EP0764334A1 - Verfahren zur herstellung von bauelementen auf metallfilmbasis - Google Patents

Verfahren zur herstellung von bauelementen auf metallfilmbasis

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EP0764334A1
EP0764334A1 EP96911970A EP96911970A EP0764334A1 EP 0764334 A1 EP0764334 A1 EP 0764334A1 EP 96911970 A EP96911970 A EP 96911970A EP 96911970 A EP96911970 A EP 96911970A EP 0764334 A1 EP0764334 A1 EP 0764334A1
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EP
European Patent Office
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carrier
metal film
film
applying
metal
Prior art date
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EP96911970A
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English (en)
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EP0764334B1 (de
Inventor
Heinrich Zitzmann
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Sensotherm Temperatursensorik GmbH
Original Assignee
Sensotherm Temperatursensorik GmbH
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Publication date
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Application granted granted Critical
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C3/00—Non-adjustable metal resistors made of wire or ribbon, e.g. coiled, woven or formed as grids
    • H01C3/10—Non-adjustable metal resistors made of wire or ribbon, e.g. coiled, woven or formed as grids the resistive element having zig-zag or sinusoidal configuration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • G01K7/183—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer characterised by the use of the resistive element
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/4981—Utilizing transitory attached element or associated separate material

Definitions

  • the present invention relates to a manufacturing method of components based on metal film and in particular to a manufacturing method of components which consist of a metal film that is applied to a carrier.
  • Typical components of the type mentioned above are sensors, such as platinum temperature sensors, in foil design, which are generally known and are used in different applications.
  • the known platinum temperature sensors are constructed in such a way that a thin platinum wire is glued to one another on a carrier foil, which consists, for example, of Kapton. This manufacture of such a sensor is associated with a great deal of work. Further restrictions and disadvantages result from the fact that the wire thicknesses which can be processed, even with relatively large film dimensions, in the range of a few square centimeters, only permit low resistance values, in the range of 100 ohms or less. In addition, small dimensions, for example ⁇ 1 cm 2 , with customary resistance values in the range of 100 ohms cannot be achieved at all.
  • Platinum temperature sensors must have a desired stability with regard to their characteristic, which is characterized by their resistance at 0 ° Celsius, R 0 , and the temperature coefficient of resistance, TK, during and / or after the production of the platinum film, temperature treatments at high temperatures Temperatures, if possible above 1000 ° Celsius, are subjected.
  • a film coated with a metal film cannot be subjected to this treatment, since the carrier films, which consist of Kapton, insulating-coated metal films, glass films, etc., would be destroyed at these high temperatures. Furthermore, the structuring of a platinum film which is applied to a film is problematic since the noble metal platinum can only be etched with very aggressive media. Furthermore, in the case of a film carrier, the necessary trimming process for adjusting the resistances to the desired setpoints, e.g. by means of laser radiation is difficult.
  • DE 25 07 731 B2 discloses a measuring resistor which consists of an insulating body as the carrier and a thin platinum layer as the resistance material. This measuring resistor is produced by applying a thin platinum layer to the carrier by sputtering in an oxygen-containing atmosphere and subsequently annealing. In the method disclosed in this document, the carrier has to endure the high temperatures which occur during the annealing.
  • DE 41 13 483 describes a method for producing fine conductor tracks.
  • the cited document discloses a method in which a powder of electrically conductive material is applied to sticky areas, which correspond to a conductor track pattern, on an auxiliary surface. The powder is then fired, where arise from conductor tracks that adhere only weakly to the auxiliary or intermediate carrier surface. The final carrier is then applied under pressure to the fired conductor track pattern, whereupon the carrier is separated from the auxiliary surface, the electrically conductive material remaining adhering to the carrier.
  • DE 39 27 735 AI discloses a radiation thermometer which consists of a meandering thin-film resistor applied to a plastic film.
  • DE 23 02 615 B2 shows a temperature-dependent electrical resistance and a method for its production.
  • This resistor consists of a meandering conductor track with a non-zero temperature coefficient, which is arranged on a thin insulating film which is attached to a rod with a cylindrical surface.
  • DE 42 18 938 AI discloses a method for producing resistance elements, in which a resistance track in the form of a polymerizable, electrically conductive paste is applied to a carrier and the coated carrier is passed through an infrared oven for the purpose of polymerizing the paste. Then a plastic core is pressed onto the coated carrier and the carrier is separated from the plastic core, which results from the conductive The resulting resistance track remains in the plastic core.
  • DE patent application S 39 021 VIb / 32b filing date May 5, 1954, published October 20, 1955, discloses a method for increasing the adhesive strength of metal coverings on glass or ceramic.
  • the present invention is based on the object of creating a method for producing a component based on a metal film, the characteristic curve of which corresponds to a desired characteristic.
  • the invention provides a method for producing components which have a metal film on a carrier, with the following method steps:
  • the invention provides a method for producing components which have a metal film on a carrier, with the following method steps:
  • he present invention is based on the idea of film up to a certain production step in a known thin-film or thick-film technique on a customary carrier material, which is referred to herein as the first carrier, the already tempered and generally structured and trimmed metal film together with the first carrier transferred to a second carrier and then detach the first carrier.
  • the second carrier can serve as a new carrier for the metal film or only as a transfer medium for the transfer of the metal film to another carrier.
  • Fig. 5 shows a detailed metal film structure in which trimming lines are marked.
  • FIG. 1A to IC each show a top view and a side view of a platinum film component after various process steps.
