DE1614407B1 - Anordnung zur erzeugung eines den korpuskularstrahl in einem korpuskulargeraet, insbesondere elektronenmikroskop, beeinflussenden elektromagnetischen feldes - Google Patents

Description

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Spulenkörpers eine erheblich gleichmäßigere Tempe- Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, daß die

raturverteilung aufweist als die Oberfläche der Wick- Anzahl der Wicklungen der Linse bzw. des Ablenklung selbst. Ferner ist dadurch, daß der Spulenkörper systems für die Erfindung ohne Bedeutung ist. Die durch einen Spalt gegenüber dem Eisenrückschluß Erfindung kann sowohl dann, wenn nur eine Wickthermisch isoliert ist, der Eisenrückschluß hinsichtlich 5 lung vorhanden ist, als auch dann angewendet werseines Temperaturganges von dem Spulenkörper weit- den, wenn mehrere Wicklungen, die beispielsweise gehend entkoppelt, so daß seine Temperaturkonstanz zwei verschiedenen Linsen zugeordnet sind, auf demnoch erheblich größer ist als die des Spulenkörpers. selben Spulenkörper angeordnet sind. Somit wird durch die Erfindung der Einfluß der in der Mit Vorteil kann weiterhin der Kanal eines Kühl-

Wicklung erzeugten Verlustwärme auf die Tempera- io körpers derart ausgebildet sein, daß der Strömungstur des Eisenrückschlusses wesentlich herabgesetzt; weg des Kühlmittels zwischen Zu- und Ablauf falls eine Temperaturregelung vorgesehen ist, ist der gegenüber der direkten Verbindung verlängert ist. dafür erforderliche Aufwand erheblich geringer als Der Kanal kann beispielsweise scblangenlinienförmig bei bisherigen Anordnungen. verlaufen. Andererseits kann er auch die Form eines

Die Anwendung der Erfindung kommt insbesondere 15 in der Ebene des scheibenförmigen Kühlkörpers bei einer elektromagnetischen Linse für ein Korpus- liegenden Labyrinths besitzen, so daß das Kühlmittel kularstrahlgerät in Betracht, also beispielsweise bei mehrmals um die Wicklungsachse herumströmt. Bei einem Elektronenmikroskop, einer Beugungseinrich- dem schlangenlmienförmigen Kühlkanal kann man rung od. dgl. Es kann sich jedoch auch um eine ein aus einem biegsamen Metall, beispielsweise Ablenkeinrichtung für einen Korpuskularstrahl han- 20 Kupfer, bestehendes Rohr in die gewünschte Form dein, wie sie in Elektronenmikroskopen zur Einstel- biegen und mit einem gut wärmeleitenden Material, lung eines bestimmten Winkels, unter dem der wie Blei oder Zinn, vergießen. Verwendet man Elektronenstrahl auf ein Objekt auftreffen soll, Ver- dagegen einen labyrinthartigen Kanal, so kann in den wendung findet. Es können nicht nur flüssige, sondern scheibenförmigen Kühlkörper eine mit Zu- und auch gasförmige Kühlmittel verwendet werden. 25 Ablauf in Verbindung stehende Kammer eingearbei-

Um eine gute Verteilung der Kühlwirkung längs tet sein, in die Leitbleche zum Erzwingen der geder Wicklungsachse zu erzwingen, ist gemäß einer wünschten Strömung eingesetzt sind. Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, daß der Das bereits erwähnte hohlzylindrische Teil und die

Spulenkörper ein im Inneren der Wicklungen ange- scheibenförmigen Teile des Spulenkörpers können ordnetes hohlzylindrisches Teil und an den Stirn- 30 zusammen mit dem Kühlkörper mit Vorteil ein selbflächen der Wicklungen angeordnete scheibenförmige ständiges Bauteil bilden. Ein solcher einheitlicher Teile umfaßt. Wicklungsträger bietet nicht nur Vorteile hinsichtlich

Als Material des Kühlkörpers wie des Spulen- der Kühlung der Wicklung, sondern auch hinsichtlich körpers kann mit Vorteil Kupfer verwendet werden, der Fertigung der gesamten Anordnung. Infolge der das auch eine gute Korrosionsbeständigkeit gegen- 35 erfindungsgemäß vorgesehenen Trennung dieses Bauüber den üblicherweise verwendeten Kühlmitteln teils von dem Eisenrückschluß können die Wicklunbesitzt. gen unabhängig von dem Eisenkreis gefertigt werden.

