EP2297772A1 - Dielektrische barriere-entladungslampe in koaxialer doppelrohranordnung mit getter - Google Patents

Dielektrische barriere-entladungslampe in koaxialer doppelrohranordnung mit getter

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EP2297772A1
EP2297772A1 EP08775080A EP08775080A EP2297772A1 EP 2297772 A1 EP2297772 A1 EP 2297772A1 EP 08775080 A EP08775080 A EP 08775080A EP 08775080 A EP08775080 A EP 08775080A EP 2297772 A1 EP2297772 A1 EP 2297772A1
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EP
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tube
getter
lamp according
outer tube
discharge
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Oliver Rosier
Axel Hombach
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Osram GmbH
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Osram GmbH
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    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
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    • H01J61/02—Details
    • H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J61/26—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering; Means for preventing blackening of the envelope
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    • H01J61/02—Details
    • H01J61/30—Vessels; Containers
    • H01J61/34—Double-wall vessels or containers

Definitions

  • the invention is based on a dielectric barrier discharge lamp with a discharge vessel in coaxial double tube arrangement, i. an inner tube is coaxially disposed within an outer tube. Inner tube and outer tube are connected to each other and form the gas-tight discharge vessel.
  • the discharge space enclosed by the discharge vessel thus extends between the inner and outer tubes and is filled with a discharge medium which typically contains one or more noble gases, for example xenon.
  • This type of discharge lamp typically has a first electrode disposed inside the inner tube and a second electrode disposed on the outer side of the outer tube. Both electrodes are thus outside the discharge vessel. It is therefore a two-sided dielectrically impeded discharge.
  • xenon excimers In a dielectric barrier discharge with, for example, the noble gas xenon as the discharge medium, xenon excimers (Xe2 *) are produced which emit electromagnetic radiation with wavelengths in the region of approx. 172 nm when returning from the excited state to the ground state.
  • Impurities for example oxygen or hydrogen, in the discharge medium reduce the efficiency of the useful radiation generation.
  • part of the electrical excitation power goes into the unwanted stimulus tion of the atomic and / or molecular components of the impurities.
  • the impurities cause some of the excimer to return to the ground state without radiation.
  • This type of lamp is used in particular for UV irradiation in process technology, for example for surface cleaning and activation, photolytics, ozone generation, drinking water purification, metallization, and UV curing.
  • the term emitter or UV emitter is also common.
  • Document EP 0 607 960 A1 discloses a dielectric barrier discharge lamp in coaxial double tube arrangement.
  • a getter material is arranged either in a one-sided extension of the annular gap-shaped discharge space (FIGS. 1-3), a flat, circular extension of the discharge vessel (FIG. 4) or in a separate vessel (FIG. 5). which is connected to the discharge space.
  • measures are provided to prevent the getter material from inadvertently entering the discharge space, for example by connecting the getter space from the discharge space via a narrowed section of vessel.
  • the problem is that parasitic discharges can form in the area of the getter space due to the proximity of the getter space to the discharge space. The parasitic discharges worsen the efficiency of the radiator. Presentation of the invention
  • the object of the present invention is to provide a dielectric barrier discharge lamp in coaxial double tube arrangement with improved arrangement of a getter material.
  • a dielectric barrier discharge lamp in coaxial double tube arrangement with a discharge vessel comprising an outer tube and an inner tube, wherein the inner tube coaxially disposed within the outer tube, the inner tube and the outer OHrohr gas-tightly connected to each other, whereby between inside and outer tube is formed a discharge space filled with a discharge medium, an outer electrode disposed on the outer side of the outer tube, an inner electrode disposed inside the inner tube, a getter material in contact with the discharge medium, characterized in that the Inner tube is shorter than the outer tube, the inner tube and the outer tube are gas-tightly connected at their respective one end, the outer tube is gas-tightly sealed at its other end, which projects into the outer tube inner tube comprising: a first pipe section - the êtelek in which the inner electrode is arranged, a second tube section - the getter tube - in which the getter material is arranged, a dividing wall which separates the two tube sections in a gastight manner from one another.
  • the getter space is limited to a region close to the axis, that is, not arranged in the extension of the annular gap-shaped discharge space.