  • a platinum film 10 is applied to a first carrier 15, which is a ceramic substrate, for example. Instead of the ceramic substrate, a glass substrate or a suitable other carrier material could also be used.
  • the platinum film is applied to the first carrier by means of a known thin-film or thick-film technology.
  • the platinum film 10 is structured.
  • This structuring can include temperature treatments at high temperatures (annealing processes), ion beam etching processes for structuring the platinum film and laser irradiations for trimming the platinum film, e.g. to adjust the resistances to the desired setpoints.
  • the platinum film has a certain degree of adhesion with respect to the first carrier, which in the preferred exemplary embodiment is substantially reduced by a special process step.
  • the first carrier 15 with the finished structured platinum film 10 is brought into an electrically conductive solution.
  • the electrically conductive solution is an aqueous electrolyte solution.
  • the platinum film 10 is contacted in an electrically conductive manner and thus forms a first electrode.
  • a second electrode is also introduced into the solution.
  • a suitable voltage is then applied between the two electrodes and a corresponding current is thus generated in the electrochemical circuit.
  • This forms a hydrogen gas formation on the platinum film 10, by means of which the adhesion of the platinum film 10 to the first carrier 15 is loosened.
  • the platinum film 10 is then preferably cleaned of the chemical solution in a rinsing process and then dried.
  • the electrically conductive solution mentioned is preferably an aqueous electrolyte solution.
  • electrolytes in general, as well as in the sense of the use of this term in the present text, represent a generic term for substances which are split into substances by electrolytic dissociation and are therefore electrical in the melt and in solutions Conduct electricity.
  • the electrolytes thus include salts, acids and bases.
  • the water can also be involved in the electrode processes. This produces hydrogen at the cathode, i.e. the negative pole, while chlorine or oxygen is generated at the anode, i.e. the positive pole, depending on the electrolyte used.
  • HC1 or HNO 3 is preferably used as the aqueous electrolyte solution, the metal film 10 being poled as the cathode in order to avoid contamination of the metal film 10, for example by sodium, when using NaCl.
  • a film 20, which is the second carrier, is then applied to the metal film pretreated in this way, which is preferably a platinum film 10.
  • the film 20 has a certain adhesive property, as a result of which the platinum film 10 binds to the film. Thereafter, the film 20, which is the second carrier, together with the platinum film 10, is detached by pulling it off the first carrier 15 (FIG. IC).
  • the second carrier is preferably a film.
  • This film is preferably made of a plastic, e.g. Kapton, Teflon or polyimide.
  • the second carrier can consist of a metal foil which is coated in an electrically insulating manner.
  • the second carrier can be a special carrier made of ceramic, glass, passivated silicon, etc.
  • the metal film can be applied flat to the first carrier using thin film technology.
  • Known methods for this are vapor deposition, sputtering, thin-layer screen printing, etc.
  • the flat platinum film is then applied using different methods, e.g. Ion beam etching, laser radiation, etc., structured. This procedure is preferably useful for high-resistance sensors in a small area.
  • the metal film can be applied to the first carrier 15 as a resistance structure using thick-film or thin-layer screen printing technology. This is particularly advantageous with large-area sensors.
  • the platinum film can also be formed on the first carrier in the interaction of thin-film and thick-film technology.
  • the basic coating and structuring can be carried out using thin-film technology, while any required contact reinforcements can be carried out using thick-film technology.
  • the metal film can already be provided on the first carrier with contact wires or ribbons, which is advantageous, for example, in the case of a row-by-row arrangement of the individual components.
  • the second carrier can serve as a new carrier for the metal structure, as is advantageous when the arrangement is used as a film temperature sensor.
  • the same can also be transferred to a further carrier in a "decal-like" technique. This technology can be used when integrated into a silicon chip that would not be able to cope with the stresses of platinum film production, for example.
  • FIG. 2A shows a metal film component in which the metal film 10 together with the film 20, which represents the second carrier, is placed on a third carrier, which is e.g. can be a silicon chip or alternatively consists of glass, is applied.
  • a third carrier which is e.g. can be a silicon chip or alternatively consists of glass.
  • FIG. 2B after the combination of metal film 10 and film 20 has been applied, this second film can be removed.
  • the third carrier 30 now represents the new carrier for the metal film.
  • This new carrier can now be processed further.
  • the third carrier can be etched on the back in order to reduce the carrier thickness (FIG. 2B). This is advantageous when generating a "fast" sensor, such a sensor e.g. is used in the detection of gas flows, such as the air volume measurement in a motor vehicle.
  • an “upper” protective layer can be applied to the platinum film in different ways.
  • This protective layer can e.g. by means of screen printing, sputtering or in the form of a counter film, etc. It can also consist of different materials.
  • FIG 3 shows a metal film component in which the metal film 10 together with the transfer film 20, which is the second film, has been applied to a carrier film 40.
  • the second carrier, the transfer film 20, can be removed or left after the metal film 10 has been applied to the carrier film 40.
  • the third carrier can be designed in various forms.
  • the third carrier (film 20) is flat and is coated on one side with the metal film to be transferred.
  • the flat third carrier can be coated on both sides, i.e. on the front and back.
  • the same or different metal films can be applied to the front and the back. If different metal films are applied to the front and back, these can differ both in terms of material and structure.
