DE904491C

DE904491C - Verfahren zur Steuerung von zur Durchfuehrung technischer Prozesse dienenden Gasentladungen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens

Info

Publication number: DE904491C
Application number: DEE4145A
Authority: DE
Inventors: Bernhard Berghaus; Hans Bucek
Original assignee: Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
Current assignee: Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
Priority date: 1950-08-03
Filing date: 1951-08-02
Publication date: 1954-02-18
Also published as: NL163085B; GB759694A; CH291360A; NL91406C; FR1053916A

Description

Die Durchführung technischer Prozesse mittels Gasentladungen, wobei unter technischen Prozessen auf physikalischen Vorgängen, wie Diffusionen (z. B. Chrom in Stahlobernächen, Entkohlung usw.), auf chemischen Vorgängen, wie Reaktionen (Synthesen), und, auf physikalisch-chemischen Vorgängen (z. B. Nitrierung von Stahl, Karburierung usw.) beruhende Maßnahmen zu verstehen sind, erfordert die Beherrschung¹ dieser Vorgänge unabhängig von der Werksitückform. Die Behandlung erfolgt demgemäß bei vorbestimmten Entladüngsformen, vorzugsweise in Glimmentladungen, mit durch das zu erzielende Ergebnis· festgelegten Temperaturen!, wobei das. Erreichen dieser Temperaturen durch die Einwirkung der Gasentladung selbst erzielt wird. Dabei wird die spezifische Belastung der in der Gasentladung liegendien oder sie als Glimmentladung tragenden Werkstückoberfläche (in A/cm²) so gewählt, daß die gewünschte Temperatur nicht nur erreicht, sondern auch aufrecht¹-erhalten wird. Da derartige energiereicha Entladungsformen technisch schwierig zu beherrschen sind, kommen zur Ausführung der Prozesse vorwiegend nur Entladungsgefäße in Verwendung, bei denen in an sich bekannter Weise die Durchführungen der Stiromzuileitungen durch die Wandung des¹

Reizipienten gegen den Angriff der Gasentladung auf die verwendeten Isolatoren durch vorgeschaltete Abschirmspalte geschützt sind.

Die technische Behandlung von Werkstücken S führt nun zu der Notwendigkeit!, die Gasentladung so zu steuern, daß der vorwiegend zur Durchführung der Prozesse ausgenutzte lonisierungsvorgang nach Art und Bemessung unabhängig von allen übrigen» Einflußgrößen, wie Werkstückform, auftretenden Temperaturen usw., einzustellen ist. Beispielsrweisa erfordern Reduktiioosvorgange in einer Wasserstoffatmosphäre oder Nitrierungeni in, einer Ammoniakatmosphäre bei einem bestimmten Werkstoff eine definierte Flächenbelastung und einen hierauf abgestammten Gasdiruck, um die Intensität dies Ionenbombardiements der gefordertenReaktions·- tiefe, der Art derselben! sowie der Zeit zur Durchführung der Reaktion anzupassien. Da hauptsächlich praktische technische Erwägungen, wie Wirkungsgrad- und Wirtschaftlichkeitsfragen in, bezug auf Strom- und Gasverbrauch, sowie je Zeiteinheit erzielte Reiaktionsergebmisse bzw. Stückzahl fertig behandelter Werkstücke, maßgebend sind, so ergeben sich Behandlungen bei vorwiegend hohen

as Gasdrücken;, die eine entsprechende Höhe der spezifischen elektrischen Flächenbelastung zur Folge haben, und hieraus wieder resultierende, für den gegebenen Prozeß durchweg nicht ohne weiteres passende, meistens zu hohe Temperaturen. Vor-wiegend kommen Gasdrücke im Bereich von 0,1 mm Hg-Säule bis 50 mm Hg und darüber zur Verwendung, die große Energiekonzenitrationen an den Elektroden zur Folge haben; es kommen aber auch Drücke unter 0,1 mm bis 0,01 mm in Betracht, wie die Anwendung höherer Gaskonzentrationen, von 50 mm Hg vorzugsweise bis Atmosphärendruck, nicht ausgeschlossen sein soll.

