DE19731608C1 - Ionisationskammer für radiometrische Meßeinrichtungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Ionisationskammer für radiometri­ sche Meßeinrichtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeßsysteme, bestehend aus einem Gehäuse, in dem sich ein ionisierbares Füllgas befindet, mit wenigstens einem Strahlungseintrittsfenster und einer Anzahl von gegenüber dem Gehäuse eine elektrische Potentialdifferenz aufweisenden Sammelelektroden mit isoliert nach außen geführten elektrischen Anschlüssen, wobei der Innenraum des Gehäuses in eine Mehrzahl benachbarter und gegenseitig abgegrenzter Meß­ abschnitte, die jeweils eine Sammelelektrode enthalten, unter­ teilt ist.

In industriellen Anlagen zur radiometrischen Vermessung von Materialbahnen werden bei deren Produktion oder Bearbeitung üblicherweise Ionisationskammern als Detektoren eingesetzt. Die Ionisationskammern bestehen aus einem Gehäuse, einer Sammelelektrode und einem ionisierbaren Füllgas. Die durch ein Strahlungseintrittsfenster eintretende Strahlung erzeugt im Füllgas freie Ladungsträger (Ionen und Elektronen). Eine zwischen Elektrode und Gehäuse angelegte Spannung erzeugt in der Kammer ein elektrisches Feld, dem die Ladungsträger fol­ gen. Der so entstehende Strom zwischen Elektrode und Gehäuse (im µA- bis pA-Bereich) wird gemessen und beispielsweise in Spannungssignale umgewandelt. Das Meßsignal wird hochisoliert gegen das Gehäuse aus dem Inneren der Kammer über eine gas­ dichte Durchführung mit einem Anschluß an eine Signalleitung nach außen geführt. Um den Anschluß ist in die Isola­ tionsschicht der Durchführung eine Ringelektrode eingebracht, die als Schutzring wirkt. Dieser Schutzring verhindert, daß die Spannung zwischen dem Gehäuse und der Elektrode direkt über eine durch­ gehende Isolationsstrecke abfällt, wie in Fig. 1 als Stand der Technik bei einer axialsymmetrischen Ionisationskammer dar­ gestellt ist. Der Schutzring verhindert somit das Auftreten störender Restströme, so daß der Grundstrom einer Ionisations­ kammer ohne Strahlung bei ihrer Arbeitsspannung (meist einige hundert Volt) minimal, d. h. typischerweise kleiner als 0,1 pA ist.

Eine derartige Anordnung von Schutzringen für mehrkanali­ ge Ionisationskammern ist aus der US 4,047,040 bekannt gewor­ den. Die Schutzringe liegen hier auf Massepotential und sollen die entlang der Isolation fließenden Kriechströme ableiten.

Das radiometrische Meßsystem in einer Produktions- oder Bearbeitungsanlage besteht aus einer Quelle ionisierender Strahlung, dem Detektor, d. h. der Ionisationskammer und dem Meßgut. Der Wechselwirkungsgrad zwischen der Strahlung und dem Meßgut (z. B. Absorption, Rückstreuung, Fluoreszenz) ist ein Maß für die Menge des zu bestimmenden Materials, meist angege­ ben als Flächenmasse oder Dicke. Das System aus Strahlenquelle und Detektor kann in den meisten Fällen quer zur Materialbahn bewegt werden.

Mit dem Übergang von einem Einzeldetektor hin zu einem Detek­ tor mit mehreren unabhängigen Meßstellen eröffnen sich der Flächenmasse-Meßtechnik neue Möglichkeiten zur Lösung bisher unbewältigter Meßaufgaben. Die so entstehenden zusätzlichen Informationen bieten eine Basis für eine effektivere und ge­ nauere Kontrolle von Produktionsprozessen.

Auf der einen Seite kann die Querprofil-Ortsauflösung verfei­ nert werden.