  • the third carrier has a cylindrical geometry. 4 shows the cylindrical carrier 45, which represents the third carrier, and the film 20, which represents the second carrier, with the metal film 10 applied to the film 20 in a separate and an assembled state. In the assembled state, the metal film is applied in such a way that it covers the outer surface of the cylindrical carrier. In this embodiment too, after the metal film has been applied to the third carrier, the metal film can be covered with an outer protective layer, which e.g. has the shape of a thin-walled tube.
  • the third carrier and the protective layer can consist of the same or different materials, for example ceramic or glass.
  • 4 also shows the radial contact 55 of the cylindrical element, in which the contacts are attached on one side of the cylinder. Alternatively, an axial contact would also be possible, in which the contacts are arranged opposite one another.
  • a cylindrical component is generally referred to as a round sensor.
  • Figure 5 shows in detail a platinum film structure. Such a structure can be obtained during the step of structuring the metal film, for example by ion beam etching. Trimming points are set in the structure at which fine trimming 50 or rough trimming can be carried out by means of laser irradiation in order to adjust the resistance to the desired setpoint.
  • Individual sensors which are produced by means of the method of the present invention can consist of a resistor (platinum temperature sensor, heating element, etc.) or of an interconnection or combination of several individual elements.
  • a resistor platinum temperature sensor, heating element, etc.
  • several individual elements are required.
  • the dimensions of the individual elements are typically between 20 and 50 mm. However, dimensions that deviate greatly from the named are also possible.
  • the metal film can also be made of platinum alloys, e.g. Platinum / rhodium, or from other metals, e.g. Nickel, or other metal alloys exist.

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Description

Verfahren zur Herstellung von Bauelementen auf
Metallfilmbasis
Beschreibung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Herstellungs¬ verfahren von Bauelementen auf Metallfilmbasis und insbeson¬ dere auf ein Herstellungsverfahren von Bauelementen, die aus einem Metallfilm, der auf einen Träger aufgebracht ist, be¬ stehen.
Typische Bauelemente der oben genannten Art sind Sensoren, wie z.B. Platintemperatursensoren, in Folienausführung, die allgemein bekannt sind und in unterschiedlichen Anwendungen eingesetzt werden. Die bekannten Platintemperatursensoren sind derart aufgebaut, daß ein dünner Platindraht äander- för ig auf eine Trägerfolie, die z.B. aus Kapton besteht, aufgeklebt ist. Diese Herstellung eines solchen Sensors ist mit einem hohen Arbeitsaufwand verbunden. Weitere Einschrän¬ kungen und Nachteile ergeben sich dadurch, daß die verar¬ beitbaren Drahtdicken selbst bei relativ großen Folien¬ abmessungen, im Bereich einiger Quadratzentimeter, nur niedrige Widerstandswerte, im Bereich von 100 Ohm oder kleiner, ermöglichen. Außerdem sind kleine Abmessungen, z.B. < 1 cm2, mit üblichen Widerstandswerten im Bereich von 100 Ohm überhaupt nicht realisierbar.
Es ist bekannt, Folien-Temperatursensoren mit unedlen Metal¬ len, wie z.B. Nickel, herzustellen, da sich in diesem Fall die Metallfilme nach der Beschichtung auf die Trägerfolie mit üblichen Verfahren strukturieren lassen. Solche Verfah¬ ren schließen die Photoresisttechnik und chemisches Ätzen ein. Der Nachteil hierbei besteht darin, daß die Kennlinie der so hergestellten Temperatursensoren nicht dem weit ver¬ breiteten Standard DIN IEC entspricht. Desweiteren weisen unedle Metalle nicht die hohe Langzeitstabilität von Platin auf .
Platintemperatursensoren müssen, um bezüglich ihrer Kennli¬ nie, die durch ihren Widerstand bei 0° Celsius, R0, und den Temperaturkoeffizienten des Widerstands, TK, charakterisiert ist, eine gewünschte Stabilität aufweisen, während und/oder nach dem Herstellen des Platinfilms Temperaturbehandlungen bei hohen Temperaturen, möglichst über 1000° Celsius, unter¬ zogen werden.
Eine mit einem Metallfilm beschichtete Folie kann jedoch dieser Behandlung nicht unterzogen werden, da die Träger¬ folien, die aus Kapton, isolierend beschichteten Metallfo¬ lien, Glasfolien, usw. bestehen, bei diesen hohen Tempera¬ turen zerstört werden würden. Desweiteren ist die Struktu¬ rierung eines Platinfilms, der auf eine Folie aufgebracht ist, problematisch, da das Edelmetall Platin nur mit sehr agressiven Medien ätzbar ist. Ferner ist bei einem Folien¬ träger der notwendige Trimmprozeß zum Abgleich der Wider¬ stände auf die gewünschten Sollwerte, der z.B. mittels einer Laserbestrahlung durchgeführt wird, schwierig.
Die DE 25 07 731 B2 offenbart einen Meßwiderstand, der aus einem Isolierkörper als Träger und einer dünnen Platin¬ schicht als Widerstandsmaterial besteht. Dieser Meßwider¬ stand wird hergestellt, indem eine dünne Platinschicht durch Kathodenzerstäubung in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre auf den Träger aufgebracht und nachfolgend getempert wird. Bei dem in dieser Schrift offenbarten Verfahren muß der Trä¬ ger die bei der Temperung auftretenden hohen Temperaturen aushalten.
