ES2197575T3 - Horno para calentar articulos. - Google Patents

Horno para calentar articulos.

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ES2197575T3 ES99204381T ES99204381T ES2197575T3 ES 2197575 T3 ES2197575 T3 ES 2197575T3 ES 99204381 T ES99204381 T ES 99204381T ES 99204381 T ES99204381 T ES 99204381T ES 2197575 T3 ES2197575 T3 ES 2197575T3
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Abstract

Horno para calentar artículos, provisto de un alo jamiento que contiene medios de calentamiento (16) así como una alimentación y una descarga entre las cuales se extiende una pista (13, 23, 25) para mover los artículos a través del horno, en el que los medios de calentamiento (16) comprenden al menos una fuente que emite radiación que tiene una longitud de onda en la gama de la radiación luminosa, tal como una fuente de infrarrojo, caracterizado porque la pista para mover los artículos comprende una material transparente a la radiación luminosa.

Description

Horno para calentar artículos.
La invención se refiere a un horno para calentar artículos, provisto de un alojamiento que contiene medios de calentamiento así como una alimentación y una descarga entre las cuales se extiende una pista para mover los artículos a través del horno.
El horno según la invención es, en particular, del tipo que se utiliza para la producción de células solares. Como es costumbre, para este fin se proporciona en primer lugar una materia prima en forma de pastillas de silicio con una capa que contiene un 50% de ácido fosfórico. Las pastillas tratadas previamente de esta manera se calientan en el horno por medio de calentamiento por convección.
El horno conocido tiene una correa de transporte metálica, que está sometida a esfuerzos intensos desde el punto de vista térmico durante este proceso. La consecuencia es que la correa de transporte es susceptible de averías y tiene que reemplazarse con relativa frecuencia. Asimismo, tiene lugar una considerable pérdida de calor si la sección de retorno se alimenta fuera del alojamiento.
El objetivo de la invención es proporcionar un horno que no tiene estas desventajas y, en consecuencia, es capaz de garantizar una producción sin interrupciones. Dicho objetivo se logra porque los medios de calentamiento comprenden al menos una fuente que emite radiación que tiene una longitud de onda en la gama de la radiación luminosa, tal como una fuente de infrarrojo, y porque la pista para mover los artículos comprende un material transparente a la radiación luminosa.
Según la invención, se utiliza una fuente luminosa, tal como una fuente de infrarrojos, para calentar. La longitud de onda de la luz implicada se puede hacer coincidir con el color del producto que se ha de calentar, de tal modo que tiene lugar la absorción deseada para el calentamiento del producto. Tal calentamiento por una fuente de infrarrojos es altamente efectivo para calentar pastillas de silicio predominantemente grises.
Sin embargo, la pista misma no se calienta por la radiación luminosa, como resultado de lo cual el esfuerzo térmico permanece muy limitado y la construcción es relativamente sencilla, en comparación ciertamente con correas de transporte convencionales.
Al menos una sección de la pista se acomoda en un túnel fabricado con placas de cuarzo. Por medio de tal túnel, se concentra el calor en la cámara en la que se colocan los productos que se han de calentar.
El túnel puede construirse de diversas maneras. Preferiblemente, el túnel tiene dos paredes longitudinales verticales y dos paredes longitudinales horizontales.
El alojamiento del horno comprende un material aislante. En particular, el alojamiento comprende una pared superior y una pared inferior que corren en la dirección longitudinal, teniendo la pared superior y/o la pared inferior al menos una fuente de calentamiento y un dispositivo de ventilación.
