EP2451610A1 - Verfahren zur aufbereitung einer suspension - Google Patents

Verfahren zur aufbereitung einer suspension

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EP2451610A1
EP2451610A1 EP10732680A EP10732680A EP2451610A1 EP 2451610 A1 EP2451610 A1 EP 2451610A1 EP 10732680 A EP10732680 A EP 10732680A EP 10732680 A EP10732680 A EP 10732680A EP 2451610 A1 EP2451610 A1 EP 2451610A1
Authority
EP
European Patent Office
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suspension
slurry
liquid
separated
dilution
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP10732680A
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English (en)
French (fr)
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Peter Kaniut
Georg Fritsch
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AKW Apparate und Verfahren GmbH
SIC Processing AG
Original Assignee
AKW Apparate und Verfahren GmbH
SIC Processing AG
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Definitions

  • the invention relates to a process for the preparation of a suspension from a separation process, wherein the suspension of a particulate
  • the separation of cylindrical silicon ingots, so-called ingots in wafers, is carried out for example with a wire saw, wherein usually an additional abrasive is used.
  • an abrasive may be, for example, silicon carbide slurried in a suitable medium.
  • the abrasive, the slurry and silicon particles separated by the cutting process are waste products.
  • a wet powder agglomerate consisting of silicon carbide particles and silicon powder is first diluted by adding water. This is followed by the separation of a water slurry of the available abrasive particles and a water slurry containing the silicon particles. Subsequently, the slurry of the abrasive particles is dried in an oven for their recovery and reuse. Further, the water slurry of Silicon powder is filtered to recover the silicon powder for subsequent drying.
  • the spent abrasive liquid is heated prior to the water thinning step to reduce its viscosity.
  • Another aspect of the teaching there is to filter the spent heated liquid of low viscosity in order to recover on the one hand the wet powder agglomerate and on the other hand the slurry containing silicon particles.
  • the suspension consists of a particulate abrasive and a liquid slurry, the following steps being carried out to prepare this suspension:
  • the suspension is diluted in a tank with additional slurry.
  • this dilution is explicitly dispensed with an additional addition of water.
  • a constant volume ratio is established between the particulate abrasive and the liquid slurry.
  • the volume ratio between the particulate abrasive and the slurry is, after dilution, between 1: 1 and 1:10. Preferably, the volume ratio is 1: 5.
  • the diluted suspension is then placed in a separator, in particular a centrifugal separator, which effects separation of the diluted suspension into a liquid and a solid fraction.
  • a separator in particular a centrifugal separator, which effects separation of the diluted suspension into a liquid and a solid fraction.
  • the separated liquid and solid fractions can either be further refined in subsequent processing cycles or are already available as reusable materials after this process step.
  • the particulate abrasive is silicon carbide (SiC).
  • the slurry may be polyethylene glycol (PEG).
  • the inventive method also provides that the suspension provided with additional slurry in the tank for reduction the viscosity is heated.
  • This heating step may for example be carried out at a temperature of about 90 0 C.
  • the solid fraction separated in the centrifugal separator can already be used in this state for reuse in a separation process as a so-called slurry ryanate. This is not possible with previously known centrifugal processes, since in these cases an after-treatment of the separated solid fraction is absolutely necessary.
  • the separated liquid fraction however, subjected to a post-purification.
  • a post-purification can be done for example by means of filtration.
  • the use of a filter press with possible filtration aids is conceivable.
  • the thus purified liquid fraction can be used as Aufschlämmffen use and fed in a cycle of the suspension to be prepared for dilution in the tank.
  • residual material particles are also deposited, which may be, for example, silicon (Si) and / or silicon carbide.
  • the residual material particles deposited in this way can be used as semi-finished products. Thus, a recycling of difficult to obtain and therefore expensive silicon is possible.
  • a further aspect of the invention provides for subjecting at least a portion of the post-purified liquid fraction, which corresponds to the liquid fraction of the feed suspension, to distillation.
  • the post-purified liquid fraction which corresponds to the liquid fraction of the feed suspension
  • distillation By means of such distillation, it is possible to remove volatile and nonvolatile fractions.
  • the distillation is preferably carried out under vacuum, in particular at a pressure of approx. lO "2 mbar.
  • the recovered distillate is bottled in a tank and is ready for further use in this form.
  • the recovered distillate in which it is z. B. is a PEG product, sold or added to the Slurryansatz obtained by the separation in the centrifugal separator. This slurrieset can then be used in a subsequent sawing process.
