EP0866944B1 - Vorrichtung zur kontrolle von flächenmassen - Google Patents

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EP0866944B1
EP0866944B1 EP96946156A EP96946156A EP0866944B1 EP 0866944 B1 EP0866944 B1 EP 0866944B1 EP 96946156 A EP96946156 A EP 96946156A EP 96946156 A EP96946156 A EP 96946156A EP 0866944 B1 EP0866944 B1 EP 0866944B1
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radiation
sections
radiation source
detector arrangement
under investigation
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Franz-Josef Urban
Steffen Hildebrandt
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Vacutec Messtechnik GmbH
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Vacutec Messtechnik GmbH
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    • D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
    • D21G—CALENDERS; ACCESSORIES FOR PAPER-MAKING MACHINES
    • D21G9/00—Other accessories for paper-making machines
    • D21G9/0009—Paper-making control systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
    • G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption

Definitions

  • the invention relates to a device for controlling Area masses during the production of material webs by means of a radiation source which the material web or the sample is irradiated and the residual radiation is detected the side of the sample opposite the radiation source with the aid of a detector arrangement filled with ionizable gas.
  • Such devices are used, for example, for continuous Thickness measurement of cold or hot rolled sheets or foils, or also for the continuous thickness measurement of Paper webs or the like used.
  • the thickness measurement takes place punctiform with the help of a radiation source, such as one X-ray or nuclear radiation source with suitable intensity, Radiation type and energy, that of the material web or the Radiation intensity weakened by an ionization chamber is measured.
  • a radiation source such as one X-ray or nuclear radiation source with suitable intensity, Radiation type and energy
  • Such a device for measuring the thickness of flat profiles is known from DE 31 40 714 A1.
  • one or more punctiform Radiation sources arranged, those below the flat profile each assigned a large number of ionization chambers are.
  • the radiation sources are designed as point sources and the radiation is hidden in a fan shape, they are ionization chambers each associated with a radiation source aligned with the radiation source.
  • the ionization chambers are arranged in a collimator bar with cylindrical Collimator openings is provided with its axis are precisely aligned to the radiation source. So that will however, does not achieve that which reaches each ionization chamber Radiation intensity is the same.
  • a similar device is also known from DE 37 07 107 A1 and DE 1812893, wherein here the ionization chambers or the detectors over the surface of the Good to be measured distributed in several rows are. An improvement in the resolution can thus be achieved.
  • US-A-4 720 808 shows a method and a device for measuring the mass per unit area, in which below of the material to be measured, several radiation sources are arranged side by side. That from the radiation sources outgoing radiation is on the opposite of the radiation sources Side of the measured material from individual detectors receive. The number of detectors corresponds to the number of Radiation sources.
  • FR-A-1 260 805 it can be used as an ionizable gas Argon can be used to fill the ionization chamber is.
  • the invention is therefore based on the object of a device to control area masses which avoids the shortcomings of the prior art, and in particular as detailed information as possible about the mass per unit area supplies.
  • the invention makes it possible to measure the transverse profile created by material webs so that an immediate Influencing the production process becomes possible. There the radiation source and the measuring chambers during the measuring process no longer need to be moved, the technical effort considerably. In addition, the small distance between the radiation source and the measuring chambers the use of soft radiation.
  • the common gas filling prevents changes in sensitivity caused by the filling gas.
  • the upper end of the housing 2 forms one with radiation entry windows 9 provided closure plate 10, which with the Housing 2 is connected gastight.
  • the radiation entry window 9 are closed in the usual way by a thin metal foil, which is preferably under tension, after is domed at the top.
  • the wall electrodes 4 are only connected to the side walls of the housing 2, the lower and upper end edges 13 a space 14 to the floor 7 or to release the locking plate 10. Instead of this Spaces 14 can also have slots or holes in the Wall electrodes 4 are provided. That way ensured that within the housing 2 and thus within the sections 3 same in terms of gas filling physical parameters can be set.
  • the detector arrangement 1 allows use of soft beta emitters, so that the possible uses especially for products with a low mass per unit area become.
  • a linear one Radiation source 15 arranged in the form of an isotope source.
