DE927282C - Vorrichtung zur Ausuebung des Verfahrens zur Herstellung von Stereoaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten - Google Patents

Description

• Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens zur Herstellung von Stereoaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens zur Herstellung von Stereoaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, mit einem um den Stereowinkel schwenkbaren Objekthalter, der mit Hilfe eines Triebes, welcher für die Verstellung des Objekts gegenüber demObjektiv in der Strahlrichtung dient, wahlweise in die eine oder andere Betriebslage geschwenkt werden kann.
• Die Erfindung zielt- darauf ab, eine solche Ausgestaltung zu bekommen, bei der das Umlegen in die andere Betriebslage durch das bloße Weiterdrehen der Vorrichtung zum Verstellen der Patrone in der Achsrichtung auf das Objektiv hin möglich ist. Erfindungsgemäß besteht die Objektpatrone aus zwei ineinander verschiebbaren durch eine Feder gegen Anschläge auseinandergedrückten Hülsenteilen und dabei ist in dem einen (inneren) Hülsenteil der schwenkbare Objekthalter derart befestigt, daß er durch eine oder mehrere Federn in die eine Endlage gedrückt wird, wobei die Schwenkung in die andere Endlage entgegen dem Druck dieser Federn durch einen an dem anderen (äußeren#) Patronen:hülse.ntei:1 befindlichen Anschlag bewirkt wird. Man wird dieAnordnung vorzugsweise so durchbilden, daß das Erreichen der jeweiligen Endlage des schwenkbaren Objekthalters durch besondere Marken am äußeren Handgriff der Patronenverstellvorr 4chtung erkennbar gemacht wird. Die Anordnung kann auch so durchgebildet werden, daß das Erreichen dieser beiden Stellungen jeweils durch besondere Rasten am Handgriff fühlbar gemacht wird. Zum Erreichen der ersten Stereolage des kippbaren Objekthalters wird also die Patrone bei der Erfindung mit Hilfe des normalen äußeren Antriebes aus der Objektschleuse heraus in Richtung auf das Objektiv zu bewegt und zum Erreichen der anderen Stereolage wird der Trieb in demselben Verstellsinne weiterverstellt. Man kann die Konstruktion vorteilhaft so ausbilden, daß der Hülsenteil det Patrone, welcher den schwenkbaren Objekthalter trägt, durch die den beiden Hülsenteilen zugeordnete Feder schon in der ersten Endlage gegen einen Teil (z. B. den oberen Polschuh) des Objektivs gedrückt wird und daß bei weiterer Verstellung der Patrone auf das Objektiv hin der äußere Hülsenteil dann bis zum Wirksainwerden des die Kippung bewirkenden Anschlages auf das Objektiv zu bewegt wird. Diese Anordnung hat den Vorteil, daß in beiden Betriebslagen die Ob- jektpatrone und damit auch das Objekt selbst sehr gut gegenüber dem Objektiv festgelegt ist, so daß mechanische Erschütterungen des Mikroskops keine Relativbewegungen des Objekts gegenüber dem Objektiv zur Folge haben können. Der äußere Hülsenteil wird bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung von dem zur Verstellung in der Strahlrichtung dienenden Trieb in einen vor dem Objektiv liegenden Tisch eingeführt. Mit Hilfe dieses Tisches wird das Objekt gegenüber dem Ob- jektiv quer verstellt, um den jeweils gewünschten Objektbereich aussuchen zu können.
• Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus dem Ausführungsbeispiel. In der Figur ist ein Längsschnitt durch eine Objektpatrone dargestellt, die in einem mit einer. Polschuhlinse ausgerüsteten Elektronenmikroskop zur Anwendung kommen soll. Mit i und 2 sind der obere und der untere Polschuh des Objektivs be- zeichnet. Diese beiden Polschuhe sind mit Hilfe des unmagnetischen Zwischenstücks 3 fest verschraubt und bilden so- einen ein heitlichen Einsatzkörper, der in die nicht dargestellte Innenbohrung der magnetischen Objektivlinse eingesetzt werden kann. In einem Tisc114, der sich in dem Strahlengang vor dem Objektiv befindet, kann die Objektpatrone von oben her eingeführt werden. Dieser Tisch ist durch an sich bekannte, In, der Figur nicht dargestellte, von außen ziu bediemlide Versteillvorrichtungen quer zur Strahlrichtung um kleine Beträge beliebig verschiebbar. Die Objektpatrone besitzt eine äußere HÜlse 5 und eine relativ dazu verschiebbare innere Hülse 6. Mit Hilfe des Teils 7 ist das obere Ende 8 der Patrone auf die äußere Hülse 5 aufgeschraubt. Der innere Hülsenteil 6 trägt einen Anschlag 9, der in einem Schlitz 25 der äußeren Hülse 5 auf und ab gleiten kann. Normalerweis.e werden die beiden Hülsenteile 5 und 6 mit Hilfe einer Feder io derart auseinandergespreizt, daß sich der Anschlag 9 gegen das untere Ende des Schlitzes:25 anlegt. Am inneren Hülsenteil 6 ist der Obj ekthalter i i um die Drehachse 1:2 schwenkbar befestigt. Der Ob- jekthalter besteht aus den Teilen 13, 14, 15, durch die die Objektträgerblende 16 festgeklemmt ist. An der Hülse 6 sind zwei Blattfedern 17 angenietet, die vor bzw. hinter der einstellbaren Anschlagschraube 18 liegen. Diese Federn drücken normalerweise den Patronenhalter ii in eine Betriebslage, in der die Achse des Halters gegenüber der Mikroskopachse2o um denWinkel a in die Stellung ig nach links geneigt ist. Wenn man die gesamte Pa,trone mit Hilfe eines an sich bekannten, in der Zeichnung nicht dargestellten, beispielsweise mit Zahnstange und Ritzel arbeitenden Triebes von oben her aus der Schleusenkammer gegen das Ob- jektiv drückt, so wird die Patrone mit der äußeren Hülse 5 in den Tisch 4 eingeführt, und die innere Hülse 6 - drückt dann zunächst gegen die Anlagefläche:2i des oberen Polschuhes, womit die. Patrone und das Objekt gut gegenüber dem Objektiv fest-,gelegt ist. Sobald eine in der Figur nicht dargestellte Lage erreicht ist, in der sich diese Anlage durch ein geringfügiges Zusammendrücken der Feder io ergibt, kann die erste Stereoaufnahme gemacht werden, bei welcher sich also die Achse des Halters i i in der Lage 19 befindet. Nach der ersten Aufnahme wird die Patrone mit Hilfe des Triebes von oben nach unten hin weitergeführt, wobei sich die Feder io mehr und mehr zusammendrückt und die Hülsenteile 5 und 6 ineinanderschieben. Bei dieser Bewegung kommt die keilförmige Nase:2:2 des Teiles 7 mit dem oberen Rand 23 des Halters ii in Berührung, 'so daß der Halter im Uhrzeigersinn in die andere Stereolage gekippt wird, in welcher die- Achse des Halters in die Lage 24 kommt. Diese Bewegung erfolgt entgegen dem Druck der Federn 17. Damit ist die in der Figur dargestellte zweite Stereolage erreicht. Beim Zurückdrehen des Triebes im Sinne des Ausschleusens der Patrone drückt die Feder io die Hülsenteile 5 und 6 wieder auseinander, wobei die Nase 22 den Objekthalter ii wieder freigibt, so daß dieser durch die Wirkung der Federn 17 wieder in die Lage ig zurückgestellt werden kann.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE: i.
2. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens zur Herstellung von Stereoaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, mit einem um den Stereowinkel schwenkbaren Objekthalter, der mit Hilfe eines Triebes, welcher für die Verstellung des Objekts gegenüber dem Objektiv in der Strahlrichtung dient, wahlweise in die eine oder andere Betriebslage geschwenkt werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektpatrone aus zwei ineinander verschiebbaren, durch eine Feder gegen Anschläge auseinandergedrückten Hülsenteilen besteht, und daß in dem einen (inneren) Hülsenteil der schwenkbare Objekthalter deraxt befestigt ist, daß er durch eine oder mehrere Federn in die eine Endlage gedrückt wird und daß die Schwenkung in die andere Endlage entgegen dem Druck dieser Federn durch einen an dem einen (äußeren) Hülsenteil befindlichen Anschlag bewirkt wird. :2.
3. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Hülsenteil der Patrone, welche den schwenkbaren Objekthalter trägt, durch die den beiden Hülsenteilen zugeordnete Feder schon in der ersten Endlage gegen einen Teil (z. B. den oberen Polschuh) des Objektivs gedrückt wird, und daß bei weitererVerstellung der Patrone auf das Objekt hin der äußere 1-IÜ1-senteil bis zum Wirksamwerden des die Schwenkung bewirkenden Anschlages auf das Objektiv zu bewegt wird. 3. Vorrichtung nach Anspruch. i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Hülsenteil von dem zur Verstellung in Strahlrichtung dienenden Triebe in einen vor dem Objektiv liegenden Tisch eingeführt wird, 'der quer zur Strahlrichtung verstellbar ist.