DEP0045853DA - Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation der Linsenfehler an Elektronenlinsen - Google Patents

Description

Ro*b@rt Böseü {-reBuboH·» Stuttgart» Forststraße 9

,Bei AtB. in Elektronenmikroskopen gebrämeiiii chen Elektroaealinsea for Korpuskularstrahlen hat der sogenannte öffnungefehler eine unerwünsohte Begrenzung des Auflösungsvermögens und damit der !»el», stungsfähigkeit der JSlektronemaikroskope. z\xr Folge· Ea ist dies darauf suxäckziifülirsiif daas grmnts'atsllch Jedes rotatioassjiame »

ix-iseJae elektrische und magnetiaohe Feld eine mit Fehlern behaftete Abbildung-liefert· Insbesondere konnte dar öffnungsfehler bisher, durch keine aoca so komplizierte Bolsahaiiforia ausgeschaltet werden» Di© Aasnirtaang dieses fehlere besteht äarin_f dass die 'die .linsen schräg durchlaufenden, achsenfernen Elektronenetrahlesi andere Vereinigungspunkte iiabea als die die Linsen senkrecht durchlaufenden acfasenmaiien Elektronenstrahlen und daher die von einem Ob^ektpunkt aasgeüenäen Strahlen sich nicht la einem Mldpurikt ¥ereiaigen, Die folge davon ist₉ dass dis llektroaentilder unscharf werden.«

Vm diesen lachteil zu vermeiden^ wird gemäss der- Erfindung el» faiiren. fcrgeectilagen_t naeä. welciiem zur Bestrahlung ¥oa Objekten ia Elektronenmikroskopen Strahlen v^rsoiiiedeiier (Jesciwindigleii verwendet werden^ HinsioÄtlich der GesclmindigkeltöTerteilung mtts~ sen die achaenfernen > acliräg zua* Achse auf das Objekt auf treffen« ton Strahlen eins andere, beiiden üblichen Elektronenline en eine höhere Geschwindigkeit öabenj als die aclaseaaaliea in der Acherich·» teag auf das Objekt antreffenden Strahl#n_t was "beispielsweise mit einer Ilektroneaatraiilenquelle erreielit werden kaao_t welche Strahlen w&TBQhlQ&eneT Sesotiwiadigkeit aussendete Geaäss der weiteres Srfiaiimg ^#»«a-aTi diesem'Xweck die

losck $.ιη·Ί»·Η· Ba/ür 5284

Stuttgart 3*6.1949 '

feie feile atifweisip*, wslchs an verschiedenen Spannungen Ii«gen·<

Auf der Zeichnung ist der Erfindungä.gegenstand veranschaulicht mad awar zeigt

fig* 1 einen Elektronenstrahlerigang sit korrigiertem

öffnwigsfeiiiei* uaä
Fig. 2 \and 3 zwei AusfUhrungsb)eispiele von zu äiasem Zweck

Elektronenstrahleaquellei

In Fig« .1 ist eine, zweit ei Ii ge^GltiJtücatho^e><€*aes? Elektronenstrahls cpieileVljezeichnet« ¥om den feeidea feiles \iet dar sit 1 be-aeieiine»» te die iXbliche haarnadelförmige WolfraxaÄa^hode und der alt 2 ■bezeichnete ein den EstÄodenteil 1 konzeaiitiach. umgehender Ring aus Wolframdraht«

Legt man min bei siaer Ge samt spannung voa 5^?-.000 - 80 000 ?olt zwisclien ti© fcthodenteile 1 und 2 eine ]£ona\fcante Spannim.g won h&iapielBw&lQB 500 ¥olt mit dem in Pig· 1 angegebenen Toraeionan_f so tetoem die voa dem EiBg 2 aasgehendea Elektronen eine liStere Geschwindigkeit als, die vua der Haarnadelepit^e 1 ausgehenden. Günstige ¥örliäl"toisse ergeben eioii_s wenn eine -iipcliblende 3 in Terbiadimg mit einer Blektronenlinse 4 auf das pbjekt 5 abgebildet wird· In diesem fall ist eine Gewähr dafür /ileboten, dass nur die fun Ring 2 ausgehenden Strahlen schrägt ^ii· Voa der Haaraaflelepifse ausgeiiendea Strahles aljer senkreclit auf/ das Objekt fallen» Derch Anordnung meärer^eiiage mit verschiedenen Spannungen an Stelle des Ringes 2 kann, die Strahlapertur noch tejIieMg werden« Die Einstellung der zwischen den einaejlnen\Ringen erforderlicfaen Spaftauag wird dafeei so vorgenommen₀ lüaga zunächst nur die Haarnaisltethode eingesohaltet und das Ble-fctron€^i"bilä scharf eingestellt wirdf dam wird zusätzlich ©la Katiiodenriag eingeschaltet und 4ia Spaimtmdzwiseilen ßin^md Haarnadel a\ii grösste Schärfe des' ßlektronenbilds 10 eingestellt«. Ebenso wii^i mit äan weiteren Ringen vorgegaagea» Ms alle eingeschaltet imt! tafeei lie

