DK171096B1 - Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission samt fremgangsmåde til fremstilling heraf - Google Patents

Description

DK 171096 Bl

Den foreliggende opfindelse angår en artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission.

I US-patentskrift nr. 4.094.763 beskrives fremstilling af transparente, elektrisk ledende artikler ved katodefor-5 støvning af metaller, såsom tin og indium, på modstandsdygtige underlag, såsom glas, ved en temperatur over 204°C i en atmosfære med lavt tryk indeholdende en kontrolleret mængde oxygen.

I US-patentskrift nr. 4.113.599 beskrives en katode-10 forstøvningsmetode til reaktiv afsætning af indiumoxid, hvorved strømningshastigheden af oxygen indstilles således, at der holdes en konstant afladningsstrøm, medens strømningshastigheden af argon indstilles således, at der holdes et konstant tryk i katodeforstøvningskammeret.

15 I US-patentskrift nr. 4.166.018 beskrives et katode forstøvningsapparatur, hvori et magnetisk felt dannes op til en plan katodeforstøvningsoverflade, idet feltet omfatter buede flux-linier over en lukket-sløjfe-erosionsregion på katodeforstøvningsoverfladen.

20 I US-patentskrift nr. 4.201.649 beskrives en frem gangsmåde til fremstilling af indiumoxid-tyndfilm med lav specifik modstand, hvorved der først afsættes et meget tyndt grunderingslag af indiumoxid ved lav temperatur, før underlaget opvarmes til afsætning af resten af det ledende lag 25 af indiumoxid ved katodeforstøvning ved typisk høje katodeforstøvningstemperaturer .

I US-patentskrift nr. 4.327.967 beskrives et varme-reflekterende panel, som udvendigt fremtræder med neutral farve, og som omfatter en glasrude, en interferensfilm med 30 et brydningsindeks større end 2 på glasoverfladen, en varme-reflekterende guldfilm over interferensfilmen og en neutralisationsfilm af chrom, jern, nikkel, titan eller legeringer deraf over guldfilmen.

I US-patentskrift nr. 4.349.425 beskrives d-c-reaktiv 35 katodeforstøvning af cadmium/tin-legeringer i argon/oxygen--blandinger til dannelse af cadmium-tin-oxidfilm med lav DK 171096 B1 2 specifik elektrisk modstand og høj optisk transparens.

I US-patentskrift nr. 4.462.883 beskrives et overtræk med lav emission fremstillet med katodeforstøvning af ' et lag af sølv, en lille mængde af et andet metal end sølv og 5 et antirefleksionslag af metaloxid på et transparent underlag, såsom glas. Antirefleksionslaget kan være tinoxid, titanoxid, zinkoxid, indiumoxid, bismuthoxid eller zirconium-oxid.

I US Reissue nr. 27.473 beskrives en flerlags trans-10 parent artikel omfattende et tyndt lag af guld eller kobber indlejret mellem to lag af transparent materiale, såsom forskellige metaller, titanoxid, blyoxid eller bismuthoxid.

For at forbedre energieffektiviteten af dobbeltrude--vinduesenheder er det ønskeligt at tilvejebringe et overtræk 15 på en af glasoverfladerne, der forøger isolationsevnen af enheden ved at nedsætte strålevarmeoverføringen. Overtrækket skal derfor have lav emission i det infrarøde bølgelængdeområde af strålingsspektret. Af praktiske grunde skal overtrækket have en høj transmission i det synlige bølgelængde-20 område. Af æstetiske grunde bør overtrækket have en lav lysrefleksion og fortrinsvis være i det væsentlige farveløst.

Overtræk med høj transmission og lav emission som beskrevet ovenfor omfatter generelt et tyndt metallag, til infrarød refleksion og lav emission, der er indlejret mellem 25 dielektriske lag af metaloxider til nedsættelse af den synlige refleksion. Disse flerlagsfilm fremstilles typisk ved katodeforstøvning, især ved magnetron-katodeforstøvning. Metallaget kan være guld eller kobber, men er i almindelighed sølv. Metaloxidlagene beskrevet i den kendte teknik omfatter 30 tinoxid, indiumoxid, titanoxid, bitmuthoxid, zinkoxid, zir-coniumoxid og blyoxid. I nogle tilfælde indeholder disse oxider små mængder af andre metaller, såsom mangan i bismuthoxid, indium i tinoxid og omvendt for at overvinde visse ulemper, såsom ringe holdbarhed eller marginal emission.