  • any other radiation sources to use the selection of which depends on the type of material to be measured 16 depends on that between the radiation source 15 and the Detector arrangement 1 is to be passed so that the radiation 17 penetrates the material to be measured 16 and ionization in the sections 3 of the gas contained therein. That's the way it is basically also possible to use spotlights, whereby a spotlight would then be assigned to each section 3.
  • 15 instead of the isotope source, 15 also technical emitters, such as electron accelerators or X-ray tubes can be used.
  • the 3 can be directly under the radiation source 15, a collimator 18 is arranged, the openings 19 are each arranged above a measuring chamber 3. Thereby there is a partial masking of the radiation 17 and thus a clear assignment of the measured values of the measuring chambers 3 to Measured material 16.
  • the chamber current caused by the ionizing radiation 17 is with the help of current-voltage converters 20, which with the supports 6 are connected, converted and can then be evaluated in the usual way.
  • the number and size of those to be arranged within the housing 2 Measuring chambers 3 is dependent on the required Resolution and the width of the material web to be measured freely selectable.
  • FIG. 4 shows a top view of a detector arrangement 1 with round measuring chambers 3 and associated radiation entry windows 9 and FIG. 5 shows a detector arrangement 1 with angular ones Measuring chambers 3 and round radiation entry windows 9.
  • FIG. 6 shows a variant of the detector arrangement 1, in which a continuous covering all measuring chambers 3 Radiation entry window 9 is provided, whereby the Manufacturing effort can be reduced.
  • FIG. 7 forth Another variant of the detector arrangement 1 is shown in FIG. 7 forth.
  • the radiation entry windows 9 have one particularly large rectangular cross-section, so that a high Sensitivity / resolution even with a soft radiation source 15 is reached.
  • the measuring chambers 3 can also be offset in two rows be arranged (Fig. 8), with sufficient radiation divergence transverse to the longitudinal extent in this case linear radiation source 15 in connection with a corresponding collimator 18 is sufficient.
  • the above-described device for controlling Surface masses are particularly easy to manufacture because they are complex Adjustment or alignment processes are not necessary. Furthermore, they are not applicable any traversing, since the measurement of the Surface mass with resting elements takes place, the determination a thickness profile across the entire width of the material to be measured 16 is possible and thus a direct influence on the Manufacturing process.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen während der Produktion von Materialbahnen mittels einer Strahlungsquelle, welche die Materialbahn oder das Meßgut durchstrahlt und Detektion der Reststrahlung auf der der Strahlungsquelle gegenüberliegenden Seite des Meßgutes mit Hilfe eines gasgefüllten Ionisationsdetektors. Durch die Erfindung soll eine Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen geschaffen werden, welche die Mängel des Standes der Technik vermeidet und die insbesondere eine möglichst detaillierte Information über die Flächenmasse liefert. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoranordnung (3) aus einer Mehrzahl von miteinander in Verbindung stehenden und Sammelelektroden (5) aufweisenden Sektionen (3) besteht, die innerhalb eines gemeinsamen Gehäuses (2) angeordnet sind, daß die Sektionen (3) gemeinsam evakuierbar und mit einem ionisierbaren Gas befüllbar sind, daß den Sektionen (3) jeweils ein Strahleneintrittsfenster (9) zugeordnet ist und daß die den Sektionen (3) zugeordnete Strahlungsquelle (15) eine linienförmige Strahlunsverteilung aufweist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen während der Produktion von Materialbahnen mittels einer Strahlungsquelle, welche die Materialbahn bzw. das Meßgut durchstrahlt und Detektion der Reststrahlung auf der der Strahlungsquelle gegenüberliegenden Seite des Meßgutes mit Hilfe einer mit ionisierbarem Gas gefüllten Detektoranordnung.
Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise für die kontinuierliche Dickenmessung von kalt- oder warmgewalzten Blechen oder Folien, oder auch zur kontinuierlichen Dickenmessung von Papierbahnen o.dgl., verwendet. Die Dickenmessung erfolgt dabei punktförmig mit Hilfe einer Strahlungsquelle, wie einer Röntgen- oder Kernstrahlungsquelle mit geeigneter Intensität, Strahlungsart und Energie, deren von der Materialbahn oder dem Meßgut geschwächte Strahlungsintensität durch eine Ionisationskammer gemessen wird. Für den Fall, daß das Dickenprofil über die gesamte Breite der Materialbahn gemessen werden soll, kann die Strahlungsquelle und die Ionisationskammer an einem Träger befestigt werden, der dann, die zu messende Materialbahn umgreifend, quer über diese bewegt wird. Nachteilig hierbei ist jedoch, daß die Dickenmessung nach wie vor punktförmig erfolgt, was insbesondere bei sehr schnell bewegten Materialbahnen, wie dies bei Walzstraßen in der Regel der Fall ist, dazu führt, daß nur eine prinzipiell unvollständige Aussage über die Materialdicke bezogen auf die Breite der Materialbahn möglich ist. Eine Interpolation der Meßwerte über die gesamte Materialbreite ist zwar rechnerisch möglich, liefert aber nicht immer die gewünschte Genauigkeit.
Ein ähnliches Ergebnis wird erreicht, wenn eine Vielzahl von Ionisationskammern linienförmig nebeneinander angeordnet werden und die Strahlungsquelle in einem Traversiergerüst relativ gegenüber den Ionisationskammern und quer zur Bewegungsrichtung der zu messenden Materialbahn bewegt wird. Auch die Verwendung einer linienförmigen Strahlungsquelle und eine relativ zu dieser bewegbare Ionisationskammer ist bekannt.
Bei schneller Materialbewegung lassen sich jedoch Regelvorgänge und damit eine Beeinflussung des Herstellungsprozesses nur schwer realisieren. Aus diesen Gründen wurden Meßvorrichtungen entwickelt, mit denen die kontinuierliche Messung über die gesamte Materialbreite möglich ist.
Eine solche Vorrichtung zur Dickenmessung von Flachprofilen ist aus der DE 31 40 714 A1 bekannt. Hierbei sind oberhalb des zu messenden Flachprofiles ein oder mehrere punktförmige Strahlungsquellen angeordnet, denen unterhalb des Flachprofiles jeweils eine Vielzahl von Ionisationskammern zugeordnet sind. Da die Strahlungsquellen als Punktquellen ausgebildet sind und die Strahlung fächerförmig ausgeblendet ist, sind die jeweils einer Strahlungsquelle zugeordneten Ionisationskammern auf die Strahlungsquelle ausgerichtet. Die Ionisationskammern sind dazu in einem Kollimatorbalken angeordnet, der mit zylindrischen Kollimatoröffnungen versehen ist, die mit ihrer Achse genau auf die Strahlungsquelle ausgerichtet sind. Damit wird jedoch nicht erreicht, daß die jede Ionisationskammer erreichende Strahlungsintensität gleich ist.
Eine ähnliche Vorrichtung geht auch aus der DE 37 07 107 A1 und DE 1812893 hervor, wobei hier die Ionisationskammern bzw. die Detektoren über die Fläche des zu messenden Gutes verteilt in mehreren Reihen angeordnet sind. Damit läßt sich eine Verbesserung der Auflösung erreichen.
Schließlich zeigt noch die US-A-4 720 808 ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Flächenmasse, bei der unterhalb des zu messenden Meßgutes mehrere Strahlungsquellen nebeneinander angeordnet sind. Die von den Strahlungsquellen ausgehende Strahlung wird auf der den Strahlungsquellen gegenüberliegenden Seite des Meßgutes von einzelnen Detektoren empfangen. Die Anzahl der Detektoren entspricht der Anzahl der Strahlungsquellen.
Entsprechend der FR-A-1 260 805 kann als ionisierbares Gas Argon verwendet werden, das in die Ionisationskammer zu füllen ist.
