EP1334510B1 - Dielektrische barrieren-entladungslampe - Google Patents

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EP1334510B1
EP1334510B1 EP01982134A EP01982134A EP1334510B1 EP 1334510 B1 EP1334510 B1 EP 1334510B1 EP 01982134 A EP01982134 A EP 01982134A EP 01982134 A EP01982134 A EP 01982134A EP 1334510 B1 EP1334510 B1 EP 1334510B1
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EP
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contact
discharge lamp
cap
strip
lamp according
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EP01982134A
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EP1334510A1 (de
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Rainer Kling
Reinhold Wittkötter
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Osram GmbH
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Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
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    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/50—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it
    • H01J5/54—Means forming part of the tube or lamps for the purpose of providing electrical connection to it supported by a separate part, e.g. base

Definitions

  • the invention is based on a dielectric barrier discharge lamp.
  • dielectric barrier discharge lamp includes sources of electromagnetic radiation based on dielectrically impeded gas discharges.
  • the spectrum of the radiation may include both the visible range and the UV (ultraviolet) / VUV (vacuum ultraviolet) range and the IR (infrared) range.
  • UV ultraviolet
  • VUV vacuum ultraviolet
  • IR infrared
  • a dielectric barrier discharge lamp necessarily requires at least one so-called dielectrically impeded electrode.
  • a dielectrically impeded electrode is separated from the interior of the discharge vessel by means of a dielectric.
  • This dielectric can be embodied, for example, as a dielectric layer covering the electrode, or it is formed by the discharge vessel of the lamp itself, namely when the electrode is arranged on the outer wall of the discharge vessel. The latter is abbreviated hereafter as "outer electrode”.
  • the present invention relates to a dielectric barrier discharge lamp with an elongated or tubular discharge vessel closed on both sides, which encloses an ionizable filling.
  • the ionizable filling usually consists of a noble gas, for example xenon or a gas mixture.
  • a noble gas for example xenon or a gas mixture.
  • excimers are formed.
  • Excimers are excited molecules, such as Xe 2 *, which emit electromagnetic radiation when they return to the normally unbound ground state. In the case of Xe 2 *, the maximum of the molecular beam radiation is about 172 nm.
  • the lamp has at least one outer electrode of the aforementioned type, wherein the or each outer electrode is substantially strip-shaped.
  • a corresponding contact spring is provided for each strip-shaped outer electrode of the dielectric barrier discharge lamp. These contact springs are arranged in the interior of the base.
  • the pedestal also includes a pedestal sleeve which encloses one end of the discharge vessel such that the or each strip-shaped outer electrode is in electrically conductive contact with the or a corresponding contact spring.
  • strip-shaped outer electrode is to be understood in general to mean that a strip-shaped outer electrode does not necessarily have to be straight, but for example can also be curved or have a substructure.
  • the strip-shaped outer electrode may also be degenerate into a "line electrode” in the sense that the width of the electrode is very small compared to the length. It is only essential in the sense of the contacting according to the invention that at least the regions of the outer electrodes that are in contact with the contact springs are each designed as at least strip-like contact surfaces.
  • the discharge vessel end can be supplemented by means of an additional fastening means, e.g. Putty or glue, to be connected to the base sleeve to increase the mechanical stability ..
  • an additional fastening means e.g. Putty or glue
  • WO-A-98/11596 discloses - first electrically connect the ends of all outer electrodes of a polarity with each other, for example by means of a ring or strip-shaped band (there with the figure designation 52e), which surrounds the entire circumference of the discharge vessel at one end of the strip-shaped outer electrodes.
  • This common conductor is connected in the prior art with the associated base contact.
  • the dielectrically impeded discharge within the discharge vessel is affected and consequently the efficiency of the lamp is reduced.
  • the transverse extent of the individual contact springs is at least in the region of the contact input less than or equal to the width of the corresponding strip-shaped outer electrode.
  • the contact springs are designed as narrow leaf springs.
  • the aforementioned transverse extent here corresponds to the respective width of the leaf springs.
  • the contact springs are usually made of CuBe 2 .
  • the contact springs are usually made of CuBe 2 .
  • the base sleeve consists of an electrically conductive material, for example metal.
  • the contact springs are electrically connected to the base sleeve.
  • the base sleeve in addition to a mounting function still has the function of a socket contact with a first polarity.
  • all external electrodes of a first polarity can be connected by means of the contact springs via the electrically conductive base sleeve to a first pole of an electrical supply device.