La pista puede construirse de diversas maneras. Según una primera posibilidad, la pista comprende una serie de rodillos de transporte fabricados de un material transparente a la radiación luminosa, cuyos rodillos de transporte se colocan transversalmente uno después del otro en la dirección de transporte y se pueden accionar en la dirección de giro.
Los rodillos de transporte se pueden construir y utilizar de diversas maneras. Según una primera posibilidad se alimentan ambos extremos de los rodillos de transporte a través del alojamiento hacia el exterior, estando giratoriamente soportados los extremos alimentados en el exterior del alojamiento.
En este caso el soporte y accionamiento de los rodillos de transporte están situados fuera de la región interior caliente del horno.
En particular, ambos extremos de los rodillos de transporte pueden haberse colocado cada uno de ellos en un elemento de transporte en forma de correa, cuyos elementos de transporte se pueden accionar en sentido contrario a la dirección de transporte con el fin de hacer que los rodillos de transporte giren por fricción.
Los elementos de transporte pueden comprender cada uno una correa sin fin que se guía sobre ruedas de soporte de tal modo que los rodillos de transporte van soportados sobre la parte superior de cada correa.
Los extremos de los rodillos de transporte alimentados fuera del horno se retienen para impedir el movimiento en el sentido del transporte.
Con el fin de ser capaz de ajustar con precisión los rodillos de transporte en ángulos rectos respecto del sentido de transporte, éstos se retienen preferiblemente entre pasadores, cada uno de los cuales puede girarse alrededor de un eje excéntrico transversal al eje de cada rodillo de transporte.
Con el fin de impedir que la luz pase del alojamiento al exterior a través de los rodillos de transporte, se proporciona a cada uno de los rodillos de transporte, cerca de sus extremos, una región superficial que es difusa a la radiación luminosa. Las caras extremas de los rodillos de transporte también pueden haberse provisto de una capa reflectante. Los rodillos de transporte están fabricados preferiblemente de cuarzo.
Según una segunda posibilidad, la pista comprende una serie de apoyos que están situados uno después de otro en el sentido del transporte y están soportados en las paredes longitudinales verticales del túnel. En este caso se guía un elemento de transporte sin fin flexible sobre los apoyos. Dicho elemento de transporte puede comprender al menos dos cordones o correas flexibles.
Los productos se transportan ahora a través del túnel por medio de los cordones o correas, garantizando los soportes que dichos cordones o correas están soportados.
Los apoyos constan preferiblemente de unos vástagos de cuarzo. Con el fin de impedir la emergencia de luz, se ha provisto a cada uno de los vástagos, cerca de sus extremos, de una región superficial difusa a la radiación luminosa. Los vástagos también pueden dotarse de una capa reflectante sobre sus caras extremas.
La invención se explicará con más detalle a continuación con referencia a las realizaciones ilustrativas del horno mostrado en los dibujos.
La figura 1 muestra una vista en perspectiva parcialmente expuesta de una primera realización del horno.
La figura 2 muestra una sección transversal del horno según la figura 1.
La figura 3 muestra una segunda realización, en una vista en perspectiva y parcialmente expuesta, del horno según la invención.
La figura 4 muestra una sección transversal del horno según la figura 3.
El horno mostrado en las figuras 1 y 2 comprende un bastidor de vigas longitudinales 1, 2 sobre las cuales se han acomodado una serie de secciones 3 de bastidor una después de otra. Dichas secciones 3 de bastidor soportan dos secciones 4 de soporte, que se fijan a las patillas 5 de cada ventana 3 de bastidor. Las secciones 4 tienen una sección transversal en forma de L.
Un árbol giratorio 6, que se monta por medio de cojinetes 8, se fija a la parte delantera y al extremo trasero de las secciones 4 en el sentido del transporte. Cada árbol 6, 7 también tiene dos poleas.
