DE9412435U1 - Arbeitszylinder - Google Patents

Arbeitszylinder

Info

Publication number
DE9412435U1
DE9412435U1 DE9412435U DE9412435U DE9412435U1 DE 9412435 U1 DE9412435 U1 DE 9412435U1 DE 9412435 U DE9412435 U DE 9412435U DE 9412435 U DE9412435 U DE 9412435U DE 9412435 U1 DE9412435 U1 DE 9412435U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
strip
working cylinder
piston rod
cylinder according
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE9412435U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Festo SE and Co KG filed Critical Festo SE and Co KG
Priority to DE9412435U priority Critical patent/DE9412435U1/de
Publication of DE9412435U1 publication Critical patent/DE9412435U1/de
Priority to DE59508445T priority patent/DE59508445D1/de
Priority to EP95102202A priority patent/EP0695879B1/de
Priority to KR1019950006960A priority patent/KR100194164B1/ko
Priority to US08/431,406 priority patent/US5568760A/en
Priority to BR9503521A priority patent/BR9503521A/pt
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2861Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2846Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using detection of markings, e.g. markings on the piston rod

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Description

G 16 729 - lens 19. Juli 1994
Fes to KG, 73734 Esslincren
Arbeitszylinder
Die Erfindung betrifft einen Arbeitszylinder, mit einem Gehäuse, in dem sich ein axial bewegbarer Kolben befindet, der mit einer an wenigstens einer Stirnseite aus dem Gehäuse herausragenden Kolbenstange verbunden ist, die am Außenumfang wenigstens einen sich axial erstreckenden und Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt aufweist, in dem eine Längsnut vorgesehen ist, die einen durch eine gehäusefeste Sensoreinrichtung abtastbaren Meßstreifen aufnimmt.
Ein Arbeitszylinder dieser Art geht aus dem deutschen Gebrauchsmuster G 92 09 980.7 hervor. Er ist mit einem Wegmeßsystem ausgestattet, das eine Positionsbestimmung des Kolbens oder der Kolbenstange ermöglicht. Es umfaßt beispielsweise eine als Widerstandsstreifen ausgebildete Meßstrecke, die in einer Längsnut der Kolbenstange untergebracht ist und von einem als Sensorein-
LIb-* i ··· * »♦
richtung fungierenden Schleifkontakt beaufschlagt und abgegriffen wird.
Durch das Entlangschleifen des Schleifkontaktes auf dem Widerstandsstreifen tritt ein allmählicher Verschleiß auf. Dieser beeinträchtigt die Genauigkeit der Positionsbestimmung und kann zu Undichtigkeiten im Durchtrittsbereich zwischen der Kolbenstange und der zugeordneten stirnseitigen Abschlußwand des Gehäuses führen.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Arbeitszylinder zu schaffen, der bei reduziertem Verschleiß eine fortwährend exakte Positionsbestimmung der Kolbenstange und/oder des Kolbens ermöglicht.
Zur Lösung der Aufgabe ist vorgesehen, daß der Meßstreifen ein Magnetstreifen ist, der mehrere in Axialrichtung aufeinanderfolgend angeordnete, wechselpolig magnetisierte Magnetzonen aufweist, die durch die Sensoreinrichtung berührungslos abtastbar sind, und daß der Magnetstreifen durch eine an der Kolbenstange festgelegte, aus magnetfelddurchlässigem Material bestehende Deckleiste abgedeckt ist, deren vom Magnetstreifen abgewandte Außenfläche zumindest einen Teil des Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnittes der Kolbenstange bildet.
Durch das Zusammenwirken der Sensoreinrichtung mit dem wechselpolig magnetisierten Magnetstreifen ist auch bei relativ hohen Kolbengeschwindigkeiten eine äußerst zuverlässige und exakte Positionsbestimmung möglich. Die Sensoreinrichtung umfaßt zweckmä-
J:?
&Kgr;.
ßigerweise mehrere Halbleitersensoren, zum Beispiel sogenannte Hall-Sensoren, die derart am Gehäuse des Arbeitszylinders angebracht werden, daß sie bei sich bewegender Kolbenstange von den unterschiedlich polarisierten Magnetfeldern des Magnetstreifens durchsetzt werden und von einer Auswerteelektronik verwertbare Signale liefern. Durch die berührungslose "Abtastung" wird jeglicher Verschleiß an den zur Positionsbestimmung beitragenden Teilen verhindert. Die zusätzlich über dem Magnetstreifen angeordnete Deckleiste hat den weiteren Effekt, daß der Magnetstreifen selbst beim Durchsetzen einer gehäuseseitigen Abschlußwand und einer dort vorgesehenen Führungs- und/oder Dichtungsanordnung vor Beschädigungen geschützt ist und zugleich eine optimale Abdichtung des Durchgangsbereiches zwischen der Abschlußwand und der Kolbenstange realisiert werden kann, deren Qualität derjenigen einer Abdichtung konventioneller Kolbenstangen in nichts nachsteht. Die Deckleiste bildet wenigstens einen Bestandteil des die Längsnut aufweisenden, Flachgestalt besitzenden Flächenabschnittes der Kolbenstange und ist somit Bestandteil der Außenfläche der Kolbenstange, die mit der erwähnten Führungs- und/oder Dichtungsanordnung in an sich bekannter Weise zusammenarbeiten kann. Dabei besteht die vorteilhafte Möglichkeit, die Deckleiste aus einem den tribologischen Anforderungen entsprechenden Material herzustellen, das hinsichtlich Verschleißfestigkeit und Korrosionsverhalten dem Grundmaterial der Kolbenstange gleichwertig ist. Letztlich liegt eine äußerlich von einer konventionellen Kolbenstange kaum zu unterscheidende Kolbenstange vor, in der der mechanisch sehr empfindliche Magnetstreifen allseits umschlossen geschützt untergebracht ist. Indem die Deckleiste aus magnetfelddurchlässigem Material besteht, bei-
spielsweise aus Metall mit relativ geringer Permeablität, werden die Magnetfelder der einzelnen Magnetzonen durch die Abdeckung nicht oder nur unwesentlich beeinträchtigt.
