EP0613171A1 - Massenspektrometer zur flugzeitabhängigen Massentrennung - Google Patents

Massenspektrometer zur flugzeitabhängigen Massentrennung Download PDF

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EP0613171A1
EP0613171A1 EP94102360A EP94102360A EP0613171A1 EP 0613171 A1 EP0613171 A1 EP 0613171A1 EP 94102360 A EP94102360 A EP 94102360A EP 94102360 A EP94102360 A EP 94102360A EP 0613171 A1 EP0613171 A1 EP 0613171A1
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/40Time-of-flight spectrometers

Definitions

  • the invention relates to a mass spectrometer with time-dependent mass separation with a micro-channel plate detector arrangement and with deflection electrodes which are subjected to time-variable deflection voltages, in which all ions fly straight ahead at a deflection potential of zero volts and by measuring their respective flight times can be detected.
  • Mass spectrometers which work with magnetic and / or electrical deflection elements and which separate an ion current as a function of mass and charge, so that a mass spectrum is produced.
  • High-resolution devices are e.g. double-focusing magnetic sector instruments with a resolution of more than 150,000 and ion cyclotron resonance mass spectrometers with a resolution of well over 1 million. Very heavy ions of a few 100,000 mass units are inaccessible to these devices because they can no longer be deflected or their cyclotron frequency can be determined too imprecisely.
  • time-of-flight mass spectrometer Another type of mass spectrometer is the time-of-flight mass spectrometer, in which defined ion packets on their flight path are separated into isobaric ion packets which hit one detector in time because of different speeds.
  • time-of-flight mass spectrometers which have been known for over 50 years, win in the in recent years in the detection of very high masses, although they are known to have a significantly poorer resolution.
  • time-of-flight mass spectrometers In time-of-flight mass spectrometers, the time of flight is not proportional to the ion mass, but proportional to its root. Towards higher masses, the difference in flight time per mass unit becomes increasingly smaller. The flight times of the masses 100 and 101 differ by 0.5%, that of the masses 1000 and 1001 by 0.05%, etc. Flight distances of 1 to 2 m or more are common in these spectrometers. In order to record the flight time differences of the respective masses, enormous demands are made on the memory and processor capacity of the data system, which has its limits, however.
  • Very heavy ions of a few 100,000 mass units can be detected with time-of-flight mass spectrometers, but in the known systems they have an inaccuracy of +/- a few 100 mass units. For a resolution in individual masses, e.g. If the isotope pattern of a substance could be recognized, the known time-of-flight mass spectrometry has so far not been able to do so in the high mass range.
  • Time-of-flight mass spectrometers with deflection electrodes are also known, in which, however, the variable deflection voltages do not cause the generation of a mass spectrum. Applying a voltage only eliminates certain mass ranges that should not be analyzed by mass spectrometry.
  • Time-of-flight mass spectrometers are also known for mass and energy analysis by means of position-sensitive flow time measurement ("Rev. Sci. Instrum.” 61 (1990), S 3134-3166). According to FIG. 1, page 3134, the ion masses are determined solely by measuring their flight times. Only the energy distribution of the ions can be additionally determined by measuring the local offset of the ions along the detector plane.
  • the object of the invention is to provide a mass spectrometer which works with mass separations dependent on flight time and causes a mass-dependent splitting of the different particles into different orbits in accordance with their mass-to-charge ratio.