Bei Werkstücken mit Ausnehmungen, wie sie vorzugsweise in Form von Bohrungen auftreten, besteht überdiesi Gleichgewicht zwischen Flächentedlen, die an der Wärmeabstirablung beteiligt sind, also im allgemeinen zwischen der Werkstück-' außenfläche, und solchen Teilen, die nur an der Temperaturerhöhung teilnehmen, also im Soodierfall an den Innenwandungen unter Voraussetzung eines Überzuges mit Glimmlicht, nicht mehr bei allen Temperaturen. Das bedeute*, daß bei einem bestimmten Verhältnis- von Außen- zu Innenflächen eine gewisse untere Temperatorgrenze nicht unterschritten werden kann, wenn der Glimmsaum die gesamte Werkstückoberfläche bedeckt. Andererseits bestehen auch Schwierigkeiten, die Entladung auf allen Innenteilen eines· mit Ausnehmungen versehenen Werkstückes mit Bestimmtheit zu erzielen, wenn nicht im Gebiet des anomalen Kathodenfalles gearbeitet, d. h. die Flächenbelastung entsprechend hoch gewählt wird. Diese Forderung verschlechtert weiterhin die Wärmebilanz zwischen aufheizenden und abstrahlenden Oberflächenteilen, so· d!aß wesentlieh höhere Temperaturen auftreten, als sie für den vorgesehenen! Zweck optimal oder überhaupt brauchbar sind. Da im allgemeinen für die Behandlung etwa von Metallen ziemlich enge Temperaturgrenzen gegeben -sind, indem beispielsweise bei der Behandlung vom Stahl das Erreichen der Umwandlungstetnperaturen zui vermeiden ist, war man bisher bei den zur Durchführung technischer Prozesse dienenden Gasentladungen auf bestimmte Reaktionen und Werkstückformen beschränkt.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß man diese funktionell en Beziehungen zwischen! den maßgebenden' Einflußgrö&n weitestgehend auflockern muß, um einzelne Aufgaben überhaupt lösen oder bed weniger schwierigen Fällen unmittelbar die optimalen Arbeitsbedingungen einstellen zu können.

Das demgemäß vorgeschlagene Verfahren zur Steuerung vom zur Durchführung technischer Prozesse dienenden Gas-, vorzugsweise Glimmentladungen kennzeichnet sich dadurch, daß erfindungsigemäß der Verlauf der Gasentladung diskontinuierlich gestaltet wird.

Diese diskontinuierliche Gestaltung der Gasentladung kann man von drei Seiten aus angehen. Es besteht zunächst die Möglichkeit, den Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung wenigstens einer elektrischen Be'stimmungsgröße diskontinuierlich zu gestalten. Man kann aber auch den Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung mindestens eines im Behandlungsraum anwesenden Stoffes diskontinuierlich gestalten, und es besteht schließlich die gleiche Möglichkeit dadurch, daß man vom Werkstück ausgeht. Selbstverständlich lassen sich auch einzelne oder alle diese Maßnahmen gemeinsam anwenden. Als diskontinuierliche Gestaltung ist es dabei schon zu betrachten, daß der Verlauf der Gasentladung zeitlich moduliert wird, wobei man im allgemeinen periodische oder rhythmische Modulationen zur Anwendung¹ bringen kann, ohne daß aperiodische oder unrhythmische Beeinflussungen ausgeschlossen wären. Auf diese Weise werden die Arbeitsgebiete der. einzelnen Bestimmungsigrößen, die als vorteilhaft erkannt und deren Auswirkungen erwünscht sind, im Modülatiomszyklus durchlaufen und zur Wirkung gebracht, so daß die sonst nur einzeln auftretenden Faktoren im Endprodukt summiert erscheinen.

