EP0267560A1 - Transportable Reinraumanlage - Google Patents

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Publication number
EP0267560A1
EP0267560A1 EP87116474A EP87116474A EP0267560A1 EP 0267560 A1 EP0267560 A1 EP 0267560A1 EP 87116474 A EP87116474 A EP 87116474A EP 87116474 A EP87116474 A EP 87116474A EP 0267560 A1 EP0267560 A1 EP 0267560A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
clean room
air
container
lock
room
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP87116474A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Peter Heise
Dieter Kittel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Slee Semiconductor-Technik GmbH
Original Assignee
Slee Semiconductor-Technik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Slee Semiconductor-Technik GmbH filed Critical Slee Semiconductor-Technik GmbH
Publication of EP0267560A1 publication Critical patent/EP0267560A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04H—BUILDINGS OR LIKE STRUCTURES FOR PARTICULAR PURPOSES; SWIMMING OR SPLASH BATHS OR POOLS; MASTS; FENCING; TENTS OR CANOPIES, IN GENERAL
    • E04H5/00—Buildings or groups of buildings for industrial or agricultural purposes
    • E04H5/02—Buildings or groups of buildings for industrial purposes, e.g. for power-plants or factories
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Definitions

  • the invention relates to a portable clean room system for installation at any location such as construction sites and. the like
  • the object of the invention is to provide such a portable clean room system with which clean room classes of size 1oo and more can be achieved.
  • this object is achieved by a conventional large container, which is divided in the longitudinal direction into a lockable antechamber from the front, a work space connected to it by a passage with a curtain and a clean room which is separated from the work space by a lock with a hermetically lockable door Clean room and curtain can be walked to the work area, a filter connected to a controllable fresh air inlet, a mixing chamber, a heater and a blower containing air blower is provided on one long side of the container under its ceiling, mainly within the work area, of which an air recirculation device containing a fan is provided, one of which is under the ceiling
  • the duct system of the container which is filtered for high purity, can first be introduced laminarly into the clean room from above via a large suspended particle filter, from there via further filters for the most part directly into the work area and for the smaller part into the loop from above can be transported as shower air and finally can be returned from the work room into the mixing chamber for renewed circulation with the addition of fresh air
  • the inventive division of the container in the longitudinal direction in connection with a special air duct and The arrangement of the lock with an air shower between the work area and the clean room can indeed, as measurements have shown, give extraordinarily high clean room values in the clean room while still maintaining a very high level of cleanliness in the work room.
  • the highest pressure in the clean room resulting from the air flow prevents recontamination from the work area and the anteroom, and the constant air circulation and simultaneous renewed filtering with the addition of only a fraction of fresh air of preferably 10% creates even after initial contamination by the work piece Material and the workers working in the clean room in a comparatively short time, such as 30 minutes, the required degree of clean room.
  • the lock is arranged in the work area on the transverse wall separating it from the clean room and, together with the work area, has a suspended ceiling with separate chambers above the work area or above the lock, through which clean air from the clean room can be conveyed via openings in the transverse wall equipped with filters to outlet openings provided with further filters in the suspended ceiling above the work space or the lock.
  • a partial flow of, for example, 25% of the clean air entering the workspace can be branched off to the lock with a total air circulation of approx. 2.ooo m3 / h, which is about 5oo m3 / h leads to an effective shower effect before entering the clean room.
  • the lock conveniently connects to the air recirculation device opposite longitudinal wall of the container, and a separate channel runs along the longitudinal wall within the suspended ceiling from the air circulation device to the front wall of the container delimiting the clean room and opens there into a filter box containing the large-area particle filter on the underside above a work table.
  • This arrangement is particularly pleasant for the workers working in the clean room and avoids annoying and sometimes even dangerous cross currents.
  • the inlet for the recirculated air is in the circulating device on the underside of the mixing chamber, and underneath is a cooling unit that can be flowed through vertically in the working space, the condenser of which can be attached to the outside of the container and through flexible lines for the refrigerant sealed bushings in the container wall can be connected to the cooling unit.