35 Imidlertid har alle disse metaloxider visse ulemper.

Selv om overtrækket kan bibeholdes på en indre over- DK 171096 B1 3 flade af en dobbeltrudet vinduesenhed, hvor det er beskyttet mod elementerne og miljøet, som vil forårsage nedbrydning af overtrækket, er et holdbart effektivt overtræk, som ef- i stand til at modstå håndtering, emballering, vaskning og 5 andre fabrikationsprocesser, som forekommer mellem fremstilling og installation, særlig ønskeligt. Disse egenskaber søges i metaloxidet. Imidlertid bør metaloxidet ud over hårdhed, som giver mekanisk holdbarhed, indifferens, som giver kemisk holdbarhed, og god vedhæftning til både glasset 10 og metallaget, også have følgende egenskaber.

Metaloxidet skal have et rimeligt højt brydnings-indeks, fortrinsvis større end 2,0, for at nedsætte refleksionen af metallaget og således forøge transmissionen af det overtrukne produkt. Metaloxidet skal også have minimal 15 absorption til maksimering af transmissionen af det overtrukne produkt. Af kommercielle grunde bør metaloxidet have en rimelig pris, have en relativ hurtig afsætningshastighed ved magnetron-katodeforstøvning og være ugiftigt.

De måske mest vigtige og mest vanskeligt opfyldte 20 krav til metaloxidfilmen vedrører dens vekselvirkning med metalfilmen. Metaloxidfilmen skal have lav porøsitet for at beskytte den underliggende metalfilm mod ydre angreb og lav diffusion af metallet, således at de separate lag bibeholdes i deres helhed. Endelig, og frem for alt, skal metaloxidet 25 danne en god kimdannelsesoverflade til afsætning af metallaget, således at en kontinuerlig metalfilm kan afsættes med minimal specifik modstand og maksimal transmission. Karakteristikaene for kontinuerlige og diskontinuerlige sølvfilm er beskrevet i US-patentskrift nr. 4.462.884.

30 Blandt de generelt anvendte metaloxidfilm har zinkoxid og bismuthoxid utilstrækkelig holdbarhed, idet de er opløselige i både sure og alkaliske midler, nedbrydes af fingeraftryk og ødelægges ved salt-, svovldioxid- og fugtighedstests. Indiumoxid, fortrinsvis doteret med tin, er mere holdbart.

35 Imidlertid afsættes indium langsomt ved katodeforstøvning og er relativt kostbart. Tinoxid, som kan være doteret med DK 171096 B1 4 indium eller antimon, er også mere holdbart, men giver ikke en egnet overflade til kimdannelse af sølvfilmen, hvilket medfører høj specifik modstand og lav transmission. Karak-teristikaene af en metaloxidfilm, der vil medføre passende 5 kimdannelse af en derefter afsat sølvfilm, er ikke blevet fastlagt. Imidlertid er forsøg-fej1-metoden blevet praktiseret i vidt omfang med de ovenfor beskrevne metaloxider.

I US-patentskrift nr. 4.610.771 beskrives en hidtil ukendt filmsammensætning af et oxid af en metallegering 10 samt en hidtil ukendt flerlagsfilm af metal- og metallege-ringsoxidlag til anvendelse som overtræk med høj transmission og lav emission.

EP patentansøgning nr. 226 993 vedrører holdbare katodeforstøvningsafsatte film af legeringsoxider på et 15 ikke-metallisk underlag, omfattende 1) en første transparent antireflektiv film omfattende et metaloxid, såsom zinkoxid og tinoxid, 2) en transparent film af et IR-reflekterende metal, såsom kobber, og 3) en anden transparent antireflektiv film omfattende et metaloxid, såsom zinkoxid og tinoxid.