Die Integration des Magnetstreifens in die Kolbenstange ermöglicht es, kolbenstangenseitig vorgeschriebene Normabmessungen unverändert beizubehalten. Funktionsbeschränkungen gegenüber Arbeitszylindern konventioneller Art sind nicht zu erwarten, so daß auch die üblichen Lebensdauerkennwerte trotz der Verwendung eines Wegmeßsystems gegenüber Standardausführungen keinerlei Beschränkungen unterliegt. Entsprechendes gilt für die Belastbarkeit des Arbeitszylinders.
Durch den Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt läßt sich überdies eine kostengünstige Verdrehsicherung der Kolbenstange erzielen, so daß der Magnetstreifen stets die richtige Lage mit Bezug zu der gehäuseseitig angeordneten Sensoreinrichtung einnimmt. Da die Deckleiste mechanisch hoch belastbar ausgeführt werden kann, lassen sich auch hohe auf die Kolbenstange einwirkende Drehmomente ohne Beeinträchtigung der Genauigkeit der Positionsbestimmung kompensieren.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen aufgeführt.
Eine relativ einfach herzustellende Bauform des Arbeitszylinders sieht vor, daß die Deckleiste zumindest teilweise und vorzugsweise vollständig in die Längsnut des ebenen bzw. geradlinigen Flächenabschnittes eingelassen ist. Durch die hierbei verwirk-
lichte formschlüssige Verbindung zwischen der Deckleiste und der Kolbenstange wird die Deckleiste sicher fixiert.
Als besonders geeignetes Material für die Deckleiste hat sich Federstahl herausgestellt, beispielsweise der von der Firma Sandvik gelieferte Stahl der Spezifikation 13 X RM 19.
Als besonders vorteilhafte Befestigungsmaßnahme für den Magnetstreifen und die Deckleiste hat sich eine Klebeverbindung herausgestellt, bei der die Teile mittels eines hochfesten Klebers mit der Kolbenstange verbunden werden.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung sieht vor, die Sensoreinrichtung mit einem die entsprechenden Sensoren enthaltenden Sensorkopf auszustatten, der in die in der Regel von einem Dekkel gebildete Abschlußwand des Gehäuses integriert werden kann. In den Sensorkopf kann unmittelbar eine Signalauswerteelektronik integriert sein, wobei unmittelbar in dem Sensorkopf eine Signalverstärkung und -aufbereitung stattfinden kann, was den Vorteil einer sehr guten Signalstabilität hat.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
Figur 1 eine erste Bauform des erfindungsgemäßen Arbeitszylinders in dem von der Kolbenstange durchsetzten Gehäusebereich,
Figur 2 den in Figur 1 gekennzeichneten Ausschnitt II der Kolbenstange in vergrößerter Darstellung, wobei die Deckleiste zur Sichtbarmachung des Magnetstreifens nicht über ihre gesamte Länge gezeichnet ist, und
Figur 3 einen Längsschnitt durch den Arbeitszylinder aus Figur 1 gemäß Schnittlinie III-III.
Der beispielsgemäße Arbeitszylinder umfaßt ein Gehäuse 1, in dem ein Kolben 2 axial beweglich angeordnet ist. Der Kolben 2 trennt zwei Arbeitsräume 3, 4 dicht voneinander ab, in die jeweils ein Gehäusekanal 5 mündet, der in an sich bekannter Weise der Zufuhr und Abfuhr eines den Kolben antreibenden Fluides wie Druckluft dient.
Die beiden Stirnseiten des Gehäuses 1 sind durch Abschlußwände 6, 7 verschlossen, die als abnehmbare Deckel ausgebildet sind.
An dem Kolben 2 ist eine Kolbenstange 8 befestigt, die sich axial erstreckt, und die eine Abschlußwand 6 koaxial zur Außenseite hin durchsetzt.
Die Abschlußwand 6 ist eine Lagerwand, die die Kolbenstange 8 in Querrichtung abstützt und führt. Zu diesem Zweck ist in der von der Kolbenstange 2 durchsetzten Durchtrittsöffnung 12 der Abschlußwand 6 eine sich gehäusefest abstützende Führungseinrichtung 13 angeordnet, die eine Gleitführung für die Kolbenstange 8 darstellt. Ferner befindet sich in der Durchtrittsöffnung 12
eine beispielsgemäß in Baueinheit mit der Führungseinrichtung 13 ausgebildete Dichtungseinrichtung 14, die einerseits an der Abschlußwand 6 festgelegt und andererseits mit der Kolbenstange 8 ringsum in dynamischem Dichtkontakt steht. Sie verhindert, daß fluidisches Druckmittel aus dem benachbarten Arbeitsraum 3 über die Durchtrittsöffnung 12 nach außen dringt.
Die Führungs- und/oder Dichtungseinrichtung 13, 14 könnte zumindest teilweise auch außerhalb der Durchtrittsöffnung 12 angeordnet sein.
Am außerhalb des Gehäuses 1 liegenden Ende der Kolbenstange 8 ist eine Befestigungspartie 15 vorgesehen. Sie ermöglicht das Anbringen eines beliebigen durch den Arbeitszylinder zu bewegenden Bauteils.
Der Arbeitszylinder ist mit einer allgemein mit Bezugsziffer 16 bezeichneten Positionsbestimmungseinrichtung ausgestattet. Bei ihr handelt es sich um ein Wegmeßsystem, das es erlaubt, den zurückgelegten Weg der Kolbenstange 8 bzw. deren momentane Position zu bestimmen. Dies ermöglicht eine wegabhängige Ansteuerung und Betätigung des Arbeitszylinders.
Vorzugsweise verfügt die Kolbenstange 8 an ihrem Außenumfang über wenigstens einen sich axial erstreckenden und Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt 17. Dieser ebene, geradlinige Flächenabschnitt 17 erstreckt sich über zumindest einen Großteil der Länge der Kolbenstange 8 und ist zumindest derart angeordnet und ausgebildet, daß er unabhängig von der jeweiligen Axialposi-
tion des Kolbens 2 bzw. der Kolbenstange 8 stets mit einem Abschnitt seiner Länge einer am Gehäuse 1 festgelegten Sensoreinrichtung 18 radial gegenüberliegt. Besagte Sensoreinrichtung 18 ist beim Ausführungsbeispiel an der als Lagerdeckel fungierenden Abschlußwand 6 angebracht.
Die Sensoreinrichtung 18 arbeitet zur Positionsbestimmung mit einem Magnetstreifen 22 zusammen, der in einer in den Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt 17 eingebrachten, sich axial erstreckenden Längsnut 23 untergebracht ist. Bei einer Axialbewegung der Kolbenstange 8 läuft die Sensoreinrichtung 18 praktisch an dem Magnetstreifen 22 entlang und wird durch diesen betätigt, so daß sich Sensorsignale ergeben, die in einer angeschlossenen Verarbeitungseinrichtung 24 in gewünschter Weise verarbeitet werden. Beispielsweise können die Sensorsignale zur Ansteuerung von Ventilen aufbereitet werden, die ihrerseits die Betätigung des Arbeitszylinders in Abhängigkeit von der momentanen Hubstellung steuern.