Die Ortsauflösung einer Querprofil-Messung mit den gängigen axialsymmetrischen Ionisationskammern ist naturgemäß durch den Kammerdurchmesser begrenzt. So wird in der Fachliteratur die auflösbare Struktur mit der zweifachen Detektorausdehnung angegeben. Eine feinere Ortsauflösung muß mit Detektoren geringerer Ausdehnung in Querrichtung zur Materialbahn erzielt werden. Diese können so angeordnet werden, daß ein Querpro­ fil-Ausschnitt mit einer höheren Auflösung als bei einem ent­ sprechenden Einzeldetektor gemessen werden kann.

Bekannt ist die Verwendung eines Arrays aus Halbleiterdetekto­ ren (Silizium-pin-Dioden), die im Strom-Modus betrieben wer­ den. Hierbei zeigt sich jedoch die starke Anfälligkeit der Halbleiterdetektoren gegen Temperaturänderungen, wie sie in industriellen Produktionsanlagen ständig auftreten. Dadurch werden die Meßsignale verfälscht.

Auf der anderen Seite kann das Energiespektrum als Folge der Wechselwirkung von Röntgenstrahlung mit dem Meßgut genutzt werden.

Bei bestimmten Beschichtungsverfahren unterscheidet sich die Ordnungszahl des Substrats nur geringfügig von der Ordnungs­ zahl der aufzubringenden Schicht (z. B. Zink auf Stahl). In diesem Fall ist das bekannte Beta-Rückstreuverfahren ungeeig­ net. Eine etwaige Röntgenfluoreszenzstrahlung des zweikompo­ nentigen Systems gibt aber Aufschluß über die Dicke der aufge­ brachten Schicht. Die Energie der Fluoreszenzstrahlung ist elementspezifisch; ihre Intensität ist von der untersuchten Materialmenge und damit von der Schichtdicke abhängig. Selek­ tive Filter absorbieren durch den K-Kanten-Effekt z. B. stark die von der Schicht ausgehende Röntgenstrahlung und trans­ mittieren weitgehend die vom Substrat ausgehende Strahlung. Zwei Detektorabschnitte mit verschiedenen Filtern können dann über Kalibrierungen zur Messung einer Komponente des zwei­ komponentigen Systems benutzt werden.

Diese Detektorabschnitte können in einer Mehrfachkammer wie beschrieben angeordnet sein. Prinzipiell können über das zwei­ komponentige System hinaus in bestimmten Fällen n - 1 Komponen­ ten eines n-Komponenten-Systems mit einer Kammer mit n Meß­ abschnitten bestimmt werden.

Die US 3,514,602 zeigt eine Ionisationskammer, die in zwei Abschnitte unterteilt ist, deren Signale analog voneinander subtrahiert werden, um ein Ausgangssignal als Maß für die gewünschte Meßgröße zu erhalten, was dem damaligen Stand der Technik ent­ sprach. Dem heutigen Stand der Technik entspricht ein umgewan­ deltes (niederohmiges) Kammerabschnitts-Ausgangssignal, das einer entsprechenden Weiterverarbeitung auf Rechner- und Pro­ zessorbasis zugeführt werden kann.

Aus der gattungsbildenden DE 195 45 340 A1 ist eine Ionisationskammer für radio­ metrische Meßeinrichtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeßsysteme bekannt geworden. Diese Ionisations­ kammer besteht aus einem Gehäuse, in dem sich ein Füllgas befindet, mit wenigstens einem Strahlungseintrittsfenster und einer Anzahl von Sammelelektroden im Gehäuse. Die Sammelelek­ troden sind mit isoliert nach außen geführten elektrischen Anschlüssen versehen. Weiterhin ist der Innenraum in eine Mehrzahl benachbarter und gegenseitig abgegrenzter Meß­ abschnitte unterteilt, in denen jeweils eine Sammelelektrode angeordnet ist, wobei zwischen dem Gehäuse und den Sammelelek­ troden eine elektrische Potentialdifferenz besteht.

Die beispielhaft angeführten Meßprobleme führten zu der Aufgabe, eine Ionisationskammer für radiometrische Meßein­ richtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeß­ systeme zu entwickeln, die eine hinreichende Empfindlichkeit besitzt und dabei die bei Ionisationskammern üblichen guten Werte hinsichtlich Vakuumdichtigkeit, Grundstrom und Tempera­ turabhängigkeit liefert, wobei die Kosten pro herausgeführtem Signal gegenüber herkömmlichen Durchführungen deutlich redu­ ziert sind.