Die DE 41 13 483 beschreibt ein Verfahren zur Erzeugung fei¬ ner Leiterbahnen. Gemäß einem Ausführungsbeispiel offenbart die genannte Schrift ein Verfahren, bei dem ein Pulver aus elektrisch leitfähigem Material auf klebrige Bereiche, die einem Leiterbahnmuster entsprechen, einer Hilfsoberfläche aufgebracht wird. Das Pulver wird nachfolgend gebrannt, wo- durch Leiterbahnen entstehen, die nur schwach an der Hilfs¬ oder Zwischenträger-Oberfläche haften. Im Anschluß wird der endgültige Träger unter Druck auf das gebrannte Leiterbahn¬ muster aufgebracht, woraufhin der Träger von der Hilfsober¬ fläche getrennt wird, wobei das elektrisch leitfähige Mate¬ rial am Träger haften bleibt.
Bei G. Seidel "Gedruckte Schaltungen", Verlag Technik, Ber¬ lin, Berliner Union, Stuttgart, 1959, sind unterschiedliche Arten der Herstellung für gedruckte Schaltungen offenbart. Dabei werden beispielsweise verschiedene Drucktechniken, Galvanisierungstechniken sowie Folienätzverfahren beschrie¬ ben.
Die DE 39 27 735 AI offenbart ein Strahlungsthermometer, das aus einem auf eine Kunststoff-Folie aufgebrachten mäander- förmigen Dünnschichtwiderstand besteht. Die DE 23 02 615 B2 zeigt einen temperaturabhängigen elektrischen Widerstand so¬ wie ein Verfahren zu dessen Herstellung. Dieser Widerstand besteht aus einer mäanderförmigen Leiterbahn mit einem von Null verschiedenen Temperaturkoeffizienten, die auf einer dünnen isolierenden Folie angeordnet ist, welche auf einem Stab mit zylindrischer Oberfläche angebracht ist.
In "e&i", 107. Jg. (1990), H.5, S. 271 bis 275, sind unter¬ schiedliche Bauelemente, die mittels Dickschicht oder Dünn¬ schicht-Technik hergestellt sind, erläutert. In "etz", Band 109 (1988), H.ll, S. 502 bis 507, sind Dünn- und Dick¬ schichttechnologien für die Sensorik beschrieben.
Die DE 42 18 938 AI offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Widerstandselementen, bei dem eine Widerstandsbahn in Form einer polymerisierbaren elektrisch leitfähigen Paste auf einen Träger aufgebracht und der beschichtete Träger zwecks Polymerisation der Paste durch einen Infrarotofen hindurchgeführt wird. Anschließend wird ein Kunststoffkern auf den beschichteten Träger aufgepreßt und der Träger vom Kunststoffkern getrennt, wobei die sich aus der leitfähigen Paste ergebende Widerstandsbahn in dem Kunststoffkern ver¬ bleibt. Die DE-Patentanmeldung S 39 021 VIb/32b, Anmeldetag 5. Mai 1954, bekanntgemacht am 20. Oktober 1955, offenbart ein Verfahren zur Erhöhung der Haftfestigkeit von Metallbe¬ lägen auf Glas oder Keramik.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen¬ den Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Her¬ stellung eines Bauelements auf Metallfilmbasis zu schaffen, dessen Kennlinie einer gewünschten Charakteristik ent¬ spricht.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 1 und durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 2 gelöst.
Gemäß einem ersten Aspekt schafft die Erfindung ein Verfah¬ ren zur Herstellung von Bauelementen, die einen Metallfilm auf einem Träger aufweisen, mit folgenden Verfahrensschrit¬ ten:
Aufbringen eines Metallfilms auf einen ersten Träger;
Strukturieren des Metallfilms;
Verringern einer Haftwirkung zwischen dem ersten Träger und dem Metallfilm durch folgende Schritte:
elektrisch leitendes Kontaktieren des Metallfilms;
Einbringen des ersten Trägers mit dem Metallfilm in eine wässrige Elektrolytlösung;
Einbringen einer Elektrode in die wässrige Elektro¬ lytlösung; und
Anlegen einer Spannung zwischen dem Metallfilm und der Elektrode; Aufbringen eines zweiten Trägers auf den Metallfilm; und
Entfernen des zweiten Trägers mit dem Metallfilm von dem ersten Träger.
Gemäß einem zweiten Aspekt schafft die Erfindung ein Verfah¬ ren zur Herstellung von Bauelementen, die einen Metallfilm auf einem Träger aufweisen, mit folgenden Verfahrensschrit¬ ten:
Aufbringen eines Metallfilms auf einen ersten Träger;
Strukturieren des Metallfilms;
Verringern einer Haftwirkung zwischen dem ersten Träger und dem Metallfilm durch folgende Schritte:
elektrisch leitendes Kontaktieren des Metallfilms;
Einbringen des ersten Trägers mit dem Metallfilm in eine wässrige Elektrolytlösung;
Einbringen einer Elektrode in die wässrige Elektro¬ lytlösung; und
Anlegen einer Spannung zwischen dem Metallfilm und der Elektrode;
Aufbringen eines zweiten Trägers auf den Metallfilm;
Entfernen des zweiten Trägers mit dem Metallfilm von dem ersten Träger; und
Aufbringen des auf den zweiten Träger aufgebrachten Metallfilms auf einen dritten Träger.
ie vorliegende Erfindung beruht auf der Idee, den Metall- film bis zu einem gewissen Fertigungsschritt in einer be¬ kannten Dünnschicht- bzw. Dickschicht-Technik auf einem üblichen Trägermaterial, das hierin als erster Träger be¬ zeichnet wird, herzustellen, den bereits getemperten und in der Regel strukturierten und getrimmten Metallfilm mitsamt des ersten Trägers auf einen zweiten Träger zu übertragen und dann den ersten Träger abzulösen.
