DE2740332A1

DE2740332A1 - Verbund-formkoerper und verfahren zu seiner herstellung

Info

Publication number: DE2740332A1
Application number: DE19772740332
Authority: DE
Inventors: Adi Framji Khambatta
Original assignee: Welwyn Electric Ltd
Current assignee: Welwyn Electric Ltd
Priority date: 1976-09-07
Filing date: 1977-09-07
Publication date: 1978-03-09
Also published as: FR2363436A1; FR2363436B3

Description

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,- 7. SEP. 1977

DFJ. WOLFGANG MÜLLER-DOR£ (PATENTANWALT VON 1327-1375) DF?. FWUL OEUFEL. DIPL.-CFIEM. DR ALFRED SCHÖN. DIPL.-CHEM. WERNER HEHTEL. DIPL.-PHYS.

D/Hn/de -W 1211

AnraelderrWelwyn Electric Limited, Bedlington
Northumberland NE22 7AA/ England

Verbund-Formkörper und Verfahren zu seiner Herstellung

Priorität: Britische Patentanmeldung Nr. 36 995/76 vom 7. September 1976

Britische Patentanmeldung Nr. 8735/77 vom 2. März 1977

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Beschreibung

Die Erfindung betrifft einen Verbund-Formkörper aus einem Keramik- oder Glaskeramik-Substrat und einer Metallfolie sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Vefcund-Formkörpers. Der hier verwendete Ausdruck "Metallfolie" umfaßt nicht nur eine aus einem einzigen Metall bestehende Folie, sondern auch eine Folie, die aus einer Metallegierung oder einer Metallmischung besteht, wie z. B. ein Laminat.

Es ist bekannt, ein Metallfolienelement mit einem Keramikmaterialelement zu verbinden durch Einführen eines dehnbaren (geschmeidigen) Metalls zwischen die einander gegenüberliegenden Oberflächen der beiden Elemente, wobei man die dabei erhaltene Gesaratanordnung zwischen die Metallplatten einer Presse legt und senkrecht zu den ebenen Oberflächen einen Druck anwendet, während man die Gesamtanordnung auf erhöhte Temperatur bringt. Dieses bekannte Verfahren eignet sich jedoch nicht zum direkten Verbinden einer dünnen Metallfolie mit einem Keramik- oder Glaskeramik-Substrat, insbesondere wenn ein unebenes Substrat, z. B. ein Zylinder, verwendet wird.

Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Möglichkeit zu finden, mit deren Hilfe es möglich ist, eine Metallfolie direkt mit einem Keramik- oder Glaskeramik-Substrat zu verbinden, wobei das dabei angewendete Verfahren nicht notwenr digerweise die Anwendung einer erhöhten Temperatur erfordert.

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Gegenstand der Erfindung ist ein Verbund-Formkörper aus einem Keramik- oder Glaskeramik-Substrat mit einer direkt daran haftenden Metallfolie, die im wesentlichen die gleiche Konfiguration wie die angrenzende (anliegende) Oberfläche des Substrats hat, wodurch die Haftung der Folie an dein Substrat ohne irgendein vermittelndes Bindemittel erzielt wird.

Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Herstellung eines Verbund-Formkörpers, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man ein Keramik- oder Glaskeramik- Substrat und eine Metallfolie direkt miteinander in Kontakt bringt und den direkten Kontakt zwischen ihnen aufrechterhält, während man die dabei erhaltene gesamte Anordnung einem gleichen Druck von jeder Seite her aussetzt, um so die Folie mit dem Substrat haftend zu verbinden.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht durch ein zylindrisches Substrat, die vor der Anwendung von isostatischen Bedingungen mittels einer flexiblen Hülle damit in Kontakt gehalten wird;

Fig. 2 eine Querschnittsansicht durch eine Vorrichtung zur Erzeugung des Druckes in dem erfindungsgemäßen Verfahren;

Fig. 3 ein Diagramm, in dem die Abziehfestigkeit gegen die Härte für eine Reihe von Metall- und Legierungsfolien, die unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens unter den nachfolgend beschriebenen Bedingungen mit

einem Keramiksubstrat verbunden worden sind, aufgetragen 809810/1036

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ist^und

Fig. 4 eine Querschnittsansicht durch ein zylindrisches Substrat mit einer gemusterten Folie auf einem Trägerelement, die vor der Anwendung von isostatischen Bedingungen mittels einer flexiblen Hülle mit dem Substrat in Kontakt gehalten wird.

Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es wesentlich, das Substrat und die Folie in direktem Kontakt miteinander zu halten, während von jeder Seite her ein gleicher Druck angewendet wird, d. h. während eine isostatische Behandlung durchgeführt wird, bis die Folie an dem Substrat haftet; dies wird normalerweise in dar Weise durchgeführt, daß man die Folien-Substrat-Anordnung in eine versiegelte (verschlossene), fest sitzende Hülle einführt, aus der vor der Versiegelung vorzugsweise die Luft evakuiert worden ist.

Die Oberfläche des Substrats, das mit der Folie in Kontakt gebracht werden soll, wird vorzugsweise mit kleinen Höhlen oder Poren versehen, beispielsweise durch Ätzen oder durch mechanischen Abrieb, wobei die Höhlen oder Poren vorzugsweise untereinander zusammenhängen.

Der erfindungsgemäß angewendete Druck ist ausreichend hoch, um eine plastische Verformung der Folie zu bewirken, die im wesentlichen der Konfiguration der anliegenden (angrenzenden) Substratoberfläche folgt, ohne daß eine unerwünschte mechanische Beschädigung der Folie und/oder des Substrats auftritt, wodurch eine Haftung erzielt wird, wobei geeignete Drucke bei-

2 2 spielsweise liegen bei nur 314,96 kg/cm (2 t/inch ) im Falle eines weichen Metalls, wie Blei, wobei jedoch im Falle von

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härteren Metallen oder Legierungen, wie Nickel-Chrom, bei

2 2

denen Drucke von etwa 12598,26 kg/cm (80 t/inch ) erforderlich sein können, die obere Grenze der Punkt ist, an dem eine Beschädigung auftreten kann.

Die isostatischc Behandlung kann durchgeführt werden unter Verwendung eines Öls, wie z. B. Rizinusöl, oder irgendeines anderen Fluids, wie z. B. eines Gases, unter Verwendung einer bekannten Vorrichtung, wie sie derzeit zum Verdichten von Keramik- und Metallpulver angewendet wird, die in der Lage

ist,Drucke auszuüben.

2 2

ist,Drucke von etwa 15747,83 kg/cm (100 t/inch ) oder mehr

Wie oben angegeben, wird in dem erfindungsgemäßen Verfahren normalerweise eine versiegelte (verschlossene) Hülle verwandet; diese Hülle muß für das zur Erzeugung des Druckes verwendete Fluid undurchlässig sein und sie muß ausreichend flexibel sein, um die Ausbübung eines gleichmäßigen Druckes von allen Seiten auf die Folien-Substrat-Anordnung zu ermöglichen. Ein Kunststoffmaterial ist dafür geeignet, z. B. in Form einer Hülse, welche die Gesamtanordnung dicht umgibt und an ihren Enden beispielsweise durch Erhitzen versiegelt (verschlossen) worden ist; die Hülle kann beispielsv/eise durch Abziehen oder mittels eines Lösungsmittels oder eines Ätzmittels entfernt werden oder sie kann darauf belassen werden, je nach dem Endverwendungszweck des Produktes.

Das Substrat kann jede gewünschte Form haben, es kann beispielsweise eben oder gekrümmt sein, wobei Beispiele für geeignete Materialien Porzellan, Steatit, Forsterit, Aluminiumoxid und Keramikmaterialien, die Aluminiumoxid enthalten, sind,

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Die Folie kann beispielsweise aus Aluminium, Kupfer, Nickel Nickel-Chrom, Nickel-Kupfer, Platin, Gold, Silber, Zinn, Blei, Tantal, Molybdän oder legierungen davon bestehen.