Diese der Erfindung zugrundeliegende Aufgabenstellung wird bei einer Ionisationskammer der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Sammelelektroden mit elektrischen Anschlüssen verbunden sind, die durch den Isolator einer gasdichten Mehr­ fach-Durchführung hindurch nach außen geführt sind und daß der Isolator mit einem die elektrischen Anschlüsse gemeinsam umge­ benden elektrisch leitenden Bereich versehen ist, der zur Ausbildung eines Schutzrings sowohl gegenüber dem Gehäuse als auch den Anschlüssen elektrisch isoliert angeordnet ist, je­ doch im stromlosen Zustand auf dem Potential der Sammelelek­ troden liegt.

Durch diese erfindungsgemäße Lösung wird eine Flächenmasse­ messung ermöglicht, die gegenüber der Verwendung konventionel­ ler Ionisationskammern beispielsweise eine feinere Ortsauf­ lösung oder auch eine Energieselektion der vom Meßort ausge­ henden Strahlung erreicht.

Weitere Fortbildungen der Erfindung gehen aus den Unteran­ sprüchen hervor.

Der zwischen dem Gehäuse und dem Schutzring befindliche Isola­ tor kann Teil eines Isolierrohres sein, dessen einer Metall­ kontakt mit dem Gehäuse gasdicht verbunden ist. Mit dem gegen­ überliegenden Metallkontakt des Isolierrohres kann eine Mehr­ fach-Durchführung gasdicht verbunden werden.

In einer Variante der Erfindung kann der Schutzring auch als Flächenelektrode ausgebildet werden, die auf wenigstens einer Seite des Isolators die Anschlüsse umgibt. Bevorzugt ist die Flächenelektrode jedoch sowohl auf der Gehäuseinnenseite, als auch auf der Gehäuseaußenseite angeordnet. Beide Flächenelek­ troden sind elektrisch miteinander und gemeinsam mit einem Kontaktstift verbunden und befinden sich somit auf Schutzring­ potential.

In Fortführung der Erfindung werden die Meßabschnitte durch Trennwände voneinander abgegrenzt, die bis unmittelbar an das zum entsprechenden Abschnitt gehörende Strahlungseintrittsfen­ ster reichen, um eine gegenseitige Beeinflussung der Meßab­ schnitte, etwa durch Drift von Ladungsträgern, auszuschließen.

Die Sammelelektroden können nicht, wie meist in herkömmlichen Einzelkammern, mechanisch von den Signalleitungen selbst ge­ halten werden. Sie werden stattdessen isoliert auf einem Trä­ ger innerhalb der Kammer aufgebracht und fixiert, der auf Schutzringpotential liegt und wiederum isoliert gegenüber dem Kammergehäuse angeordnet ist, was zur Wahrung des Schutzring­ prinzips führt.

Die Elektroden können je nach Anforderung unterschiedlich geformt sein. So können die Elektroden aus einer gespannten Folie oder Foliestreifen bestehen, oder aus mehreren gespann­ ten Drähten bestehen.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die Ioni­ sationskammer einen rechteckigen oder quadratischen Quer­ schnitt auf, wobei die Meßabschnitte nebeneinander oder zwei- oder mehrreihig bündig oder versetzt zueinander angeordnet sind.

In einer weiteren Variante weist die Ionisationskammer einen runden Querschnitt auf. In diesem Fall ist es zweckmäßig, wenn die Meßabschnitte in der Ionisationskammer radial neben­ einander angeordnet werden, wobei es prinzipiell auch möglich ist, die Meßabschnitte in der Ionisationskammer konzentrisch zueinander anzuordnen.

Weiterhin ist es möglich, oberhalb des Strahlungseintritts­ fensters Filter für Röntgenstrahlung anzuordnen, wobei zweck­ mäßigerweise jedem Meßabschnitt der Ionisationskammer ein Filter zugeordnet ist.