20 Desuden er der anordnet grunderlag, f.eks. af metallisk kobber, mellem lagene 1) og 2) samt mellem 2) og 3).

EP patentansøgning nr. 104 870 beskriver i eksempel 3 et flerlags overtræk på glas, omfattende lag af 1) tinoxid, 2) zinkoxid katodeforstøvet derpå, 3) sølv som IR-reflek-25 terende metal, og efterfulgt af 4) et kobberlag, hvorpå der er afsat 5) et lag af zinkoxid og tinoxid.

Flere af metal- og metaloxidlagene beskrevet i de ovennævnte dokumenter findes i genstanden ifølge den foreliggende opfindelse. Der opnås imidlertid overraskende en 30 genstand med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission ved udvælgelse af bestemte lag i en bestemt rækkefølge, således som det vil blive beskrevet nærmere nedenfor.

Opfindelsen angår en artikel med visuelt neutral 35 refleksion, høj transmission og lav emission og af den art, hvor et transparent ikke-metallisk underlag er overtrukket DK 171096 B1 5 med en transparent infrarødtreflekterende metallisk film mellem antireflektive metaloxidfilm, hvilken artikel er ejendommelig ved, at den omfatter: a) et transparent ikke-metallisk underlag, 5 b) en første transparent antireflektiv metaloxidfilm, der har et brydningsindeks på ca. 2,0, afsat på overfladen af underlaget, c) en titanoxid- eller zirconiumoxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å, afsat på den antireflektive metal- 10 oxidfilm, d) en transparent infrarødt-reflekterende metallisk film afsat på titanoxid- eller zirconiumoxidlaget, e) en film af titan eller titanoxid afsat på den infra-rødt-reflekterende metalfilm, og 15 f) en anden transparent antireflektiv metaloxidfilm afsat på titan- eller titanoxidfilmen.

Opfindelsen angår endvidere en fremgangsmåde til afsætning af en visuelt neutral film med høj transmission og lav emission på et transparent ikke-metallisk underlag 20 (a) ved katodeforstøvning, hvilken fremgangsmåde er ejendom melig ved, at den omfatter følgende trin: b) katodeforstøvning af en transparent antireflektiv metaloxidfilm med et brydnings indeks på ca. 2,0 på en overflade af et transparent ikke-metallisk under- 25 lag (a), c) katodeforstøvning af en titanoxid- eller zirconium-oxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å over den antireflektive metaloxidfilm b), d) katodeforstøvning af en transparent, infrarødt-reflek- 3 0 terende metalfilm over titanoxid- eller zirconiumoxid- filmen c), e) katodeforstøvning af en titan- eller titanoxidfilm over den transparente infrarødt-reflekterende metalfilm d) , og 35 f) katodeforstøvning af en anden transparent antireflek- tiv metaloxidfilm over titan- eller titanoxidfilmen DK 171096 B1 6 e) .

Ifølge den foreliggende opfindelse forbedres holdbarheden af metallegeringsoxidfiltn, især flerlagsfilm omfattende metallegeringsoxider og metaller som sølv, ved tilvejebrin-5 gelse af et titanoxidlag eller zirconiumoxidlag, der forbedrer vedhæftningen mellem metal- og metaloxidlagene og også giver en overtrukket artikel, som visuelt er neutral.

Da titanoxidfilmen i artiklen ifølge den foreliggende opfindelse er tykkere end konventionelle grunderingslag, kan det 10 være fordelagtigt at afsætte et lidt tyndere, underliggende antireflektivt metaloxidlag.

Tegningen viser et chromaticitetsdiagram som illustrerer chromaticitetskoordinaterne af en film i artiklen ifølge den foreliggende opfindelse og en film ifølge kendt 15 teknik som beskrevet i den foreliggende beskrivelse.