Der erfindungsgemäfle Verbund-Formkörper ist besonders gut geeignet in der Elektronikindustrie: durch geeignete Auswahl der Metallfolie zur Erzielung der erforderlichen elektrischen Eigenschaften, z. B. des erforderlichen elektrischen Widerstandes, der elektrischen Stabilität und des erforderlichen Widerstandstemperaturkoeffizienten,kann ein elektrischer Widerstand oder ein Temperatursensor hergestellt werden, bei dem elektrisch leitende Anschlußklemmen vorgesehen sind, die in elektrischem Kontakt mit der gebundenen Folie befestigt sind, wobei der Widerstand eingestellt werden kann beispielsweise durch Schneiden unter Verwendung eines Laserstrahls, durch Schneiden mit einem Rad oder durch Photoätzverfahren. Eine andere Verwendung des Verbund-Formkörpers ist diejenige als elektrischer Leiter oder als magnetische Einrichtung, z. B. als Induktor.

In einigen Fällen kann es zweckmäßig sein, eine Oberfläche der Metallfolie vor Durchührung der isostatischen Behandlung mit einem Trägerelement zu verbinden (beispielsweise mittels eines Klebstoffes oder durch direkte Verbindung), wobei natürlich das Trägerelement ausreichend flexibel sein muß, um die Durchführung der isostatischen Behandlung zu erlauben. Durch Verwendung dieses Trägerelementes ist es möglich, die Folie zu bearbeiten, beispielsweise durch GesamtVerdünnung und/oder durch Ätzung, durch Schneiden oder durch Abrieb, um einen oder mehrere ausgewählte Abschnitte des Films zu entfernen zur Erzeugung eines gewünschten Musters. Zweckmäßig

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kann das Trägerelement aus einem Metall- oder Kunststoffmaterial bestehen, beispielsweise in Form einer Folie vorliegen.

Wenn es sich bei dem Trägerelement um ein Metall handelt, kann es in situ auf der Folie gebildet werden unter Anwendung eines Metallabscheidungsverfahrens (vorzugsweise durch Elektroplattierung), wodurch das Element und die Folie direkt aneinander haftend miteinander verbunden werden, und durch die bekannte elektrolytische Ätzung der Folie ist es möglich, ein Muster zu erzeugen, wobei auf diese Weise ein gemusterter elektrischer Widerstand und/oder Konduktor hergestellt werden kann. Nach der isostatischen Behandlung wird das Metallträgerelement vollständig oder teilweise entfernt und erforderlichenfalls kann eine Endabstimmung auf den gewünschten Wert im Falle eines Widerstandes nach der isostatischen Behandlung durchgeführt werden. Wenn ein gekrümmtes Substrat verwendet wird, hat das Substratelement den Vorteil, daß es möglich ist, die Folie mit einem Muster zu versehen, während sie auf dem Trägerelement flach, aufliegt.

Die Erfindung wird durch die folgenden spezifischen Beispiele, in denen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben sind, näher erläutert, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein.

Beispiel 1

Die Oberfläche eines zylindrischen Aluminiumoxid-Keramik-Substrats 1 (Länge 25 inn und Durchmesser 4nm), hergestellt von der Firma\Rosenthal Technik AG, Marktredwitz, BRDj unter der Warenbezeichnung Rubalit 617, wird geätzt durch Eintauchen

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in 50%ige Salpetersäure, um auf diese Weise miteinander zusammenhängende winzig kleine Oberflächenporen oder Oberflächenhöhlen zu erzeugen. Das Substrat wird dann mit entionisiertem Wasser gründlich gespült, während es unter Verwendung von Ultraschallenergie in Schwingungen versetzt wird, dann wird es einige Minuten lang auf 1000 bis 1400 C erhitzt, um das absorbierte Wasser zu entfernen,und abkühlen gelassen. Dann wird eine rechteckige Metallfolie 2, ζ. B. einer Dicke von etwa 3 ,um, von Hand um das Substrat herum gewickelt, wobei die Folie so angeordnet wird, daß die einander gegenüberliegenden Kanten derselben nicht aufeinander stoßen, so daß ein schmaler Spalt (nicht dargestellt) bestehen bleibt, der sich von einem Ende des Substrats zu dem andern erstreckt. Dann wird ein fest sitzendes Rohr 3 aus einem flexiblen Polyolefin einer Dicke von etwa 0,127 mm (0,005 inches) über die Gesamtanordnung aus der Folie und dem Substrat geschoben; ein Ende des Rohres wird versiegelt (verschlossen) die darin enthaltene Luft wird abgepumpt und dann wird das andere Ende wärmeversiegelt (wärmeverschlossen), so daß um die Folien-Substrat-Anordnung herum eine versiegelte flexible Hülle gebildet wird, wobei zwischen der Folie und dem Substrat ein direkter Kontakt aufrechterhalten wird.