  • the ion packets of time-of-flight mass spectrometry fly past one or more deflection electrodes on their flight path, which are subject to time-varying deflection voltages which rise and / or fall according to a continuous time function and which can be set between two variable limit values with freely selectable gradients , whereby the ion packets that fly past one another in time according to their mass-to-charge ratio are deflected to different extents, so that a spatially resolved mass spectrum can be registered which, in addition to and regardless of the temporally resolved mass spectrum, determines the mass on the basis of the locally different impact of the ions at the detector level.
  • the invention thus has the advantage that the time-of-flight differences, which become smaller and smaller with increasing mass, are meaningless for the mass determination, because the mass determination takes place in another way, namely by determining the differently strong deflection of the ions.
  • Another advantage is that the mass resolution improves with increasing mass, because the mass window detectable on the detector depends exclusively on the value of the voltage gradient, but not on the mass range examined.
  • the mass spectrometer consists of a mass spectrometer housing 1, which has a length of approximately 300 mm.
  • An ion source 7 and a channel plate 2 as a detector are arranged in this housing.
  • two deflection electrodes 3 and 4 are calculated after a distance from the ion source 7 100 mm perpendicular to the flight direction of the ions.
  • Shield electrodes 5 and 6 are also provided, which serve as diaphragms and to limit the electric field of the deflection electrodes.
  • Ion packets emitted by the ion source 7 with an energy of e.g. Accelerated 1000 eV to the channel plate 2 experience a respective directional deflection when passing between the deflection electrodes 3 and 4, which depends on the potentials that are present at the electrodes 3 and 4 at the moment when the ions between the deflection electrodes 3 and 4 fly through.
  • the deflection potential of one of the deflection electrodes is gradually changed as a function of time, or both electrode potentials are asymmetrically e.g. changed by voltage values with different signs, different ions are deflected to different extents, depending on their flight time, i.e. the ions which pass through the deflection electrodes 3 and 4 at a later time are deflected differently than the ions which have flown through at an earlier time.
  • the differential changes in the electrode potentials must correspond to the ion flight times of the respective masses. Due to the adapted change in the potentials of the electrodes 3 and 4, ion packets arriving one after the other experience different deflections and hit the channel plate 2 at different locations.
  • an energy filter which is customary in mass specirometry can be provided in FIGS. 1 and 2 perpendicular to the fanned ion current.
  • Such an energy filter which is arranged between the ion source 7 and the deflection electrodes 3 and 4, ensures that only homoenergetic ions pass through the aperture 5. If, on the other hand, the energy filter is arranged between the deflection electrodes 3 and 4 on the one hand and the channel plate 2 on the other hand, there is a signal expansion perpendicular to the fanned ion current with additional information about the energy distribution of the ion source without the mass resolution being significantly disturbed thereby.
  • FIG. 2 shows a fragmentation device 8 which is known in principle and which, for the purpose of MS / MS fragment ion analysis, can be introduced into the trajectory of the ions separated according to their mass-to-charge ratio in such a way that only ions of a desired mass make up the fragmentation device 8 can happen. Furthermore, separation electrodes 9 and 10 are provided, which locally separate all ions that leave the fragmentation device 8 according to their mass-to-charge ratio, specifically both the daughter ions created by fragment ion and unfragmented mother ions.