  • the method according to the invention finds application in the production of silicon wafers, that is to say when cutting into individual wafers of cylindrical silicon ingots.
  • a plant for carrying out the method according to the invention essentially comprises a tank for dilution, a centrifugal separator, a filter system and a distiller. These individual components are preferably housed in separate containers, so that they can be easily transported to different locations and built.
  • the solids fraction separated by the centrifugal separator contains less fines compared to known centrifugal processes, allowing longer use of the solid fraction than conventional centrifugal processes. Furthermore, the separated liquid fraction does not have to be thoroughly cleaned in a centrifuge, as has hitherto been the case in known centrifuge processes.
  • the arrangement and process scheme for the preparation of a suspension shown in the figure relates in the present case to the treatment of a suspension resulting from the production of silicon wafers, which consists of particulate abrasives and a liquid slurry.
  • the particulate abrasives are silicon carbides and the slurry is polyethylene glycol.
  • the suspension is first placed in a tank 1, where it is diluted with additional slurry, but not with water.
  • the additional slurry is again polyethylene glycol.
  • a nearly constant volume ratio of 1: 5 is produced.
  • the suspension provided with additional slurry can be heated in the tank 1. Since the used suspension can be present in different mixing ratios with respect to the proportions of particulate abrasive in the liquid slurry, a control is attached to the inlet of the slurry to be introduced into the tank, so that only so much liquid slurry is fed to the tank until a predetermined Volume ratio between the particulate abrasive and the liquid slurry is made.
  • the dilute suspension in the tank 1 and heated for the purpose of viscosity reduction is then placed in a centrifugal separator 2 where the suspension is separated into a liquid and a solid fraction.
  • the separated solid fraction contains u .a. Silicon carbide and a small proportion of the PEGs and can thus form a Slurryansatz, as used in the sawing of silicon ingots, by the addition of purified PEG, the corresponding use mixture is restored.
  • the liquid fraction separated in the centrifugal separator 2 is subsequently subjected to purification, which is carried out, for example, by use of filters 4.
  • Part of the post-purified liquid fraction (PEG) can then be used as a diluent of the suspension in tank 1.
  • Through the filter 4 residue particles are collected, which u. a. Silicon and silicon carbide particles included.
  • the silicon thus obtained can be used as a finished or semi-finished product.
  • the PEG purified by the filter unit 4 can also be fed to a distiller 5, whereby removal of low-volatile and low-volatility fractions takes place at very low pressures.
  • the distillation takes place under vacuum, in the present case at a pressure of approx. 10 ⁇ 2 mbar.
  • the distillation throughput of the purified PEG is, for example, at approx. 250 l / h.
  • the recovered distillate is high-quality PEG, which is preferably filled into a tank 6.
  • the PEG stored in this way can either be resold or used to refine the Slurryansatzes 3 formed by the Zentrifugalseparator 2.
  • the process described represents processes for the preparation of a suspension from a separation process, which are carried out without additional addition and consequently contamination of water.
  • the individual components of the treated suspension can be reused to a very high proportion, which ultimately only a very small proportion of waste products.
  • a significantly better quality of the recovered solid and liquid components is achieved.

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren, wobei die Suspension aus einem teilchenförmigen Schleifmittel und einem flüssigen Auf Schlämmmittel besteht. Das Verfahren umfasst die Schritte: a) Verdünnung der Suspension in einem Tank (1) mit zusätzlichem Auf schlämmmittel (PEG) ohne zusätzliche Wasserzugabe, unter Herstellung eines konstanten Volumenverhältnisses zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem flüssigen Aufschlämmmittel; b) Trennen der verdünnten Suspension in eine Flüssig- und eine Feststoff-Fraktion in einem Zentrifugalseparator (2) und c) anschließende Veredelung oder Wiederverwendung der abgetrennten Flüssig- und Feststoff-Fraktionen.

Description

Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren, wobei die Suspension aus einem teilchenförmigen
Schleifmittel und einem flüssigen Aufschlämmmittel besteht, gemäß Merkmalskombination des Patentanspruchs 1.
Das Trennen von zylindrischen Siliziumbarren, sogenannten Ingots in Wafer, wird beispielsweise mit einer Drahtsäge durchgeführt, wobei meist ein zusätzliches Schleifmittel zur Anwendung kommt. Bei einem derartigen Schleifmittel kann es sich beispielsweise um Siliziumkarbid handeln, das in einem geeigneten Mittel aufgeschlämmt ist.