  • This arrangement not only ensures a thorough, constant air exchange in the work area, but also achieves an effective air conditioning of the rooms in the container in the warm season or when the container is exposed to intense sunlight.
  • Yet another design feature of the invention provides that the fresh air inlet and the outlet for the excess air are arranged on the front side of the container delimiting the antechamber. Since this front side is directed backwards when moving the container, contamination of these openings is largely avoided, which is particularly desirable for the fresh air inlet.
  • Both the fresh air inlet and the outlet for the excess air can be provided with motor-adjustable flaps, which determine the effective passage cross section and thus the proportion of fresh air or excess air discharged, which, as already mentioned above, should be about 10%, which with an air volume of approx. 2.ooo m3 / h to be transported through the rooms corresponds to an exchange volume of approx. 2oo m3 / h.
  • the curtains between the anteroom and the work area and between the work area and the lock are expediently formed by aprons made of laterally overlapping plastic strips, which on the one hand allow people to pass through and on the other hand ensure a sufficient separation of these rooms in the normal position in the course of the pressure gradient created by the air circulation .
  • a last design feature of the invention provides that all electrical monitoring devices for the air circulation device and possibly the cooling unit as well as the electrical lighting and power supply of the rooms are arranged in the anteroom, so that outgoing particles are forced with the excess air from the anteroom directly to step outside.
  • the container shown in FIGS. 1 and 2 from the outside differs from the usual container designs purely externally only in that it has a lockable door 12 on its one front side 10 and a window 18 that can be covered by folding shutters 16 on one longitudinal side 14.
  • a panel 20 can be attached which indicates the name of the owner and / or serves as an advertising medium.
  • the interior of the container is divided by two transverse walls 22 and 24 into a relatively short anteroom, a work space 28, which takes up most of the length of the container, and a clean room 30.
  • the storage space 26 is connected to the working space 28 by a passage opening 32 which is covered by a curtain 34.
  • the curtain 34 suitably consists of laterally overlapping plastic strips which largely prevent the passage of air up to a certain gap at the lower end in the normal hanging state.
  • the transverse wall 24 between the work space 28 and the clean room 3o can be hermetically closed by a door 36, in front of which there is a lock 42 separated from a wall 38 and a further curtain 4o within the work space 28.
  • the lock 42 (and thus also the door 36) connects directly to the side wall 14 of the container and opens via the curtain 4o in the direction of the opposite side of the container.
  • a window 44 is also sealingly inserted, which provides visual contact between the working space 28 and Clean room 3o allowed.
  • FIGS. 4 and 6 illustrate, on the side wall 46 of the container opposite the side wall 16 there is an air circulator, designated in its entirety as 5o, below its ceiling, which is connected via an air inlet 52 to the front side 1o of the container and is located around the Extends half the length of the work space.
  • the air circulation device 5o contains one behind the other in this direction of extension a pre-filter 54 of type class EU 3 as a filter for the outside air, a mixing chamber 56 for outside air and recirculated air with an inlet opening 58 on the bottom for the latter, - an electric air heater 6o, an electric motor-driven blower 62, - A micro filter 64 of type class EU 5 and a silencer 66.
  • a channel 68 connects to the tapered outlet of the air circulation device 5o, directly under the ceiling of the container, which leads to a filter box 7o in the clean room 3o.
  • the filter box 7o is located on the front wall 72 of the container there and contains in its bottom a large-area suspended matter filter 74, which allows the air conveyed by the air circulation device 5o to flow downward in a laminar manner against a work table 76 located underneath.
  • the ceiling of the work space like that of the lock at 78 or 8o, is suspended to form a gap to the ceiling of the container and creates two separate chambers adjoining the transverse wall 24 are open to the clean room 30 via openings 82 and 84 provided with filters in the transverse wall 24 above the window 44 and the door 36, respectively.
  • the suspended ceiling 78 above the working space 28 contains two openings 86, 88 with longitudinal spacing, which are also covered by filters. As a result, part of the clean air from the clean room 3o can flow into the working space via the opening 82, the chamber above the suspended ceiling 78 and the openings 86, 88.