Geht man zunächst von der Beeinflussung elek-. irischer Besitimmungsgrößen aus, so bietet¹ sich die Impulssteuerung der Gasentladung als besonders geeignet an. Durch diese Anwendung¹ wird es möglich,, die Intensität der Ionisierung z. B. in Glimmentladungen allen Anforderungen der gewünschten technischen Reaktionen und Behandlungen anzupassen, ohne durch andere, irgendwie hiermit verknüpfte Einflußgrößen beschränkt zu werden. Vor allem kann man, die gewünschte Temperatur völlig unabhängig von der Form des Werkstückes oder den übrigen Parametern der Gasentladung, wie Spannung, Strom, Art und! Druck der Gasatmo'-Sphäre usw., einstellen. Die Einwirkung der Gasentladung erfolgt also nicht mehr kontinuierlich, wie dies, früher üblich war, sondern in Impulsen, deren Zeitspannen gegen die Ruheintervalle so abgestimmt sind, daß der Mittelwert der zugeführten. Energie unter Berücksichtigung der Intensität der

Impulse die gewünschten Temperaturwerte längere Zeiten hindurch ergibt. Der absolute Wert der Impulsdauer wird hierbei so gewählt, daß mindestens, der zeitliche Verlauf der Ionisierungs:- bzw. Entioniisierungsvorgänge bei Geigebenheit von- Gasart, Gasdruck, Elektrodenwerkstoff und -temperatur mit Sicherheit bestrichen wird. Die obere Grenze der Impuls- und Intervallzeitspannen wird dagegen durch die Wärmekapazität oder besser Wärmeträgheit des Werkstückes geliefert, indem Temperaturschwankungen, die über gewisse Mindesttoleränzen hinausgehen, vermieden werden müssen. Außerdlem kann, etwa zur Aufrechterhaltung der Einwirkung der aktivierten Atmosphären auf das Werkstück auch noch während der Pausen, die Impulssteuerung zwischen einem Maximalwert und einem über den Nullwert liegenden Minimalwert vorgenommen werden, so daß nicht bis auf dem Nullwert zuirückgesiteuert wird und dadurch der Glimmsaum, weleher aufrechterhalten; werden soll, nicht verlöscht. Im allgemeinem wird man die Intervalldauer mindestens gleich dem Wert der Impulsdauer bemessen, wobei auch Verhältnisse auftreten können, die eis zwackmäßig erscheinen lassen:, die Intervalldauer mindestens auf dasi Doppelte der Impulsdauer einzustellen. Bei Anwendung sehr energiereicher Impulse wird: man, auch noch wesentlich größere zahlenmäßige Verhältnisse der zeitlichen Dauer vom Pause zu Impuls wählen. Es ergeben sich außer der soeben ausgeführten Möglichkeit der freien wahilweisen Beeinfiusisuing der einzelnen Bestimmungsgrößen der 'Glimmentladung noch eine Reihe weiterer Vorteile. Beispielsweise werdlen die Diffusions- bzw. Reaktionsvorgänge teilweise stark beschleunigt, wobei die stoßweise Energiezufuhr sowohl in Form von Ioniisiierungsgrad dies Gases als auch in Form von Temperatursteigerungen: an der für die Einleitung dler Diffusiionsivorgänge ausschlaggebenden Oberflächenschicht des Werkstorfee maßgebend ist. Die Abwägung dieser Einflüsse gegeneinander ist wieder durch die Zeitdauer des Energieimpulses und seiner Amplitude möglich, da die mit großer Trägheit bezüglich des Wärmeflusses in das Werkstückinnere behafteten tbermischen; Vorgänge' vorwiegend durch die Zeitdiauer vorbestimmt sind, während der Iomiisationszustand hingegen, durch die Spannung usw. beeinflußbar ist. Durch die Impulse treten außerdem lokale, mitunter starke Erwärmungen in der Behandlungsatmosphäre auf, die entsprechende Druckschwankungen und damit eine sehr erwünschte starke Konvektion des Gases am Werkstück zur Folge haben.

Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens kennzeichnem sich in weiterer Ausbildung des Ernndungsgedankens durch Einrichtungen zur diskomtinuierlicheni Gestaltung des Verlaufes der Durchführung technischer Prozesse dienender Gasentladungen.