I et trelags overtræk af induceret transmissions--type, hvori et lag af sølv, kobber eller guld er antire-fleksionsbehandlet med to transparente oxidovertræk, kan mere sølv inkorporeres uden ændring af farven eller reflek-20 sionen af overtrækket ved anvendelse af oxidovertræk med et højere brydningsindeks. Uheldigvis har de fleste oxider, som afsættes hurtigt ved katodeforstøvning, såsom oxider af tin, indium og zink, brydningsindekser på ca. 2,0. Transparente oxider med højere brydningsindeks, såsom titanoxid 25 eller zirconiumoxid, afsættes for langsomt ved katodeforstøvning til at være kommercielt praktiske.

Det har imidlertid vist sig, at relativt små mængder af f.eks. titanoxid kan være anvendelige til tilvejebringelse af den ønskede effekt af højt brydningsindeks, hvis det 30 inkorporeres i den optimale placering i filmsekvensen, nærmere bestemt mellem det første afsatte antireflektive metaloxidlag og det infrarødt reflektive metal, såsom sølv. Afsætning af titanoxid i andre positioner i overtrækningssekvensen er relativt ineffektivt. For at forhindre uønskede 35 farveændringer i flerlagsovertrækket er det sædvanligvis nødvendigt at fjerne optisk tykkelse fra det tilstødende DK 171096 B1 7 oxidlag, dvs. at gøre det underliggende antireflektive metaloxidlag lidt tyndere. Opfindelsen forklares nærmere med henvisning til tegningen.

Farven af et overtræk på chromaticitetsdiagrammet 5 bevæger sig fra punktet x = 0,283, y = 0,303 til punktet x = 0,295, y = 0,295, når sølvlågets tykkelse stiger fra 95 til 110 Å. En ændring af tykkelsen af oxidlagene flytter farven i retninger omtrent vinkelret på denne retning. Der kan således kun ved anvendelse af et tyndt sølvlag bibeholdes 10 de ideelle optiske egenskaber med hensyn til farve og refleksion af 95 Å-filmen. Imidlertid indebærer et tyndt sølvlag sædvanligvis ringere egenskaber af overtrækket, såsom elektrisk ledningsevne, nedsat solvarmerefleksion eller nedsat refleksion af infrarødt lys.

15 Ved inkorporering af 50 til 100 Å titanoxid ifølge den foreliggende opfindelse flyttes chromaticitetskoordina-terne af filmen indeholdende 110 Å sølv fra punktet x = 0,294, y = 0,295 tilbage til punktet x = 0,284, y = 0,301. Det første antireflektive metaloxidlag i dette tilfælde 20 nedsættes i tykkelse fra 380 til 320 Å for at kompensere for den optiske tykkelse af titanoxidet.

En foretrukken antireflektiv metaloxid-filmsammensætning omfattende et oxid af en metallegering afsættes fortrinsvis ved katodeforstøvning, især ved magnetron-katode-25 forstøvning. Katode-målene fremstilles fortrinsvis således, at de har det ønskede forhold mellem metalelementer. Målene katodeforstøves derefter i en reaktiv atmosfære, fortrinsvis indeholdende oxygen, til afsætning af en metallegeringsoxid-film på en overflade af et underlag.

30 Et foretrukket metallegeringsoxid ifølge den forelig gende opfindelse er et oxid af en legering omfattende zink og tin. En zink/tin-legeringsoxidfilm kan ifølge den foreliggende opfindelse afsættes ved katodeforstøvning, fortrinsvis magnetisk forbedret. Katodeforstøvning er også en fore-35 trukken metode til afsætning af film ifølge den foreliggende opfindelse med høj transmission og lav emission. Sådanne DK 171096 B1 8 film omfatter typisk flere lag, herunder et lag af et høj -reflekterende metal, såsom guld eller sølv, indlejret mellem antireflektive metaloxidlag, såsom indiumoxid eller tit'an-oxid, eller fortrinsvis et oxid af en legering af zink og 5 tin, som fortrinsvis omfatter zinkstannat.