Allen diesen Vorrichtungen ist gemeinsam, daß entweder eine aufwendige mechanische Traversierung erforderlich ist, oder daß eine hochpräzise Ausrichtung der Ionisationskammern, oder der Detektoren gewährleistet werden muß, um zu vergleichbaren Meßergebnissen zu kommen. Darüberhinaus ist bei der Verwendung mehrerer Ionisationskammern ein erheblicher technischer Aufwand notwendig, um bei allen Ionisationskammern möglichst gleiche Parameter sicherzustellen, oder es muß ein aufwendiger laufender Abgleich vorgenommen werden, da sich u.a. durch die Gasfüllungen bedingte Parameteränderungen ergeben.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen zu schaffen, welche die Mängel des Standes der Technik vermeidet und die insbesondere eine möglichst detaillierte Information über die Flächenmasse liefert.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabenstellung durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelost. Bevorzugte Ausführungsformen gehen aus den abhängigem Ansprüchen hervor.
Durch die Erfindung wird die Möglichkeit zur Messung des Querprofiles von Materialbahnen geschaffen, so daß eine unmittelbare Einflußnahme auf den Produktionsprozeß möglich wird. Da die Strahlungsquelle und die Meßkammern während des Meßvorganges nicht mehr bewegt werden müssen, reduziert sich der technische Aufwand erheblich. Darüberhinaus ermöglicht der geringe Abstand zwischen der Strahlungsquelle und den Meßkammern die Verwendung weicher Strahlung. Die gemeinsame Gasfüllung verhindert durch das Füllgas bedingte Empfindlichkeitsänderungen.
Die Erfindung soll nachfolgend an Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
Fig. 1
eine erfindungsgemäße Detektoranordnung mit linienförmiger Strahlungsquelle;
Fig. 2
eine perspektivische Detaildarstellung der Detektoranordnung;
Fig. 3
eine Detektoranordnung mit linienförmiger Strahlungsquelle und einem Kollimator;
Fig. 4
eine Detektoranordnung mit runden Sektionen und zugehörigen Strahleneintrittsfenstern;
Fig. 5
eine Detektoranordnung mit eckigen Sektionen und runden Strahleneintrittfenstern;
Fig. 6
eine Reihenanordnung von Sektionen mit einem durchgehenden Strahleneintrittsfenster;
Fig. 7
eine Reihenanordnung von Sektionen mit großflächigen Strahleneintrittsfenstern; und
Fig. 8
eine zweireihige Anordnung von Sektionen.
Aus Fig. 1 und 2 ist eine erfindungsgemäße Detektoranordnung 1 aus einem trogförmigen Gehäuse 2 mit innenliegenden Sektionen 3 ersichtlich. Die Sektionen 3 werden durch zwischen diesen angeordnete Wandelektroden 4 und durch das Gehäuse 2 der Detektoranordnung 1 begrenzt. Innerhalb der Sektionen 3 sind Sammelelektroden 5 auf Stützen 6 befestigt, die im Boden 7 des Gehäuses 2 über Isolatoren 8 gasdicht fixiert sind.
Den oberen Abschluß des Gehäuses 2 bildet eine mit Strahleneintrittsfenstern 9 versehene Verschlußplatte 10, die mit dem Gehäuse 2 gasdicht verbunden ist. Die Strahleneintrittsfenster 9 sind auf übliche Weise durch eine dünne Metallfolie verschlossen, die vorzugsweise unter Vorspannung stehend, nach oben gewölbt ist.
Zur Evakuierung und zum Einlaß eines ionisierbaren Gases befindet sich im Boden 7 des Gehäuses 2 ein Abpumpstutzen 11, der nach Einstellung des nötigen Gasdruckes innerhalb des Gehäuses 2 durch einen Verschluß 12 abgedichtet ist.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, sind die Wandelektroden 4 nur mit den Seitenwänden des Gehäuses 2 verbunden, wobei die unteren und oberen Stirnkanten 13 einen Zwischenraum 14 zum Boden 7 bzw. zur Verschlußplatte 10 freilassen. Anstelle dieser Zwischenräume 14 können auch Schlitze oder Bohrungen in den Wandelektroden 4 vorgesehen werden. Auf diese Weise wird sichergestellt, daß innerhalb des Gehäuses 2 und damit innerhalb der Sektionen 3 hinsichtlich der Gasfüllung gleiche physikalische Parameter eingestellt werden können.