  • the suspended ceiling 8o of the lock 42 contains an opening 9o covered by a filter, from which the remaining air flows into the lock from the clean room 3o and thereby a person who wants to enter the clean room beforehand "takes a shower” with clean air ".
  • This air then passes under the curtain 40 into the working space 28 and is largely sucked in again by the blower 62 through the opening 58 in the bottom of the mixing chamber 56.
  • part of the air from the working space 28 flows under the curtain 34 into the anteroom 26 and leaves it through an outlet 92 opposite the air inlet 52 with respect to the door 12, which, like the air inlet, has a motor-adjustable flap for determining the effective passage cross section is provided.
  • lights 94 are arranged on the ceiling of the clean room 3o, lights 96 on the suspended ceiling of the work area and lights 98 on the ceiling of the anteroom for illuminating these rooms.
  • cooling unit 1oo Below the opening 58 of the mixing chamber 56 on the transverse wall 32 there is a cooling unit 1oo, through which air can flow vertically in the work space, the condenser 10o2 of which is attached to the front 1o above the door when the container is in use, and through flexible lines (not shown) with corresponding lines sealed bushings in the container wall can be connected to the cooling unit 1oo.
  • the capacitor 1o2 is removed and stored in the container.

Landscapes

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Abstract

Eine transportable Reinraumanlage zur Aufstellung an beliebigen Einsatzorten besteht aus einem herkömmlichen Großcontainer, der in Längsrichtung in einen Vorraum (26) einen Arbeitsraum (28) und einen Reinraum (30) unterteilt ist Zwischen Arbeitsraum (28) und Reinraum (30) befindet sich eine Schleuse mit hermetisch verschließbarer Tür (36) zum Reinraum (30) und Vorhang (40) zum Arbeitsraum (28). An einer Längsseite des Containers ist unter der Decke ein Luftumwälzgerät mit einem steuerbaren Frischlufteinlaß, Filtern, einer Mischkammer, einer Heizung sowie einem Gebläse vorgesehen, von welchem über ein Kanalsystem hochrein gefilterte Luft zunächst über einen großflächigen Schwebstoffilter (74) von oben laminar in den Reinraum (30) einleitbar, von dort über weitere Filter in den Arbeitsraum (28) und teilweise in die Schleuse als Duschluft beförderbar und schließlich in die Mischkammer zur erneuten Umwälzung unter Hinzumischung von Frischluft rückführbar ist. Mit der transportablen Reinraumanlage lassen sich Reinraumklassen der Größe 100 und mehr erreichen.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine transportable Reinraumanlage zur Aufstellung an beliebigen Einsatzorten wie Baustellen u. dgl.
  • Die Fertigung von Halbleiter-Chips ebenso wie die Herstellung bestimmter pharmazeutischer Präparate und auch anderer Erzeugnisse erfordert ein Höchstmaß an Reinheit der Luft, in der der Herstellungsvorgang abläuft. Zu diesem Zweck ist es bekannt, entsprechende Reinräume zu schaffen, in denen die Zahl der Staubpartikel je nach Größe vorgeschriebene Mengen pro Raumeinheit gemäß der hierbei richtungweisenden Federal Standard 2o9B und dementsprechend der VDI-Vorschrift E 2o83 nicht übersteigt.