Der bandförmige Magnetstreifen 22 ist ein kunststoffgebundenes Teil, es handelt sich um einen Kunststoffstreifen mit magnetisierbaren Bestandteilen oder Partikeln, prinzipiell vergleichbar mit den als Tonträgern dienenden Magnetbändern von Tonband- oder Videogeräten. Er besitzt allerdings zweckmäßigerweise eine derartige Dicke, daß er eine gewisse Eigenstabilität aufweist. Er ist beim Ausführungsbeispiel sandwichartig auf einem Trägerstreifen 25 befestigt, der vorzugsweise aus unmagnetischem Material besteht und beim Ausführungsbeispiel ein Stahlband ist. Die aus dem Magnetstreifen 22 und dem Trägerstreifen 25 bestehende
*_ &bgr; j . . ♦ . , &bgr; TO J
♦ J4
Streifeneinheit ist, mit dem Trägerstreifen 25 voraus und untenliegend in die Längsnut 23 eingelegt, wobei ihre flache Unterseite 26 dem ebenen Nutgrund 27 zugewandt ist. Die Nutbreite entspricht der Streifenbreite wie auch die Nutlänge der Streifenlänge entspricht. Auf diese Weise ist die Streifeneinheit in der Längsnut 23 in der Streifenebene unbeweglich zentriert. Die Befestigung in der Längsnut 23 geschieht zweckmäßigerweise im Rahmen einer hochfesten Klebeverbindung, die gewährleistet, daß der Magnetstreifen 22 seine Lage bezüglich der Kolbenstange 8 auch bei starken Erschütterungen stets unverändert beibehält.
Durch eine geeignete Magnetisierung ist der Magnetstreifen 22 in mehrere in Streifenlängsrichtung aufeinanderfolgende magnetisierte Magnetzonen 28, 28' eingeteilt, wobei die Magnetisierung der einzelnen Magnetzonen wechselpolig erfolgt ist. Die Magnetfeldausrichtung zweier in Streifenlängsrichtung benachbarter Magnetfeldzonen 28, 28' weicht somit voneinander ab, indem die Nord- und Südpole jeweils vertauscht sind. Beim Ausführungsbeispiel sind die einzelnen Magnetfeldzonen 28, 28' axial polarisiert, d.h. ihre Nordpole (N) und Südpole (S) sind in Streifenlängsrichtung und somit in Axialrichtung der Kolbenstange 8 ausgerichtet. Vorzugsweise ist die Polarisierung derart, daß sich aufeinanderfolgende Magnetfeldzonen 28, 28' jeweils mit gleichnamiger Polarisierung zugewandt sind. In Figur 2 sind die Übergangsstellen zwischen jeweils benachbarten Magnetfeldzonen 28, 28' durch strichpunktierte Linien angedeutet, die in der Praxis selbstverständlich nicht sichtbar sind. Man erkennt, daß die Nordpolseite einer jeweiligen Magnetfeldzone wiederum der Nordpolseite der sich anschließenden Magnetfeldzone gegenüberliegt.
Die Sensoreinrichtung 18 ist derart an der Abschlußwand 6 festgelegt, daß sie der dem Nutgrund 27 entgegengesetzten Oberseite 32 des Magnetstreifens 22 mit Abstand rechtwinkelig zur Streifenebene gegenüberliegt. Bei einer Hubbewegung des Kolbens 2 wird somit der Magnetstreifen 22 an der Sensoreinrichtung 18 in Längsrichtung vorbeibewegt, welche letztere nacheinander in den Einfluß der von den einzelnen Magnetfeldzonen 28, 28' hervorgerufenen Magnetfelder gelangt. Diese Magnetfelder durchsetzen die Sensoreinrichtung 18, die beim Ausführungsbeispiel zwei nicht näher dargestellte magnetfeldempfindliche Halbleitersensoren enthält, beispielsweise sogenannte Hall-Sensoren oder Feldplatten-Sensoren. Entsprechend der beispielsgemäßen Einteilung des Magnetstreifens 22 liefern die beiden in der Regel um 90° versetzt angeordneten Halbleitersensoren der Sensoreinrichtung 18 zwei um 90° versetzte Sinus-Signale, die je nach Feininterpolationsteilung einer nachgeschalteten Auswerteelektronik auf die gewünschte Auflösung - beispielsweise 0,01 mm - feininterpoliert werden können. Die erhaltenen Signale geben somit Aufschluß über die momentane Position der Kolbenstange 8 und jedes mit dieser verbundenen Bauteils.
Da die Abtastung des Magnetstreifens 22 durch die Sensoreinrichtung 18 berührungslos erfolgt, sind die Bestandteile der Positionsbestimmungseinrichtung 16 praktisch keinerlei mechanischem Verschleiß ausgesetzt und gewährleisten eine lange Funktionsdauer des Arbeitszylinders.
Die Dicke der sich aus dem Magnetstreifen 22 und dem Trägerstreifen 25 zusammensetzenden Streifeneinheit ist bei dem gezeigten Ausführungsbeispxel geringer als die Tiefe der sie aufnehmenden Längsnut 23. Der Magnetstreifen 22 sitzt daher mit Abstand zu dem Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt 17 in der Längsnut 23 ein. Der verbleibende Tiefenabschnitt der Längsnut 23 wird von einer Deckleiste 33 eingenommen, die in die Längsnut 23 eingepaßt ist und auf dem Magnetstreifen 22 aufliegt. Bevorzugt ist die Anordnung derart getroffen, daß die Deckleiste 33 vollständig versenkt in der Längsnut 23 aufgenommen ist, wie es aus den Ausführungsbeispielen hervorgeht. Die Längsnut wird dabei von der Deckleiste 33, dem Magnetstreifen und dem Trägerstreifen 25 gerade ausgefüllt, so daß die dem Magnetstreifen 22 entgegengesetzte Außenfläche 34 der Deckleiste 33 bündig in die beiden sich längsseits an die Längsnut 23 anschließenden Flächenpartien 35 der Kolbenstange 8 übergeht. Die Außenfläche 34 bildet dann zusammen mit den beiden sie flankierenden Flächenpartien 35 den Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt 17. Durch die Deckleiste erhält die Kolbenstange 8 also letztlich die Gestalt zurück, die sie bei konventioneller, nutenloser Ausgestaltung hätte. Beispielsgemäß liegen die Außenfläche 34 und die angrenzenden Flächenpartien 35 in einer gemeinsamen Ebene, die den Flächenabschnitt 17 bildet.
Die Deckleiste 33 ist in der Längsnut 23 fest verankert. Zu diesem Zweck ist sie vorteilhafterweise in die Längsnut 23 eingeklebt. Ihr Grundriß entspricht demjenigen der Längsnut 23, so daß letztere durch die Deckleiste 33 vollständig geschlossen ist.