Die erfindungsgemäße Detektoranordnung 1 erlaubt die Verwendung von weichen Beta-Strahlern, so daß die Einsatzmöglichkeiten insbesondere für Meßgüter mit geringer Flächenmasse erweitert werden. Oberhalb der Detektoranordnung 1 und in geringem Abstand zu dieser ist dazu eine linienförmige Strahlungsquelle 15 in Form einer Isotopenquelle angeordnet. Es ist jedoch auch möglich, beliebige andere Strahlungsquellen zu verwenden, deren Auswahl von der Art des zu messenden Meßgutes 16 abhängt, das zwischen der Strahlungsquelle 15 und der Detektoranordnung 1 hindurchzuführen ist, so daß die Strahlung 17 das Meßgut 16 durchdringt und in den Sektionen 3 eine Ionisation des in diesen befindlichen Gases verursacht. So ist es grundsätzlich auch möglich, Punktstrahler zu verwenden, wobei jeder Sektion 3 dann ein Punktstrahler zuzuordnen wäre.
Anstelle der Isotopenquelle können als Strahlungsquelle 15 auch technische Strahler, wie Elektronenbeschleuniger oder Röntgenröhren, verwendet werden.
Entsprechend Fig. 3 kann unmittelbar unter der Strahlungsquelle 15 ein Kollimator 18 angeordnet werden, dessen Öffnungen 19 jeweils oberhalb einer Meßkammer 3 angeordnet sind. Dadurch erfolgt eine teilweise Ausblendung der Strahlung 17 und damit eine eindeutige Zuordnung der Meßwerte der Meßkammern 3 zum Meßgut 16.
Durch die parallele Anordnung der Meßkammern 3 und eine kollineare Emission der Strahlung durch die Verwendung der linearen Strahlungsquelle 15 in Verbindung mit dem Kollimatorsystem werden die mit der Strahlungsdivergenz verbundenen Probleme beseitigt.
Der durch die ionisierende Strahlung 17 verursachte Kammerstrom wird mit Hilfe von Strom-Spannungswandlern 20, die mit den Stützen 6 verbunden sind, umgewandelt und kann anschließend auf übliche Art und Weise ausgewertet werden.
Damit ist es möglich, mit einfachen Mitteln laufend das Querprofil des Meßgutes 16 zu bestimmen, wodurch auch eine unmittelbare Einflußnahme auf den Produktionsprozeß ermöglicht wird. Ebenso können die gewonnenen Daten zur Auswertung und Dokumentation des Produktionsprozesses verwendet werden.
Um eine Sammlung der im Detektor freiwerdenden Ladungen zu erreichen, ist zwischen den Sammelelektroden 5 und dem Gehäuse 2 eine Gleichspannungsquelle 21 geschaltet.
Die Anzahl und die Größe der innerhalb des Gehäuses 2 anzuordnenden Meßkammern 3 ist in Abhängigkeit von der geforderten Auflösung und der Breite der zu messenden Materialbahn frei wählbar.
Fig. 4 zeigt eine Draufsicht auf eine Detektoranordnung 1 mit runden Meßkammern 3 und zugehörigen Strahlungseintrittsfenstern 9 und die Fig. 5 eine Detektoranordnung 1 mit eckigen Meßkammern 3 und runden Strahlungseintrittsfenstern 9.
Aus Fig. 6 geht eine Variante der Detektoranordnung 1 hervor, bei der ein alle Meßkammern 3 überdeckendes durchgehendes Strahlungseintrittsfenster 9 vorgesehen ist, wodurch der Fertigungsaufwand reduziert werden kann.
Eine weitere Variante der Detektoranordnung 1 geht aus Fig. 7 hervor. Hier besitzen die Strahlungseintrittsfenster 9 einen besonders großen rechteckigen Querschnitt, so daß eine hohe Empfindlichkeit/Auflösung auch bei einer weichen Strahlungsquelle 15 erreicht wird.
Um über die Breite des Meßgutes 16 eine gute Auflösung zu erreichen, können die Meßkammern 3 auch zweireihig versetzt angeordnet werden (Fig. 8), wobei bei ausreichender Strahlungsdivergenz quer zur Längserstreckung in diesem Fall eine linienförmige Strahlungsquelle 15 in Verbindung mit einem entsprechenden Kollimator 18 ausreichend ist.
