DE9411360U1 - Meßplatine zur Qualitätssicherung von Halbleitern mit spezieller Meßspitzendurchführung - Google Patents

Meßplatine zur Qualitätssicherung von Halbleitern mit spezieller Meßspitzendurchführung

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    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07342Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card

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Description

Beschreibung:
Meßplatine zur Qualitätssicherung von Halbleitern mit einer speziellen Meßspitzendurchführung.
Bei diesen Platinen spricht man von Meßmitteln die zur Qualitätskontrolle von Mikrochips verwendet werden, das heißt, der Mikrochip wird mittels der auf der Platine montierten Meßspitzen kontaktiert und durch ein speziell entwickeltes Programm getestet. Hierbei kommen zwei verschiedene Technologien zur Anwendung:
Zum einen werden Blades verwendet, die auf der Oberseite der Platine verlötet werden und deren Spitze mittels Freibohrung durch die Platine ragen.
In unserem Fall kommt das sogenannte Epoxyverfahren zum Einsatz, bei dem die Meßspitzen nach einer bestimmten Anordnung auf einen Keramikring verklebt werden und anschließend auf der Unterseite der Platine montiert und die Spitzen verlötet werden.
Der im Schutzanspruch angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, daß aus meßtechnischen Gründen, das Layout der verwendeten Platinen so gestaltet wurde, daß die Meßspitzen nur auf der Oberseite verlötet werden können. Dieses Problem wird mit den im Schutzanspruch aufgeführten Merkmalen (durch radial angelegte Ausfräsungen werden die an der Platinenunterseite montierten Meßspitzen nach oben durchgeführt und nach Plan verlötet) gelöst.
Durch diese Verfahrensweise können so die mit einer außerdem hohen Standzeit belegten Meßspitzen im Epoxyverfahren verwendet werden und die Platinenunterseite kann zur meßtechnischen Optimierung freigehalten werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der Figur 1 und 2 dargestellt! Es zeigen:
Fig.l die neuartige Montage der Meßspitzen an der Platinenoberseite 1, indem die Meßspitzen 2 durch die radial angelegten Ausfräsungen 3 nach oben geführt werden und somit auf der Oberseite 4 verlötet werden können.
Fig.2 die Platinenunterseite 1 mit den auf dem Keramikring 2 verklebten Meßspitzen 3 und den radial angelegten Ausfräsungen 4.

Claims (1)

  1. Schutzanspruch:
    Meßplatine zur Qualitätssicherung von Halbleitern mit einer speziellen Meßspitzendurchführung,
    dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspitzen durch eine radial angelegte Ausfräsung von der Platinenunterseite zur Platinenoberseite geführt werden und der Oberseite verlötet werden können.
DE9411360U 1994-07-13 1994-07-13 Meßplatine zur Qualitätssicherung von Halbleitern mit spezieller Meßspitzendurchführung Expired - Lifetime DE9411360U1 (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1010105C2 (nl) * 1997-11-18 1999-05-19 Samsung Electronics Co Ltd Sondekaart voor het testen van een chip met een geïntegreerde schakeling.
DE10047897A1 (de) * 2000-09-26 2002-04-18 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Elektronische Baueinheit

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1010105C2 (nl) * 1997-11-18 1999-05-19 Samsung Electronics Co Ltd Sondekaart voor het testen van een chip met een geïntegreerde schakeling.
FR2771180A1 (fr) * 1997-11-18 1999-05-21 Samsung Electronics Co Ltd Carte de controle pour tester une puce de circuit integre
DE10047897A1 (de) * 2000-09-26 2002-04-18 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Elektronische Baueinheit
US6603663B2 (en) 2000-09-26 2003-08-05 Patent-Treuhand-Gesellscahft Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Electronic unit
DE10047897B4 (de) * 2000-09-26 2008-04-24 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Elektronische Baueinheit mit einer als Leadframe ausgebildeten Montageplatte und darauf befestigten SMD-Bauteilen

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