EP0000715A1 - Verfahren zur Herstellung von Cadmiumsulfid-Kupfersulfid-Solarzellen und nach diesem Verfahren hergestellte Solarzellen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Cadmiumsulfid-Kupfersulfid-Solarzellen und nach diesem Verfahren hergestellte Solarzellen Download PDF

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EP0000715A1 EP78100452A EP78100452A EP0000715A1 EP 0000715 A1 EP0000715 A1 EP 0000715A1 EP 78100452 A EP78100452 A EP 78100452A EP 78100452 A EP78100452 A EP 78100452A EP 0000715 A1 EP0000715 A1 EP 0000715A1
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sulfide layer
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Definitions

  • the invention relates to a method for producing solar cells with a p-n thin-film heterojunction from a cadmium sulfide layer vapor-deposited on an electrically conductive base and a copper sulfide layer chemically produced thereon, with which an electrically conductive grid is in contact.
  • Cadmium sulfide solar cells have a lower efficiency than the known silicon single-crystal solar cells, but they have the considerable advantage that they can be manufactured much more cheaply. It is known to produce a semiconductor photo element from a thin silicon single crystal with p- and n-type zones, which is subsequently coated by the like with a casting resin or the like. is encapsulated. Cadmium sulfide solar cells, which belong to the so-called thin-film solar cells, have a polycrystalline semiconductor layer which is vapor-deposited on an electrically conductive base, usually a metallic support, so that their production is considerably cheaper. It is known to convert them to cells in a manner similar to that of silicon solar cells encapsulate.
  • the manufacturing effort is thus reduced only with regard to the manufacture of the semiconductor layers, so that the overall manufacturing effort is still relatively high, especially if several solar cells are to be interconnected to form solar batteries.
  • additional carrier materials have to be provided, which further increase the costs.
  • the invention has for its object to provide a method for producing cadmium sulfide solar cells that enables inexpensive production of a fully encapsulated solar cell that has a favorable efficiency.
  • the invention consists in that the cadmium sulphide layer and the copper sulphide layer are applied to a component serving as a lower part, which then forms an encapsulated cell with an upper part formed from a cover glass previously provided with an adhesive and the conductive grid is put together.
  • cover slip is sufficient to ensure sufficient mechanical strength.
  • the use of the cover slip also has the advantage that the UV component of the incident light is filtered out of the cover slip, so that damage to the adhesive is not to be feared even after a long period of use.
  • the lower part contains a glass plate, on which, preferably using an adhesion promoter, a base made of silver or zinc is applied, onto which the cadmium sulfide layer is evaporated.
  • a glass plate in the lower part has the advantage that not only the mechanical strength is increased, but also that uniform thermal expansions of the entire cell are ensured, so that destruction or damage by thermal stresses is not to be expected, even if that is particularly the case specific solar cell is set up in areas where, for example, there are very large differences between day and night temperatures.
  • a thin, vapor-deposited layer of chromium or titanium can serve as an adhesion promoter, for example.
  • the base made of silver or zinc is evaporated at about 400 ° C. This leads to the advantage that, on the one hand, existing water vapor can escape, while, on the other hand, the base, which is preferably made of silver, crystallizes better, which leads to a better crystalline structure of the cadmium sulfide layer applied next.
  • the cadmium sulfide layer is vapor-deposited onto the base through a quartz frit.
  • This vapor deposition of cadmium sulfide through a quartz frit is also suitable for the production of solar cells constructed in a different way.
  • the cadmium sulfide layer is preferably roughened by etching before the copper sulfide layer is produced. This reduces, on the one hand, a potentially harmful reflection, while, on the other hand, grain boundaries are etched out.
  • a copper layer is evaporated onto the layer on copper sulfide, after which the lower part is heated to approximately 180 ° C.
  • This subsequently vapor-deposited copper means that any vacancies in the copper sulfide can be filled up by diffusion. If this is done under atmospheric conditions, a thin layer of copper oxide (Cu 2 O) forms on the surface. This causes an electron reflecting potential to be formed on the surface. This reduces the surface recombination of the minority carriers (electrons) in the copper sulfide.
  • a heat seal adhesive is applied to the cover glass of the upper part, on which a copper foil is first held, from which a grid is then etched out, after which the upper part and lower part are heat sealed under vacuum by means of the heat seal adhesive of the upper part.
  • the heat seal adhesive thus initially has the function of holding the copper foil on the upper part and then establishing the connection to the lower part.
  • the heat seal adhesive is applied in liquid form and then dried in a vacuum and, if appropriate, thereafter in the atmosphere.
  • the first drying under vacuum while removing all gases and vapors that may interfere with the electrical properties of the solar cell, creates an adhesive layer that then enables heat sealing and whose thickness is somewhat thicker than the thickness of the grid.
  • a thin gold layer is applied galvanically before the upper part and lower part are joined onto the grid in order to achieve a barrier-free contact.
  • a solar cell can be created in which a base plate, which is preferably made of glass, with an electrically conductive base, a cadmium sulfide layer and a copper sulfide layer forms a prefabricated lower part, which has an electrically conductive grid and a cover glass forming an upper part is joined to form an encapsulated cell.
