DE953387C - Geraet zum Auffinden von Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsroehren - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zum Auffinden sehr kleiner Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsröhren, wobei diese Anlagen mit einem Anzeigegas bespritzt oder umspült werden und der Druck dieses Anzeigegases in der Vakuumanlage mit Hilfe eines empfindlichen Manometers gemessen wird.

Bei einem bekannten Verfahren zum Auffinden ίο von Undichtigkeiten wird die zu prüfende Vakuumanlage mittels eines Wasserstoffstrahles abgetastet oder in eine Glocke mit einer Wasserstoffatmosphäre untergebracht. In die Leitung, welche die Vakuumanlage mit dem Manometer verbindet, ist eine erhitzte Palladiummembran, meistens in Form eines Röhrchens, eingebracht. Diese Membran ist nur für Wasserstoff und nicht für andere Gase durchlässig.

Es ist bedenklich, daß Kohlenwasserstoffe durch Zersetzung am erhitzten Palladium Wasserstoff abgeben, wodurch fälschlich der Eindruck einer Undichtigkeit entsteht. Wenn kein Manometer verwendet wird, das den durchgelassenen Wasserstoff schnell wegbrennt, ist es schwierig, in kurzer Zeit zwei verschiedene Undichtigkeiten nacheinander festzustellen. Das Palladium weist auch manchmal Verunreinigungen auf.

Die Erfindung bezweckt, eine Undichtigkeitssuchanlage zu schaffen, die gegenüber der bekannten Anlage Vorteile aufweist.

Bei einem Gerät zum Auffinden sehr kleiner Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsröhren, wobei die zu prüfende Anlage durch ein Anzeigegas bespritzt oder umspült wird, dessen Druck in der Vakuumanlage mittels eines empfindlichen Manometers gemessen wird, ist die Vakuum anlage gemäß der Erfindung mit dem Manometer über eine Leitung verbunden, die eine Menge absorbierenden Materials enthält, das Luft und die.meisten anderen Gase absorbiert, aber das Anzeigegas durchläßt oder in geringerem Maße absorbiert.

Als Absorptionsmaterial kann aktive Kohle mit niedriger Temperatur verwendet werden, wobei das Anzeigegas Helium und gegebenenfalls Wasserstoff ist, obgleich letzterer noch verhältnismäßig stark absorbiert wird, und wobei außerdem die aktive Kohle mit Rücksicht auf Explosionsgefahr ausschließlich durch flüssigen Stickstoff abgekühlt werden kann.

Silicagel mit niedriger Temperatur hat den Vorteil, daß der Wasserstoff auch nur in geringem Maß absorbiert und niemals explosiv wird; auch in diesem Falle kann Helium als Anzeigegas verwendet werden.

Der Vorteil eines Gerätes nach der Erfindung ist der, daß das absorbierende Material kein Gas abgibt, wie es beim Palladium vorkommen kann, so daß auch kleine Undichtigkeiten festgestellt werden können. Bei großen Undichtigkeiten kann das absorbierende Material zu schnell gesattigt sein.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert, die ein Gerät nach der Erfindung mit einer zu prüfenden Entladungsröhre darstellt.

In der Zeichnung bezeichnet 1 die Metallanode einer Senderöhre, die mit einem Flansch 2 zur Befestigung am Kühlgehäuse versehen ist. Ein Glasring 3 ist einerseits an der Anode und andererseits an dem Gitteranschluß ring 4 festgeschmolzen. Der Gitterring 4 wird durch einen Glaskopf 5 verschlossen, in dem drei Heizkathodenzuführungen 6 angebracht sind.

Das Pumprohr der Senderöhre ist durch den Hahn 7 mit einem Kühler 9 verbunden, der über eine Leitung 10 zu einer Entlüftungspumpe führt. Das Pumprohr ist weiter durch den Hahn 8 mit einem Kühler 11 verbunden, in dem sich eine Menge Silicagel 12 befindet. Auf der anderen Seite ist der Kühler 11 mit dem Manometer verbunden, der aus einem zylindrischen Anodenring 13 und zwei Kathodenplatten 14 besteht, die sich zwischen den Polen N und 6* eines Magneten befinden.

Die Prüfung der Senderöhre geht wie folgt vor sich: Zunächst wird das Silicagel, nötigenfalls durch Erhitzen, entgast; dabei ist der Hahn 7 geschlossen und der Hahn 8 derart eingestellt, daß der Kühlern mit der Pumpleitung 10 verbunden ist. Darauf wird der Hahn 8 geschlossen und der Hahn 7 geöffnet, so daß die Senderöhre 1 entlüftet werden kann. Darauf wird der Hahn 7 ge- go schlossen, und durch den Hahn 8 wird die Röhre 1 mit dem Kühler 11 und dem Manometer verbunden. Mittels eines Spritzrohrs 15 wird ein Wasserstoffstrahl auf die Stellen der Röhre 1 aufgespritzt, wo Undichtigkeiten vermutet werden. Hineinleckende Luft wird durch das Silicagel 12 absorbiert, aber der Wasserstoff wird zu dem Manometer zugelassen. Da die angewandte Art von Manometer den Wasserstoff wegbrennt, kann gegebenenfalls während einiger Minuten die Manometerspannung ausgeschaltet und darauf abermals der Druck gemessen werden.

Claims (2)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Gerät zum Auffinden von Undichtigkeiten bei Vakuumanlagen, insbesondere bei Entladungsröhren, wobei die zu prüfende Anlage mit einem Anzeigegas bespritzt oder umspült wird,- dessen Druck in der Vakuumanlage no mittels eines empfindlichen Manometers gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumanlage mit dem Manometer über eine Leitung verbunden ist, in der sich eine Menge absorbierenden Materials befindet, das Luft und die meisten anderen Gase absorbiert, aber das Anzeigegas durchläßt oder dies nur zu einem geringeren Maße absorbiert.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmaterial Silicagel iao mit niedriger Temperatur und das Anzeigegas Wasserstoff oder Helium ist.