Weisen die Filter aufeinander abgestimmte unterschiedliche Filtereigenschaften auf, so werden die einzelnen Meßabschnitte unterschiedlich gefilterter Strahlung ausgesetzt.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind die Strahlungseintrittsfenster bei mehrreihig versetzt zueinander angeordneten Meßabschnitten teilweise derart abgedeckt, daß die nahtlose unzweideutige Messung eines Querprofilausschnit­ tes ermöglicht wird.

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 2 den Aufbau einer erfindungsgemäßen Ionisa­ tionskammer mit Elektroden in Form gespannter Drähte;

Fig. 2a eine zweireihige versetzte Anordnung von Meß­ abschnitten;

Fig. 3 eine Elektrode in Antennenform;

Fig. 4 eine Vorderansicht einer Elektrode nach Fig. 1;

Fig. 5 eine Mehrfachdurchführung für die Anschlüsse der Elektroden mit einem auf einem Isolierrohr angeordneten Isolator und einem Metallring;

Fig. 6a, b eine Mehrfachdurchführung mit einer Flächen­ elektrode als Schutzring;

Fig. 7 eine Ionisationskammer zum Nachweis von Rönt­ genstrahlung und mehreren Filtern; und

Fig. 8 eine Ionisationskammer mit einem verstärkten Strahlungseintrittsfenster.

Bild 2 zeigt den Aufbau einer Ionisationskammer 1 mit Meßab­ schnitten 2 im Innern des Gehäuses 3, die jeweils unabhängige meßtechnische Einheiten bilden. Jeder Abschnitt 2 ist dabei durch Trennwände 4 von seinen Nachbarabschnitten getrennt. Die Trennwände 4 sorgen für eine Minimierung von Schrägeinstrah­ lungen durch das Kammervolumen in den Nachbarabschnitt, die dadurch erreicht wird, daß sich die Trennwände 4 unmittelbar bis an das Strahlungseintrittsfenster 5 erstrecken, welches den oberen Abschluß des Gehäuses 3 bildet.

Die Ionisationskammer 1 kann beispielsweise einen rechteckigen Querschnitt aufweisen, wobei die Meßabschnitte 2 auch zwei- oder mehrreihig versetzt zueinander angeordnet sein können (Fig. 2a).

Innerhalb jedes Meßabschnittes 2 ist eine Elektrode 6 angeord­ net, die der Bauform des Meßabschnittes 2 angepaßt ist. Ihre Gestalt trägt der Forderung nach einer möglichst geringen Gasverdrängung, einem möglichst raumgreifenden elektrischen Feld, der Vermeidung von Gasverstärkungen und einer möglichst geringen Mikrophonie Rechnung. Daher wird die Dicke und die Masse der Elektrodenbauteile klein gehalten, jedoch werden Mindestradien nicht unterschritten.

Die Elektrode 6 besteht entweder aus einem Haltekörper 7, an dem gespannte Drähte 8 angeordnet sind, wobei der Haltekörper 7 über einen Isolierkörper 21 auf einem Träger 9 freistehend angeordnet ist (Fig. 2, 4). Wie in Fig. 3 dargestellt, kann die Elektrode 6 auch die Form einer Drahtelektrode 10 aus mehreren aneinandergefügten Drähten aufweisen. Der Träger 9 liegt auf Schutzringpotential.

Bei kleinen Kammerabschnitten werden bevorzugt Füllgase mit hoher Dichte (z. B. Xenon) verwendet, um eine möglichst hohe Strahlungsabsorption nahe dem Strahlungseintrittsfenster 5 der Ionisationskammer 1 zu erreichen.

Um die Signale aller Elektroden 6 parallel nach außen zu füh­ ren, wird eine Mehrfach-Durchführung mit Schutzring verwendet. Diese Mehrfach-Durchführung besteht aus einem Isolierrohr 11, auf dem über einen Metallring 12, der als Schutzring dient, ein Isolator 13 befestigt ist (Fig. 5). Durch den Isolator 13 sind Anschlüsse 14 in Form von Metallpins geführt, die über Signalleitungen 15 mit den Elektroden 6 verbunden sind. Auf diese Weise entsteht eine Mehrfach-Durchführung mit einem allen Signalleitungen 15 bzw. Anschlüssen 14 gemeinsamen Schutzring, wobei die Kosten pro herausgeführtem Signal gegen­ über herkömmlichen dreifach konzentrischen Durchführungen deutlich reduziert sind. Die Signale werden nicht dargestell­ ten Strom-Spannungs-Wandlern zugeführt, deren Ausgangssignal vom jeweiligen Meßsystem weiterverarbeitet wird.