Die Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung zu Einstellung der isostatischen Bedingungen, die besteht aus einem Zylinder 4 aus einem Stahl mit einer sehr hohen Zugfestigkeit, der von einem Stahlrahmengestell 5 getragen wird. Der Zylinder weist in einem Ende eine Bohrung 6 auf,hdie ein gleitender Kolben 7 paßt, der mittels einer hydraulischen Buchse 8 in der Bohrung 6 bewegt werden kann. Das andere Ende der Bohrung 6 ist durch einen Stopfen 9 verschlossen, der durch eine in den Zylinder 4 ein-

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geschraubte Kappe 10 in Position gehalten wird. Auf dem Kolben 7 bzw. auf dem Stopfen 9 sind Hochdnickdichtungen Il und 12 vorgesehen.

Die Kappe 10 und der Stopfen 9 werden entfernt und die Anordnung gemäß Fig. !,angegeben durch die Bezugsziffer 13, wird in die Bohrung 6 eingesetzt. Dann wird in die Bohrung 6 ein hydraulisches Fluid (Flüssigkeit) aus 90 Vol.% Rizinusöl und 10 Vol.% Methylalkohol eingegossen und der Stopfen 9 und die Kappe 10 werden wieder an ihre Stelle gebracht. Die hydraulische Buchse 8 x^ird dann so betätigt, daß das Öl in der Bohrung unter Druck gesetzt wird, wodurch ein von allen Seiten gleicher Druck auf die Anordnung gemäß Fig. 1 ausgeübt wird, der etwa 12598,26 bis etwa 20 472,18 kg/cm² (80 bis 130 t/inch²) beträgt, der bewirkt, daß die Folie in die winzigen Poren oder Hohlräume in der Oberfläche des Substrats hineingepreßt wird und so der Konfiguration des letzteren folgt, wodurch sie fest mit dem Substrat verbunden wird. Der Druck wird mehrere Sekunden lang aufrechterhalten, bevor die Buchse 8 losgelassen (entspannt) wird. Die Anordnung gemäß Fig. 1 wird aus der Bohrung herausgenommen und evtl. restliches Öl wird von der Oberfläche der Hülle 3 entfernt, letztere wird abgezogen.

Der dabei erhaltene Verbund-Formkörper kann so bearbeitet werden, daß ein elektrischer Widerstand entsteht, wie nachfolgend angegeben, wobei eine geeignete Folie 2 für diesen Zweck beispielsweise eine solche mit der nachfolgend angegebenen Zusammensetzung ist:

Nickel	75 Gew.7_o
Chrom	20 Gew.%
Kupfer	2,5 Gew.%
Aluminium	2,5 Gew;% 809810/1036

Auf die Enden des Substrats werden elektrisch leitende Widerstands -Klemmen in Form von Metallkappen (nicht dargestellt), beispielsweise aus Nickel-Eisen oder Nickel-Chrom, gepreßt, um einen festen Sitz in elektrischem Kontakt mit der Oberfläche der Folie zu erzeugen; alternativ kann die Folie auf die Kappen aufgeschweißt werden, beispielsweise unter Verwendung einer Mikroplasmaschweißeinrichtung.

Der elektrische Widerstandswert des dabei erhaltenen Widerstandes, gemessen zwischen seinen Anschlüssen, kann auf einen gewünschten Wert erhöht werden durch Erzeugung einer Reihe von in Umfangsrichtung angeordneten Schnitten oder Schlitzen, beispielsweise unter Verwendung eines Laserstrahls, eines Schneidrades oder unter Anwendung von Photoätzverfahren, wobei die Einschnitte oder Schlitze kurz vor den Kanten der Folie enden, zwischen denen sich der schmale Spalt in Längsrichtung entlang des Substrates erstreckt, so daß ein schlangenlinienförmiger elektrischer Widerstandsweg zwischen den Anschlußklemmen des Widerstandes erhalten wird.
Beispiel 2