  • the electrodes of the second polarity may in principle also be formed as external electrodes or else as internal electrodes, i. be arranged within the discharge vessel.
  • a preferred embodiment has, for example, a helical inner electrode, which is arranged axially oriented within the discharge vessel, as in the already cited WO-A-98/11596 disclosed.
  • the inner electrode is connected to a base contact with a second polarity.
  • This base contact may be formed in the simplest case as a pin.
  • the base sleeve can be further developed accordingly, for example as a flange, screw or bayonet base. In the specific case, the circumstances in the device or version, in which the discharge lamp is to be installed, decide here.
  • the discharge lamp can also be socketed on both sides, ie that the discharge vessel is provided at its two opposite ends, each with a base. Both bases can be plated through be, ie be equipped for an electrical connection function.
  • the contacting of the external electrodes may also be divided into both pedestals, for example by electrically contacting a first half of the external electrodes by means of one pedestal and the second half by means of the other pedestal.
  • FIGS. 1a and 1b show a schematic representation of a dielectric barrier discharge lamp according to the invention with a partially cut base or a sectional view along the line AA.
  • This lamp serves as UV (ultraviolet) / VUV (vacuum ultraviolet) emitters for ozone generation as well as irradiation, for example in photolithography, UV curing of wafers, photolysis or the like.
  • the lamp consists of a tubular discharge vessel 1 with electrodes and a base 2 with base contacts.
  • a helical electrode 3 (only in FIG. 1b recognizable) of metal wire arranged axially.
  • the inner electrode 3 is electrically conductively connected by means of a gas-tight current feedthrough (not shown) known per se to a contact pin 4 integrated in the socket 2. In this way, the contact pin 4 acts as a base contact for the inner electrode.
  • the base 2 has a base sleeve 6 made of aluminum, which is so far pushed over the current carrying the inner electrode 3 having the first end of the discharge vessel 1, that about 5 mm of the associated end of the outer electrodes 5a-5f are covered.
  • a base sleeve 6 made of aluminum, which is so far pushed over the current carrying the inner electrode 3 having the first end of the discharge vessel 1, that about 5 mm of the associated end of the outer electrodes 5a-5f are covered.
  • six contact springs 7a, 7d (the contact springs 7b, 7c, 7e and 7f are not visible) are fastened to the inner wall of the base sleeve 6.
  • the connection between the contact springs 7a, 7d and the base sleeve 6 is designed to be electrically conductive.
  • the contact springs 7a, 7d are arranged so as to be in spring contact with the corresponding outer electrodes 5a to 5f.
  • all contact springs 7a (7a to 7f in the contact springs in the 1a not visible) designed as leaf springs, which are bent against the mounting direction of the base to a kind of resilient loop.
  • the base sleeve 6 acts as a base contact for the outer electrode 3.
  • the base sleeve 6 is provided for electrical connection to ground potential.
  • the base pin 4 which is not accessible in the mounted state, is provided for connection to high-voltage potential.
  • the base pin 4 is sufficiently electrically insulated from the base sleeve 6 in a manner known per se, for example by the base pin 4 being embedded in a base stone made of insulating material (not shown).
  • the width of the strip-shaped outer electrodes 5a to 5f is in each case about 1 mm, that of the contact springs 7a is in each case 1 mm. In this way, an efficient operation of the discharge lamp is ensured.
  • the base sleeve 6 is further developed at its end remote from the discharge vessel 1 as a flange 8.
  • the flange 8 allows secure mounting on a support (not shown), which takes over both the electrical connection between the base 8 and the leads of an electrical supply source and the mechanical support of the lamp. Flange connections are common in many areas of vacuum technology. Therefore, this embodiment is particularly suitable for installation in evacuatable UV irradiation reactors.

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Description

    Technisches Gebiet
  • Die Erfindung geht aus von einer dielektrischen Barrieren-Entladungslampe.
  • Der Begriff "dielektrische Barrieren-Entladungslampe" umfasst dabei Quellen elektromagnetischer Strahlung auf der Basis von dielektrisch behinderten Gasentladungen. Das Spektrum der Strahlung kann dabei sowohl den sichtbaren Bereich als auch den UV(Ultraviolett)/VUV(Vakuumultraviolett)-Bereich sowie den IR(Infrarot)-Bereich umfassen. Ferner kann auch eine Leuchtstoffschicht zur Konvertierung unsichtbarer in sichtbare Strahlung (Licht) vorgesehen sein.