Nach Beendigung des Sägevorgangs liegen folglich das Schleifmittel, das Aufschlämmmittel sowie durch den Schneidvorgang abgetrennte Siliziumpartikel als Abfallprodukte vor.
Da es sich bei diesen Abfallprodukten um sehr wertvolle Rohstoffmaterialien handelt, werden bereits seit längerem Verfahren und entsprechende Anlagen zur Verfügung gestellt, um die gebrauchten Schleifmittel sowie das verwendete Aufschlämmmittel voneinander zu trennen, zu reinigen und wiederzuverwen- den.
Ein derartiges Verfahren wird beispielsweise in der DE 699 04 986 T2 beschrieben. Bei der dortigen Methode zur Abtrennung und Wiedergewinnung von Polyethylenglykol und Siliziumkarbid-Schleifmittel wird zunächst ein aus Siliziumkarbidpartikeln und Siliziumpulver bestehendes Nasspulveragglomerat durch Zugabe von Wasser verdünnt. Es folgt das Abtrennen einer Wasserauf- schlämmung der verfügbaren Schleifmittelpartikel und einer Wasserauf- schlämmung, die die Siliziumpartikel enthält. Anschließend wird die Auf- schlämmung der Schleifmittelpartikel in einem Ofen zu deren Rückgewinnung und Wiederverwendung getrocknet. Ferner wird die Wasseraufschlämmung von Siliziumpulver zur Rückgewinnung des Siliziumpulvers für die anschließende Trocknung filtriert.
Weiterhin wird die verbrauchte Schleifmittelflüssigkeit vor dem Wasserverdünnungsschritt erwärmt, um deren Viskosität zu verringern. Ein weiterer Aspekt der dortigen Lehre sieht vor, die verbrauchte erwärmte Flüssigkeit mit niedriger Viskosität zu filtrieren, um einerseits das Nasspulveragglomerat und andererseits das Aufschlämmmittel, das Siliziumpartikel enthält, wiederzugewinnen.
Es folgt ein Abtrennen des Aufschlämmmittels zur Wiedergewinnung und ein Abtrennen noch vorhandener Siliziumpartikelspuren, die anschließend entsorgt oder gegebenenfalls wiederverwendet werden können.
Der vollständige Prozess beruht also auf der anfänglichen Verdünnung der Siliziumkarbidpartikel sowie des Siliziumpulvers durch Zugabe größerer Mengen von Wasser. Die Verwendung von Wasser in einem derartigen Aufbereitungs- prozess ist jedoch mit mehreren Nachteilen verbunden.
Zum einen zieht die Wasserverwendung einen erheblichen Kostenfaktor nach sich, wobei die Kosten aus der Wasserbeschaffung, der Reinigung des Wassers sowie der Entsorgung resultieren. Zum anderen birgt das Einbringen von Wasser in einen Aufbereitungsprozess von gebrauchter Sägesuspension erhebliche Gefahren. Wasser und Silizium gehen bei Aufeinandertreffen im Allgemeinen eine exotherme Reaktion ein. Die mit der exothermen Reaktion einhergehende Wasserstoffproduktion birgt die Gefahr einer plötzlichen Entzündung von bereits abgetrennten Feststoff-Fraktionen. Es folgt unter Umständen eine Selbstentzündung der sogenannten Big Bags (Lagergebinde).
Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Aufbereitung einer oben genannten Suspension anzugeben, welche zum einen einfacher und kostengünstiger angewandt werden kann und zum anderen allen Sicherheitsanforderungen genügt. Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt durch ein Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren gemäß der Lehre nach Patentanspruch 1, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen.
Die Suspension besteht aus einem teilchenförmigen Schleifmittel und einem flüssigen Aufschlämmmittel, wobei zur Aufbereitung dieser Suspension folgende Schritte durchgeführt werden :
Zunächst wird die Suspension in einem Tank mit zusätzlichem Aufschlämmmittel verdünnt. Bei diesem Verdünnen wird explizit auf eine zusätzliche Wasserzugabe verzichtet. Außerdem wird zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem flüssigen Aufschlämmmittel ein konstantes Volumenverhältnis hergestellt.
Das Volumenverhältnis zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem Aufschlämmmittel liegt nach dem Verdünnen bei einem Wert zwischen 1 : 1 und 1 : 10. Vorzugsweise beträgt das Volumenverhältnis 1 : 5.
Die verdünnte Suspension wird anschließend in einen Separator, insbesondere Zentrifugalseparator gegeben, der eine Trennung der verdünnten Suspension in eine Flüssig- und eine Feststoff-Fraktion bewirkt.