Omend forskellige metaller kan katodeforstøves til dannelse af metallegeringsoxidfilm for at fremstille en foretrukket flerlagsfilm med høj transmission og lav emission ifølge den foreliggende opfindelse, foretrækkes legeringer 10 af tin og zink. En særlig foretrukket legering omfatter zink og tin, fortrinsvis i forholdet 10-90% zink og 90-10% tin. En foretrukket zink/tin-legering har 30-60% zink og har fortrinsvis et zink/tin-forhold fra 40:60 til 60:40. Et særlig foretrukket område er et vægtforhold på 46:54 til 15 50:50 mellem tin og zink. En katode af zink/tin-legering, som katodeforstøves reaktivt i en oxiderende atmosfære, medfører afsætning af et metaloxidlag omfattende zink, tin og oxygen, fortrinsvis omfattende zinkstannat, Zn2SnC>4.

Ved en konventionel magnetron-katodeforstøvningsproces 20 anbringes et underlag i et overtrækningskammer, således at det vender mod en katode, der har en mål-overflade af materialet, som skal katodeforstøves. Foretrukne underlag ifølge den foreliggende opfindelse omfatter glas, keramiske materialer og plastmaterialer, som ikke påvirkes skadeligt af 25 arbejdsbetingelserne ved overtrækningsprocessen.

Katoden kan have enhver konventionel udformning, fortrinsvis en aflang rektangulær udformning, er forbundet med en kilde til elektrisk potentiale og anvendes fortrinsvis i kombination med et magnetisk felt for at forbedre katode-30 forstøvningsprocessen. Mindst én katodemåloverflade omfatter fortrinsvis en metallegering, såsom zink/tin, som katodefor-støves i reaktiv atmosfære til dannelse af en metallegerings-oxidfilm. Alternativt kan separate mål af zink og tin katode-forstøves i det væsentlige samtidig. Anoden er fortrinsvis 35 en symmetrisk udformet og placeret anordning som beskrevet i US-patentskrift nr. 4.478.702.

DK 171096 B1 9

Ifølge en foretrukken udførelsesform for opfindelsen afsættes en flerlagsfilm ved katodeforstøvning til dannelse af et overtræk med høj transmission og lav emission. Foruiden metallegeringsmålet omfatter mindst én anden katodemålover-5 flade et metal, der skal katodeforstøves til dannelse af et reflektivt metallag. Mindst én yderligere katodemåloverflade omfatter titan til katodeforstøvning i en oxiderende atmosfære til afsætning af et titanoxidlag. Et holdbart flerlagsovertræk, der har en reflektiv metalfilm i kombination med 10 en antireflektiv metallegeringsoxidfilm, fremstilles på følgende måde, ved anvendelse af et titanoxidlag til at forbedre vedhæftningen mellem metal- og metaloxidfilmene, medens der fremstilles en neutralt udseende, overtrukket artikel.

15 Et rent glasunderlag anbringes i et overtrækningskam mer, som evakueres, fortrinsvis til mindre end 10"4 mm Hg, mere foretrukket mindre end 2 x 10“^ mm Hg. En udvalgt atmosfære af indifferente og reaktive gasser, fortrinsvis argon og oxygen, tilvejebringes i kammeret med et tryk mellem ca.

20 5 x 10“ 4 og 10 - 2 mm Hg. En katode, der har en måloverflade af zink/tin-metallegering bringes i funktion over overfladen af underlaget, der skal overtrækkes. Målmetallet katodeforstøves, idet det reagerer med atmosfæren i kammeret, til afsætning af et zink/tin-legeringsoxid-overtrækslag på glas-25 overfladen.

Efter afsætning af det første lag af zink/tin-lege -ringsoxid forstøves en katode med en måloverflade af titanmetal til afsætning af et lag af titanoxid over zink/tin--legeringsoxidlaget. Titanoxid- eller zirconiumoxidlaget 30 har en tykkelse på 50-100 Å, hvilket er væsentligt tykkere end konventionelle grunderingslag. En katode med en måloverflade af sølv forstøves derefter til afsætning af et reflektivt lag af metallisk sølv over titanoxidlaget, hvilke!forbedrer vedhæftningen af sølvfilmen til den underliggende 35 metaloxidfilm, medens der fremstilles et visuelt neutralt flerlagsovertræk med lav emission. En tykkere sølvfilm kan DK 171096 B1 10 afsættes ifølge den foreliggende opfindelse uden ændring af de spektrale egenskaber af flerlagsfilmen. Et yderligere grunderingslag afsættes derefter ved forstøvning af titan, over det reflektive sølvlag til forbedring af vedhæftningen 5 mellem sølvfilmen og den overliggende metaloxidfilm, der derefter afsættes. Til slut afsættes et andet lag af zink/-tin-legeringsoxid over det andet grunderingslag under i det væsentlige de samme betingelser som anvendt til afsætning af det første zink/tin-legeringsoxidlag.