Um auch am äußeren Umfang der Wicklungen eine Der Austausch von Wicklungen ist auf einfache Weise Vergleichmäßigung des Temperaturprofils zu errei- möglich. Das gilt insbesondere für den Fall, daß die chen, kann man die scheibenförmigen Teile durch 40 Wicklungen mit einem Gießharz vergossen werden über dem äußeren Umfang der Wicklungen ange- sollen, wodurch die Wärmeabfuhr ebenfalls günstig ordnete, gut wärmeleitende Elemente mit dem beeinflußt wird.

Kühlkörper wärmeleitend verbinden. Diese wärme- In den Figuren sind verschiedene Ausführungsleitenden Elemente können aus relativ schmalen, mit beispiele der Erfindung dargestellt. Dabei zeigen die Abstand angeordneten Stegen oder Streben bestehen, 45 Fig. 1 und 2 eine Objektivlinse für ein Elektronenbilden jedoch vorzugsweise eine geschlossene Um- mikroskop mit einem in der Mitte der Wicklung mantelung der Wicklungen; sie können beispielsweise angeordneten Kühlkörper; die unter Zwischenfügung einer wärmeleitenden Paste F i g. 3 bis 5 lassen die Anordnung von gut wärme-

mit den scheibenförmigen Teilen verschraubt sein. leitenden Elementen auf der Oberfläche der Wicklung Dabei ist es zweckmäßig, wenn auch nicht unbedingt 50 sowie den Einsatz von temperaturabhängigen Widererforderlich, daß die wärmeleitenden Elemente auch ständen zur Durchführung einer Temperaturregelung mit der Wicklungsoberfläche selbst in gut wärme- erkennen;

leitendem Kontakt stehen. Fig. 6 zeigt die Verwendung relativ schmaler

Der scheibenförmige Kühlkörper kann gemäß einer wärmeleitender Stege auf dem Umfang der Wicklung; bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zwi- 55 F i g. 7 schließlich gibt einen Spulenkörper für die sehen zwei Wicklungen liegen, so daß eine symmetri- dort nicht dargestellte Wicklung, beispielsweise einer sehe Kühlung der Wicklungen erzielt wird. Man kann Objektivlinse, wieder, dessen Stirnteile als Kühlkörper aber auch mehrere vom Kühlmittel durchflossene ausgebildet sind und der auch in seinem zentralen, Kühlkörper vorsehen, die insbesondere an den Stirn- längs der Achse verlaufenden Teil Kanäle für das Seiten der Wicklung liegen können. Dabei kann jeder 60 Kühlmittel aufweist.

der Kühlkörper mit Zu- und Ablauf für das Kühl- Die Objektivlinse nach den Fig. 1 und 2 enthält

mittel versehen sein, so daß alle Kühlkörper parallel den aus den Teilen 1 und 2 gebildeten Eisenkreis für zueinander an der Kühhnittelleitung liegen. Es ist den in den beiden Wicklungen oder Wicklungsjedoch auch möglich und vorteilhaft, die in verschie- hälften 3 und 4 erzeugten magnetischen Fluß. Zwidenen Kühlkörpern verlaufenden Kanäle derart 65 sehen den beiden Polschuhen 5 und 6 erstreckt sich miteinander zu verbinden, daß das Kühlmittel von der eisenfreie Linsenspalt, in dem sich das die Beeineinem gemeinsamen Zulauf nach einem gemeinsamen flussung des Elektronenstrahls 7 vornehmende magne-Ablauf strömt. tische Feld ausbildet. Mit 8 ist ein aus unmagneti-