Die abgetrennten Flüssig- und Feststoff-Fraktionen können in anschließenden Bearbeitungsgängen entweder weiterveredelt werden oder liegen bereits nach diesem Verfahrensschritt als wiederverwendbare Materialien vor.
Es sei erwähnt, dass es sich bei dem teilchenförmigen Schleifmittel um Siliziumkarbid (SiC) handelt. Das Aufschlämmmittel kann Polyethylenglykol (PEG) sein.
Das erfindungsgemäße Verfahren sieht außerdem vor, dass die mit zusätzlichem Aufschlämmmittel versehene Suspension in dem Tank zur Reduzierung der Viskosität erwärmt wird . Dieser Erwärmungsschritt kann beispielsweise bei einer Temperatur von etwa 900C durchgeführt werden.
Die im Zentrifugalseparator abgetrennte Feststoff-Fraktion kann bereits in diesem Zustand zur Wiederverwendung in einem Trennverfahren als sogenannter Slurryansatz Anwendung finden. Dies ist mit bisher bekannten Zentrifugenverfahren nicht möglich, da in diesen Fällen eine Nachbehandlung der abgetrennten Feststoff-Fraktion unbedingt erforderlich ist.
Die abgetrennte Flüssig-Fraktion wird hingegen einer Nachreinigung unterzogen. Eine derartige Nachreinigung kann beispielsweise mittels Filtrieren erfolgen. Insbesondere ist der Einsatz einer Filterpresse mit eventuellen Filtrationshilfsmitteln denkbar.
Die sonach gereinigte Flüssig-Fraktion kann als Aufschlämmmittel Verwendung finden und in einem Kreislauf der aufzubereitenden Suspension zur Verdünnung im Tank zugeführt werden.
Bei der Nachreinigung der Flüssig-Fraktion werden außerdem Reststoffpartikel abgeschieden, bei denen es sich beispielsweise um Silizium (Si) und/oder Siliziumkarbid handeln kann. Die derart abgeschiedenen Reststoffpartikel können als Halbfertigprodukte verwendet werden. Somit ist eine Wiederverwertung des schwer zu beschaffenden und dementsprechend teuren Siliziums möglich.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung sieht vor, zumindest einen Teil der nachgereinigten Flüssig-Fraktion, der dem Flüssigkeitsanteil der Aufgabensuspension entspricht, einer Destillation zu unterziehen. Somit ist eine kontinuierliche Fahrweise der Anlage möglich.
Durch eine derartige Destillation können leicht- und schwerflüchtige Anteile entfernt werden. Die Destillation erfolgt vorzugsweise unter Vakuum, insbesondere bei einem Druck von ca . lO"2 mbar.
Das gewonnene Destillat wird in einem Tank abgefüllt und steht in dieser Form zur weiteren Verwendung bereit. Beispielsweise kann das gewonnene Destillat, bei dem es sich z. B. um ein PEG-Produkt handelt, verkauft oder dem durch die Trennung im Zentrifugalseparator gewonnenen Slurryansatz beigemischt werden. Dieser Slurryansatz kann dann in einem nachfolgenden Sägevorgang verwendet werden.
Beispielsweise wird das soeben beschriebene Verfahren zur Aufbereitung gebrauchter Suspensionen chargenweise durchgeführt.
Insbesondere findet das erfindungsgemäße Verfahren Anwendung bei der Herstellung von Siliziumscheiben, also beim Zerschneiden in einzelne Scheiben von zylindrischen Siliziumingots.
Eine Anlage zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens weist im Wesentlichen einen Tank zur Verdünnung, einen Zentrifugalseparator, eine Filteranlage sowie einen Destillator auf. Diese einzelnen Bauteile sind vorzugsweise in separaten Containern untergebracht, so dass diese zu verschiedenen Einsatzorten einfach transportiert und aufgebaut werden können.
Außerdem ermöglicht eine derartige Unterbringung in Containern eine variable Auswahl der einzelnen Baugruppen oder Bauteile. So können je nach gewünschter Durchsatzmenge Baugruppen oder Bauteile mit unterschiedlichen Leistungsmerkmalen ausgewählt werden.
Das oben beschrieben Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren vereinigt mehrere Vorteile. Zum einen ist das vorgestellte Verfahren einfacher handzuhaben sowie kostengünstiger zu realisieren. Zum anderen können durch den Verzicht zusätzlicher Wasserzugaben die durch die Bildung von Wasserstoff entstehende Gefahr plötzlicher Entzündungen von Big Bags ausgeschlossen werden.
