DE909276C - Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck

Info

Publication number
DE909276C
DE909276C DES16086D DES0016086D DE909276C DE 909276 C DE909276 C DE 909276C DE S16086 D DES16086 D DE S16086D DE S0016086 D DES0016086 D DE S0016086D DE 909276 C DE909276 C DE 909276C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal vapor
nozzle
metal
jet
protective gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES16086D
Other languages
English (en)
Inventor
Norbert Muellbauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DES16086D priority Critical patent/DE909276C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE909276C publication Critical patent/DE909276C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Description

  • Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlägen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphärendruck Es ist bereits an anderer Stelle beschrieben worden, daß zur Erzielung zusammenhängender, gut leitender und auf glatten Unterlagen spiegelnder Metallschichten durch Kondensation von Metalldampf bei hohem Druck, entgegen dem üblicherweise angewendeten Hochvakuum, die zu verdampfenden Metalle in einem abgeschlossenen Behälter erhitzt werden müssen, und zwar derart hoch erhitzt werden müssen, daß der Metalldampf unter Druck aus einer Öffnung des Behälters austritt. Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, die Austrittsöffnung des Metalldampfbehälters als Düse auszugestalten, damit der Metalldampf die Form eines scharfen gerichteten Dampfstrahles erhält, der auf die metallisierende Fläche gerichtet wird. Obwohl der scharfe Metalldampfstrahl mit hoher Geschwindigkeit aus der Düse austritt, erfolgt trotzdem in den Randzonen ein Eindringen von Fremdgas, beispielsweise atmosphärischer Luft, die insbesondere bei leicht oxydierenden Metalldämpfen Verunreinigungen in der aufkondensierten Metallschicht hervorruft, was unter anderem eine Erhöhung des elektrischen Widerstandes der Schicht nach sicht zieht. Dies ist dann, wenn die Schichten als Belegungen eines elektrischen Kondensators verwendet werden sollen, äußerst unerwünscht. Es wurde daher bereits der Vorschlag gemacht, durch Blenden die Randzonen des Metalldampfstrahles vom Bedampfungsgut fernzuhalten und nur den Kern des Metalldampfstrahles, der aus reinstem Metalldampf besteht, zu der metallisierenden Fläche zu führen.
  • Diese Maßnahme hat jedoch verschiedene Nachteile, insbesondere den, daß die Blende nicht unmittelbar auf der Oberfläche des Bedampfungsgutes angebracht werden kann, da es sich bei dem vorliegenden Metallisierungsverfahren um eine sogenannte laufende Metallisierung handelt, d. h. wobei bandförmige Träger in Band- oder Drahtform durch Vorüberführen an der Dampfdüse metallisiert werden. Der Metalldampfkern kann also nach seinem Durchtritt durch die Blende wiederum mit Fremdgas in Berührung kommen und in den Randzonen geschwängert werden. Weiterhin werden diese Blenden in sehr kurzer Zeit durch die ganz erheblichen Metallmengen verunreinigt.
  • Erfindungsgemäß wird, um diese Nachteile zu vermeiden und eine vollständigere Ausbeute des bestehenden Metalldampfes zu gewährleisten, der aus der Düse austretende Metalldampfstrahl von einer inerten oder reduzierenden, hoch erhitzten Schutzgasatmosphäre in Form eines Gasstrahles umhüllt. Um jede Kondensation der Randzonen des Metalldampfstrahles bei der Berührung mit dem Schutzgasmantel zu vermeiden, wodurch unseres Erachtens erhebliche Beeinträchtigungen der aufzubringenden Metallschicht entstehen können, erwärmt man das Schutzgas mindestens auf so hohe Temperaturen, daß eine Kondensation des Metalldampfes nicht eintritt. Dieser Schutzgasmantel umhüllt den Metalldampfstrahl vor seinem Austritt aus der Metalldampfdüse bis zum Auftreffen auf den zu bedampfenden Träger und verhindert auch durch seine Strömungsgeschwindigkeit, die verschieden oder gleich der Strömungsgeschwindigkeit des Metalldampfstrahles sein kann, einEindringen unerwünschter Gase in den Metalldampfstrahl.
  • Es kann nun der Fall eintreten, daß dann, wenn höher siedende Metalle verdampft werden, die Temperatur des Schutzgases, beispielsweise des Wasserstoffes, so hoch sein muß, daß es sich beim Zusammentreffen mit Atmosphärenluft entz'ün'det. Um in diesem Falle die Verwendung teuererer Schutzgase zti vermeiden, ist es erforderlich, das strömende heiße Schutzgas mit einem weiteren kalten Gasmantel zu umgeben, der seinerseits lediglich die Aufgabe hat, den Zutritt von Sauerstoff zu dem erhitzten Schutzgas zu verhindern. Der Metalldampfstrahl ist in diesem Falle von zwei strömenden Gasschichten umgeben, die gleichzeitig noch die beabsichtigte Schutzwirkung für den Metalldampf- j strahl vergrößern. Zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens bedient man sich zweckmäßigerweise konzentrischer Düsenanordnungen, wie sie an sich für andere Zwecke, beispielsweise in der Spritztechnik, bekannt sind. Aus der innersten Düse läßt man den Metalldampfstrahl, aus der darum angeordneten Düse den erhitzten Schutzgasstrom und aus einer weiteren darum angeordneten Düse den kalten Schutzgasstrom austreten. Eine solche Düsenanordnung ist in der Zeichnung dargestellt, worin aus der Düsenöffnung a der Metalldampf, aus der Düse b das erhitzte Schutzgas und aus der Düse c das kalte Schutzgas austritt. Der Querschnitt der Düse selbst kann je nach den Erfordernissen kreisförmig, rechteckig, spaltförmig od. dgl. sein. Es sei noch erwähnt, daß, wie es auch schon an anderer Stelle beschrieben ist, die Metalldampfdüse und auch eine diese Düse mit dem Metalldampfkessel verbindende Rohrleitung beheizt sein kann, um eine vorzeitige Kondensation zu verhindern oder eine bestimmte Überhitzung des Metalldampfstrahles zu erzielen.