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Massenspektrometer mit flugzeitabhängiger Massentrennung mit Hilfe von Ejektionselektroden, bei denen bei ausgeschaltetem Ejektionspotential alle Ionen geradeaus fliegen und bei dem in der Flugbahn des Ionenstroms Ablenkelektroden angeordnet sind, die mit zeitlich variablen Ablenkspannungen beaufschlagt sind, so daß sich die örtliche Auflösung eines jeden Massenfensters unabhängig vom aufzulösenden Massenbereich nach der Gleichung

M window x U deflect = konstant
Figure imga0001


ergibt.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Massenspektrometer mit flugzeitabhängiger Massentrennung mit einer Mikro-Kanalplatten-Detektor-Anordnung sowie mit Ablenkelektroden, die mit zeitlich variablen Ablenkspannungen beaufschlagt sind, bei denen bei einem Ablenkpotential von Null Volt alle Ionen geradeaus fliegen und durch die Messung ihrer jeweiligen Flugzeiten detektiert werden.
  • Es sind Massenspektrometer bekannt, die mit magnetischen und/oder elektrischen Ablenkelementen arbeiten und die einen Ionenstrom in Abhängigkeit von Masse und Ladung auftrennen, so daß ein Massenspektrum entsteht.
  • Hochauflösende Geräte sind z.B. doppel-fokussierende magnetische Sektorinstrumente mit einer Auflösung von mehr als 150 000 und Ionen-Cyclotron-Resonanz-Massenspektrometer mit einer solchen von weit über 1 Million. Sehr schwere Ionen von einigen 100 000 Masseneinheiten sind diesen Geräten unzugänglich, da sie nicht mehr abgelenkt werden können bzw. ihre Cyclotronfrequenz zu ungenau bestimmt werden kann.
  • Eine andere Massenspektrometerart sind die Flugzeitmassenspektrometer, bei denen definierte Ionenpakete auf ihrem Flugweg wegen unterschiedlicher Geschwindigkeiten in zeitlich nacheinander auf einem Detektor auftreffende isobare Ionenpakete getrennt werden. Mit modernster Datenverarbeitung und Zeitmessung gewinnen die seit über 50 Jahren bekannten Flugzeitmassenspektrometer in den letzten Jahren beim Nachweis von sehr hohen Massen zunehmend an Bedeutung, obwohl sie bekannterweise eine deutlich schlechtere Auflösung haben.
  • Bei Flugzeitmassenspektrometern ist die Flugzeit nicht proportional zur Ionenmasse, sondern proportional zu ihrer Wurzel. Zu höheren Massen hin wird der pro Masseneinheit anfallende Flugzeitunterschied zunehmend kleiner. So unterscheiden sich die Flugzeiten der Massen 100 und 101 um 0.5 %, die der Massen 1000 und 1001 um 0,05 %, usw. Bei diesen Spektrometern sind Flugstrecken von 1 bis 2 m oder mehr üblich. Um die Flugzeitunterschiede der jeweiligen Massen zu erfassen, werden enorme Anforderungen an die Speicher- und Prozessorkapazität des Datensystems gestellt, das jedoch seine Grenzen hat.
  • Sehr schwere Ionen von einigen 100 000 Masseneinheiten sind mit Flugzeitmassenspektrometern zwar nachweisbar, aber bei den bekannten Systemen mit einer Ungenauigkeit von +/- einigen 100 Masseneinheiten behaftet Zu einer Auflösung in Einzelmassen, die z.B. das Isotopenmuster einer Substanz erkennen ließe, ist die bekannte Flugzeitmassenspektrometrie somit bislang im hohen Massenbereich nicht in der Lage.
  • Darüber hinaus kann es im sehr hohen Massenbereich vorkommen, daß bei zeitlich unmittelbar aufeinander folgenden Massen nur die erste ein Signal erzeugt und die anschließend eintreffende nicht nachgewiesen wird, weil sie innerhalb der Regenerationszeit des Detektors eintrifft.
  • Es sind auch Flugzeitmassenspektrometer mit Ablenkelektroden bekannt, bei denen die variablen Ablenkspannungen jedoch nicht die Erzeugung eines Massenspektrums bewirken. So werden durch Anlegen einer Spannung lediglich bestimmte Massenbereiche eliminiert, die nicht massenspektrometrisch analysiert werden sollen.
  • Es sind ferner Flugzeitmassenspektrometer bekannt zur Massen- und Energieanlyse mittels positionsempfindlicher Fluzeitmessung ("Rev. Sci. Instrum." 61 (1990), S 3134 - 3136). Hiernach werden gemäß Figur 1 Seite 3134 die Ionenmassen allein durch die Messung ihrer Flugzeiten bestimmt. Lediglich die Energieverteilung der Ionen kann durch die Messung des örtlichen Versatzes der Ionen entlang der Detektorebene zusätzlich bestimmt werden.
  • Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Massenspektrometer zu schaffen, das mit flugzeitabhängiger Massentrennungen arbeitet und eine massenabhängige Aufspaltung der unterschiedlichen Teilchen in jeweils verschiedene Bahnen bewirkt gemäß ihrem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Ionenpakete der Flugzeitmassenspektrometrie auf ihrem Flugweg an einer oder mehreren Ablenkelektroden vorbeifliegen, an denen zeitlich variable, gemäß einer kontinuierlichen Zeitfunktion ansteigende und/oder abfallende Ablenkspannungen anliegen, die zwischen zwei variablen Grenzwerten mit frei wählbaren Gradienten einstellbar sind, wodurch die gemäß ihrem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis zeitlich nacheinander vorbeifliegenden Ionenpakete unterschiedlich stark abgelenkt werden, so daß ein räumlich aufgelöstes Massenspektrum registrierbar ist, das zusätzlich zu und unabhängig von dem zeitlich aufgelösten Massenspektrum eine Massenbestimmung auf Grund des örtlich unterschiedlichen Auftreffens der Ionen auf der Detektorebene ermöglicht.
  • Durch diese Ausbildungsmerkmale wird erreicht, daß zeitlich nach einander auf einem Detektor eintreffende Massen nicht am gleichen Ort eintreffen, sondern in Abhängigkeit von ihrer Masse unterschiedlich stark abgelenkt werden und ein räumlich aufgelöstes Massenspektrum erzeugen.
  • Damit ergibt sich aus der Erfindung der Vorteil, daß die mit zunehmender Masse immer kleiner werdenden Flugzeitunterschiede für die Massenbestimmung bedeutungslos werden, weil die Massenbestimmung auf anderem Wege, nämlich durch die Bestimmung der unterschiedlich starken Ablenkung der Ionen erfolgt. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Massenauflösung mit zunehmender Masse besser wird, weil das auf dem Detektor nachweisbare Massenfenster ausschließlich vom Wert des Spannungsgradienten abhängt, nicht aber vom untersuchten Massenbereich.
  • In Figur 1 ist die Erfindung näher dargestellt. Das Massenspektrometer besteht aus einem Massenspektrometergehäuse 1 , das eine Lange von ca. 300 mm aufweist. In diesem Gehäuse ist eine Ionenquelle 7 angeordnet und eine Kanalplatte 2 als Detektor. Zwischen der Ionenquelle 7 und der Kanalplatte 2 sind zwei Ablenkelektroden 3 und 4 nach einer Wegstrecke gerechnet von der Ionenquelle 7 aus von ca. 100 mm senkrecht zur Flugrichtung der Ionen angeordnet. Des weiteren sind Abschirmelektroden 5 und 6 vorgesehen, die als Blenden und zur Begrenzung des elektrischen Feldes der Ablenkelektroden dienen.
  • Ionenpakete, die von der Ionenquelle 7 mit einer Energie von z.B. 1000 eV auf die Kanalplatte 2 zu beschleunigt werden, erfahren beim Durchgang zwischen den Ablenkelektroden 3 und 4 eine jeweilige Richtungsablenkung, die von den Potentialen abhängt, die in dem Augenblick an den Elektroden 3 und 4 anliegen, in dem die Ionen zwischen den Ablenkelektroden 3 und 4 hindurchfliegen. Sind die Potentiale symmetrisch z.B. auf beiden Ablenkelektroden 3 und 4 gleich Null, so fliegen alle Ionen geradeaus. Sind sie statisch asymmetrisch, z.B -150 V an der Elektrode 3 und +150 V an der Elektrode 4, so werden alle Ionen bekanntlich gleich stark abgelenkt unabhängig von ihrer Masse.
  • Wird nun zeitabhängig graduell das Ablenkpotential einer der Ablenkelektroden, z.B der Elektrode 3 verändert oder werden beide Elektrodenpotentiale asymmetrisch z.B. um Spannungswerte mit unterschiedlichen Vorzeichen verändert, so werden unterschiedliche Ionen unterschiedlich stark abgelenkt, und zwar in Abhängigkeit von ihrer Flugzeit, d.h. die Ionen, die zu einem späteren Zeitpunkt die Ablenkelektroden 3 und 4 passieren, werden anders abgelenkt als die Ionen, die zu einem früheren Zeitpunkt hindurchgeflogen sind. Die differenziellen Änderungen der Elektrodenpotentiale muß den Ionenflugzeiten der jeweiligen Massen entsprechen. Durch die angepaßte Änderung der Potentiale der Elektroden 3 und 4 erfahren nacheinander eintreffende Ionenpakete jeweils unterschiedliche Ablenkungen und treffen an unterschiedlichen Orten auf der Kanalplatte 2 auf.
  • Eine Zeitfunktion, die sich als besonders vorteilhaft erwiesen hat und nach der die Ablenkelektrodenpotentiale variiert werden können, setzt sich aus einem dynamischen und einem statischen Anteil zusammen gemäß der Gleichung:

    U(t) = U dyn - U stat    Gleichung 1
    Figure imgb0001


    mit:
  • U(t)
    = Ablenkelektrodenspannung als Funktion der Zeit
    Udyn
    = dynamischer Spannungsanteil
    Ustat
    = statischer Spannungsanteil
    Die Erfindung kann vorteilhafterweise weiter ausgebildet werden, indem der dynamische Anteil mit dem Quadrat der Zeit variiert wird. Darüber hinaus kann der dynamische Spannungsanteil zur Ionenflugzeit versetzt werden entsprechend der Gleichung:

    U dyn = ( t² - t delay ) x U deflect    Gleichung 2
    Figure imgb0002


    mit:
    t
    = Zeit, gemessen vom Start des Ionenpakets
    tdelay
    = wählbare Verzögerungszeit
    Udeflect
    = Ablenkspannungsgradient
    Wird Gleichung 2 in Gleichung 1 eingesetzt, so ergibt sich:

    U(t) = (t² - t delay ) x U deflect - U stat    Gleichung 3
    Figure imgb0003


    Eine flugzeitabhängige Massenablenkung wird erreicht, wenn eine nach Gleichung 3 zeitabhängige Spannung an eine der Ablenkelektroden 3 oder 4 gelegt wird. Eine vergleichsweise stärkere Ablenkung ergibt sich, wenn an die Elektroden 3 und 4 Potentiale unterschiedlichen Vorzeichens, beispielsweise an Elektrode 3 die Spannung -U(t) und an Elektrode 4 die Spannung +U(t) gelegt werden.
  • Aus der Flugzeitmassenspektrometrie ist die folgende Beziehung bekannt: t² = c x M(t) / U
    Figure imgb0004
    als Gleichung 4 bezeichnet mit:
  • M(t)
    = Ionenmasse in Abhängigkeit von der Flugzeit
    U
    = Beschleunigungsspannung und
    c
    = eine Gerätekonstante.
  • Durch Einsetzen von Gleichung 4 in Gleichung 3 und Auflösen nach M ergibt sich:

    M(t) = ((U(t) + U stat ) / U deflect + t delay ) x U/c   Gleichung 5
    Figure imgb0005


    Bei U(t) = 0 sind beide Ablenkelektroden 3 und 4 spannungslos. Für die zu diesem Zeitpunkt zwischen den Ablenkelektroden 3 und 4 hindurch fliegende, nicht abgelenkte Masse vereinfacht sich Gleichung 5 wie folgt:

    M g = (U stat / U deflect + t delay ) x U/c   Gleichung 6
    Figure imgb0006


    mit:
  • Mg
    = geradeaus fliegende, nicht abgelenkte Masse.
    Damit ist die Masse bestimmt, die in der Mitte des abgebildeten Spektrums liegt. Für eine um den Betrag +y abgelenkte Masse erhält man Gleichung 5 als:

    M(t +y ) = ((U(t +y ) + U stat ) / U deflect + t delay ) x U / c   Gleichung 7
    Figure imgb0007


    Für eine um den Betrag -y abgelenkte Masse erhält man Gleichung 5 als:

    M(t -y ) = ((U(t -y ) + U stat ) / U deflect + t delay ) x U / c    Gleichung 8
    Figure imgb0008


    Da die Spannungen U(t) für die nach oben und die nach unten gleich weit um die Beträge +y bzw. -y abgelenkten Massen im Betrag gleich, aber im Vorzeichen verschieden sind, erhält man durch Subtraktion der Gleichungen 7 und 8 für das auf dem Detektor auftreffende Massenfenster von M(t+y) bis M(t-y):

    M window x U deflect = konstant   Gleichung 9
    Figure imgb0009


    mit

    M window = Massenfenster M(t +y ) - M(t -y )
    Figure imgb0010


    Die fundamentale Gleichung 9 besagt, daß das Massenfenster, das auf dem Detektor nachgewiesen werden kann, bei einem derart ausgebildeten Gerät von der Masse der nachgewiesenen Ionen unabhängig ist. Wenn beim Übergang von kleinen zu hohen Massen das detektierbare Massenfenster gleich bleibt, stellt dies einen Zoomeffekt zu hohen Massen hin dar mit steigender Auflösung zu höheren Massen hin. Dies ist ein wertvoller Vorteil im Vergleich zu den bekannten mit höherer Masse kleiner werdenden Flugzeitdifferenzen.
  • Gegen Energieunschärfen der Ionenquellen kann ein in der Massenspekirometrie gebräuchlicher Energiefilter in den Figuren 1 und 2 senkrecht zum aufgefächerten Ionenstrom vorgesehen werden. Ein solcher Energiefilter, der zwischen der Ionenquelle 7 und den Ablenkelektroden 3 und 4 angeordnet ist, sorgt dafür, daß nur homoenergetische Ionen durch die Blende 5 gelangen. Wird der Energiefilter dagegen zwischen den Ablenkelektroden 3 und 4 einerseits und der Kanalplatte 2 andererseits angeordnet, so ergibt sich eine Signalausdehnung senkrecht zum aufgefächerten Ionenstrom mit einer zusätzlichen Information über die Energieverteilung der Ionenquelle, ohne daß dadurch die Massenauflösung wesentlich gestört wird.
  • In Figur 2 zeigt eine prinzipiell bekannte Fragmentiereinrichtung 8, die zum Zweck der MS/MS--Fragment-Ionenanalyse in die Flugbahn der nach ihrem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis aufgetrennten Ionen derart einführbar ist, daß nur Ionen einer gewünschten Masse die Fragmentiereinrichtung 8 passieren können. Des weiteren sind Separations-Elektroden 9 und 10 vorgesehen, die alle Ionen, die die Fragmentiereinrichtung 8 verlassen, nach ihrem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis örtlich auftrennen, und zwar sowohl die durch Fragmention entstandenen Tochter-Ionen als auch unfragmentierte Mutter-Ionen.
  • Mehrere nacheinander in der Flugbahn angeordnete Einheiten von Fragmentiereinrichtungen 8 und Separations-Elektroden 9,10 sind für die Untersuchung konsekutiver Fragmentierungen duch MS/MS/MS...-Analysen vorgesehen.