Demgemäß wären für den Erstfall der Beeinflussung elektrischer Bestimmungsgrößen alle Maßnahmen dar Technik anwendbar, die als. Impulssteuerungen bekannt sind. Es kann zur Impulssteuerung dler Gasentladung zunächst die von einem Generator beliebiger Ausführung, also von einer rotierenden elektrischen Maschine, von einem Quecksilberdampf-, Trocken- oder Kontaktgleichrichter gelieferte elektrische Leistung über einen periodisch betätigten Schalter, etwa umlaufende Kontaktscheiben, Nockenscheiben mit Schaltbetätigungen usw., zerhackt werden:. In diesem Fall werden Impulsdauern in der Größenordnung von io""¹ bisi 10 Sekunden; oder länger mit Leichtigkeit erzielt. Die zeitliche Modulation kann aber auch durch rein elektrische Mittel, die wie Schalter wirken, erfolgen, indem Thyratrons, Ignitrons oder ähnliche steuerbare Entladungsgefäße verwandt werden. Der Steuiarvorgang selbst kann auch in diesem Fall durch mechanische Schalteinrichtungen, vorzugsweise kleiner Leistung, eingeleitet werden, oder es wird der gesamte Steuervorgang beispieliswaise durch Verwendung elektronischer Mittel, wie Impulsgeneratoren mit Vakuum- oder Gasentladungsröhren, ausgeführt. Durch Anwendung derartiger Mittel kann man die Impuls- und/oder Intervalldauern auf Größenordnungen von 10—⁶ Sekunden oder noch, kleiner einstellen, wobei jedoch aus; den obenerwähnten; Gründen Zeitspannen unter 1000 Mikrosiekunden bis auf Ausnahmefäll© nicht in Betracht, kommen. Schließlieh kann man die Impulssteuerung bereite in der speisenden Stromquelle selbst anordnen, indem beispielsweise gittergesteuierte Gleichrichter zur Anwendung kommen. Den Verlauf der Impulse wird man vorteilhaft recbteckförmig oder annähernd reckteckförmig einstellen, um während der Einwirkungsdauer konstante Verhältnisse der Gasentladung zu sichern. Spannungsspitzien, wie sie bei Dreieckimpulsen auftraten, ergaben mitunter erwünschte oder unerwünschte Nebenerscheinungen;, so daß je nach dem Vorliegen dieser Erfordernisse die grundsätzlich 'rechteckige Impulsform verlassen werden kann.

Die Modellierung elektrischer Bestimmungsgrößeni hat dien besonderen Vorteil einer einfachen Regulierung. Schon durch Variation der Impuls- und Intervallzeitspannen, ergibt¹ sich die Möglichkeit, auf diese Weise zu regeln. Naturgemäß ist man nicht auf die Veränderung der Zeitdauer angewiesen, sondern man kamm auch die Amplitude der Impulse oder beides verändern. Man kann naturgemäß die Regelung auch automatisch durchführen, indem z. B-. die Temperatur zur Beeinflussung der Impulse benutzt wird, um einen bestimmten Solltemperaturzüstand automatisch zu sichern.

Was für die elektrischen Bestimmungtsgrößen ausgeführt worden ist, gilt sinngemäß für im Behandlungsraum anwesende Stoffe, die im allgemeinem als Gasatmosphärem verwirklicht werden. Demgemäß können Gasart und/oder Gasdruck verändert werden, um den Verlauf der Gasentladung diskontinuierlich zu gestalten. Im allgemeinen wird es· genügen, den Gasdruck pulsieren zu lassen. Auch ist es nicht erforderlich,, daß das behandelnde Gas-, wie Wasserstoff, Ammoniak, Metalldämpfe,

metallhaltige Gase usw., als Ganzes durch andere Gase, Dämpfe, Sublimationen oder Mischungen dieser ersetzt wird, sondern es kann bereits genügen, andere Stoffe in derartige Atmosphären einzuführen, beispielsweise rhythmisch ein Edelgas, wie Argon, zuzusetzen,.