Außerdem ist keine Wasseraufbereitung erforderlich, wie sie bei bisher bekannten Zentrifugenverfahren notwendig ist. Zusätzlich fällt kein verschmutztes Abwasser an.
Des Weiteren enthält die durch den Zentrifugalseparator abgetrennte Feststoff-Fraktion im Vergleich zu bekannten Zentrifugenverfahren weniger Feinanteil, wodurch eine längere Verwendung der Feststoff-Fraktion als bei herkömmlichen Zentrifugenverfahren möglich ist. Ferner muss die abgetrennte Flüssig-Fraktion nicht aufwendig in einer Zentrifuge nachgereinigt werden, wie es bislang bei bekannten Zentrifugenverfahren der Fall ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels sowie unter Zuhilfenahme einer Figur näher erläutert werden.
Das in der Figur aufgezeigte Anordnungs- und Verfahrensschema zur Aufbereitung einer Suspension betrifft im vorliegenden Fall die Aufbereitung einer bei der Herstellung von Siliziumscheiben anfallenden Suspension, welche aus teil- chenförmigen Schleifmitteln und einem flüssigen Aufschlämmmittel besteht. Die teilchenförmigen Schleifmittel sind Siliziumkarbide und das Aufschlämmmittel ist Polyethylenglykol .
Die Suspension wird zunächst in einen Tank 1 gegeben, wo sie mit zusätzlichem Aufschlämmmittel, jedoch nicht mit Wasser verdünnt wird. Bei dem zusätzlichen Aufschlämmmittel handelt es sich wiederum um Polyethylenglykol . Zwischen den teilchenförmigen Siliziumkarbiden und dem flüssigen Polyethylenglykol wird ein nahezu konstantes Volumenverhältnis von 1 : 5 hergestellt. Zur zusätzlichen Reduzierung der Viskosität kann die mit zusätzlichem Aufschlämmmittel versehene Suspension in dem Tank 1 erwärmt werden. Da die gebrauchte Suspension in unterschiedlichen Mischungsverhältnissen bezüglich der Anteile von teilchenförmigen Schleifmitteln in dem flüssigen Aufschlämmmittel vorliegen kann, ist am Zulauf des in den Tank einzubringenden Aufschlämmmittels eine Steuerung angebracht, so dass dem Tank immer nur so viel flüssiges Aufschlämmmittel zugeführt wird, bis ein vorher festgelegtes Volumenverhältnis zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem flüssigen Aufschlämmmittel hergestellt ist.
Die im Tank 1 befindliche verdünnte und zum Zweck der Viskositätsreduzierung erwärmte Suspension wird anschließend in einen Zentrifugalseparator 2 gegeben, wo die Suspension in eine Flüssig- und eine Feststoff-Fraktion getrennt wird .
Die abgetrennte Feststoff-Fraktion enthält u .a. Siliziumkarbid und einen geringen Anteil des PEGs und kann somit einen Slurryansatz bilden, wie er beim Sägen von Siliziumingots verwendet wird, indem durch Zugabe von gereinigtem PEG die entsprechende Gebrauchsmischung wieder hergestellt wird .
Die im Zentrifugalseparator 2 abgetrennte Flüssig-Fraktion wird nachfolgend einer Reinigung unterzogen, welche beispielsweise mittels Einsatz von Filtern 4 erfolgt. Ein Teil der nachgereinigten Flüssig-Fraktion (PEG) kann dann als Verdünnungsmittel der Suspension im Tank 1 verwendet werden. Durch die Filter 4 werden Reststoffpartikel gesammelt, welche u . a. Silizium und Siliziumkarbidpartikel enthalten. Das dadurch gewonnene Silizium kann als Fertigoder Halbprodukt Verwendung finden.
Das durch die Filteranlage 4 nachgereinigte PEG kann außerdem einem Destil- lator 5 zugeführt werden, wodurch eine Entfernung von leicht- und schwerflüchtigen Anteilen bei sehr geringen Drücken erfolgt. Die Destillation erfolgt unter Vakuum, im vorliegenden Fall bei einem Druck von ca . 10~ 2 mbar. Der Destillationsdurchsatz des nachgereinigten PEGs liegt beispielsweise bei ca . 250 l/h. Bei dem gewonnenen Destillat handelt es sich um qualitativ hochwertiges PEG, welches vorzugsweise in einen Tank 6 abgefüllt wird . Das derart gelagerte PEG kann entweder weiterverkauft oder zur Veredelung des durch den Zentrifugalseparator 2 gebildeten Slurryansatzes 3 verwendet werden.