Der zweite Träger kann als neuer Träger für den Metallfilm oder nur als Übertragungsmedium für die Übertragung des Me¬ tallfilms auf einen anderen Träger dienen.
Weiterbildungen der vorliegenden Erfindung sind in den ab¬ hängigen Ansprüchen aufgeführt.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1A bis IC verschiedene Verfahrensschritte bei der Her¬ stellung eines Metallfilm-Bauelements gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2A, 2B und 3 verschiedene Ausführungsbeispiele von Me¬ tallfilm-Bauelementen, die gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt sind;
Fig. 4 ein zylinderförmiges Bauelement, sowie die Bestand¬ teile, die bei der Herstellung desselben verwendet sind; und
Fig. 5 eine detaillierte Metallfilm-Struktur, bei der Trimmstrecken markiert sind.
Das Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die Fig. 1A bis IC zeigen jeweils eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines Platinfilm-Bauelements nach verschie¬ denen Verfahrensschritten. Wie in Fig. 1A gezeigt ist, wird ein Platinfilm 10 auf einen ersten Träger 15, der z.B. ein Keramiksubstrat ist, aufgebracht. Anstelle des Keramiksub¬ strats könnte auch ein Glassubstrat oder ein geeignetes an¬ deres Trägermaterial verwendet werden. Der Platinfilm wird mittels einer bekannten Dünnschicht- bzw. Dickschicht-Tech¬ nik auf den ersten Träger aufgebracht.
Nach dem Aufbringen wird der Platinfilm 10 strukturiert. Diese Strukturierung kann Temperaturbehandlungen bei hohen Temperaturen (Temperprozesse) , Ionenstrahlätz-Verfahren zum Strukturieren des Platinfilms und Laserbestrahlungen zum Trimmen des Platinfilms, z.B. um die Widerstände auf die ge¬ wünschten Sollwerte abzugleichen, einschließen.
Insbesondere durch die Temperaturbehandlungen besitzt der Platinfilm bezüglich des ersten Trägers eine gewisse Haf¬ tung, die bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel durch einen speziellen Verfahrensschritt wesentlich gemindert wird. Hierzu wird der erste Träger 15 mit dem fertig struk¬ turierten Platinfilm 10 in eine elektrisch leitende Lösung gebracht. Die elektrisch leitende Lösung ist eine wässrige Elektrolytlösung. Vor dem Einbringen des ersten Trägers 15 mit dem Platinfilm 10 in die elektrisch leitende Lösung wird der Platinfilm 10 hierbei elektrisch leitend kontaktiert und bildet somit eine erste Elektrode. Ferner wird eine zweite Elektrode in die Lösung eingebracht.
Danach wird eine geeignete Spannung zwischen den beiden Elektroden angelegt und damit ein entsprechender Strom in dem elektrochemischen Kreis erzeugt. Dadurch bildet sich an dem Platinfilm 10 eine Wasserstoff-Gasbildung, durch die die Haftung des Platinfilms 10 an dem ersten Träger 15 gelockert wird. Vorzugsweise wird der Platinfilm 10 anschließend in einem Spülvorgang von der chemischen Lösung gereinigt und danach getrocknet. Bevorzugt ist die genannte elektrisch leitfähige Lösung eine wässrige Elektrolyt-Lösung.
Es sei darauf hingewiesen, daß Elektrolyte allgemein wie auch im Sinne der Verwendung dieses Begriffs in dem vorlie¬ genden Text einen Oberbegriff für Stoffe darstellen, welche durch elektrolytische Dissoziation in Stoffe, gespalten wer¬ den und demzufolge in der Schmelze und in Lösungen elektri¬ schen Strom leiten. Zu den Elektrolyten gehören somit Salze, Säuren und Basen. Man unterscheidet die echten Elektrolyte, die bereits in Form von Ionen, wie z.B. NaCl vorliegen, be¬ vor sie schmelzen oder in Lösung gehen, und die potentiellen Elektrolyte, welche erst Ionen bilden, wenn sie in Lösung gehen, wie z.B. HC1.
Bei der Elektroylse einer wässrigen Lösung, die im vorlie¬ genden Fall stattfindet, kann außer den gelösten Elektroly¬ ten auch das Wasser an den Elektrodenvorgängen beteiligt sein. Hierbei entsteht an der Kathode, also dem Minuspol, Wasserstoff, während an der Anode, also dem Pluspol, je nach dem verwendeten Elektrolyt Chlor oder Sauerstoff entsteht.
Aus Experimenten hat sich ergeben, daß eine Haftungslocke- rung des Metallfilms vom Substrat in beiden Polungsarten auftritt, nämlich im Falle des Metallfilms oder Platinfilms als Kathode oder als Anode. Dies bedeutet auch, daß nicht nur bei Bildung von Wasserstoff am Metallfilm, also bei des¬ sen Polung als Kathode, sondern auch bei Bildung von Sauer¬ stoff oder Chlor am Metallfilm, also bei dessen Polung als Anode, eine Lockerung des Metallfilms 10 gegenüber dem Träger 15 erfolgt.