Die Durchführung der Veränderung des Gasdruckes wird durch an, sich bekannte technische Mittel erfolgen. Es kann z. B. ein den Gaszufluß

ίο regelndes Nadelventil periodisch durch einen Motor weiter geöffnet oder geschlossen werden, so daß der Gasdruck um einen passend gewählten Mittelwert pendelt. Die Druckamplitudö ist hierbei durch den öffnung»- bzw. Schließungsgrad bestimmt, und die Zeitperiode der Druckmodulation ist gegeben durch die Geschwindigkeit des· Druckausgleichs im Behandilungsrezipienteni und bewegt sich im allgemeinen in der Größenordnung von Minuten. Schließlich kann der Verlauf der Gasentladung dadurch diskontinuierlich gestaltet werden, daß man den Werkst ückzu stand, verändert. Allerdings kommen hier weniger die an sich möglichen periodischen oder rhythmischen Veränderungen in Betracht, sondern hier wird im allgemeinen dieas erzielte einmalige Diskontinuität der Gasentladung auf den Zustand des· Werkstückes zu beziehen sein, bei dem das Werkstück nicht verändert ist. Derartige Veränderungen können im Gegensatz zum ursprünglichen Grundizustand beispielsweise dadurch erfolgen, daß das Werkstück teilweise, gegebenenfalls wieder periodisch und rhythmisch, abgeschirmt wird. So* kann, das Glimmlicht an der Kathode durch anodisches Potential führende Abschirmungen verdrängt werden, welche die abschirmenden Teile mit engem Spaltabstand umgeben. Es gibt die weitere Möglichkeit, die Werkstücke teilweise mit wärmebeständigen Isolierkörpern abzuschirmen, an denen keine Glimmentladung auftritt. Bei einfachster Ausführung bestehen diese Abschirmungen bei geometrisch einfachen Werkstückformen aus Keramikhülsen, öderes werden bei verwickeiteren Werkstückformen innen hohle:, den Oberflächenverlauf einhüllende Metallformen verwende*, die außen einfache Formen aufweisen und ihrerseits im keramischen Abschirmkörpern: angeordnet sind. Keramische Werkstoffe sind bei den auftretenden Temperaturen ausreichend fest und besitzen eine Isolierfähigkeit, die das Auftreten eines Glimmsaumes verhindert.

Schließlich können die abzuschirmenden Flächenteile des Werkstückes, auch mitl streichfähigen Massen bedeckt werden, die einen, isolierenden, wärmebeständigen Überzug bilden. Hierfür sind pulverförmige oder kolloidale keramische Stoffe mit geeigneten Bindemitteln verwendbar. Dasi Werkstück kann aber auch dadurch maßgeblich verändert werden, daß esi gekühlte Teile oder Kühlmäntel aufweist. Auch hierdurch wird die Wärmebilanz unabhängig von den Bestimmungsgrößen der Gasentladung so gestaltet, diaß das Verfahren, überhaupt oder mit gutem Wirkungsgrad durchführbar wird. Auch hier kann man das Kühlmittel periodisch zuführen oder den Zutritt absperren.

Als- Ausführungs-beispiel sei die Nitrierung von Werkstücken erwähnt.

Bei derartigen Nitrierungen von z. B-. Stahl in einer Ammoniakatmosphäre mit einem Druck von 6 bis 15 mm Hg-Säule hai es sich gezeigt, daß Impulse mit einer Zeitdauer von 0,1 bis 0,2 Sekunden und mit einer Ionisierungsispannung von 550 Volt, auf die jeweils Pausen von 0,4 bis* 1,4 Sekunden bei einer Ioniisierungsspannung von' 350 Volt folgen, wobai wechselnd spez. Belastungen von etwa 2 bis. 20 Watt pro Ouadratzentimeter auftreten, zur Bildung einer nitrierten Schicht' von 0,4 bis 0,5 mm Dicke bei den behandelten Stablkörpern in einer Gesamtbehandlungszait von 15 Stunden führen, während bei der üblichen Gasnitrierung oder selbst bei der Nitrierung in Glimmentladungen mki kontinuierlicher Spannung, die dann auf einem Mittelwert zwischen 350 und 550 Volt Hegt, bisher 40 bis 60 Stunden zur Erzielung des gleichen Ergebnisses notwendig waren. Die mittleren Temperaturen können dabei niedriger als beim Arbeiten mit kontinuierlich gleicher Ionisierungsspannung gewählt werden. In der gleichen Weise verbessern sich auch andere Dififusionsvorgänge, wobei eine merkliche Erhöhung der Diffusionsgeschwindigkeit festzustellen ist; außerdem sind die erzielten Ergebnissie durch Anwendung niedrigerer Temperaturen qualitativ besser, da Gefügeänderungen in der Material'Struktur vermieden werden können. Derartige Feststellungen konnten insbesondere bei der Diffusion von Chrom in Stahl getroffen werden. Gleichfalls: durch eine Beschleunigung bzw. Intensivierung von Diffusionisvorgängen können die beobachteten guten Resultate bei Entgasung von Metallen und bei der Ausscheidung von Verunreinigungen, wie Schwefel·, Phosphor usw., erklärt werden. Die Auswirkungen in den letzten Einzelheiten, sind nicht geklärt, d!a die Diffusion in Metallen und die Rolle, welche verschiedene Spurenelemente dabei spielen, sowie die Einflüsse der Temperatur usw. auf die verwickelten physikalisch-chemischen. Vorgänge nach dem Stand der Wissenschaft heute noch nicht restlos bekannt sind.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

