DE911662C

DE911662C - Mikroskop zur Sichtbarmachung von Oberflaechen- und Schichtstrukturen

Info

Publication number: DE911662C
Application number: DEB4981D
Authority: DE
Inventors: Otto Ursinus
Original assignee: EMIL BUSCH A G
Current assignee: EMIL BUSCH A G
Priority date: 1941-11-06
Filing date: 1941-11-06
Publication date: 1954-05-17

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop zur Sichtbarmachung von Oberflächen- und Schichtstrukturen mit Hilfe einer auf dem Prüfkörper scharf abgebildeten und schräg zur Lichteinfallsrichtung beobachteten Hell-Dunkel-Kante und kennzeichnet sich durch Mittel zur Erzeugung je einer Hell-Dunkel-Kante auf dem Prüfgegenstand und auf einem Musterstück und durch Mittel, um die beiden Hell-Dunkel-Kanten schräg zur Lichteinfallsrichtung gemeinsam beobachten zu können.
Die beiden Hell-Dunkel-Kanten können dabei mit Hilfe entweder zweier getrennter B¢eleuchtungseinrichtungen ruder einer einzigen erzeugt werden.
Sie werden vorzugsweise unter Verwendung von strahlenteilenden Mitteln in der Blendenebene eines einzigen Okulars entworfen und monokular ,oder nach an sich bekannter nochmaliger Strahlenteilung binokular betrachtet.
Die beiden zu vergleichenden Bilder werden dabei in der Okularblendenebene nebeneinander in gleicher oder spiegelbildlicher Lage zueinander entworfen.
Die Vergleichsmöglichkeit wird erfindungsgemäß dadurch erhöht, daß die beiden Bilder in teilweiser oder völliger Überdeckung und komplementärfarbig abgebildet werden. Zu diesem Zweck werden beispielsweise im Beleuchtungs- oder Beobachtungsstrahlengang je ein Farbfilter eines Komplementärfarbenpaares, insbesondere ein Rot- und ein Grünfilter, eingesetzt. Dann erscheinen die sich deckenden Bildteile weißlich und die unterschiedlichen in den Einzelfarben.
Um Profilkurven mit möglichst großen Amplituden zu erzeugen, werden die Beleuchtungs- und Beobachtungsstrahlen derart geleitet, daß sie einen möglichst großen Winkel miteinander und mit der Mikroskopachse bilden.
In der Zeichnung sind zwei Ausführungsformen der Erfindung schematisch dargestellt.
Bei dem Mikroskop nach Fig. 1 ist dem Prüfstücks das Objektivs und dem Musterstück it das Objektivs zugeordnet. Mit c ist das gemeinsame Okular bezeichnet. Der von der Lichtquelle 1 beleuchtete Spaltf wird über die Spiegelt und 1 auf dem Prüfstückm und der von der Lichtquelle beleuchtete Spalt g über die Spiegel 2 und t auf dem Musterstück n abgebildet. Der vom Prüfstück m ausgehende Beobachtungsstrahlengang wird direkt und der vom Musterstück , ausgehende Strahlengang über die Spiegel o und p dem gemeinsamen Okular c zugeleitet.
Bei der Strahlengangführung nach Fig. 2 sind Prüfstück m und Musterstück in zueinander senkrecht stehenden Ebenen angeordnet. Die auf ihnen stehenden Hell-Dunkel-Kanten werden mit Hilfe eines einzigen, von der Lichtquelle 1 beleuchteten Spaltes f erzeugt, der mit Hilfe des Spiegels lt über die Blendenöffnung q und das Objektiv b auf dem Musterstück it und mit Hilfe des weiteren, beider seits versilberten Spiegels r über die Blendenöffnung s1 und das Objektiv a auf dem Prüfstückmf abgebildet wird. Die vom Prüfstück m ausgehenden B eobachtuugsstrablen gelangen nach dem Durchtritt durch -die Blendenöffnung s2 direkt in das Schrägblickokular c, während der vom Musterstück it ausgehende Beobachtungsstrahlengang nach Durchtritt durch die Blendenöffnung q2 über den Spiegel r in das Okular geleitet wird.
Der Spiegelt beeinflußt also einerseits den Beleuchtungsstrahlengang des Prüfstücks in und andererseits gleichzeitig den Beobachtungsstrahlengang des Musterstücks n und wirkt in beiden Fällen im Sinne des Hauptpatents als Strahlentrennungsmittel.
Im Beobachtungsstrahlengang des Prüfstücks m ist das z. B. rote Farbfilter t und in dem des Musterstücks n das z. B. grüne Farbfilter u angeordnet.
Die Anordnung nach Fig. 2 wird zweckmäßigerweise derart am Mikroskopträger angebracht, daß das Instrument um eine zur Zeichenebene senkrechte Achse um 90° derart drehbar ist, daß z. B. die Achse des Objektivs b senkrecht verläuft und eine Beobachtung nach Le Chatelierscher Anordnung ermöglicht. In diesem Fall wird das Musterstück dem Objektivs zugeordnet. Diese Beobachtungswleise erleichtert insbesondere die Durchführung von Reihenuntersuchungen, z. B. zwecks fortlaufender Überwachung eines Fräs- oder Drehvorganges, weil die Frässtücke nur auf den über dem Objektiv b blefindlichen Objekttisch aufgelegt zu werden brauchen.
PATENTANSPROCHE: I. Mikroskop zur Sichtbarmachung von Oberflãchen- und Schichtstrukturen mit Hilfe einer auf dem Prüfkörper scharf abgebildeten und schräg zur Lichteinfallsrichtung beobachteten Hell-Dunkel-Kante, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung je einer Hell-Dunkel-Kante auf dem Prüfgegeistand und auf einem Musterstück und durch Mittel, um die beiden Hell-'Denkel-Kanten schräg zur Lichteinfallsrichtung gemeinsam beobachten zu können.

Claims

2. Mikroskop nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß. die Hell-Dunkel-Kanten auf Prüfstück und Musterstück mit Hilfe eines gemeinsamen Beleuchtungs spaltes bzw. Spaltbildes erzeugt werden.

3. Mikroskop nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen doppelseitigen, als Strahlentrennungsmittel dienenden Spiegel (r) der einerseits den Beleuchtungsstrahlengang des Prüfstücks und andererseits gleichzeitig den Bgeobachtungsstrahlengang des Musterstücks, oder umgekehrt, beeinflußt.

4. Mikroskop nach Anspruch 1 und 22 gekennzeichnet durch Mittel zur komplementärfarbigen Anfärbung der beiden Strahlengänge.