Das beschriebene Verfahren stellt Vorgänge zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren dar, welche ohne zusätzliche Zugabe und folglich Verschmutzung von Wasser durchgeführt werden. Die einzelnen Komponenten der aufbereiteten Suspension können zu einem sehr hohen Anteil wiederverwendet werden, wodurch letztendlich nur ein sehr geringer Anteil von Abfallprodukten entsteht. Außerdem wird im Vergleich zu herkömmlichen Zentrifugenverfahren eine deutlich bessere Qualität der zurück gewonnenen festen und flüssigen Bestandteile erzielt.
Bezugszeichenliste
1 Tank
2 Zentrifugal Separator
3 Slurryansatz
4 Filter / Filteranlage
5 Destillator
6 PEG-Tank

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension aus einem Trennverfahren, wobei die Suspension aus einem teilchenförmigen Schleifmittel und einem flüssigen Aufschlämmmittel besteht,
umfassend die Schritte:
a) Verdünnung der Suspension in einem Tank (1) mit zusätzlichem Aufschlämmmittel ohne zusätzliche Wasserzugabe, unter Herstellung eines konstanten Volumenverhältnisses zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem flüssigem Aufschlämmmittels; b) Trennen der verdünnten Suspension in eine Flüssig- und eine
Feststoff-Fraktion in einem Zentrifugalseparator, wobei die im Zentrifugalseparator (2) abgetrennte Flüssig-Fraktion einer Nachreinigung unterzogen wird und diese mittels mindestens eines Filters (4) erfolgt und
c) anschließende Veredelung oder Wiederverwendung der getrennten Flüssig- und Feststoff-Fraktion.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die teilchenförmigen Schleifmittel Siliziumkarbid (SiC) sind .
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Aufschlämmmittel Polyethylenglykol (PEG) ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die mit zusätzlichem Aufschlämmmittel versehene Suspension in dem Tank (1) zur Reduzierung der Viskosität erwärmt wird .
5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das Volumenverhältnis zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem Aufschlämmmittel nach dem Verdünnen zwischen 1 : 1 und 1 : 10 liegt.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Volumenverhältnis zwischen dem teilchenförmigen Schleifmittel und dem Aufschlämmmittel nach dem Verdünnen ca . 1 : 5 beträgt.
7. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die nachgereinigte Flüssig-Fraktion als Aufschlämmmittel Verwendung findet und in einem Kreislauf der aufzubereitenden Suspension zur Verdünnung zugeführt wird .
8. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
bei Nachreinigung der Flüssig-Fraktion Reststoffpartikel abgeschieden werden und die abgeschiedenen Reststoffparktikel als Halbfertigprodukte Verwendung finden.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, dass
es sich bei den abgeschiedenen Reststoffpartikeln um Silizium (Si) und/oder Siliziumkarbid (SiC) handelt.
10. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die nachgereinigte Flüssig-Fraktion einer Destillation (5) unterzogen wird .
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Destillation unter Vakuum erfolgt.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Destillation bei einem Druck von ca. 10~2 mbar erfolgt.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10, 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Destillationsdurchsatz der nachgereinigten Flüssig-Fraktion bei ca. 200 bis 300 l/h liegt.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, dass
das gewonnene Destillat in einen weiteren Tank (6) abgefüllt wird .
15. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die im Separator (2) abgetrennte Feststoff-Fraktion als Slurryansatz (3) Verwendung findet.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14 und 15,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Slurryansatz (3) mit der nachgereinigten und destillierten Flüssig- Fraktion vermengt wird .
17. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Verfahren zur Aufbereitung gebrauchter Suspension chargenweise durchgeführt wird .
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Verfahren zur Aufbereitung gebrauchter Suspension kontinuierlich erfolgt.
19. Anwendung des Verfahrens nach einem der vorangegangenen Ansprüche bei der Herstellung von Siliziumscheiben durch Sägen aus einem Ingot.
20. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, dass
die einzelnen Bauteile oder Baugruppen wie der Tank zur Verdünnung (1), der insbesondere Zentrifugalseparator(2), die Filteranlage (4) und der Destillator (5) in separaten Containern untergebracht sind, um einen leichten Aufbau und Einsatz an unterschiedlichen Orten zu gewährleisten.
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