&iacgr; &igr;* &iacgr; i * * · j *♦
Die Deckleiste 33 gewährleistet eine optimale Abdichtung im Durchdringungsbereich zwischen der Kolbenstange 8 und der Abschlußwand 6 bei gleichzeitigem Schutz des empfindlichen Magnet-Streifens 22 vor Beschädigungen. Indem die Außenfläche 34 der Dichtleiste 33 wenigstens einen Teil des Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnittes 17 bildet, steht sie beim Durchlaufen der Führungs- und/oder Dichtungsanordnung 13, 14 in gleicher Weise mit dieser in Berührkontakt wie die übrigen Außenflächenbereiche der Kolbenstange 8. Da es ohne weiteres möglich ist, den Übergangsbereich zwischen der Deckleiste 33 und den benachbarten Flächenpartien 35 der Kolbenstange 8 derart auszubilden, daß keinerlei Zwischenraum oder Vertiefung vorliegt, hat das im Arbeitsraum 3 enthaltene Druckmittel keinen Überströmweg, um an der Dichtungseinrichtung 14 vorbei auszuströmen. Beispielsgemäß erreicht man dies dadurch, daß man auch in die erwähnten Übergangsbereiche 36 Klebstoff einbringt, so daß die Übergangsbereiche 36 bis zur Außenfläche hin mit Klebstoff befüllt sind und sich ein gleichmäßiger Übergang zwischen den sich einander anschließenden Außenflächenbereichen einstellt.
Damit die Wirksamkeit der Positionsbestimmungseinrichtung 16 durch die Deckleiste 33 nicht beeinträchtigt wird, empfiehlt es sich, die Deckleiste aus unmagnetisierbarem Material herzustellen. Beim Ausführungsbeispiel besteht sie aus einem Federstahl mit geringer Permeabilität, der zudem äußerst verschleißfest und korrosionsbeständig ist. Ein derartiges Metall wird beispielsweise von der Firma Sandvik unter der Bezeichnung 13 X RM 19 vertrieben. Auf diese Weise ist die Deckleiste 33 für die Ma-
gnetfelder des Magnetstreifens 22 durchlässig, die somit in gewünschter Weise die Sensoreinrichtung 18 beaufschlagen können.
Um den exakten und stufenlosen Übergang zwischen der Deckleiste 33 und den sich längsseits anschließenden Bereichen der Kolbenstange 8 zu erhalten, ist die Kolbenstange 8 beim Ausführungsbeispiel nach dem Einkleben der Deckleiste 33 an dem Flächenabschnitt 17 überschliffen worden. Dadurch nivellieren sich sämtliche Unebenheiten aus.
Die Sensoreinrichtung 18 ist beim Ausführungsbeispiel von einem äußerst kompakt bauenden Sensorkopf 37 gebildet, der sich ausgezeichnet für eine Integration in das Gehäuse 1 und vor allem wie vorliegend - in die von der Kolbenstange 8 durchsetzte Abschlußwand 6 eignet. Die Abschlußwand 6 hat vorliegend im Bereich der Austrittsöffnung 12 eine sich radial erstreckende Ausnehmung 38, die einerseits radial nach innen zur Kolbenstange 8 hin und andererseits radial nach außen zu einer Außenfläche 42 der Abschlußwand 6 hin offen ist. In diese Ausnehmung 38 ist der zum Beispiel patronenartige Sensorkopf 37 eingesetzt, so daß er den erforderlichen Abstand zu der von ihm nicht berührten Deckleiste 33 einhält, die zwischen ihm und dem Magnetstreifen 22 liegt.
In den Sensorkopf 37 ist eine gestrichelt angedeutete Auswerteelektronik 43 integriert, die die Signale der Halbleitersensoren in der erforderlichen Weise auswertet. Denkbar wäre aber auch eine Lösung, bei der die Auswerteelektronik extern angeordnet ist und zum Beispiel zu der Verarbeitungseinrichtung 24 gehört.
Der Flachgestalt besitzende Flächenabschnitt 17 bewirkt zusammen mit dem an ihm flächig anliegenden Führungsabschnitt 44 der Führungseinrichtung 13 zweckmäßigerweise eine Verdrehsicherung der Kolbenstange 8 bezüglich der Abschlußwand 6. Damit ist gewährleistet, daß die Sensoreinrichtung 18 und der Magnetstreifen 22 stets die richtige Zuordnung beibehalten.
Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, eine Vierkantstange als Kolbenstange 8 einzusetzen, wobei eine ihrer vier ebenen Außenflächen 45 den Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt 17 bildet. Eine derartige Bauform ist beim Ausführungsbeispiel verwirklicht, wobei der Vierkantabschnitt der Kolbenstange 8 vorzugsweise einen quadratischen Querschnitt aufweist. Bei Bedarf ließe sich im Bereich mindestens einer der weiteren ebenen Außenflächenabschnitte 45 der Kolbenstange 8 ein weiterer, insbesondere als Magnetstreifen konzipierter Meßstreifen integrieren, der ebenfalls mit einer Sensoreinrichtung zusammenarbeitet. Dadurch wäre eine miteinander gekoppelte Gesamtauswertung oder eine voneinander unabhängige Mehrfachauswertung möglich.
Denkbar wären im übrigen auch noch weitere Kolbenstangenquerschnitte, die mindestens einen ebene Flächenabschnitt aufweisen. Zu nennen wären beispielsweise Dreiecksstangen oder eine Abflachung aufweisende Rundstangen.
Somit liegt beim Ausführungsbeispiel die Integration eines Wegmeßsystems mit einer Maßverkörperung aus einem wechselpolig ma-
gnetisierten Magnetstreifen und einem dazugehörigen Sensorkopf in einen fluidbetätigten verdrehgesicherten Arbeitszylinder vor, Der Kolbenstangenquerschnitt hat mindestens eine geradlinige Teilflanke, in die eine Längsnut eingelassen ist, welche den mittels eines hochfesten Klebers fixierten Magnetstreifen aufnimmt. Die magnetfelddurchlässige, nicht magnetische Deckleiste sorgt aufgrund ihrer nichtrostenden, niederpermeabilen Eigenschaften für eine tribologisch verträgliche Abdeckung des Magnetstreifens und ist durch einen hochfesten Kleber sicher festgelegt.
Als Sensorkopf der vorliegenden Anordnung ließe sich beispielsweise ein Lesekopf des Typs Sony PL 20 verwenden. Die Gitterkonstante für die Einteilung des Magnetstreifens in einzelne Magnetfeldzonen beträgt zum Beispiel 5 mm. Für die Abtastung können bei Bedarf auch mehr als zwei Halbleitersensoren eingesetzt werden.
Der Magnetstreifen und die Deckleiste werden zweckmäßigerweise nacheinander und unabhängig voneinander in die Längsnut 23 eingeklebt .