Als wässrige Elektrolytlösung wird vorzugsweise HC1 oder HNO 3 eingesetzt, wobei der Metallfilm 10 als Kathode gepolt wird, um eine Verunreinigung des Metallfilms 10 z.B. durch Natrium bei der Verwendung von NaCl zu vermeiden. Auf den derart vorbehandelten Metallfilm, der bevorzugt ein Platinfilm 10 ist, wird dann eine Folie 20, die den zweiten Träger darstellt, aufgebracht. Die Folie 20 weist eine gewisse Hafteigenschaft auf, wodurch sich der Platinfilm 10 an der Folie bindet. Danach wird die Folie 20, die den zweiten Träger darstellt, mitsamt des Platinfilms 10 durch Abziehen von dem ersten Träger 15 gelöst (Fig. IC) .
Der zweite Träger ist entsprechend dem bevorzugten Ausfüh¬ rungsbeispiel vorzugsweise eine Folie. Diese Folie besteht vorzugsweise aus einem Kunststoff, wie z.B. Kapton, Teflon oder Polyimid. Alternativ kann der zweite Träger aus einer Metallfolie bestehen, die elektrisch isolierend beschichtet ist. Ferner kann der zweite Träger ein spezieller Träger aus Keramik, Glas, passiviertem Silizium, usw., sein.
Der Metallfilm kann flächig in Dünnfilmtechnik auf den er¬ sten Träger aufgebracht werden. Bekannte Verfahren dafür sind Aufdampfen, Aufsputtern, Dünnschichtsiebdruck, usw.. Zur Herstellung der gewünschten Strukturen wird der flächig aufgebrachte Platinfilm dann mit unterschiedlichen Verfah¬ ren, z.B. Ionenstrahlätzen, Laserbestrahlung, usw., struk¬ turiert. Diese Vorgehensweise ist vorzugsweise für hochohmi- ge Sensoren auf kleiner Fläche sinnvoll.
Alternativ kann der Metallfilm in Dickschicht- oder Dünn¬ schicht-Siebdrucktechnik als Widerstandsstruktur auf den er¬ sten Träger 15 aufgebracht werden. Dies ist besonders bei großflächigen Sensoren vorteilhaft. Außerdem kann der Pla¬ tinfilm auch im Zusammenwirken von Dünnschicht- und Dick¬ schicht-Technologie auf dem ersten Träger gebildet werden. Dabei kann die Grundbeschichtung und die Strukturierung in Dünnschichttechnik erfolgen, während eventuell benötigte Kontaktverstärkungen in Dickschichttechnologie durchgeführt werden. Ferner kann der Metallfilm bereits auf dem ersten Träger mit Kontakt-Drähten oder -Bändchen versehen sein, was z.B. bei einer zeilenweisen Anordnung der einzelnen Bauele¬ mente vorteilhaft ist. Der zweite Träger kann als neuer Träger für die Metallstruk¬ tur dienen, wie es bei der Verwendung der Anordnung als Fo¬ lientemperaturfühler vorteilhaft ist. Alternativ kann der¬ selbe ferner in einer "Abziehbild-" ähnlichen Technik auf einen weiteren Träger übertragen werden. Diese Technik kann bei der Integration in einen Siliziumchip verwendet werden, der den Belastungen beispielsweise der Platinfilmherstellung nicht gewachsen wäre.
Fig. 2A zeigt ein Metallfilm-Bauelement, bei dem der Metall¬ film 10 mitsamt der Folie 20, die den zweiten Träger dar¬ stellt, auf einen dritten Träger, der z.B. ein Siliziumchip sein kann oder alternativ aus Glas besteht, aufgebracht ist. Wie in Fig. 2B gezeigt ist, kann nach dem Aufbringen der Kombination aus Metallfilm 10 und Folie 20 diese zweite Fo¬ lie entfernt werden. Der dritte Träger 30 stellt nun den neuen Träger für den Metallfilm dar. Dieser neue Träger kann nun weiter bearbeitet werden. Z.B. kann der dritte Träger auf der Rückseite geätzt werden, um die Trägerdicke zu ver¬ ringern (Fig. 2B) . Dies ist bei der Erzeugung eines "schnel¬ len" Sensors vorteilhaft, wobei ein solcher z.B. bei der Er¬ fassung von Gasströmungen, wie der Luftmengenmessung in ei¬ nem Kraftfahrzeug, verwendet wird.
Wurde, wie in Fig. 2B gezeigt ist, nach dem Übertragen des Metallfilms 10 auf einen dritten Träger 30 der zweite Träger 20 entfernt, kann auf dem Platinfilm auf unterschiedliche Weise eine "obere" Schutzschicht aufgebracht werden. Diese Schutzschicht kann z.B. mittels Siebdruck, Besputtern oder in der Form einer Gegenfolie, usw., aufgebracht werden. Fer¬ ner kann dieselbe aus unterschiedlichen Materialien beste¬ hen.
Fig. 3 zeigt ein Metallfilm-Bauelement, bei dem der Metall¬ film 10 samt der Übertragungsfolie 20, die die zweite Folie darstellt, auf eine Trägerfolie 40 aufgebracht wurde. Auch in diesem Fall kann der zweite Träger, die Übertragungsfolie 20, nach dem Aufbringen des Metallfilms 10 auf die Trägerfo¬ lie 40 entfernt oder belassen werden.