Begrenzt man das Schutzringprinzip nur auf Oberflächenströme, so kann eine noch einfachere Konfiguration als oben beschrie­ ben, realisiert werden.

Fig. 6 zeigt eine solche Mehrfach-Durchführung mit mehreren Anschlüssen 14 in einem Isolator 17 aus einem hochisolierenden Material. Auf der Oberfläche des Isolators 17 werden beidsei­ tig Ringe in Form von Flächenelektroden 18 um die Anschlüsse 14 aufgebracht, deren Potential als Schutzring wirkt. Über einen der Anschlüsse 14 wird das Schutzringpotential nach innen geführt. Mit dieser Anordnung werden ausschließlich Oberflächenströme auf dem Isolationsmaterial zwischen dem Gehäuse und den Sammelelektroden verhindert.

Eine Ionisationskammer 1 mit mehreren Abschnitten 2 wie vor­ stehend beschrieben, kann auch insbesondere zum Nachweis von Röntgenstrahlung derart genutzt werden, daß einzelne Meßab­ schnitte 2 unterschiedlich gefilterter Strahlung ausgesetzt werden. Das erfolgt dadurch, daß zwischen dem Meßgut 19 und den einzelnen Meßabschnitten 2 Filter 20 angeordnet werden (Fig. 7). Die von einer Strahlungsquelle 22 ausgehende Strahlung erhält ihr charakteristisches Energiespektrum vor dem Filter 20 durch das Absorptions- oder das Fluoreszenzverhalten des Meßgutes 19. Durch geeignete Auswahl entsprechender unterschiedlicher Filter 20 kann ein aus mehreren Bestandteilen zusammengesetz­ tes Material (z. B. Papier mit Füllstoffen, Metallegierungen) vermessen werden.

Fig. 8 zeigt schließlich noch eine Ionisationskammer mit einem verstärkten Strahlungseintrittsfenster 5, auf dessen Außen­ seite ein Draht 16 erstreckt, der beispielsweise durch eine Schweißverbindung befestigt ist.

Bezugszeichenliste

1

Ionisationskammer

2

Meßabschnitt

3

Gehäuse

4

Trennwand

5

Strahlungseintrittsfenster

6

Sammelelektrode

7

Haltekörper

8

Draht

9

Träger

10

Drahtelektrode

11

Isolierrohr

12

Metallring

13

Isolator

14

Anschluß

15

Signalleitung

16

Draht

17

Isolator

18

Flächenelektrode

19

Meßgut

20

Filter

21

Isolierkörper

22

Strahlungsquelle

Claims (22)

1. Ionisationskammer für radiometrische Meßeinrichtungen, insbesondere für traversierende Flächenmassemeßsysteme, bestehend aus einem Gehäuse (3), in dem sich ein ionisier­ bares Füllgas befindet, mit wenigstens einem Strahlungs­ eintrittsfenster (5) und einer Anzahl von gegenüber dem Gehäuse (3) eine elektrische Potentialdifferenz aufweisen­ den Sammelelektroden (6) mit isoliert nach außen geführten elektrischen Anschlüssen (14), wobei der Innenraum des Gehäuses (3) in eine Mehrzahl benachbarter und gegenseitig abgegrenzter Meßabschnitte (2), die jeweils eine Sammelelektrode (6) enthalten, unterteilt ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Sammelelektroden (6) mit elek­ trischen Anschlüssen (14) verbunden sind, die durch den Isolator (13; 17) einer gasdichten Mehrfach-Durchführung hindurch nach außen geführt sind und daß der Isolator (13; 17) mit einem die elektrischen Anschlüsse (14) gemeinsam umgebenden elektrisch leitfähigen Bereich versehen ist, der zur Ausbildung eines Schutzrings sowohl gegenüber dem Gehäuse (3), als auch den Anschlüssen (14) elektrisch isoliert angeordnet ist, jedoch im stromlosen Zustand auf dem Potential der Sammelelektroden (6) liegt.