  • a getter tube provided for receiving the getter material coaxially adjoins the inner electrode tube provided for receiving the inner electrode, but is separated from it gas-tight by a partition wall.
  • the way from the getter material to the outer electrodes is relatively long. Due to the long path between getter material and electrodes parasitic discharges are avoided or at least significantly reduced. Due to the partition wall between the getter tube and the inner electrode tube, the getter space formed by the getter tube and consequently also the discharge space communicating with the getter space via the getter tube opening are closed to the outside in a gas-tight manner.
  • the getter tube can be formed in that the inner tube is extended beyond the length of the inner electrode.
  • the tube section provided for receiving the getter material is separated in a gastight manner from the remainder of the inner tube by means of a separately inserted and welded dividing wall.
  • the getter tube forming the getter space and the inner electrode tube receiving the inner electrode are functionally different and separated by the partition portions of the same one-piece inner tube.
  • the getter tube may be formed by a separate tube which adjoins the end of the inner electrode tube projecting into the outer tube, ie the inner tube in this case comprises two separate tube tubes. parts: namely the inner electrode tube and the getter tube.
  • the two tube parts gas-tight separating partition is formed by a corresponding gas-tight closed end of one of the two tube parts. That is, the partition wall is formed for example by the gas-tight closed end of the inner electrode tube (8), to which the getter tube is attached and thus connected gas-tight.
  • the getter tube can first be closed off at one end and then attached and connected to the open end of the inner electrode tube with this closed end.
  • the diameter of the inner electrode tube and the diameter of the getter tube may be the same or different.
  • the getter as it may also be advantageous to taper the getter tube in the direction of opening.
  • the length of the getter tube in the axial direction is adjusted so that a sufficient amount of getter material can be absorbed.
  • the getter tube should not be too long, otherwise the radiating portion - this extends only to the area with the inner electrode - based on the total length of the radiator is reduced too much. In practice, depending on the total length of the radiator, lengths in the range between approximately 0.5 cm and 5 cm have proven suitable for the getter tube.
  • the getter material may for example be applied to at least a part of the inner surface of the getter tube, for example by barium vapor deposition.
  • the getter material can also be attached to the getter tube in other ways. orders to be clamped, for example in strip form in Getterrohr or the like.
  • other suitable getter materials come into consideration, for example, porous or powdery oxides, nitrides and carbides and titanium, tantalum, aluminum, zirconium and combinations thereof.
  • the diameter of the opening of the getter tube is equal to or greater than the distance between the outside of the inner tube and the inside of the outer tube defining the distance of the discharge.
  • the retaining disk in order not to impair the exchange of the discharge medium and consequently the getter effect, the retaining disk must have corresponding openings, for example bores, slots or the like.
  • Fig. Ib is a cross-sectional view of the lamp of Fig. Ia along the section line AB.
  • the figures Ia, Ib show in a highly schematic representation of a longitudinal section and a cross section along the section line AB of an embodiment of the dielectric barrier discharge lamp according to the invention 1.
  • the elongated discharge vessel of the lamp 1 consists of an outer tube 2 and an inner tube 3 in coaxial double tube arrangement , whereby the longitudinal axis L of the discharge vessel is defined.
  • the typical length of the outer tube 2 is depending on the application between about 10 and 250 cm.
  • the outer tube 2 has a typical outer diameter of 44 mm and a wall thickness of 2 mm.
  • the inner tube 3 has a typical outer diameter of 20 mm and a wall thickness of 1 mm.
  • Both tubes 2, 3 consist of UV radiation permeable quartz glass.
  • the discharge vessel is closed at its two front sides in such a way that an elongate, annular-gap-shaped discharge space 4 is formed.
  • the discharge vessel has at one end a suitably shaped, annular vessel section 5, which connects there the corresponding ends of the inner and outer tubes.
  • the discharge vessel is closed with a circular vessel section 6, which adjoins there to the corresponding end of the outer tube 2.
  • a pumping tube (not shown) attached, with the help of the discharge space. 4 first evacuated and then filled with 15 kPa xenon as a discharge medium. Then the pump tube is melted off.
  • the inner tube 3 ends at a distance a of about 1 cm in front of the circular vessel section 6 at the end of the outer tube 2.
  • the inner tube 3 consists of a first functional section, which serves to receive an inner electrode 7, the inner electrode tube 8.