Una correa sin fin flexible 10, que está soportada sobre la pestaña horizontal superior 11 de cada una de las secciones 4, se guía sobre cada par de poleas de los árboles 6, 7.
Se acomoda una serie de pasadores 12 sobre cada pestaña horizontal 11, específicamente sobre el exterior de las correas flexibles 10 (se han omitido por claridad las series del lado derecho). En cada caso, un extremo de los rodillos de transporte 13 se acomoda entre cada par de pasadores 12. Dichos rodillos de transporte 13 descansan sobre la parte superior de las correas flexibles 10.
Tan pronto como las correas flexibles 10 se accionan sincrónicamente, los rodillos de transporte 13 también se accionan en el sentido del giro en virtud de su interacción de fricción con las correas de transporte 10. Los rodillos de transporte 13 permanecen en su lugar en el sentido del transporte, dado que sus dos extremos se acomodan entre los pasadores 12.
Los rodillos de transporte 17 se alimentan a través de unos agujeros 14 en las paredes verticales 15 del horno. Los dispositivos de calentamiento 16, que, por ejemplo, pueden ser dispositivos de calentamiento por infrarrojos, se sitúan entre dichas paredes.
Para impedir que los rodillos de transporte 13 se calienten por los dispositivos de calentamiento por infrarrojos 16, los rodillos de transporte 13 se fabrican de un material de cuarzo. Dicho material de cuarzo es transparente con respecto a la radiación infrarroja de los dispositivos de calentamiento, como resultado de lo cual no tiene lugar calentamiento.
Con el fin de impedir que la radiación infrarroja pase a través de los rodillos de transporte hacia el exterior, se dota a los rodillos de transporte, cerca de sus extremos, con una sección periférica difusa o mate. Asimismo se puede disponer en estos lugares una superficie reflectante.
Un túnel 18 fabricado de placas de cuarzo se extiende a través del horno. Dicho túnel 18 tiene dos paredes laterales 19, una pared inferior 20 y una pared superior 21. Los productos que se han de calentar se alimentan a través del túnel sobre los rodillos de transporte. Dado que las paredes 19-21 del túnel 18 están fabricadas con cuarzo, la radiación infrarroja suministrada por el dispositivo de calentamiento 16 es capaz de entrar en el túnel 18. Durante esta operación los productos se calientan uniformemente. Además, los dispositivos de calentamiento 16 pueden haberse dispuesto tanto en la parte superior como en la parte inferior del túnel 18. Asimismo se han dispuestos unos dispositivos de ventilación 30 para hacer circular el aire dentro del horno.
Finalmente, el exterior del horno está revestido con unas placas de revestimiento 22, 22' algunas de las cuales se muestran en la figura 1.
Los rodillos de transporte también se pueden accionar individualmente, por ejemplo, por medio de engranajes.
La construcción del horno según las figuras 3 y 4 es en términos generales idéntica a la de las figuras 1 y 2. Únicamente los medios de transporte y el accionamiento de los mismos difieren de los de las figuras 1 y 2. Los medios de transporte comprenden unos vástagos fijos 23 que se extienden únicamente dentro del túnel 18, pero no fuera de éste. Están fijos en los agujeros 24 de las paredes laterales 19 del túnel 18. La parte superior 25 de los cordones o correas de transporte 26 se puede mover sobre los rodillos de transporte 23.
Cerca de los dos extremos del horno, se guían dichos cordones o correas de transporte alrededor de las poleas 27 que están montadas sobre los árboles 6, 7. El giro de tales árboles 6, 7 se sincroniza por medio de las correas flexibles 10.
Según se muestra en la figura 4, las poleas 27 están ligeramente desviadas hacia abajo, de modo que las partes superiores 25 de los cordones o correas de transporte 26 están tensas sobre los cordones 23.
Los productos a alimentan ahora a través del horno sobre los cordones o correas de transporte 26. Con esta disposición dichos cordones o correas de transporte 26 están soportados por los vástagos 23.