  • Eine dielektrische Barrieren-Entladungslampe setzt notwendigerweise mindestens eine sogenannte dielektrisch behinderte Elektrode voraus. Eine dielektrisch behinderte Elektrode ist gegenüber dem Innern des Entladungsgefäßes mittels eines Dielektrikums getrennt. Dieses Dielektrikum kann beispielsweise als eine die Elektrode bedeckende dielektrische Schicht ausgeführt sein, oder sie ist durch das Entladungsgefäß der Lampe selbst gebildet, nämlich wenn die Elektrode auf der Außenwand des Entladungsgefäßes angeordnet ist. Letztere wird im Folgenden verkürzend als "Außenelektrode" bezeichnet.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine dielektrische Barrieren-Entladungslampe mit einem länglichen oder rohrförmigen, beidseitig verschlossenen Entladungsgefäß, welches eine ionisierbare Füllung umschließt.
  • Die ionisierbare Füllung besteht üblicherweise aus einem Edelgas, beispielsweise Xenon oder einer Gasmischung. Während der Gasentladung, die bevorzugt mittels eines in der EP-B-733266 beschriebenen gepulsten Betriebsverfahrens betrieben wird, werden sogenannte Excimere gebildet. Excimere sind angeregte Moleküle, z.B. Xe2*, die bei der Rückkehr in den in der Regel ungebundenen Grundzutand elektromagnetische Strahlung emittieren. Im Falle von Xe2* liegt das Maximum der Molekülbandenstrahlung bei ca. 172 nm.
  • Außerdem weist die Lampe mindestens eine Außenelektrode der vorgenannten Art auf, wobei die bzw. jede Außenelektrode im wesentlichen streifenförmig ist.
    • Stand der Technik
  • Aus der Schrift WO-A-98/11596 , insbesondere Figuren 5a bis 5c, ist bereits eine derartige Lampe mit Edison-Schraubsockel für die Allgemeinbeleuchtung bekannt. Diese Lampe weist eine wendelförmige Elektrode innerhalb des Entladungsgefäßes auf. Außerdem sind vier streifenförmige Elektroden auf der Außenwand des Entladungsgefäßes angeordnet. Allerdings sind keine Details darüber offenbart, wie die streifenförmigen Außenelektroden mit einem der beiden Sockelkontakte verbunden sind.
    • Darstellung der Erfindung
  • Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine dielektrische Barrieren-Entladungslampe mit mindestens einer streifenförmigen Außenelektrode und einem Sockel bereitzustellen derart, dass eine einfache und zuverlässige Kontaktierung der bzw. jeder Außenelektrode mit einem Sockelkontakt gewährleistet ist.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Entladungslampe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.
  • Erfindungsgemäß ist für jede streifenförmige Außenelektrode der dielektrischen Barrieren-Entladungslampe eine korrespondierende Kontaktfeder vorgesehen. Diese Kontaktfedern sind im Innern des Sockels angeordnet. Der Sockel umfasst außerdem eine Sockelhülse, die ein Ende des Entladungsgefäßes derart umschließt, dass die bzw. jede streifenförmige Außenelektrode mit der bzw. einer korrespondierenden Kontaktfeder in elektrisch leitfähigem Kontakt steht.
  • Der Vorteil dieser Konstruktion besteht unter anderem in der einfachen Lampenfertigung, da die Sockelhülse einfach auf das Entladungsgefäßende aufgesteckt wird, wobei jede Kontaktfeder mit einer korrespondierenden Außenelektrode in einen elektrisch leitfähigen Kontakt tritt. Außerdem sind die Kontaktstellen durch die Sockelhülse gegen mechanische Einflüsse geschützt.
  • Der Begriff "streifenförmige Außenelektrode" ist hier dahingehend verallgemeinert zu verstehen, dass eine streifenförmige Außenelektrode nicht notwendigerweise gerade sein muss, sondern beispielsweise auch gekrümmt sein oder eine Unterstruktur aufweisen kann. Außerdem kann die streifenförmige Außenelektrode auch zu einer "Linienelektrode" in dem Sinne entartet sein, dass die Breite der Elektrode sehr gering im Vergleich zur Länge ist. Wesentlich im Sinne der erfindungsgemäßen Kontaktierung ist lediglich, dass zumindest die mit den Kontaktfedern in Kontakt stehenden Bereiche der Außenelektroden jeweils als zumindest streifenähnliche Kontaktflächen ausgebildet sind.
  • Bei Bedarf kann das Entladungsgefäßende ergänzend mittels eines zusätzlichen Befestigungsmittels, z.B. Kitt oder Kleber, mit der Sockelhülse verbunden sein, um die mechanische Stabilität zu erhöhen..