  • a base plate which is preferably made of glass
  • an electrically conductive base a cadmium sulfide layer and a copper sulfide layer
  • a copper sulfide layer forms a prefabricated lower part, which has an electrically conductive grid and a cover glass forming an upper part is joined to form an encapsulated cell.
  • the cover glass with the grid and the base plate with the base are laterally offset from one another in such a way that a contact formed by the base and on the other side a contact formed by the grid are exposed.
  • a solar cell is very easy to connect to other solar cells because the necessary contacts are created and freely accessible.
  • a large cover glass with several in a row is arranged as the upper part electrically conductive grids are provided, each of which is assigned a lower part, which are arranged offset from the grids in such a way that the documents are in contact on one side with the grating associated with the adjacent lower part, and that on one side of the cover glass an edge of the outer Grid is exposed as a contact, while on the other side an edge of the base of the outer lower part is exposed as a contact.
  • a large cover glass is provided with several rows of grids and accordingly with several rows of lower parts. A very efficient production is obtained, the somewhat simpler upper part taking up a large area, while the lower parts are designed as individually manufactured elements which are of a size which is favorable for the application of the cadmium sulfide layer.
  • the solar cell shown in FIG. 1 has a prefabricated lower part 1 and a prefabricated upper part 2, which are assembled into a self-contained cell in a subsequent operation.
  • the lower part 1 has a base plate 3, which preferably consists of a substrate glass. This glass is ultrasonically cleaned in a solvent before an adhesion-promoting layer 4 is applied on one side, for which vapor-deposited chromium (Cr) is preferably used. A layer 5 of silver (Ag) is also applied to this adhesion promoter by vapor deposition. This vapor deposition of both the adhesion promoter and the silver takes place at about 400 ° C., which on the one hand leads to a release of water vapor and on the other hand leads to good crystallization of the silver layer 5, which is advantageous for the subsequent operations.
  • a base plate 3 which preferably consists of a substrate glass. This glass is ultrasonically cleaned in a solvent before an adhesion-promoting layer 4 is applied on one side, for which vapor-deposited chromium (Cr) is preferably used.
  • Cr chromium
  • a layer 5 of silver (Ag) is also applied to this adhesion promoter by vapor deposition. This
  • CdS cadmium sulfide
  • the cadmium sulfide layer 6 is roughened with an aqueous hydrochloric acid (HCl) to reduce reflection and to etch out grain boundaries.
  • a copper sulfide (Cu 2 S) layer 7 is then produced on the cadmium sulfide layer 6, which is done by a chemical reaction by briefly immersing the lower part in a monovalent copper ion solution for about 5 to 10 seconds.
  • This copper sulfide layer should have an order of magnitude of 0.2 ⁇ thickness.
  • a copper (Cu) layer 8 which has a thickness of 30 to 100 ⁇ , is also evaporated onto the copper sulfide layer 7. Subsequently, the lower part is heated at about 180 ° under atmosphere, which enables filling of vacancies by copper diffusing into the copper sulfide layer and formation of a copper oxide layer (Cu 2 O). With this operation, the manufacture of the lower part 1 is finished. As can be seen from FIG. 1, the layers 6, 7 and 8 are applied in such a way that an edge strip 9 of the base 5 made of silver remains free in FIG. 1, which can later be used as a contact.
  • the upper part 2 is also manufactured separately. It contains a cover glass 10, which is also cleaned with ultrasound in a solvent prior to further processing.
  • a first liquid heat seal adhesive 11 with a layer thickness of 120 to 150 ⁇ is placed on this cover glass 10 on one side by means of a doctor or the like. applied.
  • an adhesive from Kömmerling, Zweimaschiner Landstrasse, 6780 Pirmasens, which has the company identification AK 543, is suitable.
  • the cover glass 10 and the initially applied heat-sealing adhesive 11 are then subjected to drying in a vacuum oven at about 100 ° C. for 4 to 5 hours, so that vapors and chamfers can escape from the initially liquid heat-sealing adhesive.
  • the now finished upper part 2 is connected to the lower part 1 in a vacuum press at approx. 170 ° to 180 °, the connection being obtained by the layer 11 of the heat seal adhesive, which has a layer thickness which is somewhat larger than the thickness of the grid 12 .
  • the grid 12 lies with its gold layer 13 on the layer 8 made of copper and establishes a secure contact, while subsequently the grid 12 penetrates into the layer 11 during heating, which also has an adhesive connection between the cover glass 10 and the layer 8 manufactures.
  • the upper part 2 is applied so offset on the lower part 1 that on the left in the drawing, i.e. A strip 14 of the grid 12, which also serves as a contact, is exposed opposite the contact strip 9.
  • a solar battery can be assembled from several of the solar cells shown in FIG. 1, the contacts of the adjacent solar cells formed by the edge strips 9 and 14 then being connected to one another.
  • a common cover glass 15 can be provided for several solar cells, as shown in FIGS. 2 and 3.
  • There- . at parts 1 are used, which were produced according to the preceding description. These bases are appropriately manufactured in a certain size in which they can be manufactured economically.