Claims (25)

1. Horno para calentar artículos, provisto de un alojamiento que contiene medios de calentamiento (16) así como una alimentación y una descarga entre las cuales se extiende una pista (13, 23, 25) para mover los artículos a través del horno, en el que los medios de calentamiento (16) comprenden al menos una fuente que emite radiación que tiene una longitud de onda en la gama de la radiación luminosa, tal como una fuente de infrarrojo, caracterizado porque la pista para mover los artículos comprende una material transparente a la radiación luminosa.
2. Horno según la reivindicación 1, en el que la pista se acomoda, al menos parcialmente, en un túnel (18) fabricado con material de cuarzo (19, 21).
3. Horno según la reivindicación 2, en el que el túnel tiene dos paredes longitudinales verticales (19) y dos paredes longitudinales horizontales (20, 21).
4. Horno según la reivindicación 3, en el que el túnel (18) se extiende a través de todo el alojamiento.
5. Horno según una de las reivindicaciones precedentes, en el que el alojamiento del horno comprende un material aislante.
6. Horno según la reivindicación 5, en el que el alojamiento tiene una pared superior (40) y una pared inferior (41) que corren en sentido longitudinal.
7. Horno según la reivindicación 6, en el que la pared superior (40) y/o la pared inferior (41) tienen al menos una fuente de calentamiento (16).
8. Horno según la reivindicación 6 ó 7, en el que la pared superior (40) y/o la pared inferior (41) contienen al menos un dispositivo de ventilación (30).
9. Horno según la reivindicación 5, 6, 7 u 8, en el que el alojamiento comprende dos paredes laterales (15), fabricadas con material aislante, que corren en sentido longitudinal.
10. Horno según una de las reivindicaciones precedentes, en el que la pista comprende una serie de rodillos de transporte (13, 23) fabricados de un material transparente a la radiación luminosa, cuyos rodillos de transporte se colocan transversalmente uno después del otro en el sentido del transporte y se pueden accionar en el sentido del giro.
11. Horno según la reivindicación 10, en el que se alimentan ambos extremos de los rodillos de transporte (13) a través del alojamiento hacia el exterior y los rodillos de transporte están giratoriamente soportados en los extremos alimentados fuera del alojamiento.
12. Horno según la reivindicación 11, en el que ambos extremos de los rodillos de transporte (13) se colocan cada uno en un elemento de transporte (10) en forma de correa, cuyos elementos de transporte se pueden accionar en sentido contrario a la dirección de transporte con el fin de hacer que los rodillos de transporte (13) giren por fricción.
13. Horno según la reivindicación 12, en el que cada uno de los elementos de transporte comprende una correa sin fin (10), que se guía sobre ruedas de soporte (9), y los rodillos de transporte (13) van soportados sobre la parte superior de cada correa (10).
14. Horno según la reivindicación 13, en el que los extremos de los rodillos de transporte (13) alimentados fuera del horno se retienen (12) para impedir el movimiento en el sentido del transporte.
15. Horno según la reivindicación 14, en el que los rodillos de transporte se retienen entre pasadores (12), cada uno de los cuales puede girarse alrededor de un eje excéntrico transversal al eje de cada rodillo de transporte (13).
16. Horno según la reivindicación 13, 14 ó 15, en el que los rodillos de transporte (13) van provistos de un aro de soporte en los extremos alimentados fuera del alojamiento.
17. Horno según una de las reivindicaciones 1-16, en el que cada uno de los rodillos de transporte (13) va provisto, cerca de sus extremos, de una región superficial (17) que es difusa a la radiación luminosa.