10 I særlig foretrukne udførelsesformer for den forelig gende opfindelse afsættes et beskyttelsesovertræk over den sidste metaloxidfilm. Beskyttelsesovertrækket afsættes fortrinsvis ved forstøvning over metaloxidfilmen af et metal, f.eks. som beskrevet i US-patentskrift nr. 4.594.137. Egnede 15 metaller til beskyttelsesovertrækket omfatter legeringer af jern eller nikkel, såsom rustfrit stål eller inconel. Titan er et særligt foretrukket beskyttelsesovertræk på grund af dets høje transmission. I en alternativ udførelsesform kan beskyttelseslaget være et særlig kemisk resistent materiale, 20 såsom titanoxid som beskrevet i US-patentskrif t nr.

4.716.086.

Den foreliggende opfindelse forklares nærmere i den følgende beskrivelse af et specifikt eksempel. I eksemplet betegnes zink/t in-legeringsoxidf ilmen som zinkstannat, selvom 25 filmsammensætningen ikke behøver netop at være Zn2Sn04.

EKSEMPEL

En flerlagsfilm afsættes på et natron-kalk-glasunder-lag til fremstilling af et overtrukket produkt med høj trans-30 mission og lav emission. En stationær katode, der måler 12,7 x 43,2 cm, omfatter en forstøvningsoverflade af zink/-tin-legering bestående af 52,4 vægtprocent zink og 47,6% tin. Et natron-kalk-glasunderlag anbringes i overtræknings-kammeret, som evakueres til et tryk på 4 x 10-3 mm Hg i en 35 atmosfære af argon og oxygen i forholdet 50:50. Katoden forstøves i et magnetisk felt ved en effekt på 1,7 kW, medens DK 171096 B1 11 glasset føres forbi forstøvningsoverfladen med en hastighed på 2,8 m/minut. En film af zinkstannat afsættes på glasoverfladen. Tre passager giver en filmtykkelse på ca. 320 Å, hvilket medfører en nedsættelse af transmissionen fra 90% 5 for glasunderlaget til 82% for det zinkstannat-overtrukne glasunderlag. En stationær katode med et titanmål forstøves derefter til dannelse af et titanoxidlag med en tykkelse på ca. 50 Å over zinkstannatet, hvilket nedsætter transmissionen til ca. 78%. Dernæst afsættes et lag af sølv over titanoxid-10 laget ved forstøvning af et sølvkatodemål i en atmosfære af argongas ved et tryk på 4 x 10-3 mm Hg til afsætning af sølv i en filmtykkelse på ca. 110 Å, hvilket nedsætter transmissionen af det overtrukne underlag til ca. 66%. Et tyndt neutralt titan-grunderingslag forstøves over sølvlaget til 15 forbedring af vedhæftningen og beskyttelse af sølvlaget, før det sluttelige antireflektive lag af zinkstannat afsættes. Titan-grunderingslaget har en tykkelse på ca. 10 Å og nedsætter i metallisk tilstand transmissionen til ca. 60%. Imidlertid oxideres titan-grunderingslaget, og transmissionen 20 stiger, når det efterfølgende metaloxidlag afsættes. Til slut forstøves zink/tin-legeringskatodemålet i en oxiderende atmosfære til dannelse af en zinkstannatfilm. Fire passager med en hastighed på 2,8 m/minut giver en filmtykkelse på ca. 380 Å, hvilket forøger transmissionen af det overtrukne 25 produkt til 85%. Det færdige overtrukne produkt har en overflademodstand på 8 ohm pr. kvadrat og en neutral refleksion fra begge sider, med en lysrefleksion på 5% fra den overtrukne og 6% fra den ikke-overtrukne side. Til sammenligning udviser kendte film, hvori der anvendes kobber-grunderings-30 lag, en svagt rødligblå refleksion fra både den overtrukne og den ikke-overtrukne glasoverflade.