Claims (17)

..* : G 16 729 - lens 19. Juli 1994 Festo KG, 73734 Esslinqen Arbeitszylinder Ansprüche
1. Arbeitszylinder, mit einem Gehäuse, in dem sich ein axial bewegbarer Kolben befindet, der mit einer an wenigstens einer Stirnseite aus dem Gehäuse herausragende&eegr; Kolbenstange verbunden ist, die am Außenumfang wenigstens einen sich axial erstreckenden und Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitt aufweist, in dem eine Längsnut vorgesehen ist, die einen durch eine gehäusefeste Sensoreinrichtung abtastbaren Meßstreifen aufnimmt, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßstreifen ein Magnetstreifen (22) ist, der mehrere in Axialrichtung aufeinanderfolgend angeordnete, wechselpolig magnetisierte Magnetzonen (28, 28') aufweist, die durch die Sensoreinrichtung berührungslos abtastbar sind, und daß der Magnetstreifen (22) durch eine an der Kolbenstange (8) festgelegte, aus magnetfelddurchlässigem Material be-
stehende Deckleiste (33) abgedeckt ist, deren vom Magnetstreifen (22) abgewandte Außenfläche (34) zumindest einen Teil des Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnittes (17) der Kolbenstange (8) bildet.
2. Arbeitszylinder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) zumindest teilweise in die Längsnut (23) eingelassen ist.
3. Arbeitszylinder nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) vollständig versenkt in der Längsnut (23) aufgenommen ist, wobei ihre Außenfläche (34) bündig in die sich seitlich anschließenden kolbenstangenseitigen Partien (35) des Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnittes (17) übergeht.
4. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) aus Material mit geringer Permeabilität besteht.
5. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) aus unmagnetischem Material besteht.
6. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) aus verschleißfestem, korrosionsbeständigem Metall wie Federstahl besteht, insbesondere in der Spezifikation 13 X RM 19.
7. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetstreifen (22) ein magnetisierbar Bestandteile enthaltender Kunststoffstreifen ist.
8. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetstreifen (22) auf einem Trägerstreifen (25) befestigt ist und zwischen diesem Trägerstreifen (25) und der Deckleiste (33) liegt.
9. Arbeitszylinder nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerstreifen (25) aus unmagnetisierbarem Metallmaterial besteht.
10. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Magnetzonen (28, 28·) axial, d.h. in Längsrichtung der Kolbenstange (8), polarisiert sind, wobei axial benachbarte Magnetzonen (28, 28') einander zweckmäßigerweise mit gleichnamiger Polung zugewandt sind.
11. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetstreifen (22) in die Längsnut (23) eingeklebt ist.
12. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckleiste (33) durch Klebung an der Kolbenstange (8) festgelegt ist.
13. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (8) im Bereich des Flachge-
stalt aufweisenden Flächenabschnittes (17) bei in die Längsnut (23) eingesetzter Deckleiste (33) überschliffen ist.
14. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (8) über mehrere Flachgestalt aufweisende Flächenabschnitte {17, 45) verfügt, wobei wenigstens einem (17) dieser Flächenabschnitte ein Magnetstreifen
(22) mit Deckleiste (33) zugeordnet ist.
15. Arbeitszylinder nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (8) im Bereich der Flachgestalt aufweisenden Flächenabschnitte {17, 45) als Vierkantstange mit insbesondere quadratischem Querschnitt ausgebildet ist.
16. Arbeitszylinder nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinrichtung (18) einen im Innern einer von der Kolbenstange (8) durchsetzten Abschlußwand (6) des Gehäuses (1) angeordneten Sensorkopf (37) aufweist.
17. Arbeitszylinder nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß in den Sensorkopf (37) eine Signalauswerteelektronik (43) integriert ist.
DE9412435U 1994-08-02 1994-08-02 Arbeitszylinder Expired - Lifetime DE9412435U1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9412435U DE9412435U1 (de) 1994-08-02 1994-08-02 Arbeitszylinder
DE59508445T DE59508445D1 (de) 1994-08-02 1995-02-17 Arbeitszylinder
EP95102202A EP0695879B1 (de) 1994-08-02 1995-02-17 Arbeitszylinder
KR1019950006960A KR100194164B1 (ko) 1994-08-02 1995-03-30 유압 실린더
US08/431,406 US5568760A (en) 1994-08-02 1995-04-28 Fluid power cylinder with position indicator
BR9503521A BR9503521A (pt) 1994-08-02 1995-08-01 Cilindro hidráulico de força