Claims (1)

1. α. % β»

   Robert Besoii ß.a.Tt>.H. Ba/Mr 5284

   Stuttgart ■ 9«β»1943

   größte mögliche Bildschärfe erreicht i^t«, Zßiochsn fen ö'öjeict 5 und des Bildschirm 10 ist noch eise weitere Elektronenlinse 11 angeordnet«

   . Statt einer Kathode- mit verschiedenen Ringen kann amcix eine api·» ' ralförmigö Glilhkathode gegebenenfalls mit veränderlicher Steigung und veränderlichem Brahtqusrschnitt Verwendung finden_s deren Heizspannung seifest iafolgs äes im den findungen der Spirale auftretenden Spannungsabfalls verschiedene Elektronengegchwindigkeiten aar folge feat»

   Andere Ausfflhrungsformen von Glülxkathoden »ur Srseugung von JSlektronenstrahlen mit verschiedener Geschwindigkeit sind in flg_o2 mad 5 veranschaulicht· Die Kathode nach fig» 2αst als geschlossen© Fläche 6 ausgebildet. Der Anschluß wird Isiei^ so Vorgenommene dal die Stromzufuhr am llusserea Rand an der Stella 7 una die Strcja^ ato.aiime ffiit eimer Spitze 5 xr «\:>r litte der Fläche stattfindet „ Der Spannungsverlauf von da.¹¹ Mi ^:, ·β nisc'a otuce«ixi kau» Z₀B₉ d»xch einen'veränderliohan ?iiäc*? jbsiid «--ine& i:«X'il-3i 'isrs^- aus dam Ula Scheibe 6 hergestellt wi?d_t- lie.^.utfluü'.i; ?·.-Γ-/Λίθ..ι, Durch Ausspa 9 gemäss Pig_a 3 teim ein*» .\'Dgleichun» dsa yidsratandes erreicht werden» welche eins bestimmte Spannungsverteilting entlang der ffläclie der Kathode ergibt«

   1 _β Terfahren zur ^ert««e#^a^· d-s-r iinseaf ekler aa Linaea für Korpuskular strahlen, dadurcti gek ennz eic line t, dase zur Bestrahlung des Ötjekts Strahlen verschiedener Geschwindigkeit verwendet werdenβ

   2β Verfahren naoh Ansprach 1» dadareli gekennzeichnet» dass die achsenfernen» schräg zur Achse auf das Objekt auftreffenües Strahlen eine andere Geschwindigkeit haben als die actisemiatieri ia der Achsrichtung .auf das Objekt antreffendes Streifen ο

   neue Seite 4 E-Io. 5204.

   3» Vorfahren nach Anspruch 1 und 2_t daduru-*. _c$ekenns öl ahnet, dass die achaonferrtvin, schräg zur achse auf das Objaltt ;-.u.£tr f fanden Strahlen eint hühore ikmcvifiiniii^keit haben als die acasen f in dor AeharIch teig auf das ^bJöJst auf treffenden -»trah

   4® Vorrichtung smr Ausübung d@# ?erfahrens aaoä Anspraeli 1 tois 3» £ekenni&eic.ha©t dÄreii eine'Blöictrone^straJhtlquellef

   §tsaiiwiiidiglcsit

   5« Vorrichtung naoh Äiiöprtioii 4» daduro:) .^ok- u'iüaeiciißet» dass die aia iiiöktroJti;:n«tr':^}il<iU6älle disriundo -n-itiiode Tiile iüxfwsiat» -ä elci an versohiödonen üpaniiungan Iicgön_e

   β_β Vorrichtung nach Anspruch 5> dadurcii /ralioniia-iichnctj dass die als ^lQl£troi:onstrf;lil-.;«.:iile diorumde öltihkathode aus vilnom. iinarnad'Slf Örmi~; gatoogenan 'Coil und aus ainxegbörie einen d-.jau icona^atri soiien iiing besteht _s woloher π η einer höheren .:;pennunü liegt ala der !laarnc-döiföi'fiii^a Seil der iCuth-'jüia·

   ?♦ Vorrichtxuxfj r-aoh a»ü .ruoh 5» dadurch g^lceaxiaaiüiuirit, dasa die ii.fi'thods diaform ei«,or Spiip.lo liat«

   ^ nach A.aöyruct'i 5» ^öJcennnaicJmüt clurcin ciiio fläol'-snnyft aus;;sibildoto ^A;Athoilö uit diiioa so msirfcliohen •jpa von iiiraia Suössren ;cancl au iiuar r.'it'Gö, day dia aeao,.-wi;<di k-i-it dar von dor ^baode auy^asy 'iteu .,Iu.lit ro η au rozi aus ü/i .-ici-i inasti zu a

   ,: nach .Laapruoii 4~8_f dfuuxoii ^ekcnuaöichnet» d;?ss a

   dor Utrtihlon ιιε-ll^ und cWis übj.jlct airi^ Loch blond» ao an-.ao^'lü iöi,» d.-:ött d;.^!s loch der IiIvH₁CIa₁C^i" dem Objekt ab^ebildut wird·