Det ovenfor anførte eksempel tjener til at illustrere den foreliggende opfindelse. Ved katodeforstøvning af en zink/tin-legering kan overtrækket afhængigt af forholdet 35 mellem zink og tin indeholde vidt varierende mængder af zinkoxid og tinoxid ud over zinkstannat. Vedhæftningen mellem DK 171096 B1 12 et bredt udvalg af metal- og metaloxidfilm kan forbedres ved hjælp af titanoxidlag til tilvejebringelse af visuelt neutrale overtræk ifølge den foreliggende opfindelse. Da fremgangsmåden ikke kræver særlig høje temperaturer, kan andre 5 underlag end glas, såsom forskellige plastmaterialer, overtrækkes. En scannende katode kan anvendes sammen med et stationært underlag. Procesparametre, såsom tryk og koncentration af gasser, kan varieres indenfor et bredt område. Grunderingslagene kan omfatte zirconium, der danner oxider, 10 som giver neutral refleksion af flerlagsovertrækkene med lav emission ifølge den foreliggende opfindelse.

Claims (10)

1. Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission og af den art, hvor et transparent ikke-metallisk underlag er overtrukket med en transparent 5 infrarødtreflekterende metallisk film mellem antireflektive metaloxidfilm, kendetegnet ved, at den omfatter: a) et transparent ikke-metallisk underlag, b) en første transparent antireflektiv metaloxidfilm, der har et brydningsindeks på ca. 2,0, afsat på over- 10 fladen af underlaget, c) en titanoxid- eller zirconiumoxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å, afsat på den antireflektive metaloxidfilm, d) en transparent infrarødt-reflekterende metallisk 15 film afsat på titanoxid- eller zirconiumoxidlaget, e) en film af titan eller titanoxid afsat på den infrarødt -reflekterende metalfilm, og f) en anden transparent antireflektiv metaloxidfilm afsat på titan- eller titanoxidfilmen.

2. Artikel ifølge krav 1, kendetegnet ved, at underlaget er glas.

3. Artikel ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at den infrarødt-reflekterende metalfilm d) er sølv.

4. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-3, ken detegnet ved, at det antireflektive metaloxid omfatter et oxidreaktionsprodukt af zink og tin.

5. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-4, ken detegnet ved, at filmen c) omfatter titanoxid.

6. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-5, ken detegnet ved, at filmen e) omfatter titan.

7. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-6, ken detegnet ved, at den endvidere omfatter et titarioxid-overtræk på den anden antireflektive metaloxidfilm f).

8. Fremgangsmåde til afsætning af en visuelt neutral film med høj transmission og lav emission på et transparent DK 171096 B1 14 ikke-metallisk underlag (a) ved katodeforstøvning, kendetegnet ved, at den omfatter følgende trin: b) katodeforstøvning af en transparent antireflektiv metaloxidfilm med et brydningsindeks på ca. 2,0 på 5 en overflade af et transparent ikke-metallisk under lag (a) , c) katodeforstøvning af en titanoxid- eller zirconium-oxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å over den antireflektive metaloxidfilm b), 10 d) katodeforstøvning af en transparent, infrarødt-reflek terende metalfilm over titanoxid- eller zirconiumoxid-filmen c), e) katodeforstøvning af en titan- eller titanoxidfilm over den transparente infrarødt-reflekterende metal- 15 film d), og f) katodeforstøvning af en anden transparent antireflek-tiv metaloxidfilm over titan- eller titanoxidfilmen e) .

9. Fremgangsmåde ifølge krav 8, kendete g-20 net ved, at det antireflektive metaloxid omfatter et oxidreaktionsprodukt af zink og tin.

10. Fremgangsmåde ifølge krav 8 eller 9, kendetegnet ved, at den endvidere omfatter katodeforstøvning af et titanoxid-overtræk på den anden antireflektive metal- 25 oxidfilm f).