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9412435U DE9412435U1 (de) 1994-08-02 1994-08-02 Arbeitszylinder

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9412435U1 true DE9412435U1 (de) 1994-09-29

Family

ID=6911895

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9412435U Expired - Lifetime DE9412435U1 (de) 1994-08-02 1994-08-02 Arbeitszylinder
DE59508445T Expired - Lifetime DE59508445D1 (de) 1994-08-02 1995-02-17 Arbeitszylinder

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59508445T Expired - Lifetime DE59508445D1 (de) 1994-08-02 1995-02-17 Arbeitszylinder

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5568760A (de)
EP (1) EP0695879B1 (de)
KR (1) KR100194164B1 (de)
BR (1) BR9503521A (de)
DE (2) DE9412435U1 (de)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2746457A1 (fr) * 1996-03-22 1997-09-26 Valeo Verin pour un dispositif de commande hydraulique d'un embrayage de vehicule automobile comportant un capteur de deplacement
DE19818796A1 (de) * 1998-04-27 1999-11-04 Walter Hunger Kolbenstange, Kolbenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Kolbenstange
DE19952590A1 (de) * 1999-11-02 2001-05-10 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur Betätigung des Verdecks eines Kraftfahrzeugs
DE19752535C2 (de) * 1997-11-27 2001-11-22 Daimler Chrysler Ag Stellvorrichtung
DE20218754U1 (de) 2002-12-04 2003-02-20 Harting Automotive GmbH & Co. KG, 32339 Espelkamp Messvorrichtung zur Wegbestimmung
US6863334B2 (en) 2001-06-01 2005-03-08 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft System for opening and closing a folding top or displaceable vehicle roof on a convertible vehicle
DE102005007561A1 (de) * 2005-02-18 2006-08-24 Woco Industrietechnik Gmbh Vorrichtung zum Erfassen eines Verschiebeweges für einen Linearantrieb und Linearantrieb
EP1519156A3 (de) * 2003-09-27 2006-09-06 Zf Friedrichshafen Ag Wegmess-System für ein Kolben-Zylinderaggregat
EP2110642A3 (de) * 2008-04-18 2016-08-17 WABCO GmbH Positionsmesssystem
EP3293402A1 (de) * 2016-09-07 2018-03-14 ELGO-Electronic GmbH & Co. KG Kolben-zylindervorrichtung und verwendung einer solchen
CN108869447A (zh) * 2018-09-04 2018-11-23 哈尔滨工业大学 一种变有效作用面积液压缸
DE102020131245A1 (de) 2020-11-24 2022-05-25 Inventus Engineering Gmbh Vorrichtung mit wenigstens einer Sensoreinrichtung zur Erfassung von Messdaten über eine Relativbewegung und Maßstabeinrichtung
DE102021100559A1 (de) 2020-11-24 2022-05-25 Inventus Engineering Gmbh Vorrichtung mit wenigstens einer Sensoreinrichtung zur Erfassung von Messdaten über eine Relativbewegung und Maßstabeinrichtung