18. Horno según una de las reivindicaciones 10-17, en el que los rodillos de transporte (13) van provistos de una capa reflectante en sus caras extremas.
19. Horno según una de las reivindicaciones 1-9, en el que la pista comprende una serie de apoyos que están situados uno después de otro en el sentido del transporte y están soportados en las paredes longitudinales verticales (19) del túnel (18).
20. Horno según la reivindicación 19, en el que se guía de forma móvil un elemento de transporte sin fin flexible (25) sobre los apoyos (23).
21. Horno según la reivindicación 20, en el que el elemento de transporte (25) comprende al menos dos cordones o correas flexibles.
22. Horno según la reivindicaciones 20 ó 21, en el que el elemento de transporte (25) se guía alrededor de un rodillo de retorno (27) en los dos extremos del horno.
23. Horno según una de las reivindicaciones 19-22, en el que los apoyos (13, 23) consta de vástagos de cuarzo.
24. Horno según la reivindicación 23, en el que cada uno de los vástagos va provisto, cerca de sus extremos de una región superficial (17) difusa a la radiación luminosa.
25. Horno según la reivindicación 23 ó 24, en el que los vástagos están provistos de una capa reflectante en sus caras extremas.
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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6486401B1 (en) * 1999-02-22 2002-11-26 Tekcel, Inc. Multi well plate cover and assembly
ITMI20012628A1 (it) * 2001-12-13 2003-06-13 Eurosolare Spa Forno di cottura di dispositivi fotovoltaici
US8960099B2 (en) * 2002-07-22 2015-02-24 Brooks Automation, Inc Substrate processing apparatus
US7959395B2 (en) 2002-07-22 2011-06-14 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
US7988398B2 (en) 2002-07-22 2011-08-02 Brooks Automation, Inc. Linear substrate transport apparatus
US7575406B2 (en) * 2002-07-22 2009-08-18 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
JP2004286425A (ja) * 2003-03-06 2004-10-14 Ngk Insulators Ltd 線材を用いた搬送機構並びにそれを使用した熱処理炉及び熱処理方法
US8545159B2 (en) * 2003-10-01 2013-10-01 Jusung Engineering Co., Ltd. Apparatus having conveyor and method of transferring substrate using the same
US7514650B2 (en) * 2005-12-08 2009-04-07 Despatch Industries Limited Partnership Continuous infrared furnace
US20090183675A1 (en) * 2006-10-13 2009-07-23 Mustafa Pinarbasi Reactor to form solar cell absorbers
US20080175993A1 (en) * 2006-10-13 2008-07-24 Jalal Ashjaee Reel-to-reel reaction of a precursor film to form solar cell absorber
US9103033B2 (en) * 2006-10-13 2015-08-11 Solopower Systems, Inc. Reel-to-reel reaction of precursor film to form solar cell absorber
US20090050208A1 (en) * 2006-10-19 2009-02-26 Basol Bulent M Method and structures for controlling the group iiia material profile through a group ibiiiavia compound layer
DE102008061537A1 (de) 2008-12-03 2010-06-10 Aci-Ecotec Gmbh & Co. Kg Aushärtevorrichtung für photovoltaische Dünnschicht-Solarzellen
US8602706B2 (en) * 2009-08-17 2013-12-10 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus
WO2011130518A1 (en) * 2010-04-14 2011-10-20 Babcock & Wilcox Technical Services Y-12, Llc Heat treatment furnace
CN102062533A (zh) * 2010-10-29 2011-05-18 常州亿晶光电科技有限公司 无网带硅电池片烧结炉的炉膛温区气流隔热装置
US8816253B2 (en) * 2011-01-21 2014-08-26 Tp Solar, Inc. Dual independent transport systems for IR conveyor furnaces and methods of firing thin work pieces
US9915475B2 (en) * 2011-04-12 2018-03-13 Jiaxiong Wang Assembled reactor for fabrications of thin film solar cell absorbers through roll-to-roll processes
US9589817B2 (en) 2011-04-15 2017-03-07 Illinois Tool Works Inc. Dryer
CN103560179B (zh) * 2013-11-18 2015-10-28 北京金晟阳光科技有限公司 具有se功能的水平辊道式连续扩散设备
CN111238229B (zh) * 2020-01-09 2021-07-09 济南麦哈勃冶金技术开发有限公司 锆芯烧结隧道窑连续出料系统
CN111238226B (zh) * 2020-01-09 2021-07-02 济南麦哈勃冶金技术开发有限公司 锆芯自动烧结隧道窑系统
CN112563371B (zh) * 2020-12-11 2022-10-14 常州时创能源股份有限公司 N型晶硅电池硼发射极的制备方法及应用