  • Auf den ersten Blick scheint es durchaus zweckmäßig, - wie in Figur 5a der eingangs zitierten WO-A-98/11596 offenbart - zunächst die Enden aller Außenelektroden einer Polarität miteinander elektrisch leitend zu verbinden, z.B. mittels eines Ringes bzw. streifenförmigen Bandes (dort mit der Figurenbezeichnung 52e bezeichnet), der bzw. das an einem Ende der streifenförmigen Außenelektroden den gesamten Umfang des Entladungsgefäßes umschließt. Dieser gemeinsame Leiter ist im Stand der Technik mit dem zugehörigen Sockelkontakt verbunden. Allerdings hat es sich herausgestellt, dass bei dieser Lösung die dielektrisch behinderte Entladung innerhalb des Entladungsgefäßes beeinträchtigt und folglich die Effizienz der Lampe vermindert wird.
  • Dieser negative Effekt wird durch die vorgenannte erfindungsgemäße Maßnahme weitgehend vermieden. Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn die transversale Ausdehnung der einzelnen Kontaktfedern zumindest im Bereich der Kontaktgabe kleiner oder gleich der Breite der korrespondierenden streifenförmigen Außenelektrode ist.
  • In einer bevorzugten Ausführung sind die Kontaktfedern als schmale Blattfedern ausgebildet. Die vorgenannte transversale Ausdehnung entspricht hier der jeweiligen Breite der Blattfedern. Um das Aufstecken des Sockels zu erleichtern und eine sichere Kontaktgabe zu gewährleisten ist es vorteilhaft, die bzw. jede Blattfeder zu einer Art federnden Schlaufe zu biegen.
  • Die Kontaktfedern bestehen üblicherweise aus CuBe2. Bei der Verwendung der Entladungslampe als UV-Strahler werden wegen der Beständigkeit gegenüber UV-Strahlung bevorzugt Kontaktfedern aus Edelstahl verwendet. Besonders geeignet ist auch Platin, das allerdings relativ teuer ist.
  • In einer bevorzugten Ausführung besteht die Sockelhülse aus einem elektrisch leitfähigen Material, beispielsweise Metall. Dabei sind die Kontaktfedern mit der Sockelhülse elektrisch leitend verbunden. Auf diese Weise hat die Sockelhülse zusätzlich zu einer Montagefunktion noch die Funktion eines Sockelkontakts mit einer ersten Polarität. Mit anderen Worten können sämtliche Außenelektroden einer ersten Polarität vermittels der Kontaktfedern über die elektrisch leitfähige Sockelhülse mit einem ersten Pol eines elektrischen Versorgungsgeräts verbunden werden.
  • Die Elektroden der zweiten Polarität können prinzipiell ebenfalls als Außenelektroden oder aber auch als Innenelektrode ausgebildet sein, d.h. innerhalb des Entladungsgefäßes angeordnet sein.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform weist beispielsweise eine wendelförmige Innenelektrode auf, die innerhalb des Entladungsgefäßes axial orientiert angeordnet ist, wie in der bereits zitierten WO-A-98/11596 offenbart. Über eine an sich bekannte gasdichte Stromdurchführung ist die Innenelektrode mit einem Sockelkontakt mit einer zweiten Polarität verbunden. Dieser Sockelkontakt kann im einfachsten Fall als Stift ausgebildet sein. Für eine elektrisch und mechanisch zuverlässigen Verbindung mit dem Gegenstück eines elektrischen Versorgungsgeräts kann die Sockelhülse entsprechend weitergebildet sein, beispielsweise als Flansch-, Schraub- oder Bajonetsockel. Im konkreten Einzelfall entscheiden hier die Gegebenheiten in der Vorrichtung bzw. Fassung, in die die Entladungslampe eingebaut werden soll.
  • Schließlich kann die Entladungslampe auch beidseitig gesockelt sein, d.h. dass das Entladungsgefäß an seinen beiden gegenüberliegenden Enden mit je einem Sockel versehen ist. Dabei können beide Sockel durchkontaktiert sein, d.h. für eine elektrische Anschlussfunktion ausgerüstet sein. In diesem Fall kann die Kontaktierung der Außenelektroden auch auf beide Sockel aufgeteilt sein, beispielsweise indem eine erste Hälfte der Außenelektroden mittels des einen Sockels und die zweite Hälfte mittels des anderen Sockels elektrisch kontaktiert wird. Außerdem kann es insbesondere bei sehr langen Lampen vorteilhaft sein die Elektroden zu halbieren und jede Elektrodenhälfte von dem korrespondierenden Sockel aus elektrisch zu versorgen, um die Gleichmäßigkeit entlang der Entladungslampe zu verbessern. Andererseits kann es auch vorteilhaft sein, nur einen Sockel als Verbindungsschnittstelle für ein elektrisches Versorgungsgerät zu benutzen und dem anderen Sockel lediglich eine Befestigungsfunktion für ein Montageelement zu zuordnen.
