DE956173C - Vorrichtung zum Messen von Druckdifferenzen - Google Patents

Vorrichtung zum Messen von Druckdifferenzen

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DE956173C
DE956173C DEA16792A DEA0016792A DE956173C DE 956173 C DE956173 C DE 956173C DE A16792 A DEA16792 A DE A16792A DE A0016792 A DEA0016792 A DE A0016792A DE 956173 C DE956173 C DE 956173C
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Germany
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membrane
capacitance
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compensation voltage
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DEA16792A
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Rer Nat Erwin Willy Becker Dr
Dr Phil Otto Stehl
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Atlas Werke AG
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Atlas Werke AG
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/004—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine 170rrichtung zum Messen der Differenz von in zwei mit Gas oder Flüssigkeit gefüllten Räumen herrschenden Drücken mittels einer durch ihre Auslenkung die Kapazität einer Kondensatoranordnung beeinflussenden Membran. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, durch Anwendung der an sich bei mechanischen Druckmeßgeräten bekannten automatischen Nullkompensation auf elektrostatische Differentialmanometer der vorliegenden Art eine besonders genaue und empfindliche Druckmessung zu erreichen. Zu diesem Zweck ist erfindungsgemäß die Membran mit einer einstellbaren Kompensationsspannungsquelle mit in Druckeinheiten geeichtem Spannungsmesser zum Nullabgleich durch elektrische Feldkräfte und die von der Membran beeinflußte Kondensatoranordnung mit einer Kapazitätsmeßbr,ücke verbunden. Um die Membran automatisch in ihre Nullstellung zurückzuführen, kann nach dem weiteren und letzten Merkmal der Erfindung die Kapazitätsmeßbrücke als Steuergerät für die Kompensationsspannungsquelle ausgebildet sein.
  • Die Erfindung sei an einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht.
  • Abb. I zeigt ein elektrostatisches Differentialmanometer nach der Erfindung in.schematischer Darstellung, Abb. 2 die zugehörige Kapazitätsmeßbrücke.
  • Die dargestellte Druckmeßvorrichtung besteht im wesentlichen aus einem zweiteiligen zylindrischen Gehäuse I, 2, das durch eine quer zu seiner Achse angeordnete dünne Aluminiumfolie 3 in zwei gasdichte Kammern 4, 5 unterteilt ist. An diese Kammern sind über Verbindungsöffnungen 6, 6 die Räume angeschlossen, deren Druckdifferenz gemessen werden soll. Zum Zwecke der Messung ist die Membran 3 zwischen Platten 7 und 8 ausgespannt, mit denen zusammen sie zwei Kondensatoren 3, 7 und 3, 8 bildet, deren Kapazitätsdifferenz durch Auslenkung der Membran beeinflußt wird. Durch eine an der Membran 3 und den Platten 7, 8 des Differentialkondensators liegende Spannungsquelle g mit Potentiometer IO kann die Membran elektrostatischen Kräften ausgesetzt werden, durch dìe ihre von der Druckdifferenz verursachte Auslenkung wieder kompensiert wird. Hierzu ist die Spannung an der Membran 3 einstellbar. Ihre zur Nullkompensation erforderliche Größe wird am Potentiometer IO abgelesen und als Maß für die zwischen den Kammern 4 5 bestehende Druckdifferenz benutzt. Das Potentiometer kann hierzu in Druckeinheiten geeicht sein. Die Nulleinstellung wird an einer Kapazitätsmeßbrücke 11 mit Verstärker 12 und Nullinstrument 13 beobachtet. In der Brücke 11 werden zwei Kapazitäten durch die Kondensatoren 3, 7 und 3, 8 gebildet, während die beiden anderen Kapazitäten als Vergleichsgrößen dienen.
  • Die Membran kann auch automatisch in ihre Nullstellung zurückgeführt werden, indem die Potentiometereinstellung vom Ausgang des Verstärkers 12 gesteuert wird. Dadurch läßt sich eine kontinuierliche Messung, gegebenenfalls mit gleichzeitiger Aufzeichnung, erzielen.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRUCHE I. Vorrichtung zum Messen der Differenz von in zwei mit Gas oder Flüssigkeit gefüllten Räumen herrschenden Drücken mittels einer durch ihre Auslenkung die Kapazität einer Kondensatoranordnung beeinflussenden Membran, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (3) mit einer einstellbaren Kompensationsspannungsquelle (g) mit in Druckeinheiten geeichtem Spannungsmesser (I3) zum Nullabgleich durch elektrische Feldkräfte und die von der Membran beeinflußte Kondensatoranordnung (3, 7, 8) mit einer Kapazitätsmeßbrücke (11) verbunden ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätsmeßbrücke (I I) als Steuergerät für die Kompensationsspannungsquelle (g) ausgebildet ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 542 7I9.
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DE3523104A1 (de) * 1985-06-28 1987-01-22 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Anordnung mit einer messelektrode, der in festen abstaenden eine erste und eine zweite felderzeugende elektrode zugeordnet sind
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