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schem Material, beispielsweise Messing, gefertigter fertiges Bauteil in den Eisenkreis eingesetzt werden

Abstandshalter bezeichnet. Je nachdem, ob die Wick- kann und ein Auswechseln dieser Anordnung leicht

lungen 3 und 4 innerhalb oder außerhalb des Vakuum- möglich ist. Ferner ergibt sich durch diese Ausbildung

raum.es des als Beispiel ausgewählten Elektronen- des Spulenkörpers 24, 25 26 eine wirksame Kühlung

mikroskope liegen, erfolgt die Abdichtung bei 9 5 der Wicklungshälften 3 und 4 nicht nur von ihren

(Dichtung gestrichelt eingezeichnet) oder bei 10 mittleren Stirnflächen, sondern auch von ihrer Innenmittels einer an sich bekannten Dichtung aus einem fläche und den beiden äußeren Stirnflächen her.

gummiartigen Material. Zur Vergleichmäßigung des Temperaturprofils sind

Zwischen den beiden Wicklungshälften3 und 4, in dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten Ausfühdie, wie bemerkt, auch getrennte Wicklungen dar- io rungsbeispiel auch auf die äußere Wicklungsoberstellen und demgemäß nicht in elektrischer Verbin- fläche wirkende Maßnahmen getroffen. Es sind nämdung stehen können, ist der scheibenförmige Kühl- lieh gut wärmeleitende Elemente in Form von Streben körperll angeordnet. In dem in Fig. 1 eingezeich- oder Stegen 27 vorgesehen, deren Krümmung in neten und in Fig. 2 ausgezogenen dargestellten diesem Ausführungsbeispiel dem Verlauf der Wick-Ausführungsbeispiel der Erfindung enthält dieser 15 lungsoberflächen angepaßt ist und die wärmeleitend scheibenförmige Kühlkörper 11 labyrinthartig ange- mit dem scheibenförmigen Kühlkörper 11 sowie — ordnete T£ühlkanäle 12,13 und 14, von denen der außer im Falle der in Fig. 1 rechten Strebe 28 — auch Kanal 12 mit-dem Zulauf 15 für ein in diesem Aus- in wärmeleitender Verbindung mit den anderen scheiführungsbeispiel flüssiges Kühlmittel, beispielsweise benförrnigen Teilen 25 und 26 stehen. Besonders auf einer bestimmten Temperatur gehaltenes Wasser, 20 zweckmäßig ist es, wenn die Zwischenräume zwischen in Verbindung steht, während der innerste Kanal 14 diesen Streben einerseits und den äußeren Obermit dem Ablauf 16 verbunden ist. Verständlicherweise flächen der Wicklungen 3, 4 andererseits mit einer gut wäre es auch möglich, ein gasförmiges Kühlmittel wärmeleitenden Masse 29 vergossen sind, so daß die durch die Kanäle zu schicken oder die Richtung des Streben 27, 28 unmittelbar auf die Wicklungsober-Durchlaufs zu ändern. 25 flächen wirken können.

Wie Fig. 1 erkennen läßt, besteht der scheiben- Wie bereits angedeutet, erstreckt sich die Strebe 28

förmige Kühlkörper im wesentlichen aus zwei Teilen, nur über einen Teil der Wicklungsoberflächen, da sie

nämlich dem Unterteil 17 und dem deckelartigen bei 30 eine Ausnehmung für die Stromzuführungen

Oberteil 18, die nach ihrem Zusammensetzen eine zu den Wicklungen 3, 4 aufweist.