  • a second functional section which serves to receive a getter material as 9, the getter tube 10.
  • inner electrode tube 8 and getter tube 10 are separated by a partition wall 11. This partition 11 also closes off the discharge vessel in this region of the inner tube 3 gas-tight.
  • the getter tube 10 is open, so that the discharge medium from the discharge space 4 can get into the getter tube 10 and come into contact with the getter material 9.
  • the getter material 9 is made of barium and is evaporated on the inside of the getter tube 10 including the facing side of the partition wall 11.
  • the length d of the getter tube 10 is about 1 cm.
  • the inner diameter D is about 18 mm and is thus greater than the defined by the distance between the outside of the inner tube 3 and the inside of the outer tube 2 impact distance G, which is about 10 mm.
  • a wire mesh 12 is wound, which forms the outer electrode of the lamp 1.
  • the inner electrode 7 is formed as a slotted metal tube and consists of a 0.1 mm thick metal sheet, preferably VA sheet.
  • the holding plate is provided with suitable openings, for example holes, slots, etc.
  • the radiator can be provided with a base at least at one end, preferably at the end with the getter chamber, or at both ends (not shown).

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Description

Beschreibung
Dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer Doppelrohranordnung mit Getter
Technisches Gebiet
Die Erfindung geht aus von einer dielektrischen Barriere- Entladungslampe mit einem Entladungsgefäß in koaxialer Doppelrohranordnung, d.h. ein Innenrohr ist koaxial innerhalb eines Außenrohrs angeordnet. Dabei sind Innenrohr und Außenrohr miteinander verbunden und bilden das gasdichte Entladungsgefäß. Der vom Entladungsgefäß umschlossene Entladungsraum erstreckt sich also zwischen Innen- und Außenrohr und ist mit einem Entladungsmedium gefüllt, das typischerweise ein oder mehrere Edelgase, beispielsweise Xenon enthält.
Diese Art von Entladungslampen weist typischerweise eine erste Elektrode auf, die innerhalb des Innenrohrs ange- ordnet ist und eine zweite Elektrode, die auf der Außenseite des Außenrohrs angeordnet ist. Beide Elektroden befinden sich somit außerhalb des Entladungsgefäßes. Es handelt sich also um eine zweiseitig dielektrisch behinderte Entladung.
In einer dielektrischen Barriere-Entladung mit z.B. dem Edelgas Xenon als Entladungsmedium werden unter anderem Xenon-Excimere (Xe2*) erzeugt, die bei der Rückkehr vom angeregten Zustand in den Grundzustand elektromagnetische Strahlung mit Wellenlängen im Bereich um ca. 172 nm emit- tieren. Verunreinigungen, z.B. Sauerstoff oder Wasserstoff, im Entladungsmedium verringern die Effizienz der Nutzstrahlungserzeugung. Zum einen geht ein Teil der elektrischen Anregungsleistung in die unerwünschte Anre- gung der atomaren und/oder molekularen Bestandteile der Verunreinigungen. Zum anderen bewirken die Verunreinigungen, dass ein Teil der Excimere strahlungslos in den Grundzustand zurückkehrt.
Anwendung findet dieser Lampentyp insbesondere für die UV-Bestrahlung in der Prozesstechnik, beispielsweise für die Oberflächenreinigung und -aktivierung, Photolytik, Ozonerzeugung, Trinkwasserreinigung, Metallisierung, und UV-Curing. In diesem Zusammenhang ist auch die Bezeich- nung Strahler oder UV-Strahler gebräuchlich.