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452408A (en) * 1965-12-21 1969-07-01 Adriano Bossetti Continuous tunnel kilns having a rotary roller sole for firing ceramic materials
US3662512A (en) * 1968-01-24 1972-05-16 Weldotron Corp Method and apparatus for shrink-film wrapping a pallet load
US3881089A (en) * 1973-02-20 1975-04-29 Kenneth Harkness A K A Ideanam Heatshrink apparatus for automatically packaging grocery articles
US4479776A (en) * 1981-07-22 1984-10-30 Smith Donald P Thermal treatment of food products
US4169007A (en) * 1977-10-26 1979-09-25 Flynn Drying System, Inc. Dryer-cooling machine for producing corrugated doubleface corrugated board
US4366177A (en) * 1981-01-26 1982-12-28 Pet Incorporated Method of flameless broiling or baking greasy meat products
US4517448A (en) * 1981-03-23 1985-05-14 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with atmosphere control capability
DE3217076A1 (de) * 1982-05-06 1983-11-10 Agrob Anlagenbau GmbH, 8045 Ismaning Vorrichtung zur waermebehandlung von stueckigem gut bei hoher temperatur
US4833301B1 (en) * 1984-01-18 2000-04-04 Vitronics Corp Multi-zone thermal process system utilizing non-focused infrared panel emitters
US4565917B1 (en) * 1984-01-18 1999-06-08 Vitronics Corp Multi-zone thermal process system utilizing nonfocused infared panel emitters
US4554437A (en) * 1984-05-17 1985-11-19 Pet Incorporated Tunnel oven
FR2607232B1 (fr) * 1986-11-21 1989-05-05 Palomares Jean Four pour le traitement thermique de pieces
DE3822883A1 (de) * 1988-07-06 1990-01-11 Smt Maschinengesellschaft Mbh Durchlaufofen
DE3826523A1 (de) * 1988-08-04 1990-02-08 Juergen Gerlach Waermebehandlungseinrichtung fuer fortlaufend bewegtes material
DE3915278A1 (de) * 1989-05-10 1990-11-15 Hoechst Ag Verfahren und vorrichtung zur durchlauftrocknung von beidseitig beschichteten platten
US4957532A (en) * 1989-06-20 1990-09-18 Casso-Solar Corporation Glass-treating furnace with roller conveyor
US6041398A (en) * 1992-06-26 2000-03-21 International Business Machines Corporation Massively parallel multiple-folded clustered processor mesh array
US5239917A (en) * 1991-06-06 1993-08-31 Genie Tech, Inc. Oven
DE9205956U1 (es) * 1991-06-10 1992-07-30 Kontakt-Systeme Ag, Egg, Ch
US5180898A (en) * 1991-07-25 1993-01-19 G. S. Blodgett Corporation High velocity conveyor oven
US5289759A (en) * 1992-03-03 1994-03-01 Key Technology, Inc. Forced steam bulk food cooker/blancher
US5352863A (en) * 1992-04-03 1994-10-04 Minnesota Mining And Manufacturing Company Flat bed thermophotographic film processor
US5196676A (en) * 1992-04-27 1993-03-23 Billco Manufacturing, Inc. Oven unit for heat treating sealant material
DE4218705A1 (de) * 1992-06-06 1994-02-24 Schwartz Gmbh Rollenherdofen
US5449883A (en) * 1992-08-07 1995-09-12 Mitsubishi Materials Corporation Continuous heat treatment system of semiconductor wafers for eliminating thermal donor
US5440101A (en) * 1993-04-19 1995-08-08 Research, Incorporated Continuous oven with a plurality of heating zones
US5593713A (en) * 1993-10-12 1997-01-14 De La Luz-Martinez; Jose Method for cooking tortillas using very low and low frequency radio waves
US5440102A (en) * 1994-03-03 1995-08-08 Pena; Norberto C. System for the protection of luggage
US5512312A (en) * 1994-06-15 1996-04-30 Forney; Robert B. Radiant wall oven and method of using the same

Also Published As

Publication number Publication date
DE69909046T2 (de) 2004-01-15
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US6288366B1 (en) 2001-09-11

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