DE890850C - Gekuehlte Spule, insbesondere fuer Elektronenmikroskope - Google Patents

Gekuehlte Spule, insbesondere fuer Elektronenmikroskope

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DE890850C
DE890850C DEB9500D DEB0009500D DE890850C DE 890850 C DE890850 C DE 890850C DE B9500 D DEB9500 D DE B9500D DE B0009500 D DEB0009500 D DE B0009500D DE 890850 C DE890850 C DE 890850C
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DE
Germany
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coil
electron microscopes
cooled coil
cooled
cooling
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Expired
Application number
DEB9500D
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English (en)
Inventor
Paul Dipl-Ing Dekker
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Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F5/00Coils
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10Lenses
    • H01J37/14Lenses magnetic
    • H01J37/141Electromagnetic lenses
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K3/00Details of windings
    • H02K3/04Windings characterised by the conductor shape, form or construction, e.g. with bar conductors
    • H02K3/24Windings characterised by the conductor shape, form or construction, e.g. with bar conductors with channels or ducts for cooling medium between the conductors

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Description

  • Die Erfindung betrifft gekühlte Spulen, insbesondere für Elektronenmikraskope. Die Erwär,-mung der Spulen in Elektronenmikroskopen bewirkt bekanntlich eine Änderung der Brennweite der Elektronenlinse, is-o daß eine unerwünschte zeitraubende INeueinstellung dieser Brennweite notwendig wird. Außerdem ändern sich die Abmessungen der Spule durch die Erwärmung, und hierdurch tritt leicht eine Verschiebung des Objekts im Elektronenmikroskop ein. Bei der starken Vergrößerung ist es dann nicht möglich, das Schirmbild fotografisch aufzunehmen. Schließlich kann durch starke Erwärrnung die Spule auch durchbrennen. Die Kühlung der Linsen muß daher so, intensiv wie möglich sein. Die seither verwendeten Spulen werden durch einen äußeren Kühlmantel gekühlt.. Sie hatten einen verhältnismäßig groß-en Raumbedarf.
  • Die Erfindung sieht vor, daß die vom elektrischen Strom durchflossenen Spulentei-le aus flachen Metallbändern hergestellt werden, die an ihren Stirnseiten an was-serdu#rchflossenen Kühlkästen anliegen und mit diesen auf einem gemeinsiamen Kern zusammengebaut sind.
  • Die Fig. i zeigt als Beispiel im Querschnitt eine magnetische Linse für Elektronenmikroiskope.
  • De * r Kern i in Fig. i trägt ein Spulenelement 2, und einen Kühlkasten 3-. Die Spule 2 Ideigt mit den Sti.rn,flächen 4 und 5 und der inneren ringförmigen Seitenfläche6 nur durch eine dünne Isolierung getrennt am Kühlkasten 3 an.
  • Der K&n 7 in Fig. 2, trägt zwei Spulenelemente 8 und 9 und drei Kühlkästen io, ii und 1:2. Die Spulen 8 und 9 liegen mit ihren Stirnflächen 13 Ws 16 an den -Kühlkästen io, ii und 12 an.
  • Der Aufbau der gesamten Spule erfolgt zweckmäßig aus einzelnen Flachbandspulen, deren Stirnseiten mit einer dünnen isolierenden Schicht, z. B. Bakelitlack, versehen sind, wodurch die luftgefüllten Hohlräume verschwinden, so. daß ein guter Wärmeübergang vom Metallband der, Spule auf die Fläche des Kühlkastens erfolgen kann. Nach dem Zusammenbau kann die ganze Spule noch mit isolierendem Stoff, z. B. Bakelitlack, überzogen und dieser gehärtet werden, sc> daß ein mechanisch fester Bauteil entsteht.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH- Gekühlte Spule-, insbesondere für Elektronenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß die vom elektrischen Strom durchflossenen Spulenteile aus flachen MetaIlbändern. hergestellt sind, die an ihren S tirnseiten an wasserdurchflossenen Kühlkästen anliegen und mit diesen auf einem gemeinsamen Kern zusammengebaut sind.
DEB9500D 1943-11-20 1943-11-20 Gekuehlte Spule, insbesondere fuer Elektronenmikroskope Expired DE890850C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1614407B1 (de) * 1967-01-13 1972-08-03 Siemens Ag Anordnung zur erzeugung eines den korpuskularstrahl in einem korpuskulargeraet, insbesondere elektronenmikroskop, beeinflussenden elektromagnetischen feldes

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DE1614407B1 (de) * 1967-01-13 1972-08-03 Siemens Ag Anordnung zur erzeugung eines den korpuskularstrahl in einem korpuskulargeraet, insbesondere elektronenmikroskop, beeinflussenden elektromagnetischen feldes

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