  • the contacts between the individual solar cells are produced in the manner described for FIG. 1, which are only indicated schematically in FIG. 2. In this case, contact is made between the grid 12 and the layer 5 of silver serving as an electrically conductive base for those solar cells lying in a row. As can be seen in FIG.
  • FIG. 4 schematically shows a device with which a homogeneous layer of cadmium sulfide can be evaporated onto a lower part 1 of a solar cell.
  • a graphite furnace 16 is provided, which is surrounded by a graphite heating coil 17 to which a power supply 18 is connected.
  • the outside of the graphite heating coil 17 is surrounded by a radiation reflector 19.
  • a thermocouple 20 measuring the temperature for temperature control projects into the graphite furnace 16.
  • the graphite furnace is seated on an insulating ceramic ring 21.
  • the graphite furnace 16 has the shape of a cylinder, in which an upwardly open chamber 23 is divided by an annular collar 22, into which cadmium sulfide in powder form is filled.
  • the chamber 23 is closed at the top by a porous quartz frit 24, which is closely connected to the ring collar 22 is fitted outward adjoining cylindrical part.
  • the quartz frit 24 and the inner surface of the graphite furnace 16 are expediently ground.
  • the quartz frit 24 is secured in its position in a manner not shown by one or more pins.
  • the quartz frit 24 is arranged at a sufficient distance from the end of the graphite furnace 16, that is to say at about a third of the height, so that a temperature is maintained in the area of the quartz frit that is high enough to prevent the quartz frit from evaporating and becoming impermeable .
  • thermocouple 20 adjoins the graphite furnace, which sits on the ceramic ring. This approach envelops the thermocouple 20 over a sufficient length, so that it is ensured that the temperature measured by the thermocouple 20 corresponds as closely as possible to the temperature of the chamber 23.
  • a displaceable diaphragm 26 Arranged above the outlet of the graphite furnace 16 is a displaceable diaphragm 26, with which the evaporating gas from the lower part 1 of the solar cell can initially be maintained.
  • This lower part 1 rests on a support 27, which leaves a section of the size to be vaporized on the lower part 1 with cadmium sulfide.
  • a heating part 28 designed as a graphite meander is provided, which is covered by a radiation reflector 29. This heating part 28 ensures that the lower part of the solar cell maintains a temperature of approximately 200 ° C. when the cadmium sulfide is evaporated.

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Abstract

Verfahren zum Herstellen von Solarzellen, bei welchem eine vorzugsweise aus Glas bestehende Grundplatte (3) mit einer elektrisch leitenden Unterlage (5) einer Cadmiumsulfidschicht (6) und einer Kupfersulfidschicht (7) als ein vorgefertigtes Unterteil (1) hergestellt wird, das mit einem ein elektrisch leitendes Gitter (12) tragenden Deckglas (10) zu einer verkapselten Zelle zusammengefügt wird, wobei das Deckglas mit dem Gitter einen Oberteil (2) bildet. Eine derartige Solarzelle ist gebrauchsfertig und besitzt eine erhebliche mechanische Festigkeit, durch die es ermöglicht wird, mehrere derartige Solarzellen zu einer Solarbatterie zusammenzuschalten, ohne dass zusätsliche mechanische Tragelemente notwendig sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Solarzellen mit p-n-Düpnschicht-Heteroübergang aus einer auf eine elektrisch leitenden Unterlage aufgedampften Cadmiumsulfid-Schicht und einer darauf chemisch erzeugten Kupfersulfid-Schicht, mit der ein elektrisch leitendes Gitter in Kontakt steht.
  • Cadmiumsulfid-Solarzellen haben gegenüber den bekannten SiliciumEinkristall-Solarzellen einen geringeren Wirkungsgrad, jedoch den erheblichen Vorteil, daß sie sich wesentlich preiswerter herstellen lassen. Es ist bekannt, ein Halbleiterfotoelement aus einem dünnen Siliciumeinkristall mit p- und n- leitenden Zonen herzustellen, das anschließend durch Umhüllen mit einem Gießharz o.dgl. verkapselt wird. Cadmiumsulfid-Solarzellen, die zu den sogenannten Dünnschichtsolarzellen gehören, besitzen eine polykristalline Halbleiterschicht, die auf eine elektrisch leitende Unterlage, meistens einen metallischen Träger aufgedampft ist, so daß ihre Herstellung wesentlich preiswerter ist. Es ist bekannt, sie in ähnlicher Weise wie die Silicium-Solarzellen zu Zellen zu verkapseln. Der Herstellungsaufwand ist somit nur bezüglich der Herstellung der Halbleiterschichten verringert, so daß insgesamt der Herstellungsaufwand noch relativ hoch ist, insbesondere wenn mehrere Solarzellen zu Solarbatterien zusammengeschaltet werden sollen. In diesem Fall müssen nämlich noch zusätzliche Trägermaterialien vorgesehen werden, die die Kosten weiter erhöhen. Es bestehen Berechnungen, nach welchen aufgrund dieser Kosten für die Erstellung einer flächigen Solarbatterie nur dann eine sinnvolle Anwendung für eine Einspeisung in ein Versorgungsnetz möglich ist, wenn ein Wirkungsgrad von wenigstens 7 % erreicht wird. Dies liegt in der Größenordnung, der bisher von Cadmiumsulfid-Solarzellen erreichbar ist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen von Cadmiumsulfid-Solarzellen zu schaffen, das eine preiswerte Herstellung einer fertig verkapselten Solarzelle ermöglicht, die einen günstigen Wirkungsgrad besitzt. Die Erfindung besteht darin, daß die Cadmiumsulfid-Schicht und die Kupfersulfid- Schicht auf einem als Unterteil dienenden Bauteil aufgebracht werden, der anschließend mit einem aus einem vorher mit einem Haftmittel und dem leitenden Gitter versehenen Deckglas gebildeten Oberteil zu einer in sich geschlossenen, verkapselten Zelle zusammengefügt wird.
