DE906956C - Elektronenoptisches Immersionssystem - Google Patents
Elektronenoptisches ImmersionssystemInfo
- Publication number
- DE906956C DE906956C DEA4807D DEA0004807D DE906956C DE 906956 C DE906956 C DE 906956C DE A4807 D DEA4807 D DE A4807D DE A0004807 D DEA0004807 D DE A0004807D DE 906956 C DE906956 C DE 906956C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrodes
- immersion system
- electron
- optical immersion
- aberration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007654 immersion Methods 0.000 title claims description 8
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
- Die für die Elektronenmikroskope benutzten elektrischen Immersionssys,teme, die außer der Kathode zwei weitere blendenfärmige Elektroden besitzen, weisen verhältnismäßig große Abbildungsfehler auf, insbesondere zeigen sie Bildwölbung und Aberration. Um diese Fehler zu vermeiden, ist bereits vorgeschlagen worden, blendenförmige Elektroden mit trichterförmigen Öffnungen zu versehen.
- Gegenstand .der Erfindung ist ein Immersionssystem, bei welchem dieser Fehler der Bildwölbung und der Aberration noch weitgehend beseitigte wird. Ein solches erfindungsgemäßesr Immersionssystem besitzt außer den drei zur Abbildung notwendigen Elektroden (Kathode und zwei Blenden) noch weitere Elektroden, die, auf geeignetes positives oder negatives Potential gebracht, das Potentialfeld des Abbildungssystems so deformieren, däß es die optisch zu fordernden Bedingungen erfüllt.
- Gemäß einem weiteren Erfindungsgedanken läßt sich die Deformierung des Potentialfeldes auch dadurch erreichen, daß dem elektrischen Feld der Elektroden ein magnetisches überlagert wird.
- In der Abbildung ist beispielsweise ein erfindungsgemäßes Immersionssystem mit vier Elektroden schematisch dargestellt. Zwischen der Kathode K und der Anode ff liegen die beiden Hilfselektroden Ei und E2. Weitere Verbesserungen der Abbildung lassen sich noch durch besondere Gestaltungen der Elektroden, insbesondere von Ei und E2, etwa durch trichterförmig ausgestülpte Öffnungen, erreichen.
- Das erfindungsgemäße Immersionssystem mit mehr als :drei Elektroden hat außerdem den Vorteil, daß die Vergrößerung des: Systems weitgehend :durch Ändern der an die Elektroden gelegte Potentiale geändert werden kann. Das sonst zur Verstellung der Vergrößerung nötige lästige-Verschiebender elektrischen Linsen fällt damit fort.
Claims (2)
- PATENTANSPRÜCHE: r. Elektronenoptisches Immersionssystem, dadurch gekennzeichnet, daß außer den drei für die Abbildungen notwendigen Elektroden eine oder mehrere weitere blendenförmigeElektroden zur Beseitigung der Bildwölbung und der Aberration angeordnet sind.
- 2. Elektronenoptisches Immersionssystem, dadurch gekennzeichnet, daß dem elektrischen Feld der Elektroden zur Beseitigung der Bildwölbung und der Aberration ein magnetisches Feld überlagert ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEA4807D DE906956C (de) | 1934-07-05 | 1934-07-05 | Elektronenoptisches Immersionssystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEA4807D DE906956C (de) | 1934-07-05 | 1934-07-05 | Elektronenoptisches Immersionssystem |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE906956C true DE906956C (de) | 1954-03-18 |
Family
ID=6920538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEA4807D Expired DE906956C (de) | 1934-07-05 | 1934-07-05 | Elektronenoptisches Immersionssystem |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE906956C (de) |
-
1934
- 1934-07-05 DE DEA4807D patent/DE906956C/de not_active Expired
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE874343C (de) | Elektronenoptisches System fuer Elektronenstrahlroehren, insbesondere fuer Oszillographen- und Fernsehroehren | |
| DE1032419B (de) | Braunsche Roehre | |
| DE906956C (de) | Elektronenoptisches Immersionssystem | |
| DE2809323A1 (de) | Mikroskopobjektiv | |
| DE2205162A1 (de) | Elektronenstrahlerzeuger | |
| DE733958C (de) | Hochspannungsbildwandlerroehre mit lichtempfindlicher Kathode, Leuchtschirm und Elektronenlinsen | |
| DE750226C (de) | Anordnung zur Befestigung von Elektroden fuer Kathodenstrahlroehren | |
| DE2839843A1 (de) | Normalobjektiv fuer einaeugige spiegelreflexkameras | |
| DE2337650C2 (de) | Okular | |
| DE4143199C2 (de) | Elektronenkanone für eine Kathodenstrahlröhre | |
| DE2506187A1 (de) | Fotografisches objektiv vom gauss- typ | |
| DE1200445B (de) | Kathodenstrahlroehre mit Ablenkmodulation | |
| DE2515549C2 (de) | Korpuskularstrahloptisches geraet zur abbildung einer maske auf ein zu bestrahlendes praeparat | |
| DE655945C (de) | Anordnung zur Ablenkung von Kathodenstrahlen, insbesondere fuer die Zwecke des Fernsehens | |
| DE873729C (de) | Einrichtung zur Verminderung des astigmatischen Fehlers elektronenoptischer Systeme | |
| DE887077C (de) | Einrichtung zur formgebenden Bearbeitung sowie zum Schmelzen von Halbleitermaterialien | |
| DE704396C (de) | Aus Kathode und Anode Bestehendes elektrionenoptisches Abbildungssystem | |
| DE599973C (de) | Bildwerfer fuer Stereobildwurf | |
| DE1187473B (de) | Anordnung zum elektronenoptischen Ausgleich von Bildversetzungen | |
| DE2515550B1 (de) | Korpuskularstrahloptisches geraet zur abbildung einer maske auf ein zu bestrahlendes praeparat | |
| DE703696C (de) | Einrichtung zur Ablenkung von Elektronenstrahlen, z. B. in Braunschen Roehren | |
| DE1303889C2 (de) | Photographisches objektiv mit grossem oeffnungsverhaeltnis und grosser schnittweite | |
| DE680825C (de) | Braunsche Roehre mit ebenem Leuchtschirm | |
| DE663880C (de) | Aus blendenfoermigen Elektroden bestehendes elektronenoptisches Immersionssystem | |
| AT155775B (de) | Elektronenoptisches System zur Erzeugung extrem kleiner, scharf begrenzter Brennflecke auf dem Schirm. |