Der dritte Träger kann in verschiedenen Formen ausgebildet sein. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der dritte Träger (Folie 20) flach und wird einseitig mit dem zu über¬ tragenden Metallfilm beschichtet. Alternativ kann der flache dritte Träger beidseitig beschichtet werden, d.h. auf der Vorder- und der Rückseite. Dabei können auf die Vorder- und die Rückseite gleiche oder unterschiedliche Metallfilme auf¬ gebracht werden. Falls unterschiedlich Metallfilme auf Vor¬ der- und Rückseite aufgebracht werden, können diese sich sowohl Material-mäßig als auch Struktur-mäßig unterscheiden.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel, das in Fig. 4 ge¬ zeigt ist, weist der dritte Träger eine zylindrische Geo¬ metrie auf. In Fig. 4 sind der zylindrische Träger 45, der den dritten Träger darstellt, und die Folie 20, die den zweiten Träger darstellt, mit dem auf die Folie 20 aufge¬ brachten Metallfilm 10 in einem getrennten und einem zu¬ sammengebauten Zustand dargestellt. Im zusammengebauten Zu¬ stand ist der Metallfilm derart aufgebracht, daß er die Man¬ telfläche des zylindrischen Trägers bedeckt. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel kann nach dem Aufbringen des Metallfilms auf dem dritten Träger der Metallfilm mit einer äußeren Schutzschicht bedeckt werden, die z.B. die Form eines dünn¬ wandigen Röhrchens hat.
Der dritte Träger und die Schutzschicht können aus gleichen oder unterschiedlichen Materialien bestehen, z.B. Keramik oder Glas. In Fig. 4 ist ferner die radiale Kontaktierung 55 des zylindrischen Elements dargestellt, bei der die Kontakte auf einer Zylinderseite angebracht sind. Alternativ wäre auch eine axiale Kontaktierung möglich, bei der die Kontakte gegenüberliegend angeordnet sind. Ein derartiges zylindri¬ sches Bauelement wir im allgemeinen als Rundfühler bezeich¬ net. Fig. 5 zeigt detailliert eine Platinfilm-Struktur. Eine der¬ artige Struktur kann während des Schritts des Strukturierens des Metallfilms z.B. durch Ionenstrahlätzen erhalten werden. In der Struktur sind Trimmstellen eingestellt, an denen eine Feintrimmung 50 oder eine Grobtrimmung mittels einer Laser¬ bestrahlung durchgeführt werden kann, um den Widerstand auf den gewünschten Sollwert abzugleichen.
Einzelsensoren, die mittels des Verfahrens der vorliegenden Erfindung hergestellt sind, können aus einem Widerstand (Platintemperaturmeßfühler, Heizelement, usw.) oder aus ei¬ ner Zusammenschaltung bzw. Kombination mehrerer Einzelele¬ mente bestehen. Z.B. sind bei Strömungssensoren, Gassenso¬ ren, Feuchtesensoren, usw. mehrere Einzelelemente erfor¬ derlich. Die Abmessungen der Einzelelemente liegen typi¬ scherweise zwischen 20 und 50 mm. Allerdings sind auch Ab¬ messungen, die von den Genannten stark abweichen, möglich.
Der Metallfilm kann neben Platin, Rhodium oder Iridium auch aus Platinlegierungen, z.B. Platin/Rhodium, oder aus anderen Metallen, z.B. Nickel, bzw. anderen Metall-Legierungen be¬ stehen.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von Bauelementen, die einen Metallfilm auf einem Träger aufweisen, mit folgenden Verfahrensschritten:
Aufbringen eines Metallfilms (10) auf einen ersten Trä¬ ger (15);
Strukturieren des Metallfilms (10) ;
Verringern einer Haftwirkung zwischen dem ersten Träger (15) und dem Metallfilm (10) durch folgende Schritte:
elektrisch leitendes Kontaktieren des Metallfilms (10);
Einbringen des ersten Trägers (15) mit dem Metall¬ film (10) in eine wässrige Elektrolytlösung;
Einbringen einer Elektrode in die wässrige Elektro¬ lytlösung; und
Anlegen einer Spannung zwischen dem Metallfilm (10) und der Elektrode;
Aufbringen eines zweiten Trägers (20) auf den Metall¬ film (10) ; und
Entfernen des zweiten Trägers (20) mit dem Metallfilm (10) von dem ersten Träger (15) .
2. Verfahren zur Herstellung von Bauelementen, die einen Metallfilm auf einem Träger aufweisen, mit folgenden Verfahrensschritten:
Aufbringen eines Metallfilms (10) auf einen ersten Trä- ger ( 15) ;
Strukturieren des Metallfilms (10) ;
Verringern einer Haftwirkung zwischen dem ersten Träger (15) und dem Metallfilm (10) durch folgende Schritte:
elektrisch leitendes Kontaktieren des Metallfilms (10);
Einbringen des ersten Trägers (15) mit dem Metall¬ film (10) in eine wässrige Elektrolytlösung;
Einbringen einer Elektrode in die wässrige Elektro¬ lytlösung; und
Anlegen einer Spannung zwischen dem Metallfilm (10) und der Elektrode;
Aufbringen eines zweiten Trägers (20) auf den Metall¬ film (10);
Entfernen des zweiten Trägers (20) mit dem Metallfilm (10) von dem ersten Träger (15) ; und
Aufbringen des auf den zweiten Träger (20) aufgebrach¬ ten Metallfilms (10) auf einen dritten Träger (30; 40; 45) .
3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der Metall¬ film (10) ein Platinfilm ist.
4. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der Metall¬ film (10) ein Rhodiumfilm, ein Iridiumfilm, ein Nickel¬ film oder ein Film aus Legierungen dieser Metalle ist .