Die vorstehend beschriebene Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen ist besonders einfach zu fertigen, da aufwendige Justage- oder Ausrichtvorgänge entfallen. Darüberhinaus entfallen jegliche Traversiervorgänge, da die Messung der Flächenmasse mit ruhenden Elementen erfolgt, wobei die Ermittlung eines Dickenprofiles über die gesamte Breite des Meßgutes 16 möglich ist und somit eine direkte Einflußnahme auf den Fertigungsprozess.
Bezugszeichenliste
1
Detektoranordnung
2
Gehäuse
3
Sektion
4
Wandelektrode
5
Sammelelektrode
6
Stütze
7
Boden
8
Isolator
9
Strahlungseintrittsfenster
10
Verschlußplatte
11
Abpumpstutzen
12
Verschluß
13
Stirnkante
14
Zwischenraum
15
Strahlungsquelle
16
Meßgut
17
Strahlung
18
Kollimator
19
Öffnung
20
Strom-Spannungswandler
21
Gleichspannungsquelle

Claims (23)

  1. Vorrichtung zur Kontrolle von Flächenmassen während der Produktion von Materialbahnen mittels einer Strahlungsquelle (15), welche die Materialbahn bzw. das Meßgut (16) durchstrahlt und Detektion der Reststrahlung auf der der Strahlungsquelle (15) gegenüberliegenden Seite des Meßgutes (16) mit Hilfe einer mit ionisierbarem Gas gefüllten Detektoranordnung (1), dadurch gekennzeichnet,
    daß die Detektoranordnung (1) aus einer Mehrzahl von Sektionen (3) besteht, die durch Wandelelektroden (4) begrenzt werden,
    daß die Sektionen (3) miteinander in Verbindung stehen und gemeinsam evakuierbar und gemeinsam mit ionisierbarem Gas befüllbar sind,
    daß die Sektionen (3) innerhalb eines gemeinsamen Gehäuses (2) angeordnet sind,
    daß jeder Sektion ein Strahlungseintrittsfenster (9) zugeordnet ist, und
    daß die den Sektionen (3) zugeordnete Strahlungsintensität der Strahlungsquelle (15) eine linienförmige Verteilung aufweist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den die Wandelektroden (4) bildenden Wänden der Sektionen (3) und den jeweiligen Sammelelektroden (5) eine Potentialdifferenz besteht.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sammelelektroden (5) auf elektrisch leitenden Stützen (6) befestigt sind, die über Isolatoren (8) in den Boden (7) der Detektoranordnung (1) eingelassen sind.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sektionen (3) nebeneinander angeordnet sind und die gesamte Breite des zu messenden Meßgutes (16) überdecken.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Form der Strahlungseintrittsfenster (9) dem Querschnitt der Sektionen (3) entspricht.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungseintrittsfenster (9) und die Sektionen (3) rund ausgebildet und nebeneinander angeordnet sind.
  7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Strahlungseintrittsfenster (9) rund und die zugehörigen Sektionen (3) eckig ausgebildet sind.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Sektionen (3) in wenigstens zwei Reihen versetzt nebeneinander angeordnet sind.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle Sektionen (3) mit einem gemeinsamen streifenförmigen Strahlungseintrittsfenster (9) versehen sind.
  10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (15) aus einer Isotopenquelle besteht.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Strahlungsquelle (15) über alle Sektionen (3) erstreckt.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 10 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlungsquelle (15) ein Kollimator (18) zugeordnet ist.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Kollimator (18) zwischen der Strahlungsquelle (15) und dem Meßgut (16) angeordnet ist.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Kollimator (18) der gegenüberliegenden Detektoranordnung (1) angepaßt ist.
  15. Vorrichtung nach den Ansprüchen 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Kollimator (18) Öffnungen (19) aufweist, deren Querschnitt geringer ist, als der Querschnitt der Strahleneintrittsfenster (9).