  • Die Schaffung solcher Reinräume in festen Gebäuden ist seit langem bekannt und erlaubt zahlreiche Variationen entsprechend den baulichen Gegebenheiten. In jüngerer Zeit besteht jedoch auch ein Bedürfnis nach transportablen Reinraumanlagen, die kurzfristig und gegebenenfalls auch nur vorübergehend an beliebigen Einsatzorten aufgestellt werden können, um beispielsweise bei der Errichtung eines Industrieunternehmens mit automatisierter Fertigung speziell dafür entwickelte Halbleiter-Chips an Ort und Stelle fertigen zu können.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine derartige transportable Reinraumanlage zu schaffen, mit der sich Reinraumklassen der Größe 1oo und mehr erreichen lassen.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch einen herkömmlichen Großcontainer, der in Längsrichtung in einen von der einen Frontseite abschließbar begehbaren Vorraum, einen mit diesen durch einen Durchlaß mit Vorhang verbundenen Arbeitsraum und einen Reinraum unterteilt ist, welcher vom Arbeitsraum durch eine Schleuse mit hermetisch verschließbarer Tür zum Reinraum und Vorhang zum Arbeitsraum begehbar ist, wobei an einer Längsseite des Containers unter dessen Decke hauptsächlich innerhalb des Arbeitsraums ein an einen steuerbaren Frischlufteinlaß angeschlossenes Filter, eine Mischkammer, eine Heizung sowie ein ein Gebläse enthaltendes Luftumwälzgerät vorgesehen ist, von welchem durch ein unter der Decke des Containers angeordnetes Kanalsystem hochrein gefilterte Luft zunächst über einen großflächigen Schwebstoffilter von oben laminar in den Reinraum einleitbar, von dort über weitere Filter zum größeren Teil unmittelbar in den Arbeitsraum und zum kleineren Teil von oben in die Schleuse als Duschluft beförderbar und schließlich aus dem Arbeitsraum in die Mischkammer zur erneuten Umwälzung unter Hinzumischung von Frischluft bei gleichzeitig entsprechender Ableitung des Luftüberschusses aus dem Vorraum durch einen steuerbaren Auslaß rückführbar ist.
  • Durch die erfindungsgemäße Aufteilung des Containers in Längsrichtung in Verbindung mit einer besonderen Luftführung sowie der Anordnung der Schleuse mit Luftdusche zwischen Arbeitsraum und Reinraum lassen sich in der Tat, wie Messungen erwiesen haben, außerordentlich hohe Reinraumwerte im Reinraum bei immer noch sehr hoher Reinheit im Arbeitsraum erhalten. Der sich durch die Luftführung einstellende höchste Druck im Reinraum verhindert eine Re-Kontamination vom Arbeitsraum und Vorraum her, und die ständig stattfindende Luftumwälzung und gleichzeitige erneute Filterung mit Beimischung nur eines Bruchteils an Frischluft von vorzugsweise 1o % schafft auch nach anfänglicher Verschmutzung durch das zu bearbeitende Material und die im Reinraum tätigen Arbeitskräfte in vergleichsweise kurzer Zeit wie etwa 3o Minuten den geforderten Reinraumgrad. Personen, die von außen den Container betreten, werden, wie üblich, Schutzkleidung anziehen, die zweckmäßig im Vorraum in Bereitschaft hängt oder liegt, und werden dann nach erster "Reinigung" im Arbeitsraum innerhalb der Schleuse einer intensiven Luftdusche unterzogen, die verhindert, daß unnötig viel Partikel mit der Kleidung in den Reinraum getragen werden. Dort sorgt schließlich die ständige Umwälzung der immer wieder aufs neue gefilterten Luft für die weitestgehende Beseitigung auch der restlichen Partikel, die noch an der Kleidung und den freibleibenden Körperstellen anhaften.