5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der erste Träger (15) ein Keramiksubstrat oder ein Glassubstrat ist.
6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der zweite Träger (20) eine Kunststoffolie ist.
7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem der Kunststoff Kap¬ ton, Teflon oder Polyimid ist.
8. Verfahren gemäß einem der Ansprüche l bis 5, bei dem der zweite Träger (20) eine Metallfolie ist, die elek¬ trisch isolierend beschichtet ist.
9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der zweite Träger (20) ein Keramikträger ist.
10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der zweite Träger (20) aus Glas oder passiviertem Sili¬ zium besteht.
11. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 10 in Rückbe¬ zug auf Anspruch 2, bei dem der dritte Träger (30; 40) flach ist und wobei auf diesen (30; 40) ein- oder beid¬ seitig ein Metallfilm (10) aufgebracht wird.
12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8 in Rück¬ bezug auf Anspruch 2, bei dem der dritte Träger (45) zylinderförmig ist, wobei der Metallfilm (10) auf der Mantelfläche des Zylinders aufgebracht wird.
13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 12 in Rück¬ bezug auf Anspruch 2, bei dem der dritte Träger (30; 40; 45) aus Silizium besteht.
14. Verf hren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 12 in Rück¬ bezug auf Anspruch 2, bei dem der dritte Träger (30; 40; 45) aus Glas besteht.
15. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 3 bis 14 in Rück- bezug auf Anspruch 2, bei dem nach dem Schritt des Auf- bringens des Metallfilms (10) auf den dritten Träger (30; 45) der zweite Träger (20) von dem Metallfilm (10) entfernt wird.
16. Verfahren gemäß Anspruch 15, bei dem nach dem Entfernen des zweiten Trägers (20) eine Schutzschicht auf den Me¬ tallfilm (10) aufgebracht wird.
17. Verfahren gemäß Anspruch (16), bei dem die Schutz¬ schicht eine Folie ist oder durch Siebdruck oder Be- sputtern aufgebracht wird.
18. Verfahren gemäß einem der Ansprüche .1 bis 17, bei dem der Metallfilm (10) in Dickschichttechnik als Struktur oder in Dünnschichttechnik flächig oder als Struktur auf den ersten Träger (15) aufgebracht wird.
19. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 18, bei dem die Strukturierung des Metallfilms (10) ein Ionen- strahlätzen einschließt.
20. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19, bei dem die Strukturierung des Metallfilms (10) eine Laserbe¬ strahlung einschließt.
21. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 20, bei dem der Metallfilm (10) vor, während und/oder nach der Strukturierung einer Temperaturbehandlung bei hohen Temperaturen unterzogen wird.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19633675B4 (de) * 1996-08-21 2007-07-19 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Übertragen von Schichten oder Schichtsystemen auf einen sinterfähigen Schichtträger
DE19753800C2 (de) * 1997-12-04 1999-12-30 Mannesmann Vdo Ag Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstandes sowie eines mechanisch-elektrischen Wandlers
DE19757258C2 (de) * 1997-12-23 2001-02-08 Heraeus Electro Nite Int Sensor mit temperaturabhängigem Meßwiderstand und dessen Verwendung zur Temperaturmessung
LU90200B1 (de) * 1998-01-21 1999-07-22 Iee Sarl Schaltelement in Folienbauweise
DE10225602A1 (de) * 2002-06-07 2004-01-08 Heraeus Sensor-Nite Gmbh Halbleiterbauelement mit integrierter Schaltung, Kühlkörper und Temperatursensor
JP4009520B2 (ja) * 2002-11-05 2007-11-14 日東電工株式会社 温度測定用フレキシブル配線回路基板
EP1843138B1 (de) * 2006-04-06 2012-05-16 Sauer-Danfoss ApS Schraube mit einer Schicht aus leitfähigem Material, das einen Sensor bildet
CN104132745B (zh) * 2014-08-15 2017-04-26 武汉工程大学 快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器
US20180067003A1 (en) * 2015-03-31 2018-03-08 NejiLaw inc. Conduction-path-equipped member, method for patterning conduction path, and method for measuring changes in member
US11226244B2 (en) * 2019-01-30 2022-01-18 Sensata Technologies, Inc. Automotive exhaust gas sensor with two calibration portions
JP7374589B2 (ja) * 2019-02-06 2023-11-07 日東電工株式会社 温度センサフィルム、導電フィルムおよびその製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2507731C3 (de) * 1975-02-22 1978-09-07 Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler, 6000 Frankfurt Meßwiderstand für Widerstandsthermometer und Verfahren zu seiner Herstellung
FR2344940A1 (fr) * 1976-03-18 1977-10-14 Electro Resistance Procede pour la fabrication de resistances electriques a partir d'une feuille metallique fixee sur un support isolant et dispositif s'y rapportant
US4568413A (en) * 1983-07-25 1986-02-04 James J. Toth Metallized and plated laminates
DE3927735A1 (de) * 1989-08-23 1991-02-28 Asea Brown Boveri Strahlungsthermometer
DE4113483C2 (de) * 1990-05-12 1995-10-26 Du Pont Deutschland Verfahren zur Erzeugung feiner Leiterbahnen auf einem keramischen Träger
DE4218938C2 (de) * 1992-06-10 1995-06-08 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Widerstandselementen
US5507926A (en) * 1994-07-11 1996-04-16 Emec Consultants Electrolytically assisted paint removal from a metal substrate

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO9631887A1 *

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