1. Verfahren zur Steuerung von der Durchführung technischer Prozesse dienenden Gasentladungen, vorzugsweise Glimmentladungen,, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung künstlich diskontinuierlich gestaltet wird. .

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge-. kennzeichnet, daß dler Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung mindestensi einer elektrischen Bestimmungsgröße diskontinuierlich ge- staltet wird.

3. Verfahren, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß .der Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung mindestens eines im Behandlungsraum anwesenden Stoffes diskon- tinuierlich gestaltet wird.

4· Verfahren nach Anspruch ι, dadurch ge^- kennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung durch Veränderung· dies Werkstückzusitandes diskontinuierlich gestaltet wird.

5. Veirfahren nach den Ansprüchen. 2 und 3, dadurch gekennzeichnet¹, daß der Verlauf der Gasentladung¹ sowohl durch. Beeinflussung elektrischer Bestimmungsgrößen als auch durch Beeinflussung· im Behandlungsraum anwesender Stoffe diskontinuierlich gestaltet wird.

6. Verfahren nach den Ansprüchen 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung durch' Beeinflussung elektrischer Bestimmungsgrößeii und durch Veränderung des Werkstückes' diskontinuierlich gestaltet wird.

7. Verfahren, nach den Ansprüchen. 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung im Behandlungsraum anwesender Stoffe und durch. Veränderung dies Werkstückes diskontinuierlich gestaltet wird.

8. Verfahren nach den Ansprüchen 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung durch Beeinflussung elektrischer Bestimmungsgrößen und im Behandlungsraum anwesender Stoffe sowie durch Änderungen das Werkstückes, diskontinuierlich gestaltet wird.

9. Verfahren, nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung zeitlich moduliert wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Gasentladung periodisch moduliert wird.

11. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasentladung impulsgesteuert wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Intervalldauer mindestens auf die Länge der Impulsdauer bemessen wird.

13. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß aus dem behandelnden Gas gebildete Atmosphären in Druckpulsationen versetzt werden. .

14. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Art des behandelnden Gases verändert wird.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß dem ziur Grundbehandlüng dienenden Gas anderes Gas zugesetzt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß dem zur Grundbehandlung dienenden Gas anderes Gas rhythmisch zugesetzt wird.

17. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Werkstückteile abgeschirmt werden.

18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das als Kathode geschaltete Werkstück anodisch abgeschirmt wird.

19. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das als Anode geschaltete Werkstück kathodisch abgeschirmt wird.

20. Verfahren nach Anspruch 17', dadurch gekennzeichnet, daß Werkstücke durch Isolierkörper abgeschirmt werden.

21. Verfahren nach Anspruch 4., dadurch gekennzeichnet, daß Werkstückteile gekühlt werden.

22. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelung der zum diskontinuierlichen Verlauf der Gasentladung führenden Bestimmungsgrößen in selbsttätiger Abhängigkeit vom Temperaturzustand des Werkstückes vorgenommen wird.