Stand der Technik
Die Schrift EP 0 607 960 Al offenbart eine dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer Doppelrohranordnung. Zum Binden von Verunreinigungen ist ein Gettermate- rial entweder in einer einseitigen Verlängerung des ring- spaltförmigen Entladungsraumes angeordnet (Fig. 1 - 3), einem flachen, kreisförmigen Fortsatz des Entladungsgefäßes (Fig. 4) oder in einem separaten Gefäß (Fig. 5), das mit dem Entladungsraum verbunden ist. In jedem Fall sind Maßnahmen vorgesehen, um zu verhindern, dass das Getter- material unbeabsichtigt in den Entladungsraum gelangt, beispielsweise indem der Getterraum vom Entladungsraum über einen verengten Gefäßabschnitt verbunden ist. Problematisch ist allerdings, dass sich aufgrund der räumlichen Nähe des Getterraums zum Entladungsraum parasitäre Entladungen im Bereich des Getterraums ausbilden können. Die parasitären Entladungen verschlechtern nämlich die Effizienz des Strahlers. Darstellung der Erfindung
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer Doppelrohranordnung mit verbesserter Anordnung eines Getterma- terials bereitzustellen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine dielektrische Barriere-Entladungslampe in koaxialer Doppelrohranordnung mit einem Entladungsgefäß, das ein Außenrohr und ein Innenrohr umfasst, wobei das Innenrohr koaxial innerhalb des Außenrohrs angeordnet ist, das Innenrohr und das Au- ßenrohr gasdicht miteinander verbunden sind, wodurch zwischen Innen- und Außenrohr ein mit einem Entladungsmedium gefüllter Entladungsraum gebildet ist, einer Außenelektrode, die auf der Außenseite des Außenrohrs angeordnet ist, einer Innenelektrode, die innerhalb des Innenrohrs angeordnet ist, einem Gettermaterial, das mit dem Entladungsmedium in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, dass das Innenrohr kürzer als das Außenrohr ist, das Innenrohr und das Außenrohr an ihrem jeweiligen einen Ende miteinander gasdicht verbunden sind, das Außenrohr an seinem anderen Ende gasdicht verschlossen ist, das in das Außenrohr hineinragende Innenrohr Folgendes umfasst: einen ersten Rohrabschnitt - das Innenelektrodenrohr -, in dem die Innenelektrode angeordnet ist, einen zweiten Rohrabschnitt - das Getterrohr -, in dem das Gettermate- rial angeordnet ist, eine Trennwand, die die beiden Rohrabschnitte gasdicht voneinander trennt.
Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen. Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, dass der Getterraum auf einen achsnahen Bereich beschränkt ist, d.h. nicht in der Verlängerung des ringspaltförmigen Entladungsraums angeordnet ist. Zu diesem Zweck schließt sich erfindungsgemäß ein für die Aufnahme des Gettermate- rials vorgesehenes Getterrohr an das für die Aufnahme der Innenelektrode vorgesehene Innenelektrodenrohr koaxial an, ist von diesem aber durch eine Trennwand gasdicht getrennt. Dadurch ist der Weg vom Gettermaterial zu den Au- ßenelektroden relativ lang. Durch den langen Weg zwischen Gettermaterial und Elektroden werden parasitäre Entladungen vermieden oder zumindest deutlich reduziert. Durch die Trennwand zwischen Getterrohr und Innenelektrodenrohr ist der durch das Getterrohr gebildete Getterraum und folglich auch der mit dem Getterraum über die Getterroh- röffnung in Verbindung stehende Entladungsraum nach Außen gasdicht abgeschlossen.
Das Getterrohr kann dadurch ausgebildet sein, dass das Innenrohr über die Länge der Innenelektrode hinaus ver- längert ist. Dabei ist der für die Aufnahme des Getterma- terials vorgesehene Rohrabschnitt vom Rest des Innenrohrs mittels einer separat eingesetzten und eingeschweißten Trennwand gasdicht getrennt. Mit anderen Worten sind in diesem Fall das den Getterraum bildende Getterrohr und das die Innenelektrode aufnehmende Innenelektrodenrohr funktional unterschiedliche und durch die Trennwand getrennte Abschnitte des selben einteiligen Innenrohrs.
Alternativ kann das Getterrohr durch ein separates Rohr ausgebildet sein, das sich an das in das Außenrohr hin- einragende Ende des Innenelektrodenrohrs anschließt, d.h. das Innenrohr umfasst in diesem Fall zwei separate Rohr- teile: nämlich das Innenelektrodenrohr und das Getter- rohr. Die die beiden Rohrteile gasdicht trennende Trennwand ist durch ein entsprechendes gasdicht verschlossenes Ende einer der beiden Rohrteile ausgebildet. D.h. die Trennwand ist beispielsweise durch das gasdicht verschlossene Ende des Innenelektrodenrohrs (8) ausgebildet, an das das Getterrohr angesetzt und damit gasdicht verbunden wird. Es kann aber auch umgekehrt erst das Getterrohr an einem Ende verschlossen und dann mit diesem ver- schlossenen Ende an das offene Ende des Innenelektrodenrohrs angesetzt und verbunden werden.