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19724388A1 (de) * 1997-06-10 1998-12-17 Bosch Gmbh Robert Wegsensor
SE9702218D0 (sv) * 1997-06-11 1997-06-11 Multidock Hydraulic Ab Stång till verkställande ställdon
KR100374148B1 (ko) * 1999-02-13 2003-03-03 삼구화학공업 주식회사 제지공정에서 발생되는 폐수의 처리 방법.
US6931982B1 (en) * 2000-06-05 2005-08-23 Theodore S. Zajac, Jr. Linear actuator
KR100350993B1 (ko) * 2000-06-21 2002-08-30 주식회사 씨엠아이 휴민산분해용 수처리제 및 이 수처리제를 제조하는 방법
EP1217221A3 (de) 2000-12-20 2004-03-17 Hoerbiger Hydraulik GmbH Druckmittelzylinder
KR20010107799A (ko) * 2001-09-17 2001-12-07 신호상 이산화염소의 소독부산물 제거용 새로운 응집 조성물
KR100458921B1 (ko) * 2001-12-28 2004-12-03 조용래 스러리 대응을 위한 초고압을 이용한 유화 분산장치
US7552671B2 (en) * 2002-01-04 2009-06-30 Parker-Hannifin Corporation Cylinder with fiber optical position sensing device and method
EP1461585B1 (de) * 2002-01-04 2010-12-08 Parker Hannifin Corporation Zylinder mit optischer erfassungsvorrichtung und verfahren
US6732517B2 (en) * 2002-03-15 2004-05-11 Delphi Technologies, Inc. Retainer for brake master cylinder travel sensor
KR100476610B1 (ko) * 2002-07-19 2005-03-18 김윤 영양염류 제거용 상수 처리제 및 이의 사용방법
BRPI0410120A (pt) 2003-05-06 2006-05-09 Stanford Res Inst Int sistemas e métodos de gravação de informação de posição de haste de pistão em uma camada magnética em uma haste de pistão
EP1571421A1 (de) 2004-03-05 2005-09-07 FESTO AG & Co Linearantriebsvorrichtung
US7127982B2 (en) * 2005-03-04 2006-10-31 Festo Corporation Linear drive with non-rotating piston
US7259553B2 (en) 2005-04-13 2007-08-21 Sri International System and method of magnetically sensing position of a moving component
US8141644B2 (en) * 2005-09-14 2012-03-27 Vetco Gray Inc. System, method, and apparatus for a corrosion-resistant sleeve for riser tensioner cylinder rod
DE102006007594A1 (de) * 2006-02-18 2007-08-30 Festo Ag & Co. Vorrichtung zur Erfassung der Axialposition und/oder Winkelposition eines Körpers
JP4929935B2 (ja) * 2006-03-24 2012-05-09 ヤマハ株式会社 磁気スケール体
US20080231261A1 (en) * 2006-04-27 2008-09-25 Hirschmann Automotive Gmbh Hall-type sensor for measuring linear movements
DE102007028827A1 (de) * 2007-06-20 2009-02-19 Stabilus Gmbh Kolben-Zylinderaggregat
US9182252B2 (en) * 2008-05-16 2015-11-10 Parker Hannifin Corporation Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder
KR200447976Y1 (ko) * 2009-02-18 2010-03-08 동양기전 주식회사 실린더 위치검출수단을 구비한 유압실린더
KR200447977Y1 (ko) * 2009-02-18 2010-03-08 동양기전 주식회사 실린더 위치검출수단을 구비한 유압실린더
US8970208B2 (en) * 2010-02-11 2015-03-03 Sri International Displacement measurement system and method using magnetic encodings
US8517333B2 (en) 2010-09-02 2013-08-27 Honeywell International Inc. Fluid actuated valve with hall position sensor
US8857530B2 (en) 2011-03-07 2014-10-14 Cnh Industrial Canada, Ltd. Automatic depth control system for an agricultural implement
KR101367531B1 (ko) * 2011-06-07 2014-02-25 이강창 지지구조를 갖는 유압실린더
US8967035B2 (en) 2012-05-24 2015-03-03 Caterpillar Inc. Sensor coupler for piston-cylinder assembly
KR101360084B1 (ko) 2012-05-29 2014-02-12 순천향대학교 산학협력단 액추에이터 이동측정장치, 그의 제조방법 및 그를 이용한 이동거리 측정방법
DE102013205216A1 (de) 2013-03-25 2014-09-25 Wittenstein Ag Linearaktuator mit Messvorrichtung zur Messung der Position eines Antriebselements
JP6245453B2 (ja) * 2015-01-19 2017-12-13 Smc株式会社 流体圧シリンダ
WO2019033230A1 (zh) * 2017-08-14 2019-02-21 吉林省云动力智能装备制造有限公司 智能调节夹紧力油缸
DE102021134121A1 (de) * 2021-12-21 2023-06-22 Samson Aktiengesellschaft Elektronische Positionsanzeige mittels Zahnstrukturmessanordnung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2933557C2 (de) * 1979-08-18 1982-11-04 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Meßumformer zur berührungslosen Weg- oder Geschwindigkeitsmessung
DE2945895C2 (de) * 1979-11-14 1986-06-05 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Magnetischer Stellungsgeber für hydrauliche oder pneumatische Arbeitszylinder
DE3137951C2 (de) * 1981-09-24 1985-10-17 Gewerkschaft Eisenhütte Westfalia, 4670 Lünen Hydraulisches Schubkolbengetriebe, insbesondere zur Verwendung als Rück- und Schreitzylinder in untertägigen Gewinnungsbetrieben, mit an der Kolbenstange angeordneten Permanentmagneten
JPS60263702A (ja) * 1984-06-11 1985-12-27 Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd 空気圧シリンダ用位置制御装置
DE3535704A1 (de) * 1985-10-05 1987-04-09 Festo Kg Kolben-zylinder-anordnung
US4756229A (en) * 1986-09-25 1988-07-12 United Technologies Corporation Digital motor feedback for a position actuator
CH674058A5 (de) * 1986-10-22 1990-04-30 Festo Kg
DE3734547A1 (de) * 1987-10-13 1989-05-03 Festo Kg Kolben-zylinder-aggregat
WO1992008058A1 (en) * 1990-10-26 1992-05-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Device for mounting position detecting sensor
DE9209980U1 (de) * 1992-07-24 1992-09-24 Festo KG, 7300 Esslingen Kolben-Zylinder-Aggregat
SE501291C2 (sv) * 1992-09-23 1995-01-09 Mecman Ab Rexroth Anordning för positionering av kolvcylinderaggregat