  • Durch dieses Verfahren lassen sich die sogenannten Flächenkosten bei der Herstellung von Solarzellen wesentlich reduzieren, da in den meisten Fällen das Deckglas schon ausreicht, um eine ausreichende mechanische Festigkeit zu gewährleisten. Die Verwendung des Deckglases hat außerdem den Vorteil, daß der UV-Anteil des einfallenden Lichtes von dem Deckglas herausgefiltert wird, so daß Schädigungen des Haftmittels auch bei längerer Gebrauchsdauer nicht zu befürchten sind.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgesehen, daß das Unterteil eine Glasplatte enthält, auf der vorzugsweise unter Verwendung eines Haftvermittlers eine Unterlage aus Silber oder Zink aufgebracht wird, auf die die Cadmiumsulfid-Schicht aufgedampft wird. Die Verwendung einer Glasplatte in dem Unterteil hat den Vorteil, daß nicht nur die mechanische Festigkeit erhöit wird, sondern daß auch gleichmäßige Wärmeausdehnungen der gesamten Zelle gewährleistet sind, so daß ein Zerstören oder Beschädigen durch Wärmespannungen nicht zu erwarten ist, auch wenn die insbesondere für die terestrische Anwendung bestimmte Solarzelle in Gebieten aufgestellt wird, in denen beispielsweise sehr große Unterschiede zwischen den Tages- und Nachttemperaturen auftreten. Als Haftvermittler kann beispielsweise eine dünne aufgedampfte Schicht aus Chrom oder Titan dienen.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird vorgesehen, daß die Unterlage aus Silber oder Zink bei etwa 400°C aufgedampft wird. Dies führt zu dem Vorteil, daß einerseits vorhandener Wasserdanpf austreten kann, während andererseits die vorzugsweise aus Silber erstellte Unterlage besser auskristallisiert, was zu einer besseren kristallinen Struktur der als nächstes aufgebrachten Cadmiumsulfid-Schicht führt.
  • Um eine möglichst homogene Cadmiumsulfid-Schicht su erhalten, wird in besonders vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, daß die Cadmiumsulfid-Schicht durch eine Quarzfritte hindurch auf die Unterlage aufgedampft wird. Dies führt gegenäber den bekannten Verfahren, die Cadmiumsulfid durch eine Quarolle o.dgl. hindurch aufgedampften, zu einer wesentlichen Verbessonung der Homogenität. Dieses Aufdampfen von Cadmiumsulfid durch eine Quarzfritte hindurch eignet sich auch für die Erstellung von auf andere Weise aufgebauten Solarzellen.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgesehen,daß die Cadmiumsulfid-Schicht vorzugsweise durch Ätzen vor dem Erzeugen der Kupfersulfid-Schicht aufgerauht wird. Dadurch wird einerseits eine sich ggf. schädlich auswirkende Reflexion vermindert, während andererseits Korngrenzen ausgeätzt werden.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird auf.die Schicht auf Kupfersulfid eine Kupferschicht aufgedampft, wonach das Unterteil auf ca. 180°C aufgeheizt wird. Dieses noch nachträglich aufgedampfte Kupfer führt dazu, daß durch Diffusion evtl. vorhandene Leerstellen in dem Kupfersulfid aufgefüllt werden können. Wenn dies bei Atmosphärenbedingungen erfolgt, bildet sich an der Oberfläche eine dünne Schicht Kupferoxydul (Cu2O) aus. Dies bewirkt, daß sich an der Oberfläche ein elektronenreflektierendes Potential ausbildet. Dadurch wird die Oberflächenrekombination der Minoritätsträger (Elektronen) im Kupfersulfid verringert.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgesehen, daß auf das Deckglas des Oberteils ein Heißsiegelkleber aufgetragen wird, an dem zunächst eine Kupferfolie gehalten wird, aus der anschließend ein Gitter herausgeätzt wird, wonach Oberteil und Unterteil unter Vakuum mittels des Heißsiegelklebers des Oberteils heiß versiegelt werden. Der Heißsiegelkleber hat somit zunächst die Funktion, die Kupferfolie an dem Oberteil zu halten und anschließend die Verbindung zu dem Unterteil herzustellen.