  • Nach einem ersten Merkmal zur vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Schleuse im Arbeitsraum an der diesen vom Reinraum trennenden Querwand angeordnet und weist zusammen mit dem Arbeitsraum eine abgehängte Decke mit getrennten Kammern oberhalb des Arbeitsraums bzw. oberhalb der Schleuse auf, durch welche Reinluft aus dem Reinraum über mit Filtern ausgestattete Öffnungen in der Querwand zu mit weiteren Filtern versehenen Auslaßöffnungen in der abgehängten Decke über dem Arbeitsraum bzw. der Schleuse beförderbar ist. Durch diese Anordnung läßt sich von der vom Reinraum in den Arbeitsraum gelangenden Reinluft auf einfache Weise ein Teilstrom von beispielsweise 25 % das sind bei einer Gesamt-Luftumwälzung von ca. 2.ooo m³/h etwa 5oo m³/h - zur Schleuse abzweigen, was zu einem wirksamen Duscheffekt vor dem Eintritt in den Reinraum führt. Dabei schließt sich die Schleuse zweckmäßig an die dem Luftumwälzgerät gegenüberliegende Längswand des Containers an, und vom Luftumwälzgerät verläuft entlang der dortigen Längswand innerhalb der abgehängten Decke ein gesonderter Kanal zu der den Reinraum begrenzenden Frontwand des Containers und mündet dort in einen den großflächigen Schwebstoffilter an der Unterseite oberhalb eines Arbeitstisches enthaltenden Filterkasten. Diese Anordnung ist besonders angenehm für die im Reinraum tätigen Arbeitskräfte und vermeidet lästige und bisweilen auch die Gesundheit gefährdende Querströmungen.
  • Nach einem anderen Ausgestaltungsmerkmal der Erfindung befindet sich der Einlaß für die rückgeführte Luft in das Umwälzgerät an der Unterseite der Mischkammer, und darunter ist im Arbeitsraum ein vertikal durchströmbares Kühlaggregat angeordnet, dessen Kondensator an der Außenseite des Containers anbringbar und durch flexible Leitungen für das Kältemittel über abgedichtete Durchführungen in der Containerwand an das Kühlaggregat anschließbar ist. Durch diese Anordnung wird nicht nur ein durchgreifender ständiger Luftaustausch im Arbeitsraum sichergestellt, sondern auch in der warmen Jahreszeit bzw. bei intensiver Sonneneinstrahlung auf den Container eine wirksame Klimatisierung der Räume im Container erreicht.
  • Noch ein weiteres Ausgestaltungsmerkmal der Erfindung sieht vor, daß der Frischlufteinlaß und der Auslaß für den Luftüberschuß an der den Vorraum begrenzenden Frontseite des Containers angeordnet sind. Indem diese Frontseite beim Verfahren des Containers nach rückwärts gerichtet ist, werden Verschmutzungen dieser Öffnungen weitgehend vermieden, was besonders für den Frischlufteinlaß erwünscht ist. Sowohl der Frischlufteinlaß als auch der Auslaß für die Überschußluft können dabei mit motorisch verstellbaren Klappen versehen sein, die den wirksamen Durchlaßquerschnitt und damit den Anteil an beigemischter Frischluft bzw. abgeführter Überschußluft bestimmen, der, wie oben bereits erwähnt, etwa 1o % betragen sollte, was bei einer durch die Räume zu transportierenden Luftmenge von ca. 2.ooo m³/h einer Austauschmenge von ca. 2oo m³/h entspricht.
  • Die Vorhänge zwischen Vorraum und Arbeitsraum und zwischen Arbeitsraum und Schleuse sind zweckmäßig von Schürzen aus einander seitlich überlappenden Kunststoffstreifen gebildet, die einerseits den Durchtritt von Personen gestatten und zum anderen in der normalen Lage eine ausreichede Abtrennung dieser Räume im Zuge des durch die Luftumwälzung entstehenden Druckgefälles gewährleisten.
  • Schließlich sieht ein letztes Ausgestaltungsmerkmal der Erfindung vor, daß sämtliche elektrischen Überwachungsgeräte für das Luftumwälzgerät und gegebenenfalls das Kühlaggregat sowie die elektrische Beleuchtung und Stromversorgung der Räume im Vorraum angeordnet sind, so daß von dort ausgehende Partikel gezwungen werden, mit der überschüssigen Luft aus dem Vorraum unmittelbar ins Freie auszutreten.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
    • Fig. 1 einen die erfindungsgemäße transportable Reinraumanlage umschließenden herkömmlichen Container in Seitenansicht mit einem abgedichteten und durch Läden verschließbaren Fenster sowie ggf. einem Eigentümer- oder Werbeschild,
    • Fig. 2 eine Frontansicht auf den Container von rechts in Fig. 1 mit der Eingangstür,
    • Fig. 3 einen Grundriß des Containers zur Veranschaulichung seiner räumlichen Unterteilung,
    • Fig 4 eine Innenansicht des Containers aus der gleichen Richtung wie Fig. 1 bei abgenommener Seitenwand,
    • Fig. 5 einen Querschnitt durch den Container nach Linie V-V in Fig. 4 und
    • Fig. 6 einen horizontalen Längsschnitt durch den Container unmittelbar unter der Decke gemäß Linie VI-VI in Fig. 4.