2. Ionisationskammer nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schutzring mit einem der Anschlüsse (14) elektrisch verbunden ist.

3. Ionisationskammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzring als Me­ tallring (12) ausgebildet ist, der den Isolator (13) um­ gibt und die Anschlüsse (14) einschließt.

4. Ionisationskammer nach Anspruch 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Isolator (13) mit dem Metallring (12) auf einem Isolierrohr (11) angeordnet ist, das mit dem Gehäuse (3) gasdicht verbunden ist.

5. Ionisationskammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzring als Flächenelektrode (18) ausgebildet ist, die auf wenigstens einer Seite des Isolators (17) die Anschlüsse (14) umgibt.

6. Ionisationskammer nach Anspruch 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß sowohl auf der Gehäuseinnen­ seite, als auch auf der Gehäuseaußenseite eine Flächen­ elektrode (18) angeordnet ist, die elektrisch miteinander verbunden sind.

7. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß die Meßab­ schnitte (2) durch Trennwände (4) voneinander abgegrenzt sind, die bis unmittelbar an das zugehörige Strahlungs­ eintrittsfenster (5) reichen.

8. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß innerhalb des Gehäuses (3) gegenüber dem Strahlungseintrittsfenster (5) ein sich über alle Abschnitte erstreckender Träger (9) angeordnet ist, der gegenüber dem Gehäuse (3) elektrisch isoliert ageordnet ist.

9. Ionisationskammer nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Träger (9) das gleiche Potential aufweist, wie der Schutzring.

10. Ionisationskammer nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (6) an Haltekörpern (7) angeordnet sind, die über Isolierkörper (21) auf dem Träger (9) befestigt sind.

11. Ionisationskammer nach Anspruch 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Elektroden (6) wenigstens einen gespannten Draht (8) aufweisen, der am Haltekörper (7) befestigt ist.

12. Ionisationskammer nach Anspruch 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß mehrere Drähte (8) parallel zueinander und senkrecht zur Strahlungseintrittsrichtung angeordnet sind.

13. Ionisationskammer nach Anspruch 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Elektroden (6) aus einer gespannten Folie oder Foliestreifen bestehen.

14. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da­ durch gekennzeichnet, daß die Ioni­ sationskammer (1) einen rechteckigen oder quadratischen Querschnitt aufweist und daß die Meßabschnitte (2) neben­ einander oder mehrreihig versetzt zueinander angeordnet sind.

15. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da­ durch gekennzeichnet, daß die Ioni­ sationskammer (1) einen runden Querschnitt aufweist.

16. Ionisationskammer nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Meßabschnitte (2) in der Ionisationskammer (1) radial nebeneinander angeordnet sind.

17. Ionisationskammer nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Meßabschnitte (2) in der Ionisationskammer (1) konzentrisch zueinander angeordnet sind.

18. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 17, da­ durch gekennzeichnet, daß oberhalb des Strahlungseintrittsfensters (5) Filter (20) für Röntgen­ strahlung angeordnet sind.

19. Ionisationskammer nach Anspruch 18, dadurch ge­ kennzeichnet, daß jedem Meßabschnitt (2) der Ionisationskammer (1) ein Filter (20) zugeordnet ist.

20. Ionisationskammer nach Anspruch 19, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Filter (20) unterschied­ liche, aufeinander abgestimmte Filtereigenschaften auf­ weisen.

21. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 20, da­ durch gekennzeichnet, daß sich über die Außenseite des Strahlungseintrittsfensters (5) mindestens ein auf dieser befestigter Draht (16) oder eine Rippe erstreckt.

22. Ionisationskammer nach einem der Ansprüche 1 bis 21, da­ durch gekennzeichnet, daß die Strahlungseintrittsfenster (5) bei mehrreihig versetzt zu­ einander angeordneten Meßabschnitten (2) teilweise derart abgedeckt sind, daß die Messung eines Querprofilaus­ schnittes nahtlos und unzweideutig erfolgt.