Außerdem können der Durchmesser des Innenelektrodenrohrs und der Durchmesser des Getterrohrs gleich oder unterschiedlich sein. Zur sicheren Anordnung des Gettermateri- als kann es auch vorteilhaft sein, das Getterrohr in Richtung Öffnung zu verjüngen.
Die Länge des Getterrohrs in Achsrichtung ist so abgestimmt, dass eine ausreichende Menge Gettermaterial aufgenommen werden kann. Andererseits sollte das Getterrohr nicht zu lang sein, da sonst der strahlende Abschnitt - dieser erstreckt sich nur auf den Bereich mit der Innenelektrode - bezogen auf die Gesamtlänge des Strahlers zu sehr reduziert wird. In der Praxis haben sich, je nach Gesamtlänge des Strahlers, für das Getterrohr Längen im Bereich zwischen ca. 0,5 cm und 5 cm als geeignet erwiesen .
Das Gettermaterial kann beispielsweise zumindest auf einen Teil der Innenfläche des Getterrohrs aufgebracht sein, z.B. indem Barium aufgedampft ist. Das Gettermate- rial kann aber auch in anderer Weise im Getterrohr ange- ordnet sein, beispielsweise in Streifenform im Getterrohr eingeklemmt oder ähnliches. Neben Barium kommen auch andere geeignete Gettermaterialien in Betracht, beispielsweise poröse oder pulverige Oxide, Nitride und Carbide sowie Titan, Tantal, Aluminium, Zirkonium und Kombinationen davon.
Um den für die Wirkung des Gettermaterials notwendigen Austausch des Entladungsmediums zwischen Entladungsraum und axialem Getterraum zu fördern, ist vorzugsweise der Durchmesser der Öffnung des Getterrohrs gleich groß oder größer als der die Schlagweite der Entladung definierende Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs und der Innenseite des Außenrohrs.
Außerdem kann es insbesondere bei langen Rohren zur Un- terdrückung von Schwingungen sowie zur Stabilisierung des Innenrohrs vorteilhaft sein, das freie Ende des Innenrohrs, beispielsweise im Bereich des Getterrohrs, mit einem geeigneten Mittel, z.B. einer passenden Haltescheibe zwischen Innen- und Außenrohr abzustützen. Um den Aus- tausch des Entladungsmediums und folglich die Getterwir- kung nicht zu beeinträchtigen, muss die Haltescheibe aber entsprechende Öffnungen, beispielsweise Bohrungen, Schlitze oder ähnliches aufweisen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Im Folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungs- beispiels näher erläutert werden. Die Figuren zeigen:
Fig. Ia eine Längsschnittsdarstellung einer erfindungsgemäßen dielektrischen Barriere-Entladungslampe, Fig. Ib eine Querschnittsdarstellung der Lampe aus Fig. Ia entlang der Schnittlinie AB.