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE. i. Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlägen auf beliebigen Unterlagen: durch Niederschlagen von Metalldampf, insbesondere bei Atmosphärendruck, wobei der Metalldampf aus einer Düse in Form eines Metalldampfstrahles austritt, dadurch gekennzeichnet, daß der Dampfstrahl von einer inerten oder reduzierenden, hoch erhitzten Schutzgasatmosphäre in Form eines Gasstrahles umhüllt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Schutzgas mindestens so weit erhitzt wird, daß eine Kondensation des Metalldampfes nicht eintritt.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß um den erhitzten Schutzgasstrahl ein weiterer, kalter Schutzgasstrahl vorgesehen wird.
  4. Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metalldampfdüse von einer weiteren Düse umgeben ist, aus welcher das heiße Schutzgas austritt.
  5. 5. Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, da13 um die Schutzgasdüse eine weitere Düse angeordnet ist, aus welcher ein kalter Gasstrahl austritt.
DES16086D 1941-06-18 1941-06-18 Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck Expired DE909276C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES16086D DE909276C (de) 1941-06-18 1941-06-18 Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES16086D DE909276C (de) 1941-06-18 1941-06-18 Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE909276C true DE909276C (de) 1954-04-15

Family

ID=7475011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES16086D Expired DE909276C (de) 1941-06-18 1941-06-18 Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE909276C (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1137279B (de) * 1954-12-31 1962-09-27 Ct Nat D Etudes Des Telecomm Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Gegenstaenden mit Ga, Ge, In
US3074651A (en) * 1958-12-05 1963-01-22 Agosti Bruno Spray gun

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1137279B (de) * 1954-12-31 1962-09-27 Ct Nat D Etudes Des Telecomm Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Gegenstaenden mit Ga, Ge, In
US3074651A (en) * 1958-12-05 1963-01-22 Agosti Bruno Spray gun

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1446161B2 (de) Supraleitendes Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
DE909276C (de) Verfahren zur Herstellung von Metallniederschlaegen durch Kondensation von Metalldampf bei hohem, insbesondere Atmosphaerendruck
DE2444857A1 (de) Verfahren zum abschrecken von zirkonium und zirkoniumlegierungen
EP0004545B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verzinken von Draht
DE2029249A1 (de) Verfahren zur Behandlung von Warme tauschern und ähnlichen Apparaten in Warmekraftw erken
DE10253582B3 (de) Infrarotstrahler, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung
DE1824547U (de) Ventil fuer hochvakuumanlagen.
DE2713741A1 (de) Fuehrungsrolle mit waermestrahlungsschutz
DE1621376A1 (de) Verfahren zum UEberziehen von Stahl mit einer metallischen Schutzschicht
DE1946735A1 (de) Fluessigkeitsgekuehlter Tiegel
DE976068C (de) Verfahren zum laufenden UEberziehen band- oder drahtaehnlicher Gebilde nach dem thermischen Aufdampfungsverfahren
DE1621374C3 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen pyrolytischen Beschichtung einer langgestreckten metallischen Unterlage, insbesondere eines Drahtes
DE2756825C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Diffusionsüberzügen
DE1221520B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Gasplattieren mittels eines aus durch Verdampfen einerMetallverbindung erzeugten und einem auf deren Dampftemperatur erhitzten Traegergas erhaltenen Plattierungsgasgemisches
DE1965212A1 (de) Steigrohr-Abdichtung fuer Niederdruck-Giessanlagen
DE1610659A1 (de) Arbeiterschutzartikel
DE1300516C2 (de) Vorrichtung zur verhinderung des beschlagens von schauglaesern in vakuumanlagen
DE884058C (de) Entladungsgefaess mit Aussenanode
DE1417786A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Silizium hoher Reinheit
DE102009044282A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung polylegierter Schmuckgegenstände
DE477182C (de) Verfahren zur Waermebehandlung von Metallen und Metallegierungen in lang-gestreckter Form, insbesondere von gleichfoermig induktiv belasteten Leitern
DE922980C (de) Verfahren zur Herstellung einer korrosionsfesten Oberflaeche beim kontinuierlichen Waermebehandeln von Metall-Legierungen
DE971563C (de) Verfahren zum Herstellen festhaftender UEberzuege aus Wolfram oder Molybdaen oder deren Legierungen durch Aufdampfen
DE909604C (de) Verfahren zur Herstellung von Entladungsgefaessen, vorzugsweise Roentgenroehren
DE896691C (de) Anordnung von Gettern in Vakuumapparaten aus Metall