  • Der in den Fig. 1 und 2 von außen gezeigte Container unterscheidet sich von den üblichen Containerausführungen rein äußerlich nur dadurch, daß er an seiner einen Frontseite 1o eine abschließbare Tür 12 und an einer Längsseite 14 ein von Klappläden 16 abdeckbares Fenster 18 aufweist. Außerdem kann, beispielsweise neben dem Fenster 18, eine Tafel 2o angebracht sein, die den Namen des Eigentumers angibt und/oder als Werbeträger dient.
  • Wie Fig. 3 zeigt, ist das Innere des Containers durch zwei Querwände 22 und 24 in einen verhältnismäßig kurzen Vorraum, einen Arbeitsraum 28, der den größten Teil der Länge des Containers einnimmt, sowie einen Reinraum 3o aufgeteilt. Der Vorratsraum 26 ist mit dem Arbeitsraum 28 durch eine Durchtrittsöffnung 32 verbunden, die von einem Vorhang 34 abgedeckt ist. Der Vorhang 34 besteht zweckmäßig aus einander seitlich überlappenden Kunststoffstreifen, die im normalen Hängezustand den Durchtritt von Luft bis auf einen bestimmten Spalt am unteren Ende weitgehend verhindern.
  • Die Querwand 24 zwischen dem Arbeitsraum 28 und dem Reinraum 3o ist durch eine Tür 36 hermetisch verschließbar, vor der sich innerhalb des Arbeitsraums 28 eine von einer Wand 38 und einem weiteren Vorhang 4o abgetrennte Schleuse 42 befindet. Die Schleuse 42 (und damit auch die Tür 36) schließt unmittelbar an die Seitenwand 14 des Containers an und öffnet sich über den Vorhang 4o in Richtung zur gegenüberliegenden Seite des Containers.
  • In die Querwand 24 ist außerdem ein Fenster 44 dichtend eingesetzt, das einen Sichtkontakt zwischen Arbeitsraum 28 und Reinraum 3o gestattet.
  • Wie die Figuren 4 und 6 veranschaulichen, befindet sich an der der Seitenwand 16 gegenüberliegenden Seitenwand 46 des Containers unterhalb seiner Decke ein in seiner Gesamtheit mit 5o bezeichnetes Luftumwälzgerät, das über einen Lufteinlaß 52 an der Stirnseite 1o des Containers angeschlossen ist und sich über rund die Hälfte der Länge des Arbeitsraums erstreckt. Das Luftumwälzgerät 5o enthält in dieser Erstreckungsrichtung hintereinander

    - ein Vorfilter 54 der Typenklasse EU 3 als Filter für die Außenluft,

    - eine Mischkammer 56 für Außenluft und Umluft mit einer Eintrittsöffnung 58 am Boden für die letztere,

    - eine Elektrolufterhitzer 6o,

    - ein elektromotorisch antreibbares Gebläse 62,

    - ein Feinstfilter 64 der Typklasse EU 5 sowie einen Schalldampfer 66.
  • An den sich verjüngenden Ausgang des Luftumwälzgerätes 5o schließt unmittelbar unter der Decke des Containers ein Kanal 68 an, der zu einem Filterkasten 7o im Reinraum 3o führt. Der Filterkasten 7o befindet sich an der dortigen Frontwand 72 des Containers und enthält in seinem Boden einen großflächigen Schwebstoffilter 74, der die vom Luftumwälzgerät 5o geförderte Luft laminar nach unten gegen einen darunter befindlichen Arbeitstisch 76 ausströmen läßt.