  • In vorteilhafter Weise wird vorgesehen, daß der Heißsiegelkleber flüssig aufgetragen und anschließend im Vakuum und ggf. danach in Atmosphäre getrocknet wird. Durch das erste Trocknen unter Vakuum wird unter Abführen aller evtl. die elektrischen Eigenschaften der Solarzelle störenden Gase und Dämpfe eine Klebe- schicht erzeugt, die anschließend ein Heißsiegelkleben ermöglicht und deren Dicke etwas stärker als die Dicke des Gitters ist.
  • Die ggf. durchzuführende anschließende Trocknung unter atmosphärischen Bedingungen führt zu einer in einigen Fällen zweckmäßigen Oxidation der Heißsiegelklebeschicht.
  • In zweckmäßiger Ausgestaltung wird vorgesehen, daß vor dem Zusammenfügen von Oberteil und Unterteil auf das Gitter zum Erzielen eines sperrschichtfreien Kontakts eine dünne Goldschicht galvanisch aufgetragen wird.
  • Durch das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich eine Solarzelle erstellen, bei welcher eine Grundplatte, die vorzugsweise aus Glas besteht, mit einer elektrisch leitenden Unterlage, einer Cadmiumsulfid-Schicht und einer Kupfersulfid-Schicht ein vorgefertigtes Unterteil bildet, das mit einem ein elektrisch leitendes Gitter tragenden und ein Oberteil bildenden Deckglas zu einer verkapselten Zelle zusammengefügt ist. Eine derartige Solarzelle ist gebrauchsfertig und besitzt eine erhebliche mechanische Festigkeit, die es erlaubt, eine derartige Solarzelle ohne weiteres mit anderen insbesondere bei terrestrischen Anwendung zu einer Solarbatterie zusammenzuschalten, ohne daß aufwendige zusätzliche mechanische Tragelemente vorgesehen werden müssen.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind das Deckglas mit dem Gitter und die Grundplatte mit der Unterlage derart seitlich zueinander versetzt, daß auf der einen Seite ein von der Unterlage und auf der anderen Seite ein von dem Gitter gebildeter Kontakt freiliegen. Eine derartige Solarzelle ist sehr einfach mit weiteren Solarzellen zu verschalten, da die notwendigen Kontakte geschaffen und frei zugänglich sind.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist als Oberteil ein großflächiges Deckglas mit mehreren in einer Reihe angeordneten elektrisch leitenden Gittern vorgesehen, denen jeweils ein Unter- teil zugeordnet ist, die derart versetzt zu den Gittern angeordnet sind, daß die Unterlagen einseitig mit dem dem benachbarten Unterteil zugeordneten Gitter in Kontakt stehen, und daß an der einen Seite des Deckglases ein Rand des äußeren Gitters als Kontakt frei liegt, während auf der anderen Seite ein Rand der Unterlage des äußeren Unterteils als Kontakt freiliegt. Dadurch läßt sich in einfacher Weise eine fertig verschaltete Solarbatterie schaffen, bei der als Tragelement für mehrere Solarzellen ein einteiliges Deckglas dient. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen werden, daß ein großflächiges Deckglas mit mehreren Reihen von Gittern und entsprechend mit mehreren Reihen von Unterteilen versehen ist. Dabei wird eine sehr rationelle Fertigung erhalten, wobei das etwas einfacher aufgebaute Oberteil eine große Fläche einnimmt, während die Unterteile als einzeln hergestellte Elemente ausgeführt sind, die eine für die Aufbringung der Cadmiumsulfid-Schicht günstige Größe besitzen.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsformen.
    • Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten erfindungsgemäßen Solarzelle, bei welcher Unterteil und Oberteil noch gegetrennt sind,
    • Fig. 2 eine Seitenansicht einer aus mehreren Zellen und einem einteiligen Deckglas gebildeten Solarbatterie,
    • Fig. 3 eine Ansicht der Solarbatterie der Fig. 2 in Richtung des Pfeiles III und
    • Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Einrichtung zum Aufdampfen einer Cadmiunsulfid-Schicht.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Solarzelle besitzt einen vorgefertigten Unterteil 1 und einen vorgefertigten Oberteil 2, die in einem anschließenden Arbeitsgang zu einer in sich gekapselten Zelle zusammengefügt werden.
  • Der Unterteil 1 besitzt eine Grundplatte 3, die vorzugsweise aus einem Substratglas besteht. Dieses Glas wird in einem Lösungsmittel mit Ultraschall gereinigt, bevor eine Haftvermittlungsschicht 4 einseitig aufgetragen wird, für die bevorzugt aufgedampftes Chrom (Cr) verwendet wird. Auf diesen Haftvermittler wird eine Schicht 5 aus Silber (Ag) ebenfalls durch Aufdampfen aufgetragen. Dieses Aufdampfen sowohl des Haftvermittlers als auch des Silbers erfolgt bei etwa 400°C, was einerseits zu einem Herauslösen von Wasserdanpf und andererseits zu einer guten Auskristallisierung der Silberschicht 5 führt, was für die nachfolgenden Arbeitsgänge von Vorteil ist.
