DE9207046U1 - Zündeinrichtung für einen Vakuumbogenentladungsverdampfer - Google Patents
Zündeinrichtung für einen VakuumbogenentladungsverdampferInfo
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DE29505888U1 (de) * | 1995-04-05 | 1995-05-24 | Von Ardenne Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden | Vorrichtung zum Zünden eines Vakuumlichtbogens |
DE19618073C1 (de) * | 1996-05-06 | 1997-09-18 | Inovap Vakuum Und Plasmatechni | Zündeinrichtung für einen Vakuumbogenverdampfer |
CN107881478A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-04-06 | 嘉兴岱源真空科技有限公司 | 一种引弧点火装置及纳米材料制作设备 |
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1992
- 1992-05-25 DE DE9207046U patent/DE9207046U1/de not_active Expired - Lifetime
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