  • Gemäß der Darstellung in Fig. 4 ist die Decke des Arbeitsraumes ebenso wie die der Schleuse bei 78 bzw. 8o unter Bildung eines Zwischenraums zur Decke des Containers abgehängt und schafft zwei an die Querwand 24 anschließende getrennte Kammern, die über mit Filtern versehene Öffnungen 82 bzw. 84 in der Querwand 24 oberhalb des Fensters 44 bzw. der Tür 36 zum Reinraum 3o offen sind. Die abgehängte Decke 78 über dem Arbeitsraum 28 enthält mit Längsabstand zwei Öffnungen 86, 88, die gleichfalls von Filtern abgedeckt sind. Dadurch vermag ein Teil der Reinluft aus dem Reinraum 3o über die Öffnung 82, die Kammer über der abgehängten Decke 78 und die Öffnungen 86, 88 in den Arbeitsraum zu strömen.
  • In ähnlicher Weise enthält die abgehängte Decke 8o der Schleuse 42 eine von einem Filter abgedeckte Öffnung 9o, aus der die übrige Luft aus dem Reinraum 3o in die Schleuse einströmt und dadurch eine darin befindliche Person, die den Reinraum betreten will, zuvor mit Reinluft "duscht". Diese Luft tritt anschließend unter dem Vorhang 4o hindurch in den Arbeitsraum 28 und wird dort zum größten Teil durch die Öffnung 58 im Boden der Mischkammer 56 vom Gebläse 62 wieder angesaugt.
  • Ein Teil der Luft aus dem Arbeitsraum 28 strömt demgegenüber unter dem Vorhang 34 hindurch in den Vorraum 26 und verläßt diesen durch einen dem Lufteinlaß 52 in Bezug auf die Tür 12 gegenüberliegenden Auslaß 92, der ebenso wie der Lufteinlaß mit einer motorisch verstellbaren Klappe zur Bestimmung des wirksamen Durchlaßquerschnitts versehen ist.
  • Ansonsten sind an der Decke des Reinraums 3o Leuchten 94, an der abgehängten Decke des Arbeitsraums Leuchten 96 und an der Decke des Vorraums Leuchten 98 zur Ausleuchtung dieser Räume angeordnet.
  • Unterhalb der Öffnung 58 der Mischkammer 56 ist an der Querwand 32 ein vertikal von der Luft im Arbeitsraum durchströmbares Kühlaggegat 1oo angeordnet, dessen Kondensator 1o2 bei der Benutzung des Containers an der Frontseite 1o oberhalb der Tür angebracht und durch (nicht gezeigte) flexible Leitungen mit entsprechenden abgedichteten Durchführungen in der Containerwand an das Kühlaggregat 1oo anschließbar ist.
  • Beim Transport des Containers wird der Kondensator 1o2 abgenommen und im Container aufbewahrt.
  • An der Frontwand 1o des Containers sind außerdem unterhalb des Lufteinlasses 12 diverse gekapselte Steuer- und Kontrollgeräte 1o4, 1o6 für das Luftumwälzgerät 5o, das Kühlaggregat 1oo sowie diverse Steckdosen für 22o V Wechselstrom und 38o V Drehstrom an geeigneten Stellen innerhalb des Arbeitsraums 28 und des Reinraums 3o angeordnet, zu denen die elektrische Energie durch einen Hauptanschluß 1o8 an der Frontseite 1o des Behälters zugeführt wird.

