JP5000131B2 - 透明電極膜及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明によれば、以下の透明電極膜等が提供される。
1.インジウム、亜鉛及び錫を含む酸化物からなり、膜厚が25nm以下である透明電極膜。
2.インジウム及び亜鉛を含む酸化物からなり、膜厚が30nm以下である透明電極膜。
3.原子比が、In/(In+Zn+Sn)=0.4〜0.95、Zn/(In+Zn+Sn)=0.01〜0.59、Sn/(In+Zn+Sn)=0.01〜0.59である1記載の透明電極膜。
4.原子比が、In/(In+Zn)=0.5〜0.95、Zn/(In+Zn)=0.05〜0.5である2記載の透明電極膜。
5.前記酸化物が非晶質である1〜4いずれか記載の透明電極膜。
6.屈折率が波長300〜800nmの範囲で1.9以上である1〜5いずれか記載の透明電極膜。
7.1〜6いずれか記載の透明電極膜を電気回路の少なくとも一部として備えてなる電子機器。
8.前記電子機器が液晶ディスプレイである7記載の電子機器。
亜鉛の原子比が高すぎる場合、酸素存在下で熱処理すると比抵抗が大幅に上昇したり、TCP接続部の耐久性が低下する恐れがあり、また、低すぎる場合、エッチング速度が遅くなったりエッチング後に残さが残ったりする恐れや金属や合金との密着性が低下する恐れがある。
錫の原子比が高すぎる場合、エッチング速度が遅くなったりエッチング後に残さが残ったりする恐れや金属や合金との密着性が低下する恐れがあり、また、低すぎる場合、エッチング速度が速くなり過ぎて制御が難しくなったり、酸素存在下で熱処理すると比抵抗が大幅に上昇したり、TCP接続部の耐久性が低下する恐れがある。
亜鉛の原子比が高すぎる場合、酸素存在下で熱処理すると比抵抗が大幅に上昇したり、TCP接続部の耐久性が低下する恐れがあり、また、低すぎる場合、エッチング速度が遅くなったりエッチング後に残さが残ったりする恐れや金属や合金との密着性が低下する恐れがある。
屈折率の測定方法は実施例に示す通りである。
[インジウム、亜鉛及び錫を含む非晶質酸化物(ITZO)からなる透明電極膜]
(1)透明電極膜の作製
ガラス基板上に、In:Sn:Zn=54原子%:16原子%:30原子%の組成の酸化物ターゲットを用いて、180℃で成膜、O2分圧3×10−3Pa(5×10−5Torr)の条件で、膜厚10nm(実施例1)、20nm(実施例2)、30nm(比較例1)、80nm(比較例2)のIn2O3−SnO2−ZnO膜(ITZO膜)をスパッタ装置で形成した。形成したITZO膜をICP(誘導結合プラズマ発光)分析にて元素分析を実施した結果、製膜に用いたターゲットとほぼ同じ組成であった。
ITZO膜のX線回折パターンを求めた結果、180℃で成膜した場合、ITZO膜はブロードな曲線を示すアモルファス膜であることが判明した。
得られたITZO膜について、以下の測定方法により、屈折率及透過率を求めた。各膜厚における波長と屈折率の関係を図1に、各膜厚における波長と透過率の関係を図2に示す。また、膜厚と比抵抗値の関係を図3に示す。
(i)屈折率
光学式薄膜測定システム(SCI社Film Tek 4000)により測定した。
(ii)透過率
光学式薄膜測定システム(SCI社Film Tek 4000)により測定した。
(iii)膜厚
光学式薄膜測定システム(SCI社Film Tek 4000)及び膜厚測定計(アルバック社Dektak8)により測定した。
(iv)比抵抗値
アズデポ状態のITZO膜の抵抗を大気中・室温で、抵抗率計(ダイヤインスツルメンツ社ロレスターEP)により測定した。
[インジウム及び亜鉛を含む非晶質酸化物(IZO)からなる透明電極膜]
(1)透明電極膜の作製
ガラス基板上に、In:Zn=84原子%:16原子%の組成の酸化物ターゲットを用いて、180℃で成膜、O2分圧3×10−3Pa(5×10−5Torr)の条件で、膜厚10nm(実施例3)、20nm(実施例4)、30nm(実施例5)、100nm(比較例3)のIn2O3−ZnO膜(IZO膜)をスパッタ装置で形成した。形成したIZO膜をICP(誘導結合プラズマ発光)分析にて元素分析を実施した結果、製膜に用いたターゲットとほぼ同じ組成であった。
IZO膜のX線回折パターンを求めた結果、180℃で成膜した場合、IZO膜はブロードな曲線を示すアモルファス膜であることが判明した。
得られたIZO膜について、その物性を実施例1と同様に評価した。各膜厚における波長と屈折率の関係を図4に、各膜厚における波長と透過率の関係を図5に示す。
[インジウム及び錫を含む非晶質酸化物(ITO)からなる透明電極膜]
(1)透明電極膜の作製
ガラス基板上に、In:Sn=91原子%:9原子%の組成の酸化物ターゲットを用いて、180℃で成膜、O2分圧3×10−3Pa(5×10−5Torr)の条件で、膜厚80nmのIn2O3−SnO2膜(ITO膜)をスパッタ装置で形成した。形成したITO膜をICP(誘導結合プラズマ発光)分析にて元素分析を実施した結果、製膜に用いたターゲットとほぼ同じ組成であった。
得られたITO膜について、その物性を実施例1と同様に評価した。波長と屈折率の関係を図1に、波長と透過率の関係を図2に示す。尚、図1,2において、ITO膜のデータは点線で示す。
Claims (8)
- インジウム、亜鉛及び錫を含む酸化物からなり、膜厚が25nm以下である透明電極膜であって、
原子比が、In/(In+Zn+Sn)=0.4〜0.95、Zn/(In+Zn+Sn)=0.01〜0.59、Sn/(In+Zn+Sn)=0.01〜0.59であり、
屈折率が波長300〜800nmの範囲で1.9以上である透明電極膜。 - インジウム及び亜鉛を含む酸化物からなり、膜厚が30nm以下である透明電極膜であって、
原子比が、In/(In+Zn)=0.5〜0.95、Zn/(In+Zn)=0.05〜0.5であり、
屈折率が波長300〜800nmの範囲で1.9以上である透明電極膜。 - 原子比が、In/(In+Zn+Sn)=0.54〜0.9、Zn/(In+Zn+Sn)=0.03〜0.45、Sn/(In+Zn+Sn)=0.03〜0.45である請求項1に記載の透明電極膜。
- 原子比が、In/(In+Zn)=0.6〜0.95、Zn/(In+Zn)=0.05〜0.4である請求項2に記載の透明電極膜。
- 膜厚が10〜25nmである請求項2に記載の透明電極膜。
- 前記酸化物が非晶質である請求項1〜5のいずれかに記載の透明電極膜。
- 請求項1〜6いずれか一項記載の透明電極膜を電気回路の少なくとも一部として備えてなる電子機器。
- 前記電子機器が液晶ディスプレイである請求項7記載の電子機器。
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