Kammer 19 bilden, durch deren Unterteilung mittels 30 Wie ferner aus Fig. 1 ersichtlich ist, steht die ge-

der Kühlrippen 20 und 21 die Kühlkanäle 12,13 und samte Wicklungsanordnung nicht in wärmeleitender

14 in labyrinthartiger Anordnung entstehen. Verbindung mit dem Eisenkreis 1, 2, sondern ist von

Die Formgebung der Kühlrippen 20 und 21 in der diesem thermisch durch einen allseitigen Spalt 31 ge-Weise, daß eine mehrfache Umströmung des Elek- trennt, wobei dieser Spalt in seiner Weite so variieren tronenstranls7. durch das Kühlmittel im Sinne der 35 kann, daß er dort am größten ist, wo die Temperatur eingezeichneten Pfeile erfolgt, zeigt. Fig. 2. Zusatz- der gesamten Wicklungsanordnung am größten ist. lieh zu den Kühlrippen 20 und 21 ist die Trennwand Gehalten wird die gesamte Wicklungsanordnung 22 zwischen Zulauf 15 und Ablauf 16 vorgesehen. durch einen aus wärmeisolierendem Material beWenn auch zwischen Zulauf 15 und Ablauf 16 sich stehenden Zentrierring 32. Besonders günstig ist die ein gewisser Bereich erstreckt, erfolgt dennoch eine 40 Wirkung des Spaltes 31 natürlich dann, wenn die weitgehend rotationssymmetrische Kühlung durch Dichtung an der Stelle 9 liegt und demgemäß der entsprechende Ausbildung der Kühlrippen 20 und 21 Spalt luftleer ist.
in diesem Bereich. An den Stellen 33 ist in diesem Ausführungsbei-

In dieser Hinsicht etwas ungünstiger, dagegen ferti- spiel je ein beispielsweise in eine gut wärmeleitende gungstechnisch etwas günstiger verhalt sich die in 45 Masse eingebetteter temperaturabhängiger Wider-Fig. 2 gestrichelt eingezeichnete Ausführungsform, stand angeordnet, der Bestandteil eines Regelkreises bei der ein etwa schlangenlinienförfflig in der Ebene für das Kühlmittel ist. Im Falle des Ausfuhrungsbeides scheibenförmigen Kühlkörpers 11 verlaufender spiels nach den Fig. 3, 4 und 5 sind zwei derartige Kühlkanal 23 mit dem Zulauf 15 und dem Ablauf 16 temperaturabhängige Widerstände 40 und 41 vorgeverbunden ist. Diese schlangenünienförmige Anord- 50 sehen, von denen der erstgenannte dem von dem nung23 ersetzt also die labyrinthartigen Kanäle 12, Kühlmittel durchflossenen scheibenförmigen Kühl-13 und 14. Dabei kann der Kanal 23 durch ein Rohr körper 11 und der letztgenannte dem ein StirnteE des aus einem biegsamen Metall, beispielsweise Kupfer, Spulenkörpers darstellenden scheibenförmigen Teil hergestellt sein, der mittels eines gut wärmeleitenden 25 zugeordnet ist und die im Sinne einer Differenz-Metalls, beispielsweise Zinn, vergossen ist. Auch das 55 bildung gemäß der Schaltung im unteren Teil der Labyrinth kann durch ein entprechend gebogenes Fig. 5 zusammengeschaltet sind. Diese Schaltung Rohr aus wärmeleitendem Material hergestellt sein. besitzt die Anschlüsse 44, 45 und 46, die ebenso wie

In beiden Fallen steht der scheibenförmige Kühl- die Anschlüsse 47 und' 48 der beiden in der Figur

körperll in gut wärmeleitender Verbindung mit dem nicht erkennbaren, links lind rechts von dem schei-