Bevorzugte Ausführung der Erfindung
In den Figuren werden gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Die Figuren Ia, Ib zeigen in stark schematisierter Darstellung einen Längsschnitt bzw. einen Querschnitt längs der Schnittlinie AB eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen dielelektrischen Barriere-Entladungslampe 1. Das längliche Entladungsgefäß der Lampe 1 besteht aus ei- nem Außenrohr 2 und einem Innenrohr 3 in koaxialer Doppelrohranordnung, wodurch die Längsachse L des Entladungsgefäßes definiert ist. Die typische Länge des Außenrohrs 2 beträgt je nach Anwendung zwischen ca. 10 und 250 cm. Das Außenrohr 2 hat einen typischen Außendurch- messer von 44 mm und eine Wandstärke von 2 mm. Das Innenrohr 3 hat einen typischen Außendurchmesser von 20 mm und eine Wandstärke von 1 mm. Beide Rohre 2, 3 bestehen aus UV-Strahlung durchlässigem Quarzglas. Außerdem ist das Entladungsgefäß an seinen beiden Stirnseiten derart ver- schlössen, dass ein länglicher, ringspaltförmiger Entladungsraum 4 gebildet ist. Zu diesem Zweck weist das Entladungsgefäß an einem Ende einen geeignet geformten, ringartigen Gefäßabschnitt 5 auf, der dort die korrespondierenden Enden von Innen- und Außenrohr verbindet. An seinem anderen Ende ist das Entladungsgefäß mit einem kreisförmigen Gefäßabschnitt 6 verschlossen, der sich dort an das entsprechende Ende des Außenrohrs 2 anschließt. Außerdem ist dort ein Pumprohr (nicht dargestellt) angesetzt, mit dessen Hilfe der Entladungsraum 4 zunächst evakuiert und anschließend mit 15 kPa Xenon als Entladungsmedium gefüllt wird. Danach wird das Pumprohr abgeschmolzen. Das Innenrohr 3 endet im Abstand a von ca. 1 cm vor dem kreisförmigen Gefäßabschnitt 6 am Ende des Außenrohrs 2. Das Innenrohr 3 besteht aus einem ersten funktionalen Abschnitt, der zur Aufnahme einer Innenelektrode 7 dient, dem Innenelektrodenrohr 8. An dieses Innenelektrodenrohr 8 schließt sich ein zweiter funktionaler Abschnitt an, der zur Aufnahme eines Gettermateri- als 9 dient, dem Getterrohr 10. Innenelektrodenrohr 8 und Getterrohr 10 sind durch eine Trennwand 11 getrennt. Diese Trennwand 11 schließt außerdem das Entladungsgefäß in diesem Bereich des Innenrohrs 3 gasdicht ab. Auf der anderen Seite ist das Getterrohr 10 offen, so dass das Ent- ladungsmedium aus dem Entladungsraum 4 in das Getterrohr 10 gelangen und mit dem Gettermaterial 9 in Kontakt kommen kann. Das Gettermaterial 9 besteht aus Barium und ist auf die Innenseite des Getterrohrs 10 einschließlich der zugewandten Seite der Trennwand 11 aufgedampft. Die Länge d des Getterrohrs 10 beträgt ca. 1 cm. Der Innendurchmesser D beträgt ca. 18 mm und ist damit größer als die durch den Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs 3 und der Innenseite des Außenrohrs 2 definierte Schlagweite G, die ca. 10 mm beträgt. Auf der Außenseite der Wand des Außenrohrs 2 ist ein Drahtnetz 12 aufgezogen, das die Außenelektrode der Lampe 1 bildet. Die Innenelektrode 7 ist als geschlitztes Metallrohr ausgebildet und besteht aus einem 0,1 mm dicken Metallblech, vorzugsweise VA-Blech.
Insbesondere bei relativ langen Rohren kann es zur Vermeidungen von Schwingungen des Innenrohrs vorgesehen sein, das Innenrohr, bevorzugt im Bereich des Getter- rohrs, mit Hilfe einer passenden Haltescheibe abzustützen (nicht dargestellt) . Dazu weist die Haltescheibe eine zentrische Bohrung auf, damit sie auf das Innenrohr passt. Der Außendurchmesser der Haltescheibe ist außerdem so bemessen, dass die Haltescheibe gerade zwischen Innen- und Außenrohr passt. Um den Austausch des Entladungsmediums zwischen Entladungsraum und Getterraum und folglich die Getterwirkung nicht zu beeinträchtigen, ist die HaI- tescheibe mit geeigneten Öffnungen, beispielsweise Bohrungen, Schlitzen etc. versehen.
Zum Einbau in eine Prozesskammer kann der Strahler zumindest an einem Ende, vorzugsweise an dem Ende mit der Get- terkammer, oder auch an beiden Enden jeweils mit einem Sockel versehen sein (nicht dargestellt) .

