de acabado, y que comprende
además la etapa de conformar inicialmente una ranura en cada
sección.
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Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004057596B4 (de) * | 2004-04-22 | 2009-06-04 | Reishauer Ag | Profilierzahnrad und Verfahren zum Profilieren einer Schleifschnecke |
| US7115023B1 (en) * | 2005-06-29 | 2006-10-03 | Lam Research Corporation | Process tape for cleaning or processing the edge of a semiconductor wafer |
| CN101104246B (zh) * | 2007-07-30 | 2012-10-10 | 刘小辉 | 磨边机 |
| KR20090063804A (ko) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | 주식회사 실트론 | 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치 |
| GB0801366D0 (en) | 2008-01-25 | 2008-03-05 | Cinetic Landis Grinding Ltd | Machine tools and methods of operation thereof |
| GB2476468B (en) * | 2009-12-22 | 2012-08-15 | Cinetic Landis Ltd | Machine tools and methods of operation thereof |
| US8512098B1 (en) * | 2010-09-28 | 2013-08-20 | Jeffrey Bonner | Machining technique using a plated superabrasive grinding wheel on a swiss style screw machine |
| CN102343539A (zh) * | 2011-10-29 | 2012-02-08 | 重庆川仪自动化股份有限公司 | 蓝宝石圆柱体外圆面r环槽的加工方法 |
| CN103128624B (zh) * | 2011-11-22 | 2015-10-28 | 深圳市常兴技术股份有限公司 | 玻璃面板的加工工艺 |
| CN103128674B (zh) * | 2011-11-22 | 2015-06-24 | 深圳市常兴技术股份有限公司 | 多层次多种粒度区域的金刚石磨具及其加工工艺 |
| CN102528615B (zh) * | 2011-11-25 | 2015-02-11 | 深圳市创造机电有限公司 | 玻璃精磨机及其磨削控制方法 |
| US8888565B2 (en) * | 2012-11-20 | 2014-11-18 | Welch Manufacturing Technologies, Ltd | Sharpening tool, sharpening system and kit |
| CN103624699A (zh) * | 2013-12-05 | 2014-03-12 | 湖南大学 | 一种用于棒材类零件粗精无心磨削的组合式砂轮 |
| CN106425697A (zh) * | 2015-08-10 | 2017-02-22 | 蓝思科技（长沙）有限公司 | 一种3d蓝宝石面板的制备方法及蓝宝石面板 |
| CN106956225B (zh) * | 2016-01-12 | 2019-02-19 | 蓝思科技股份有限公司 | 一种玻璃加工用砂轮棒及cnc玻璃成型方法 |
| CN107414085B (zh) * | 2017-07-07 | 2019-07-16 | 泉州众志金刚石工具有限公司 | 一种金刚石刀头胎体材料和细粒度金刚石锯片 |
| DE102018217927A1 (de) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | Robert Bosch Gmbh | Hydraulikaggregat |
| CN110394711A (zh) * | 2019-07-17 | 2019-11-01 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种研磨装置、倒角加工装置及加工方法 |
| JP7298100B2 (ja) * | 2019-08-29 | 2023-06-27 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 歯車研削用複層砥石 |
| CN111993295A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-11-27 | 上海新欣晶圆半导体科技有限公司 | 一种带有一粗四精沟槽的砂轮及其应用 |
| JP7093875B2 (ja) * | 2021-06-24 | 2022-06-30 | 一郎 片山 | ワーク加工装置、砥石、およびワーク加工方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3183632A (en) * | 1962-07-09 | 1965-05-18 | Gen Motors Corp | Grinding tool |
| ZA713105B (en) * | 1971-05-12 | 1972-09-27 | De Beers Ind Diamond | Diamond and the like grinding wheels |
| US4286415A (en) * | 1979-03-12 | 1981-09-01 | Ait Industries, Inc. | Method of edging lenses |
| JPS6288579A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Toyoda Mach Works Ltd | 研削工具 |
| DE8629226U1 (de) * | 1986-11-03 | 1986-12-18 | Wernicke & Co GmbH, 40231 Düsseldorf | Drehwerkzeug zur Randbearbeitung von Brillenglasrändern |
| JPH081493A (ja) * | 1994-06-17 | 1996-01-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハ面取部の鏡面研磨方法および鏡面研磨装置 |
| US5542876A (en) * | 1994-08-19 | 1996-08-06 | Coburn Optical Industries, Inc. | V-profile grinding wheel |
| JP3099216B2 (ja) * | 1994-08-22 | 2000-10-16 | 旭栄研磨加工株式会社 | ドーナツ状基板の研削工具 |
| JP3010572B2 (ja) * | 1994-09-29 | 2000-02-21 | 株式会社東京精密 | ウェーハエッジの加工装置 |
| JPH08243891A (ja) * | 1995-03-07 | 1996-09-24 | Kao Corp | 基板のチャンファ加工装置 |
| EP1048403A3 (en) * | 1996-06-15 | 2001-12-12 | Unova U.K. Limited | Improvements in and relating to grinding machines |
| JPH1133918A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-09 | Nikon Corp | 磁気記録媒体用基板の内外径加工用砥石及び内外径加工方法 |
| JPH11221742A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-08-17 | Hoya Corp | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 |
| GB2335620B (en) * | 1998-03-25 | 2003-03-19 | Unova Uk Ltd | Improvements in and relating to grinding machines |
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