Spulenkörper, der aus dem hohlzylindrischen Teil 24 60 benförrnigen Kühlkörper 11 liegenden Wicklungshälf-

und den beiden weiteren scheibenförmigen Teilen 25 ten an einen Zwischenraum 49 zwischen den beiden

und 26 gefertigt ist. Diese Teile sind unter Herstellung wärmeleitenden Elementen 50 und 51 geführt sind,

gut wärmeleitender Verbindungen zusammengesetzt Diesewärmeleitenden Elemente verbinden ebenso wie

und beispielsweise aus Kupfer gefertigt, so daß sie die weiteren wärmeleitenden Elemente 52 bis 58 die

einen ein selbsttragendes Bauteil darstellenden, gut 65 beiden die Stirnteile des Spulenkörpers bildenden

wärmeleitenden Wicklungsträger bilden. Das hat den scheibenförmigen Teile mit dem Kühlkörper 11. Ihre

Vorteil, daß die gesamte Wicklungsanordnung ein- Befestigung an diesemKühlkörper istim oberen linken

schließlich des scheibenförmigen Kühlkörpers 11 als Quadranten der. Fig. 3 dargestellt; die Schraube59

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hält in diesem Falle die Strebe 50 unter Zwischenlage Stirnteile des Spulenkörpers für die nicht darge-

einer gut wärmeleitenden Paste 60 fest an der Ober- stellten Wicklungen bildenden scheibenförmigen

fläche des Kühlkörpers 11. Kühlkörpern 80 und 81 Kanäle 82, 83 und 84/ 85

Die temperaturabhängigen Widerstände 40 und 41 vorgesehen, sondern auch in dem den eigentlichen sind, wie F i g. 4 zeigt, in Ausnehmungen 61 derjeni- 5 Spulenträger bildenden hohlzylindrischen Teil 86, gen Teile gelagert, deren Temperatur sie messen der den Elektronenstrahl umgibt. Diese Versollen, bindungskanäle 87, 88, 89 und 90 in dem hohl-

Während bei dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 5 zylindrischen Teil 86 verlaufen so, daß im Zusamdie verschiedenen Anschlüsse in einem Zwischenraum menwirken mit der gewählten Form der Kanäle 49 zwischen zwei wärmeleitenden Elementen 50 und io in den beiden scheibenförmigen Kühlkörpern 80 51 Hegen, ist im Falle der Lösungsvariante nach und 81 das Kühlmittel von dem gemeinsamen Zulauf Fig. 6 eines der dort als schmale Streben ausgebil- 91 zu dem gemeinsamen Ablauf 92 strömt; diese beideten wärmeleitenden Elemente 70 mit einer entspre- den Anschlüsse sind in demselben scheibenförmigen chenden Ausnehmung 71 für die Stromzuführungen Kühlkörper 80 angeordnet. Man erkennt, daß auch in 72 und 73 zu den Wicklungen, die wiederum beider- 15 diesem Falle der Strömungsweg zwischen Zulauf und seits des von dem Kühlmittel durchnossenen schei- Ablauf durch die gewählte Form der Kanäle verlänbenförmigen Kühlkörpers 11 liegen, ausgeführt. Auch gert ist: Von dem Zulauf 91 aus strömt das Kühlin diesem Falle ist das wärmeleitende Element 70 mittel in zwei parallelen Wegen nicht direkt, sondern mittels Schrauben 75 mit dem scheibenförmigen über die Teile 86 und 81 zum Ablauf 92. Der eine Kühlkörper 11 verbunden. 20 dieser beiden Zweige wird gebildet durch die Kanäle

Während bei der Ausführungsform nach Fig. 5 87, 84, 88 und 83, während der zweite Weg über die für Zulauf und Ablauf des Kühlmittels Ausnehmun- Kanäle 82, 89, 85 und 90 zum Ablauf 92 verläuft, gen 62 und 63 in den wärmeleitenden Elementen 50 Durch den gewählten »verschachtelten« Verlauf der und 51 vorgesehen sind, erübrigen sich bei Verwen- Kanäle wird das unterschiedliche Temperaturen bedungsein-schmder Elemente 70 im Falle der Fig. 6 25 sitzende Kühlmittel so geführt, daß eine Symmetrie solche Ausnehmungen; Zulauf 76 und Ablauf 77 für bezüglich dieser Temperaturen zur Achse der gesamdas Kühlmittel liegen in von wärmeleitenden Elemen- ten Anordnung besteht und diese sich nicht verzieht, ten freien Bereichen des scheibenförmigen Kühlkör- Das dritte scheibenförmige Teil 93 enthält keine pers 11. Kanäle; ihm wird über das hohlzylindrische Teil 86