Claims

Ansprüche
1. Dielektrische Barriere-Entladungslampe (1) in koaxialer Doppelrohranordnung mit o einem Entladungsgefäß, das ein Außenrohr (2) und ein Innenrohr (3) umfasst, wobei
- das Innenrohr (3) koaxial innerhalb des Außenrohrs (2) angeordnet ist,
- das Innenrohr (3) und das Außenrohr (2) gasdicht miteinander verbunden sind, wodurch zwi- sehen Innen- und Außenrohr ein mit einem Entladungsmedium gefüllter Entladungsraum (4) gebildet ist, o einer Außenelektrode (12), die auf der Außenseite des Außenrohrs (2) angeordnet ist, o einer Innenelektrode (7), die innerhalb des Innenrohrs (2) angeordnet ist, o einem Gettermaterial (9), das mit dem Entladungsmedium in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, dass o das Innenrohr (3) kürzer als das Außenrohr (2) ist, o das Innenrohr (3) und das Außenrohr an ihrem jeweiligen einen Ende miteinander gasdicht verbunden sind, o das Außenrohr (2) an seinem anderen Ende gasdicht verschlossen ist, o das in das Außenrohr (2) hineinragende Innenrohr (3) Folgendes umfasst: - einen ersten Rohrabschnitt - das Innenelekt- rodenrohr (8) -, in dem die Innenelektrode (7) angeordnet ist,
- einen zweiten Rohrabschnitt - das Getter- röhr (10) -, in dem das Gettermaterial (9) angeordnet ist,
- eine Trennwand (11), die die beiden Rohrabschnitte gasdicht voneinander trennt.
2. Lampe nach Anspruch 1, wobei das Innenrohr (3) mit den beiden Rohrabschnitten Innenelektrodenrohr (8) und Getterrohr (10) einteilig ist.
3. Lampe nach Anspruch 1, wobei das Getterrohr (10) durch ein separates Rohr ausgebildet ist, das sich an das in das Außenrohr (2) hineinragende Ende des In- nenelektrodenrohrs (8) koaxial anschließt und wobei die Trennwand (11) durch das entsprechende gasdicht verschlossene Ende des Getterrohrs (10) oder des In- nenelektrodenrohrs (8) ausgebildet ist.
4. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Durchmesser der Öffnung (D) des Getterrohrs (10) gleich groß oder größer ist als der die Schlagweite (G) der Entladung definierende Abstand zwischen der Außenseite des Innenrohrs (3) und der Innenseite des Außenrohrs (2) .
5. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zumindest ein Teil der Innenfläche des Getter- rohrs (10) mit Gettermaterial versehen ist.
6. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Durchmesser des Innenelektrodenrohrs (8) und des
Getterrohrs (10) unterschiedlich sind.
7. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Länge des Getterrohrs (10) in Längsachsrichtung des Entladungsgefäßes im Bereich zwischen 0,5 cm und 5 cm liegt.
8. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Innenrohr mit Hilfe eines Haltemittels abgestützt ist.
9. Lampe nach Anspruch 8, wobei das Haltemittel im Be- reich des Getterrohrs angeordnet ist.
10. Lampe nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei das
Haltemittel eine ringförmige Haltescheibe ist, die sich zwischen der Außenseite des Innenrohrs und der Innenseite des Außenrohrs erstreckt.
11. Lampe nach Anspruch 10, wobei die Haltescheibe neben einer zentrischen Bohrung mindestens eine weitere Öffnung aufweist.
12. Lampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Gettermaterial die folgenden Elemente einzeln oder in Kombination umfasst: poröse oder pulverige Oxide, Nitride und Carbide sowie Barium, Titan, Tantal, Aluminium, Zirkonium.
EP08775080A 2008-07-15 2008-07-15 Dielektrische barriere-entladungslampe in koaxialer doppelrohranordnung mit getter Active EP2297772B1 (de)

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PCT/EP2008/059220 WO2010006642A1 (de) 2008-07-15 2008-07-15 Dielektrische barriere-entladungslampe in koaxialer doppelrohranordnung mit getter

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Publication Number Publication Date
EP2297772A1 true EP2297772A1 (de) 2011-03-23
EP2297772B1 EP2297772B1 (de) 2012-02-15

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Application Number Title Priority Date Filing Date
EP08775080A Active EP2297772B1 (de) 2008-07-15 2008-07-15 Dielektrische barriere-entladungslampe in koaxialer doppelrohranordnung mit getter

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8174191B2 (de)
EP (1) EP2297772B1 (de)
JP (1) JP5165108B2 (de)
KR (1) KR101216481B1 (de)
CN (1) CN102084456B (de)
AT (1) ATE545947T1 (de)
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