Auf eine Seite einer Metallfolie, die etwa 3,um dick ist, beispielsweise aus einer elektrischen Widerstands-Nickel-Chrom-Legierung, wird ein Maskierungslacküberzug aufgebracht. Dann werden dirch Elektroplattierung auf die andere Oberfläche der Folie ein sehr dünner Nickelüberzug und danach eine etwa 35»um dicke Kupferschicht als Trägerelement aufgebracht; die freiliegende Kupferoberfläche wird dann mittels eines Klebstoffes mit einem Flachglasstubstrat verbunden und der Lacküberzug wird mit einem Lösungsmittel von der Folie entfernt. Unter Anwendung bekannter photographischer Verfahren wird ein Muster in der Folie

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erzeugt, beispielsweise ein Schlangenlinienmuster eines elektrischen Widerstandselementes, das mit einem Photoresistfilm bedeckt ist, und die freiliegenden Bereiche der Folie werden auf bekannte Weise elektrolytisch abgeätzt, wodurch das Kupfertrage relement mit einem Weg mit niedrigem Widerstand für den elektrischen Strom versehen wird. Die dabei erhaltene gemusterte Folie auf dem Kupfer wird dann von dem Glassubstrat abgezogen durch Erweichen des Klebstoffes mit einem dafür geeigneten Lösungsmittel und alle Spuren des Klebstoffes des Photoresistmaterials werden entfernt. Die Dicke des Kupferelementes wird dann durch Ätzen mit Salpetersäure auf 10 bis 15 ,um verringert, um die nachfolgende isostatische Behandlung zu ermöglichenj

Wie in der Fig. 4 der beiliegenden Zeichnungen dargestellt, wird die gemusterte Folie, die durch die Bezugsziffer 2a dargestellt ist, auf dem Kupferträgerelement, das durch die Bezugs ziffer 2b dargestellt ist, auf ein zylindrisches Aluminiumoxidsubstrat 1 gelegt, dessen Oberfläche behandelt worden ist zur Erzeugung von miteinander zusammenhängenden Oberflächenvertiefungen oder -poren, wie in Beispiel 1 angegeben; das in Beispiel 1 beschriebene Verfahren wird wiederholt bis zu der Stufe, in der die flexible Hülle, die durch die Bezugsziffer gekennzeichnet ist, abgezogen worden ist. Das Kupferträgerelement wird dann unter Verwendung von Salpetersäure von der Folie und dem Substrat abgeätzt, wobei die an dem Substrat befestigte gemusterte Folie zurückbleibt. Nach dem Aufbringen von Anschlußklemmen auf an sich bekannte Weise und gegebenenfalls nach dem Aufbringen eines Schutzüberzugs aus einem elektrisch isolierenden Material wird ein elektrischer Widerstand hergestellt mit einem schlangenlinienförmigen (mäanderförmigen) Widerstandselement. Da das Muster der Folie vor dem Verbinden

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der Folie mit dem Substrat erzeugt v;orden ist, um dadurch den gewünschten elektrischen Widerstandswert zu erzielen, ist es
nicht erforderlich, die Folie nach dein Verbinden mit dem Substrat mit einem schraubenlinienförmigsn Muster oder einem anderen derartigen Muster zu versehen.

Für einige Anwendungszv/ecke kann es vorteilhaft sein, das
Kupferelement nicht vollständig zu entfernen, sondern Teile
davon zu belassen, die beispielsweiss die Anschlußklemmen für den elektrischen Widerstand darstellen, wobei diese Teile
während des Ätzvorganges zur Entfernung des restlichen Kupfers in geeigneter Weise maskiert werden.

Beispiel 3

Eine etwa 3/um dicke Metallfolie, die beispielsweise aus einer elektrischen Nickel-Chrom-Widerstandslegierung besteht, wird
auf ein etwa 12#um dickes Kunststoffträgerelement, beispielsweise aus einem handelsüblichen Polyester oder Polyamid, unter Anwendung von Wärme und Druck nach Verfahren, wie sie auf dem Gebiet der Herstellung von gedruckten Schaltungen an sich bekannt sind, aufgebracht. Das Kunststoffträgerelement liegt,
mit der Folienseite nach oben, auf einer ebenen Oberfläche,
wobei man beispielsweise einen Klebstreifen verwendet, um es
an der Oberfläche zu befestigen. Die Folie wird dann gemustert und das nachfolgende Verfahren ist das gleiche wie in Beispiel 2, wobei diesmal jedoch die Dicke des Kunststoffträgerelementes bis zum Ende der isostatischen Behandlung unverändert bleibt, wobei die flexible Hülle zusammen mit dem Kunststoffträgereleraent nach Beendigung der Behandlung abgezogen wird, so daß die an dem Substrat befestigte gemusterte Folie zurückbleibt.