In F i g. 6 ist nur eines dieser wärmeleitenden 30 und stegförmige wärmeleitende Elemente 94 Wärme

Elemente vollständig eingezeichnet; sie sind in erfor- durch die mitKanälen versehenenElemente entzogen,

derlicher Anzahl möglichst rotationssymmetrisch Die Elemente 94 sind hier in Ausnehmungen in den

über die Oberfläche der Anordnung verteilt vorge- scheibenförmigen Kühlkörpern eingesetzt,

sehen. Grundsätzlich ist es auch möglich, die wärme-

Im Falle des Ausführungsbeispiels nach Fig. 7 35 leitenden Elemente durch einen Blechmantel zu

schließlich sind nicht nur in den beiden, die bilden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (11)

1 2 12. Anordnung nach Anspruch. 10, dadurch gePatentansprüche: kennzeichnet, daß als Kanal (23) ein aus einem biegsamen Metall, wie Kupfer, bestehendes und

1. Anordnung zur Erzeugung eines den mit einem gut wärmeleitenden Material, wie Blei Korpuskularstrahl in einem Korpuskularstrahl- 5 oder Zinn, vergossenes Rohr dient.

gerät, insbesondere Elektronenmikroskop, beein- 13. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch geflussenden elektromagnetischen Feldes mit Wick- kennzeichnet, daß in den Kühlkörper (11) eine lungen, einem die Wicklungen umgebenden mit Zu- und Ablauf (15, 16) in Verbindung Eisenrückschluß und einem mit einem Kanal für stehende Kammer (19) eingearbeitet ist, in die den Durchlauf eines Kühlmittels versehenen, io Leitbleche (20, 21) zum Erzwingen der gewünschsenkrecht zur Wicklungsachse stehenden schei- ten Strömung eingesetzt sind,
benförmigen Kühlkörpers, dadurch gekenn- 14. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gezeichnet, daß ein aus gut wärmeleitendem kennzeichnet, daß das hohlzylindrische Teil (24) Material bestehender Spulenkörper (24, 25, 26, und die scheibenförmigen Teile (25, 26) des 27) vorgesehen ist, der in gutem Wärmekontakt 15 Spulenkörpers zusammen mit dem Kühlkörper sowohl mit dem Kühlkörper (11) als auch mit (11) ein selbständiges Bauteil bilden,
den Wicklungen (3, 4) steht und gegenüber dem
Eisenrückschluß durch einen Spalt (31) allseitig
thermisch isoliert ist. . ~

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge- 20
kennzeichnet, daß der Spulenkörper ein im

Inneren der Wicklungen (3, 4) angeordnetes hohl- Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erzeu-

zylindrisches Teil (24) und an den Stirnflächen gung eines den Korpuskularstrahl in einem Korpus-

der Wicklungen angeordnete scheibenförmige kularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop,

Teile (25,26) umfaßt. 25 beeinflussenden elektromagnetischen Feldes mit

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch ge- Wicklungen, einem die Wicklungen umgebenden kennzeichnet, daß die scheibenförmigen Teile Eisenrückschluß und einem mit einem Kanal für den (25, 26) durch über dem äußeren Umfang der Durchlauf eines Kühlmittels versehenen, senkrecht Wicklungen (3,4) angeordnete, gut wärmeleitende zur Wicklungsachse stehenden scheibenförmigen Kühl-Elemente (27,28) mit dem Kühlkörper (11) in 30 körper.