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2746457A1 (fr) * 1996-03-22 1997-09-26 Valeo Verin pour un dispositif de commande hydraulique d'un embrayage de vehicule automobile comportant un capteur de deplacement
DE19752535C2 (de) * 1997-11-27 2001-11-22 Daimler Chrysler Ag Stellvorrichtung
DE19818796A1 (de) * 1998-04-27 1999-11-04 Walter Hunger Kolbenstange, Kolbenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Kolbenstange
DE19952590A1 (de) * 1999-11-02 2001-05-10 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur Betätigung des Verdecks eines Kraftfahrzeugs
US6863334B2 (en) 2001-06-01 2005-03-08 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft System for opening and closing a folding top or displaceable vehicle roof on a convertible vehicle
DE20218754U1 (de) 2002-12-04 2003-02-20 Harting Automotive GmbH & Co. KG, 32339 Espelkamp Messvorrichtung zur Wegbestimmung
US7204035B2 (en) 2003-09-27 2007-04-17 Zf Friedrichshafen Ag Displacement measuring system for a piston-cylinder assembly
EP1519156A3 (de) * 2003-09-27 2006-09-06 Zf Friedrichshafen Ag Wegmess-System für ein Kolben-Zylinderaggregat
DE102005007561B4 (de) * 2005-02-18 2006-12-28 Woco Industrietechnik Gmbh Vorrichtung zum Erfassen eines Verschiebeweges für einen Linearantrieb und Linearantrieb
DE102005007561A1 (de) * 2005-02-18 2006-08-24 Woco Industrietechnik Gmbh Vorrichtung zum Erfassen eines Verschiebeweges für einen Linearantrieb und Linearantrieb
EP2110642A3 (de) * 2008-04-18 2016-08-17 WABCO GmbH Positionsmesssystem
EP3293402A1 (de) * 2016-09-07 2018-03-14 ELGO-Electronic GmbH & Co. KG Kolben-zylindervorrichtung und verwendung einer solchen
CN108869447A (zh) * 2018-09-04 2018-11-23 哈尔滨工业大学 一种变有效作用面积液压缸
CN108869447B (zh) * 2018-09-04 2019-11-29 哈尔滨工业大学 一种变有效作用面积液压缸
DE102020131245A1 (de) 2020-11-24 2022-05-25 Inventus Engineering Gmbh Vorrichtung mit wenigstens einer Sensoreinrichtung zur Erfassung von Messdaten über eine Relativbewegung und Maßstabeinrichtung
DE102021100559A1 (de) 2020-11-24 2022-05-25 Inventus Engineering Gmbh Vorrichtung mit wenigstens einer Sensoreinrichtung zur Erfassung von Messdaten über eine Relativbewegung und Maßstabeinrichtung
US11959778B2 (en) 2020-11-24 2024-04-16 Inventus Engineering Gmbh Device with at least one sensor for acquiring measurement data via a relative movement and a scale device

Also Published As

Publication number Publication date
DE59508445D1 (de) 2000-07-13
EP0695879B1 (de) 2000-06-07
EP0695879A1 (de) 1996-02-07
KR960008085A (ko) 1996-03-22
US5568760A (en) 1996-10-29
KR100194164B1 (ko) 1999-06-15
BR9503521A (pt) 1996-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE9412435U1 (de) Arbeitszylinder
DE69818256T2 (de) Magnetischer positionsgeber
DE69511063T2 (de) Inkrementaler geschwindigkeits- und / oder lagegeber
DE102005024101B4 (de) Magnetfelderzeugungsvorrichtung und diese verwendender Wegsensor
DE102006049724A1 (de) Ventilanordnung mit Positionssensor
DE102015102233A1 (de) Positionssensor und damit erstellte Messanordnung
DE29607993U1 (de) Kolben für einen Arbeitszylinder
DE3507167C3 (de) Kolben-Zylinder-Anordnung
DE10137468B4 (de) Befestigungsstruktur für Positions-Detektionssensoren
EP0112985B1 (de) Vorrichtung zur Messung von Vorschubbewegungen
DE9010114U1 (de) Arbeitszylinder
DE202017105319U1 (de) Fluiddruckzylinder
DE19738316A1 (de) Berührungsloser Wegmesser insbesondere zur Verschleißmessung von Bremsklötzen
EP0803047B1 (de) Weggeber
DE9209980U1 (de) Kolben-Zylinder-Aggregat
DE20003631U1 (de) Einrichtung zum Orten eines bewegbaren Körpers in einem vorgegebenen Raum
EP1691165B1 (de) Vorrichtung zur Ueberprüfung der Mass-, Form- und Lagetoleranzen eines mechanischen Werkstueckes
DE10210636C1 (de) Fluidbetätigter Arbeitszylinder
DE19545923A1 (de) Einrichtung mit einem Zylinder, einem in diesem verschiebbaren Kolben und einem im Zylinder angeordneten, induktiven Meßwandler
DE4429857C2 (de) Detektor für Magnetposition
DE19933134A1 (de) Druckmeßsystem
DE19917464A1 (de) Wegmeßvorrichtung
DE19805225C5 (de) Positionserfassungsvorrichtung
DD243966A5 (de) Kolbenstangenloser zylinder
EP0179285A1 (de) Magnetisch-induktiver Durchflussmesser