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Wie in Beispiel 2 angegeben, können Anschlußklemmen und, gewünschtenfalls, ein Schutzüberzug auf das Produkt aufgebracht werden zur Herstellung eines elektrischen Widerstandes mit einem Widerstandselement in schlangenlinienförmiger (mäandarförmiger) Form.

Wenn es erwünscht ist, eine Metallfolie auf ein Substrat so aufzubringen, daß die Ränder der Folie sich treffen oder überlappen, können die Ränder durch Randverschveißung miteinander verbunden werden, beispielsweise unterAnwendung eines bekannten elektrischen Widerstandsschweiß-, Elektronenstrahlschweiß- oder Mikroplasma-Schweißverfahrens.Altarnativ kann die Folie in Form eines Rohres vorliegen, das fest (eng) auf dem Substrat sitzt. Wenn die Folie die Form eines Rohres hat oder wenn ihre Ränder miteinander verschweißt sind und der Verbund-Formkörper zu einem elektrischen Widerstand verarbeitet wird, kann die Folie einen helixartigen Schnitt aufweisen, um ihren Widerstand auf den gewünschten Wert zu bringen.

Wenn ein Temperatursensor erforderlich ist, wird eine Metallfolie verwendet, deren elektrischer Widerstand mit der angewendeten Temperatur merklich variiert,ζ. B. eine Platinfolie. Wenn ein elektrischer Schaltungsleiter oder eine Kondensatorelektrode erforderlich ist, kann das Substrat eben sein und die Metallfolie kann beispielsweise aus Aluminium, Gold oder Kupfer bestehen, wobei es möglich ist, Teile der Folie durch Abrieb, durch Abschneiden oder durch Abätzen zu entfernen zur Erzielung einer Anordnung von Leitern auf dem Substrat.

Wenn die Abziehfestigkeit, d. h. die Kraft pro Längeneinheit, die erforderlich ist, «is eine gebuiuiena Folie von einem Sub-

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strat zu entfernen, für eine Reihe von Metall- und Legierungsfolien, die unter Anwendung des vorstehend beschriebenen Verfahrens gebunden worden sind, gemessen wird, so stellt man fest, daß sie von der Härte des Metalls oder der Legierung abhängt. In der Fig. 3 sind Beispiele für die Beziehung zwischen der Abziehfestigkeit für verschiedene Metall- und Legierungsfolien und ihrer Brinell-Härte angegeben. Die Metalle, für welche die Ergebnisse in der Fig. 3 in Formeines Diagramms dargestellt sind, sind Zinn, Aluminium, Platin, Kupfer, Nickel und Titan. In der Fig. 3 sind auch die Ergebnisse für Legierungen aus (i) 55 % Kupfer und 45 % Nickel, (ii) 70 % Kupfer und 30 % Nickel, (iii) 75 % Nicke 1,20 7» Chrom, 2,5 7» Kupfer und 2,5 % Aluminium, (iv) 80 % Nickel und 20 % Chrom angegeben.

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Claims

Patentansprüche

ylj Verbund-Formkörper, gekennzeichne t durch ein Keramik- oder Glaskeramik-Substrat (l) mit einer direkt daran haftenden Metallfolie (2), die im wesentlichen die gleiche Konfiguration wie die daran angrenzende (anliegende) Oberfläche des Substrats (1) hat, wobei die Folie (2) ohne ein dazwischen befindliches Bindemittel an dem Substrat (l) haftet.
2. Verfahren zur Herstellung eines Verbund-Formkörpers,insbesondere des Verbund-Formkörpers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Keramik- oder Glaskeramik-Substrat und eine Metallfolie in direkten Kontakt miteinander bringt und beide in direktem Kontakt miteinander hält, während man auf die dabei erzielte Gesamtanordnung von allen Seiten einen gleichen Druck einwirken läßt, um so die Folie mit dem Substrat haftend zu verbinden.

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ORIGINAL INSPECTED