  16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandungen der Öffnungen (19) in Richtung zur Detektoranordnung (1) divergieren.
  17. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (15) unmittelbar über dem Meßgut (16) angeordnet ist.
  18. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Sammelelektroden (5) jeweils mit Strom-Spannungswandlern (20) verbunden sind.
  19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die von den Strom-Spannungswandlern (20) gelieferten Meßwerte digitalisiert und parallel oder seriell einer Schnittstelle einer Auswertesoftware zugeführt werden.
  20. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Sektion (3) eine punktförmige Strahlungsquelle zugeordnet ist.
  21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquellen äquidistant zu den Sektionen (3) angeordnet sind.
  22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlungsquelle ein weicher Beta-Strahler verwendet wird.
  23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlungsquelle ein technischer Strahler verwendet wird.
EP96946156A 1995-12-05 1996-12-03 Vorrichtung zur kontrolle von flächenmassen Expired - Lifetime EP0866944B1 (de)

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DE (2) DE19545340C2 (de)
WO (1) WO1997021075A2 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19731608C1 (de) * 1997-07-23 1998-10-22 Vacutec Mestechnik Gmbh Ionisationskammer für radiometrische Meßeinrichtungen
DE59808464D1 (de) * 1997-03-21 2003-06-26 Vacutec Mestechnik Gmbh Ionisationskammer für radiometrische messeinrichtungen
DE19913929A1 (de) * 1999-03-26 2000-09-28 Voith Sulzer Papiertech Patent Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften einer Materialbahn
US7106828B2 (en) * 2001-11-26 2006-09-12 Agilent Technologies, Inc. X-ray imaging using pixelated gas detectors
DE10214584B4 (de) * 2002-03-01 2004-07-08 Mahlo Gmbh & Co Kg Verfahren zur Kompensation des Einflusses physikalisch-chemischer, das Resultat einer Flächengewichtsmessung verfälschender Änderungen des Absorptionsvermögens einer Umgebungsatmosphäre in der Nähe geförderter Materialien
DE102007001358B4 (de) * 2007-01-09 2020-12-24 Fagus-Grecon Greten Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Schutz einer Verarbeitungseinrichtung für einen vorzugsweise endlosen, bewegten Materialstrang gegen mechanische Beschädigungen
EP4407310A4 (de) * 2022-08-30 2025-02-26 Contemporary Amperex Technology (Hong Kong) Limited Elektrodenplattendetektionsvorrichtung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1260805A (fr) * 1956-03-23 1961-05-12 Ohmart Corp Chambre d'ionisation notamment pour systèmes de mesure ou de contrôle
US3160753A (en) * 1959-02-02 1964-12-08 Industrial Nucleonics Corp Method and means for measuring hardness
DE1812893A1 (de) * 1968-12-05 1970-06-18 Knapsack Ag, 5033 Knapsack Anordnung zur Dickenmessung von Walzgut, insbesondere von Folien
DE3140714A1 (de) * 1981-10-14 1983-04-28 Paul Ing.(Grad.) Flormann Vorrichtung zur dickenmessung von flachprofilen
DE3327267A1 (de) * 1983-07-28 1985-02-14 Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa Vorrichtung zur messung der wandstaerke eines rohrfoermigen teils
JPS60230009A (ja) * 1984-04-28 1985-11-15 Toshiba Corp 放射線厚さ計
EP0233389A1 (de) * 1986-02-12 1987-08-26 Josef W. Repsch Verfahren zur Messung des Flächeneinheitsgewichts, der Dichte und Dicke eines laufenden Bandes
US4720808A (en) * 1985-05-15 1988-01-19 Josef Repsch Method and apparatus for measuring sheet products
DE3707107A1 (de) * 1987-03-05 1988-09-15 Flormann Paul Vorrichtung zur simultanen erfassung des dickenquerprofils und der bandbreite beim warmwalzen von flachprofilen
FI83706C (fi) * 1988-11-03 1991-08-12 Kajaani Electronics Foerfarande och anordning foer maetning av pappersformation.
CN1027021C (zh) * 1993-03-18 1994-12-14 清华大学 气体电离型高能x.γ辐射成象阵列探测装置

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