Claims (8)

1. Transportable Reinraumanlage zur Aufstellung an beliebigen Einsatzorten wie Baustellen u. dgl., gekennzeichnet durch einen herkömmlichen Großcontainer, der in Längsrichtung in einen von der einen Frontseite (1o) abschließbar begehbaren Vorraum (26), einen mit diesem durch einen Durchlaß (32) mit Vorhang (34) verbundenen Arbeitsraum (28) und einen Reinraum (3o) unterteilt ist, welcher vom Arbeitsraum (28) durch eine Schleuse (42) mit hermetisch verschließbarer Tür (36) zum Reinraum (3o) und Vorhang (4o) zum Arbeitsraum (28) begehbar ist, wobei an einer Längsseite (46) des Containers unter dessen Decke hauptsächlich innerhalb des Arbeitsraums (28) ein an einen steuerbaren Frischlufteinlaß (52) angeschlossenes, Filter (54, 64), eine Mischkammer (56), eine Heizung (6o) sowie ein Gebläse (62) enthaltendes Luftumwälzgerät (5o) vorgesehen ist, von welchem durch ein unter der Decke des Containers angeordnetes Kanalsystem hochrein gefilterte Luft zunächst über einen großflächigen Schwebstoffilter (74) von oben laminar in den Reinraum (3o) einleitbar, von dort über weitere Filter zum größeren Teil unmittelbar in den Arbeitsraum (28) und zum kleineren Teil von oben in die Schleuse (42) als Duschluft beförderbar und schließlich aus dem Arbeitsraum (28) in die Mischkammer (56) zur erneuten Umwälzung unter Hinzumischung von Frischluft bei gleichzeitig entsprechender Ableitung des Luftüberschusses aus dem Vorraum durch einen steuerbaren Auslaß (92) rückführbar ist.
2. Reinraumanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleuse (42) im Arbeitsraum (28) an der diesen vom Reinraum (3o) trennenden Querwand (24) angeordnet ist und zusammen mit dem Arbeitsraum (28) eine abgehängte Decke (78, 8o) mit abgeteilten Kammern oberhalb des Arbeitsraums (28) bzw. oberhalb der Schleuse (42) aufweist, durch welche Reinluft aus dem Reinraum (3o) über mit Filtern ausgestattete Öffnungen (82, 84) in der Querwand (24) zu mit weiteren Filtern versehenen Auslaßöffnungen (86, 88, 9o) der abgehängten Decke (78, 8o) über dem Arbeitsraum (28) bzw. der Schleuse (42) beförderbar ist.
3. Reinraumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleuse (42) an die dem Luftumwälzgerät (5o) gegenüberliegenden Längswand (14) des Containers anschließt und daß vom Luftumwälzgerät (5o) entlang der dortigen Längswand (46) oberhalb der abgehängten Decke (78) ein gesonderter Kanal (68) zu der den Reinraum (3o) begrenzenden Frontwand (72) des Containers verläuft und dort in einen den großflächigen Schwebstoffilter (74) an der Unterseite oberhalb eines Arbeitstisches (76) enthaltenden Filterkasten (7o) mündet.
4. Reinraumanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Einlaß (58) für die rückgeführte Luft in das Umwälzgerät (5o) an der Unterseite der Mischkammer (56) befindet und darunter im Arbeitsraum (28) ein vertikal durchströmbares Kühlaggregat (1oo) angeordnet ist, dessen Kondensator (1o2) an der Außenseite des Containers anbringbar und durch flexible Leitungen für das Kältemittel über abgedichtete Durchführungen in der Containerwand an das Kühlaggregat (1oo) anschließbar ist.
5. Reinraumanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Frisschlufteinlaß (52) und der Auslaß (92) für den Luftüberschuß an der den Vorraum begrenzenden Frontseite (1o) des Containers angeordnet sind.
6. Reinraumanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Frischlufteinlaß (52) und der Auslaß (92) für die Überschußluft mit motorisch verstellbaren Klappen zur Bestimmung des wirksamen Durchlaßquerschnitts versehen sind.
7. Reinraumanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorhänge (34, 4o) von Schürzen aus einander seitlich überlappenden Kunststoffstreifen gebildet sind.
8. Reinraumanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sämtliche elektrischen Überwachungsgeräte (1o4, 1o6) für das Luftumwälzgerät (5o) und ggf. das Kühlaggregat (1oo) sowie die elektrische Beleuchtung und Stromversorgung der Räume (26, 28, 3o) im Vorraum (26) angeordnet sind.
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