    • Beschreibung der Zeichnungen
  • Im Folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigen:
    • Fig. 1a
    eine erfindungsgemäße dielektrische Barrieren-Entladungslampe mit Sockel, teilweise im Schnitt,
    Fig.1b
    eine Schnittdarstellung entlang der Linie AA der Lampe aus Fig. 1a.
  • Die Figuren 1a und 1b zeigen in schematischer Darstellung eine erfindungsgemäße dielektrische Barrieren-Entladungslampe mit einem teilweise geschnittenen Sockel bzw. eine Schnittdarstellung entlang der Linie AA. Dabei sind gleiche Merkmale mit gleichen Bezugszeichen versehen. Diese Lampe dient als UV(Ultraviolett)/VUV(Vakuumultraviolett)-Strahler zur Ozonerzeugung sowie der Bestrahlung, beispielsweise in der Photolithografie, dem UV-Curing von Wafern, der Photolyse o.ä..
  • Die Lampe besteht aus einem rohrförmigen Entladungsgefäß 1 mit Elektroden und einem Sockel 2 mit Sockelkontakten.
  • Innerhalb des Entladungsgefäßes 1 aus Quarzglas befindet sich Xenon als Füllgas mit einem Fülldruck von 15 kPa. Außerdem ist innerhalb des Entladungsgefäßes 1 eine wendelförmige Elektrode 3 (nur in Figur 1b erkennbar) aus Metalldraht axial angeordnet. Die Innenelektrode 3 ist mittels einer an sich bekannten gasdichten Stromdurchführung (nicht dargestellt) mit einem im Sockel 2 integrierten Kontaktstift 4 elektrisch leitend verbunden. Auf diese Weise fungiert der Kontaktstift 4 als Sockelkontakt für die Innenelektrode 3.
  • Auf der Außenwand des rohrförmigen Entladungsgefäßes 1 mit kreisförmigem Querschnitt sind sechs streifenförmige Außenelektroden 5a bis 5f aus Platin parallel zur Längsachse R des Entladungsgefäßes 1 und gleichmäßig über dessen Umfang verteilt angeordnet.
  • Während des gepulsten Betriebs bilden sich innerhalb des Entladungsgefäßes 1 zahlreiche Teilentladungen. Für weitere Details hierzu sowie für konstruktive Details betreffend die Elektrodenkonfiguration wird auf die Figuren 5a bis 5c sowie die zugehörige Figurenbeschreibung der bereits zitierten WO-A-98/11596 verwiesen, deren Offenbarung durch diese Bezugnahme hiermit eingeschlossen wird.
  • Der Sockel 2 weist eine Sockelhülse 6 aus Aluminium auf, die soweit über das die Stromdurchführung der Innenelektrode 3 aufweisende erste Ende des Entladungsgefäßes 1 geschoben ist, dass ca. 5 mm des zugehörigen Endes der Außenelektroden 5a-5f abgedeckt sind. In der lupenartigen Vergrößerungsdarstellung ist zu erkennen, dass an der Innenwand der Sockelhülse 6 sechs Kontaktfedern 7a, 7d (die Kontaktfedern 7b, 7c, 7e und 7f sind nicht erkennbar) befestigt sind. Die Verbindung zwischen den Kontaktfedern 7a, 7d und der Sockelhülse 6 ist elektrisch leitfähig ausgeführt. Außerdem sind die Kontaktfedern 7a, 7d so angeordnet, dass sie mit den korrespondierenden Außenelektroden 5a bis 5f in federndem Kontakt stehen. Um einerseits das Aufstecken des Sockels 2 bzw. der Sockelhülse 6 auf das Ende des Entladungsgefäßes 1 zu erleichtern und andererseits eine sichere Kontaktgabe zu gewährleisten, sind sämtliche Kontaktfedern 7a (bei den Kontaktfedern 7b bis 7f in der Fig.1a nicht erkennbar) als Blattfedern ausgeführt, die entgegen der Aufsteckrichtung des Sockels zu einer Art federnden Schlaufe gebogen sind. Auf diese Weise fungiert die Sockelhülse 6 als Sockelkontakt für die Außenelektrode 3. Aus Gründen des Berührungsschutzes ist die Sockelhülse 6 für die elektrische Verbindung mit Massepotential vorgesehen. Der im montierten Zustand nicht zugängliche Sockelstift 4 ist hingegen für die Verbindung mit Hochspannungspotential vorgesehen. Wegen der unterschiedlichen elektrischen Potentiale ist der Sockelstift 4 selbstverständlich gegenüber der Sockelhülse 6 in an sich bekannter Weise ausreichend elektrisch isoliert, beispielsweise indem der Sockelstift 4 in einem Sockelstein aus Isoliermaterial eingebettet ist (nicht dargestellt).