  • Auf die Schicht 5 aus Silber wird eine Schicht aus Cadmiumsulfid (CdS) von ca. 30 µ aufgedampft. Dieses Aufdampfen erfolgt in der in Fig. 4 dargestellten Vorrichtung, die später noch erläutert werden wird. Dabei wird der soweit vorgefertigte Unterteil 1 auf einer Temperatur von 200° gehalten.
  • Als nächstes wird die Cadmiusisulfid-Schicht 6 zur Verringerung von Reflexion und zum Herausätzen von Korngrenzen mit Hilfe einer wässrigen Salzsäure (HCl) aufgerauht. Auf der Cadmiumsulfid-Schicht 6 wird anschließend eine Kupfersulfid (Cu2S)-Schicht 7 erzeugt, was durch eine chemische Reaktion geschieht, indem der Unterteil kurzzeitig für ca 5 bis 10 Sekunden in eine einwertige Kupfer-Ionenlösung eingetaucht wird. Diese Kupfersulfid-Schicht soll eine Größenordnung von 0,2 µ Dicke besitzen.
  • Auf die Kupfersulfid-Schicht 7 wird noch eine Kupfer (Cu)-Schicht 8 aufgedampft, die eine Dicke von 30 bis 100 Å besitzt. Anschließend wird der Unterteil bei ca. 180° unter Atmosphäre aufgeheizt, wodurch ein Auffüllen von Leerstellen durch eindiffundierendes Kupfer in die Kupfersulfid-Schicht und eine Ausbildung einer Kupferoxydulschicht (Cu20) ermöglicht werden. Mit diesem Arbeitsgang ist die Herstellung des Unterteils 1 beendet. Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, sind die Schichten 6, 7 und 8 derart aufgetragen, daß in Fig. 1 rechts ein Randstreifen 9 der Unterlage 5 aus Silber freibleibt, die später als Kontakt ausgenutzt werden kann.
  • Der Oberteil 2 wird ebenfalls getrennt hergestellt. Er enthält ein Deckglas 10, das ebenfalls vor der Weiterbearbeitung mit Ultraschall in einem LösunGsmittel gereinigt wird. Auf dieses Deckglas 10 wird einseitig ein zunächst flüssiger Heißsiegelkleber 11 mit einer Schichtdicke von 120 bis 150 µ mittels eines Rakel o.dgl. aufgetragen. In der Praxis hat sich hier ein Kleber der Firma Kömmerling, Zweibrücker Landstrasse, 6780 Pirmasens, geeignet, der die Betriebskennzeichnung AK 543 trägt. Das Deckglas 10 und der zunächst flüssig aufgetragene Heißsiegelkleber 11 werden in einem Vakuumofen anschließend bei etwa 100°C für 4 bis 5 Stunden einer Trocknung unterzogen, so daß Dämpfe und Fase aus dem zunächst flüssigen Heißsiegelkleber entweichen könnon. Es hat sich gezeigt, daß eine anschließende Trocknung bei einer ebenfalls erhöhten Temperatur in der Atmosphäre zu Vorteilen führen kann, wobei wahrscheinlich eine Oxidation des Heißsiegelklebers 11 erfolgt. Bei diesem Trocknungsvorgang reduziert der Heißsiegelkleber seine Dicke auf etwa 25 % der ursprünglich 120 bis 150µ betragenden Auftragsdicke. Mit Hilfe des Heißsiegelklebers 11 wird auf dem Deckglas 10 anschließend eine Kupferfolie von einer Dicke von ca.35 µ bei etwa 170°bis 180° aufgesiegelt. Aus dieser Kupferfolie wird anschließend das in Fig. 1 dargestellte Gitter 12 herausgeätzt, wobei die bei der Herstellung von Leiterplatten bekannte Technik angewendet wird. Es wird zunächst ein Lackgitter im Siebdruckverfahren aufgetragen, das dem nachher stehenbleibenden Gitter 12 entspricht. Nachdem das Gitter 12 erstellt und der Lack wieder entfernt wurde, wird galvanisch auf das Gitter eine Schicht 13 aus Gold aufgetragen, um einen sperrschichtfreien Kontakt zu ermöglichen. Die Schichtstärke beträgt etwa 100 bis 1000 Å, vorzugsweise 250 Å.
  • Der nunmehr fertige Oberteil 2 wird mit dem Unterteil 1 in einer Vakuumpresse bei ca. 170° bis 180° verbunden, wobei die Verbindung durch die Schicht 11 des Heißsiegelklebers erhalten wird, die eine Schichtdicke aufweist, die etwas größer als die Dicke des Gitters 12 ist. Das Gitter 12 legt sich mit seiner Goldschicht 13 an die Schicht 8 aus Kupfer an und stellt einen sicheren Kontakt her, während anschließend bei dem Aufheizen das Gitter 12 in die Schicht 11 eindringt, die außerdem noch eine haftende Verbindung zwischen dem Deckglas 10 und der Schicht 8 herstellt. Der Oberteil 2 wird dabei derart versetzt auf dem Unterteil 1 aufgebracht, das in der Zeichnung links, d.h. dem Kontaktstreifen 9 gegenüberliegend ein Streifen 14 des Gitters 12 freiliegt, der ebenfalls als Kontakt dient. Nach diesem Zusammenfügen von Oberteil und Unterteil liegt eine feste in sich geschlossene Zelle vor, die keiner weiteren Behandlung oder Verstärkung bedarf. Gegebenenfalls ist es zweckmäßig, die quer zu den Kontaktstreifen 9 und 14 verlaufenden Ränder abzudichten, was beispielsweise durch Verkleben, Verschweißen oder Verlöten der Deckplatte 10 und der Grundplatte 3 erfolgen kann.
