DE873729C

DE873729C - Einrichtung zur Verminderung des astigmatischen Fehlers elektronenoptischer Systeme

Info

Publication number: DE873729C
Application number: DES20955A
Authority: DE
Inventors: Otto Dipl-Ing Rang
Original assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Current assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Priority date: 1950-11-21
Filing date: 1950-11-21
Publication date: 1953-04-16

Description

Man kann den Astigmatismus von- Elektronenlinsen dadurch beseitigen, daß man geeignete zusätzliche Hilfselektroden und/oder Magnetpole vorsieht, durch die vorzugsweise einstellbare, nicht rotationssymmetrische Felder erzeugt werden können. Diese Einrichtungen bezeichnet man als Stigmator. Solche Stigmatonen dienen dazu, ein Feld aufzubauen, das die abbil-' denden Elektronen derart ablenkt, daß der astigma-. tische Fehler behoben wird. Je nach der Entfernung des Stigmatörs vom Objektiv tritt bei der Korrektion des Astigmatismus eine mehr oder weniger starke Verzeichnung auf, die man mit in Kauf nehmen muB. Es ist bekannt, die Verzeichnung durch Anbringen eines zweiten Stigmators zu beseitigen, der sich im Strahlengang hinter dem Projektiv befindet. Durch diesen zweiten Stigmator wird die Abbildungsgüte wegen der geringen Apertur hinter den Projektiven nicht mehr beeinflußt.
Die Erfindung bezieht sich "auf eine Vorrichtung zur Verminderung des astigmatischen Fehlers elektronenoptischer Systeme, bestehend aus zwei in Strahlrichtung hintereinander angeordneten Systemen von zusätzlichen Hilfselektroden und/oder Magnetpolen, die vorzugsweise einstellbare, nicht rotationssymmetrische Felder erzeugen können und zur Kompensation- von ,Symmetriefehlern dienen, bei der jedoch die beiden Kompensationseinrichtungen zwischen Objektiv und Projektiv hintereinander und in verschiedenem Abstand vom Objektiv zur optischen Achse möglichst genau zentriert sind und die Korrekturfelder einen Winkel von möglichst genau 9o° miteinander bilden.
Es ergibt sich dabei der Vorteil, daß diese Vorrichtung auch für Apparate mit nur einer Linse verwertbar ist.
Besonders bequem wird die Bedienung der Vorrichtung gemäß der Erfindung, wenn die Elektroden der beiden Kompensationseinrichtungen über unveränderliche Schaltelemente fest- rriiteinander derart verbünden sind, daß sie nur gemeinsam geschaltet werden können.
Dabei gibt es zwei Möglichkeiten. Einmallassen sich die Verzeichnungen gerade kompensieren, wenn . an beide Teilsysteme die gleiche Spannung angelegt ist. Dazu müssen jedoch die Elektroden in beiden Systemen entsprechend angepäßt werden. Ist dies nicht der Fäll, so heben sich die Verzeichnungen erst dann auf, wenn die Spannungen an den beiden Teilsystemen in einem bestimmten Verhältnis zueinander stehen. Die Figuren zeigen in- zum Teil schematischer Darstellung j e ein Beispiel der Ausführung eines elektronenoptischen Systems üblicher Bauart und ein weiteres, bei dem von der Lehre der Erfindung Gebrauch gemacht worden ist.
Fig. i zeigt ein astigmatisches Objektiv 2, das das Objekt i in die Ebene 5 abbilden soll. Sowohl auf der x-Seite als auch auf der y-Seite treten die Strahlen unter dem Winkel 8 gegen die optische Achse aus und werden in der astigmatischen Linse 2 auf der y-Seite stärker als auf der x-Seite gebrochen. Die Pole 3 und q. des einfachen Stigmators brechen die beiden Strahlen um die Winkel a verschieden stark; jedoch so, daß das scharfe Bild in der Ebene 5 entsteht. Da jedoch y i * y 2 ist, ist das Bild verzeichnet.
Bei Verwendung eines verzeichnungsfreien Stigmators nach der Erfindung nehmen die Strahlen zunächst gemäß Fig. z den gleichen Weg wie bei der in Fig. z dargestellten Anordnung. Jedoch erfahren die Strählen durch das Feld der Elektroden 6 und 7 des verzeichnungsfreien Stigmators eine weitere Ablenkung um die Winkel fl; so daß sie beide die Bildebene 8 an der gleichen Stelle durchstoßen und darüber hinaus mit der optischen Achse zwei untereinander gleiche Winkel y 1 und y 2 bilden. Damit ist das Bild unverzeichnet.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:-i. Einrichtung zur Verminderung des astigmatischen Fehlers elektronenoptischer Systeme, bestehend aus zwei in Strahlrichtung hintereinander angeordneten Systemen zusätzlicher Hilfselektroden und/oder Magnetpole, die vorzugsweise einstellbare, nicht rotationssymmetrische Felder erzeugen können, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Kompensationseinrichtungen zwischen Objektiv und Pröjektiv hintereinander und in verschiedenem Abstand vorn Objektiv zur optischen Achse möglichst genau zentriert sind und die Korrekturfelder einen Winkel von möglichst genau 9o° miteinander bilden.
2. Einrichtung nach Anspruch z; dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden der beiden Kompensationseinrichtungen über unveränderliche Schaltelemente fest miteinander derart verbunden sind, daß sie nur gemeinsam geschaltet werden können.