  • Die Breite der streifenförmigen Außenelektroden 5a bis 5f beträgt jeweils ca. 1 mm, die der Kontaktfedern 7a beträgt jeweils 1 mm. Auf diese Weise ist ein effizienter Betrieb der Entladungslampe sichergestellt.
  • Die Sockelhülse 6 ist an ihrem dem Entladungsgefäß 1 abgewandten Ende als Flansch 8 weitergebildet. Der Flansch 8 ermöglicht eine sichere Montage auf einem Träger (nicht dargestellt), der sowohl die elektrische Verbindung zwischen Sockel 8 und den Zuleitungen einer elektrischen Versorgungsquelle als auch die mechanische Halterung der Lampe übernimmt. Flanschverbindungen sind in vielen Bereichen der Vakuumtechnik üblich. Deshalb ist dieses Ausführungsbeispiel insbesondere für den Einbau in evakuierbare UV-Bestrahlungsreaktoren geeignet.

Claims (10)

  1. Dielektrische Barrieren-Entladungslampe mit
    • einem länglichen, beidseitig verschlossenen Entladungsgefäß (1), welches eine ionisierbare Füllung umschließt,
    • einer oder mehreren streifenförmigen Außenelektroden (5a-5f), die auf der Außenwand des Entladungsgefäßes angeordnet ist bzw. sind,
    • einem Sockel (2) mit einer Sockelhülse (6),
    • einer oder mehrerer Kontaktfedern (7a-7f), die im Innern des Sockels (2) angeordnet ist bzw. sind, wobei die Anzahl der Kontaktfedern (7a-7f) gleich der Anzahl der streifenförmigen Außenelektroden (7a-7f) ist,
    • und wobei die Sockelhülse (6) ein Ende des Entladungsgefäßes (1) umschließt derart, dass die bzw. jede streifenförmige Außenelektrode (5a-5f) mit der bzw. einer korrespondierenden Kontaktfeder (7a-7f) in elektrisch leitendem Kontakt steht.
  2. Entladungslampe nach Anspruch 1, wobei die bzw. jede Kontaktfeder (7a-7f) als Blattfeder ausgebildet ist.
  3. Entladungslampe nach Anspruch 2, wobei die bzw. jede Blattfeder zu einer federnden Schlaufe (7a) gebogen ist, um das Aufstecken des Sockels (2) zu erleichtern und eine sichere Kontaktgabe zu gewährleisten.
  4. Entladungslampe nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei die transversale Ausdehnung der bzw. jeder Kontaktfeder (7a-7f) zumindest im Bereich der Kontaktgabe kleiner oder gleich der Breite der korrespondierenden streifenförmigen Außenelektrode (5a-5f) ist.
  5. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Sockelhülse (6) aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht und die Kontaktfedern (7a-7f) mit der Sockelhülse (6) elektrisch leitend verbunden sind, wodurch die Sockelhülse (6) als ein Sockelkontakt mit einer ersten Polarität wirkt.
  6. Entladungslampe nach Anspruch 5, wobei die Sockelhülse (6) als Flansch (8) weitergebildet ist.
  7. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei innerhalb des Entladungsgefäßes (1) mindestens eine Innenelektrode (3) angeordnet ist.
  8. Entladungslampe nach Anspruch 7, wobei die Innenelektrode (3) wendelförmig ist und axial orientiert ist.
  9. Entladungslampe nach Anspruch 7 oder 8, wobei die Innenelektrode (3) mit einem Sockelkontakt (4) mit einer zweiten Polarität verbunden ist.
  10. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Entladungsgefäß beidseitig gesockelt ist.
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WO (1) WO2002027762A1 (de)

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