wärmeleitender Verbindung stehen. Eine gekühlte Spule dieser Art ist aus der deut-

4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch ge- sehen Patentschrift 890 850 bekannt. Hier sind die kennzeichnet, daß die wärmeleitenden Elemente vom elektrischen Strom durchflossenen Wicklungen eine geschlossene Ummantelung der Wicklungen aus flachen Metallbändern hergestellt, die an ihren bilden. ■ 35 Stirnseiten an wasserdurchflossenen Kühlkästen an-

5. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch ge- liegen und mit diesen auf einem gemeinsamen Eisenkennzeichnet, daß die wärmeleitenden Elemente kern derart zusammengebaut sind, daß die Kühlkästen (50 bis 58) unter Zwischenfügung einer Wärme- ihrerseits unmittelbar am Eisenkern anliegen. Bei derleitpaste (60) mit den scheibenförmigen Teilen artigen Anordnungen hat sich gezeigt, daß sich unter (25, 26) verschraubt sind. 4° dem Einfluß der in den Wicklungen erzeugten Wärme

6. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch ge- und insbesondere bei Änderungen des die Wicklunkennzeichnet, daß die wärmeleitenden Elemente gen durchfließenden Stromes unterschiedliehe thermi-(27, 28) auch mit den Wicklungen (3, 4) in gutem sehe Ausdehnungen der verschiedenen Einzelteile, Wärmekontakt stehen. insbesondere des Eisenrückschlusses, trotz der vor-

7. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge- 45 gesehenen Kühlung ergeben können. Hierdurch kennzeichnet, daß der Kühlkörper (11) zwischen können thermische Bewegungen eintreten, die insbezwei Wicklungen (3, 4) liegt sondere bei Teilen, die den Korpuskularstrahl eng

8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge- umgeben, sehr störend sein können; beispielsweise kennzeichnet, daß mehrere vom Kühlmittel durch- können Relativbewegungen zwischen einem zu unterflossene Kühlkörper (80, 81) vorgesehen sind, 50 suchenden Objekt und den Polschuhen einer elektroderen Kanäle (82, 83; 84, 85) miteinander derart magnetischen Linse eintreten, die eine Beobachtung verbunden sind, daß das Kühlmittel von einem oder Aufnahme des Bildes erschweren bzw. unmöggemeinsamen Zulauf (91) nach einem gemeinsa- Hch machen.

men Ablauf (92) strömt. Die Erfindung befaßt sich mit der Aufgabe, bei

9. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch ge- 55 einer Anordnung der eingangs genannten Art durch kennzeichnet, daß der Kanal (12,13,14, 23) des Temperaturänderungen bedingte Bewegungen des Kühlkörpers (11) derart ausgebildet ist, daß der Eisenrückschlusses stärker zu unterdrücken als es Strömungsweg des Kühlmittels zwischen Zu- und bisher möglich war. Diese Aufgabe wird gemäß der Ablauf gegenüber der direkten Verbindung ver- Erfindung dadurch gelöst, daß ein aus gut wärmelängert ist. 60 leitendem Material bestehender Spulenkörper vor-

10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch ge- gesehen ist, der in gutem Wärmekontakt sowohl mit kennzeichnet, daß der Kanal (23) Schlangenlinien- dem Kühlkörper als auch mit den Wicklungen steht förmig verläuft. und gegenüber dem Eisenrückschluß durch einen

11. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch ge- Spalt allseitig thermisch isoliert ist. Durch den guten kennzeichnet, daß der Kanal (12,13,14) laby- 65 Wärmekontakt des gut wärmeleitenden Spulenkörpers rinthförmig ausgebildet ist, derart, daß das mit dem Kühlkörper wird erreicht, daß die Tempera-Kühlmittel mehrmals um die Wicklungsachse tür des Spulenkörpers eng an die des Kühlkörpers herumströmt. gebunden ist, wobei außerdem die Oberfläche des