  • Aus mehreren der in Fig. 1 dargestellten Solarzellen läßt sich eine Solarbatterie zusammensetzen, wobei dann die von den Randstreifen 9 und 14 gebildeten Kontakte der benachbaren Solarzellen miteinander ve-rbunden werden.
  • Um bei der Erstellung einer Solarbatterie zusätzliche Trägerelemente einzusparen, kann für mehrere Solarzellen ein gemeinsames Deckglas 15 vorgesehen werden, wie dies in Fig. 2 und 3 dargestellt ist. Da- . bei werden Unterteile 1 verwendet, die entsprechend der vorausgegangenen Beschreibung hergestellt wurden. Diese Unterteile werden zweckmäßig in einer bestimmten Größe hergestellt, in der sie sich wirtschaftlich fertigen lassen. Dagegen bereitet es keine größeren Schwierigkeiten, das gemeinsame Deckglas 15 großflächig herzustellen und mit einer Vielzahl von Gittern 12 in der vorstehend beschriebenen Weise zu versehen. Die Kontakte zwischen den einzelnen Solarzellen werden entsprechend der zur Fig. 1 beschriebenen Weise hergestellt, die in Fig. 2 nur schematisch angedeutet sind. Dabei wird jeweils bei denen in einer Reihe liegenden Solarzellen ein Kontakt des Gitters 12 mit der als elektrisch leitenden Unterlage dienenden Schicht 5 aus Silber hergestellt. Wie in Fig. 3 zu'sehen ist, können selbstverständlich mehrere Reihen derartiger Zellen an dem gemeinsamen Deckglas befestigt wer-den. Die Befestigung erfolgt dann durch die Schicht 11 des Heißsiegelklebers in einem einzigen Arbeitsgang. In der Praxis ist es zweckmäßig, die Stirnseiten zwischen den Kontakten 14 und 9 sowie die Fugen zwischen den einzelnen Zellen abzudichten, was durch Vergießen mit einem Kleber o.dgl. zweckmäßig erfolgen kann. Ebenso ist ein Verlöten oder Verschweißen der Glasplatten möglich.
  • In Fig. 4 ist schematisch eine Vorrichtung dargestellt, mit welcher eine homogene Schicht Cadmiumsulfid auf ein Unterteil 1 einer Solarzelle aufgedampft werden kann. Hierzu ist ein Graphitofen 16 vorgesehen, der von einer Graphitheizwendel 17 umgeben wird, an die eine Stromzuführung 18 angeschlossen ist. Außen wird die Graphitheizwendel 17 von einem Strahlungsreflektor 19 umschlossen. In den Graphitofen 16 ragt ein die Temperatur für eine Temperaturregelung messendes Thermoelement 20 hinein. Der Graphitofen sitzt auf einem isolierenden Keramikring 21. Der Graphitofen 16 besitzt die Gestalt eines Zylinders, in welchem durch einen Ringbund 22 eine nach oben offene Kammer 23 abgeteilt ist, in die Cadmiumsulfid in pulverförmigem Zustand eingefüllt wird. Die Kammer 23 wird nach oben von einer porösen Quarzfritte 24 verschlossen, die eng in den an den Ringbund 22 nach außen anschließenden zylindrischen Teil eingepaßt ist. Hierzu werden zweckmäßigerweise die Quarzfritte 24 und die Innenfläche des Graphitofens 16 geschliffen. Um ein einwandfreies Bearbeiten zu ermöglichen, ist es zweckmäßig, die Quarzfritte 24 in ein Quarzglasröhrchen einzuschmelzen, das dann außen geschliffen wird. Die Quarzfritte 24 wird in nicht näher dargestellter Weise durch einen oder mehrere Stifte in ihrer Lage gesichert. Die Quarzfritte 24 wird in einem ausreichenden Abstand zu dem Ende des Graphitofens 16 angeordnet, d.h. in etwa auf ein Drittel der Höhe, damit im Bereich der Quarzfritte eine so hohe Temperatur aufrechterhalten wird, daß ein Zudampfen und danit Undurchlässigwerden der Quarzfritte mit Sicherheit vermieden werden kann. An den Graphitofen schließt nach unten ein zylindrischer Ansatz 25 an, der auf dem Keramikring aufsitzt. Dieser Ansatz umhüllt das Thermoelement 20 über eine ausreichende Länge, so daß dadurch sichergestellt wird, daß die von dem Thermoelement 20 gemessene Temperatur möglichst genau der Temperatur der Kammer 23 entspricht.