Claims (12)

  1. Massenspektrometer mit flugzeitabhängiger Massentrennung mit einer Kanalplatte als Vielzahl von in der Detektorebene angeordneten Einzeleldetektoren sowie mit Ablenkelektroden, die mit zeitlich variablen Ablenkspannungen beaufschlagt sind, bei denen bei ausgeschaltetem Ablenkpotential alle Ionen geradeaus fliegen, dadurch gekennzeichnet, daß an den Ablenkelektroden (3,4) mit kontinuierlicher Zeitfunktion ansteigende und/oder abfallende Ablenkspannungen anliegen, die zwischen zwei variablen Grenzwerten mit frei wählbaren Gradienten einstellbar sind, so daß die Ionen gemäß ihrem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis auf unterschiedliche Flugbahnen ablenkbar sind und eine Massenbestimmungn auf Grund ihres örtlich unterschiedllichen Auftreffens auf der Kanalplatte (2) ermöglichen.
  2. Massenspektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkspannungen an den Elektroden (3, 4) aus einem statischen und einem dynamischen Anteil zusammengesetzt sind.
  3. Massenspektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zeitlich variablen Ablenkspannungen der Gleichung

    U(t) = ( t² - t delay ) x U deflect - U stat
    Figure imgb0011


    folgt.
  4. Massenspektrometer nach den Ansprüchen 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ablenkelektroden (3, 4) in der Flugbahn angeordnet sind.
  5. Massenspektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkelektroden (3,4) mit zeitlich variablen Potentialen unterschiedlicher Vorzeichen beaufschlagt sind.
  6. Massenspektrometer nach den Ansprüchen 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, daß der dynamische Anteil der Ablenkspannungen der Zeit proportional ist.
  7. Massenspektrometer nach den Ansprüchen 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß der dynamische Anteil der Ablenkspannungen mit einer Verzögerung einsetzt.
  8. Massenspektrometer nach den Ansprüchen 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse, die in der Mitte des abgebildeten Spektrums liegt, durch die Gleichung

    M g = ( U stat / U deflect + t delay ) x U / c
    Figure imgb0012


    bestimmt ist.
  9. Massenspektrometer nach einem der übrigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß senkrecht zur Richtung des aufgefächerten Ionenstrahls ein Energiefilter vorgesehen ist.
  10. Massenspektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die örtlichen Auflösung des Massenfensters unabhängig vom aufzulösenden Massenbereich der Gleichung

    M window x U deflect = konstant
    Figure imgb0013


    folgt.
  11. Massenspektrometer nach einem der übrigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fragmentiereinrichtung (8) und Separations-Elektroden (9,10) in der Flugbahn angeordnet sind.
  12. Massenspektrometer nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Einheiten von Fragmentiereinrichtungen (8) und Separations-Elektroden (9,10) in der Flugbahn nacheinander angeordnet sind.
EP94102360A 1993-02-23 1994-02-17 Massenspektrometer zur flugzeitabhängigen Massentrennung Expired - Lifetime EP0613171B1 (de)

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EP0613171A1 true EP0613171A1 (de) 1994-08-31
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