  • Über dem Auslaß des Graphitofens 16 ist eine verschiebbare Blende 26 angeordnet, mit der zunächst das ausdampfende Gas von dem Unterteil 1 der Solarzelle eingehalten werden kann. Dieser Unterteil 1 liegt auf einer Auflage 27 auf, die einen Ausschnitt von der Größe freiläßt, die auf dem Unterteil 1 mit Cadmiumsulfid zu bedampfen ist. Auf der gegenüberliegenden Seite ist ein als Graphitmäander ausgebildetes Heizteil 28 vorgesehen, das von einem Strahlungsreflektor 29 abgedeckt wird. Mit diesem Heizteil 28 wird sichergestellt, daß der Unterteil der Solarzelle bei dem Aufdampfen des Cadmiumsulfides eine Temperatur von ca. 200°C einhält.

Claims (14)

1. Verfahren zum Herstellen von Solarzellen mit p-n-Dünnschicht-Heteroübergang aus einer auf eine elektrisch leitenden Unterlage aufgedampften Cadmiumsulfid-Schicht und einer darauf chemisch erzeugten Kupfersulfid-Schicht, mit der ein elektrisch leitendes Gitter in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, daß die _Cadmiumsulfid-Schicht (6) und die Kupfersulfid- Schicht (7) auf einem als Unterteil (1) dienenden Bauteil (3) aufgebracht werden, der anschließend mit einem aus einem vorher mit einem Haftmittel (11) und dem leitenden Gitter (12) versehenen Deckglas (10) gebildeten Oberteil zu einer in sich geschlossenen, verkapselten Zelle zusammengefügt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterteil (1) eine Glasplatte (3) enthält, auf der vorzugsweise unter Verwendung eines Haftvermittlers (4) eine Unterlage (5) aus Silber oder Zink aufgebracht wird, auf die die Cadmzumsulfid-Schicht (6) aufgedampft wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (5) aus Silber oder Zink bei etwa 400°C aufgedampft wird.
4. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Cadmiumsulfid-Schicht (6) durch eine Quarzfritte (24) hindurch auf die Unterlage (5) aufgedampft wird.
5. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Cadmiumsulfid-Sebicht (6) vorzugsweise durch Ätzen vor dem Erzeugen der Kupfersulfid-Schicht (7) aufgerauht wird.
6. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Schicht (7) aus Kupfersulfid eine Kupferschicht (8) aufgedampft wird, wonach das Unterteil (1) auf ca. 180°C aufgeheizt wird.
7. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Deckglas (10) des Oberteils (2) ein Heißsiegelkleber (11) aufgetragen wird, an dem zunächst eine Kupferfolie gehalten wird, aus der anschließend ein Gitter (12) herausgeätzt wird, wonach Oberteil (2) und Unterteil (1) unter Vakuum mittels des Heißsiegelklebers (11) des Oberteils (2) heißversiegelt und verpreßt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Heißsiegelkleber (11) flüssig aufgetragen und anschließend in Vakuum und ggf. canach in Atmosphäre getrocknet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Zusammenfügen von Oberteil (2) und Unterteil (1) auf das Gitter (12) zum Erzielen eines sperrscbichtfreien Kontakts eine dünne Goldschicht (13) galvanisch aufgetragen wird.
10. Solarzelle nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Grundplatte (3), die vorzugsweise aus Glas besteht, mit einer elektrisch leitenden Unterlage (5), einer Cadmiumsulfid-Schicht (6) und einer Kupfersulfid-Schicht (7) einen vorgefertigten Unterteil bildet, der mit einem ein elektrisch leitendes Gitter (12) tragenden und ein Oberteil (2) bildenden Deckglas (10) zu einer verkapselten Zelle zusammengefügt ist.
11. Solarzelle nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Deckglas (10) mit dem Gitter (12) und die Grundplatte (3) mit der Unterlage (5) derart seitlich zueinander versetzt sind, daß auf der einen Seite ein von der Unterlage (5) und auf der anderen Seite ein von dem Gitter (12) gebildeter Kontakt (9, 14) freiliegen.
12. Solarzelle nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Oberteil ein großflächiges Deckglas (15) mit mehreren in einer Reihe angeordneten elektrisch leitenden Gittern vorgesehen ist, denen jeweils ein Unterteil (1) zugeordnet ist, die derart versetzt zu den Gittern angeordnet sind, daß die Unterlagen (5) einseitig mit dem dem benachbarten Unterteil zugeordneten Gitter in Kontakt stehen und daß an der einen Seite des Deckglases ein Rand des äußeren Gitters als Kontakt freiliegt, während auf der anderen Seite ein Rand der Unterlage (5) des äußeren Unterteils (1) als Kontakt freiliegt.
13. Solarzelle nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein großflächiges Deckglas (15) mit mehreren Reihen von Gittern und entsprechend mit mehreren Reihen von Unterteilen (1) versehen ist.
14. Solarzelle nach wenigstens einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht im Bereich der freiliegenden Kontakte (9, 14) befindlichen Ränder des Deckglases (10, 15) und der Grundplatte (3) dichtend miteinander verbunden sind.
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