DE8905452U1

DE8905452U1 - Filter für den Einsatz bei Vakuumanlagen

Info

Publication number: DE8905452U1
Application number: DE8905452U
Authority: DE
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1989-04-29
Filing date: 1989-04-29
Publication date: 1989-08-10
Also published as: DE59010846D1; JPH0361678A; EP0396008B1; EP0396008A3; EP0396008A2

Description

89.007 GM

Filter für den Einsatz bei Vakuumpumpen

Die Erfindung bezieht sich auf einen Filter für den Einsatz im Ansaugbereich einer Vakuumpumpe.

Bei einer Vielzahl von Vakuumpumpprozessen ist es nicht vermeidßar, &ä£ Stäube in den Ansaugstutzen tier angeschlossenen Vakuumpumpen gelangen. Als Beispiel sei auf die Evakuierprozesse bei der Fernsehröhrenfertigung hingewiesen.

Bed 'JCurboinolekularvakiiumpuispwiJ besteht die Gefahr, daß die in die Pumpen gelangenden Stäube Ltsgsrschädar: verursachen. Die in der Regel verwendeten Vorvakuumpumpen, z. B. Drehschieberpumpen, weisen einander berührende Bauteile auf, zwischen denen anfallende Scäube wie Schmirgel wirken und damit einen erhöhten Verschleiß zur Folge haben. Bei Diffusionspumpen verursachen Stäube eine Verschmutzung des Treibmittels.

Es ist bekannt, zum Schutz von Vakuumpumpen Filter zu verwenden, die aus gesinterten Pulvern bestehen. Wenn Filter dieser Art Partikel bis zu 1 &mgr; abscheiden sollen, dann ist ihr Leitwert relativ niedrig, da die Porosität des gesinterten Pulvers bei maximal 35% liegt. Mit zunehmender Beladung des Filters nimmt dieser Wert relativ schnell ab, so daß sich eine kurze Standzeit der vorbekannten Filter ergibt. Es wäre zwar möglich, durch Veränderung der Porösität den Leitwert zu vergrößern; die untere Grenze der Größe der noch abscheidbaren Partikel würde sich dann aber nach oben verschieben.

! Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Filter

- der eingangs genannten Art zu schaffen, das einen gegenüber dem Stand der Technik höheren Leitwert hat und dennoch zur Abscheidung von Partikeln mit einer Korngröße von 1&mgr; und größer geeignet ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Filter ein aus Edelstahlfasern bestehendes Filtervlies ist. Filtervliese dieser Art können bei Porositäten von bis zu 98%, also bei einem um ca. den Faktor 3 verbesserten Leitwert, praktisch alle Staubpartikel bis zu einer Größe von 1 &mgr; abscheiden. Der Einsatz derartiger Filter im Ansaugbereich einer Vakuumpumpe hat deshalb im Vergleich zum Stand der Technik eine wesentliche Verbesserung des Leitwertes bei gleichbleibender Filterqualität zur Folge. Der besondere Vorteil, der sich hieraus ergibt, liegt insbesondere in der wesentlich längeren Standzeit, wodurch der Aufwand für Wartungsarbeiten erheblich reduziert werden kann.

Zweckmäßig haben die im Faservlies verwendeten Fasern eine Stärke von wenigen &mgr;, vorzugsweise 4 &mgr;, und sind mit einem Gewicht von ca. 800 bis 1000 g/m² versintert. Ein Filter dieser Art hat eine feste Konsistenz. Die Gefahr, daß sich Faseranteile aus der Oberfläche lösen, besteht nicht.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden.

Die beim Ausführungsbeispiel verwendete Vakuumpumpe ist eine Turbomolekularpumpe 1, der die Vorvakuumpumpe 2 nachgeschaltet ist. Der Ansaugflansch 3 der Turbomolekularpumpe 1 ist mit einem Flansch 4 eines gekrümmten Rohrabschnittes 5 verbunden. Das Dichtsystem zwischen den Flanschen 3 und 4 besteht aus dem Dichtring 6 und dem Zentrierring 7.

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Der zweite Flansch 8 dee gekrümmten Rohres 5 ist mit einem Flansch 11 verbunden, der Bestandteil des Auslaßstutzens 12 eines Grobfilters 13 ist. Der Grobfilter 13 ist siphonartig gestaltet und weist den zentralen Rohrabschnitt 14 und das äußere Gehäuse 15 auf. Der zentrale Rohrabschnitt 14 ist am Einlaßflansch 16 befestigt, der mit der jeweils zu evakuierenden, nicht dargestellten .Einheit verbunden wird. Der Boden 17 des Gehäuses 1 ^r> ist abnehmbar, um im Grobfilter 13 abgeschiedene Partikel entferner zu können.

Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist das erfindungsgemäße Filtervlies mi t- 18 bezeichnet. Es befindet sich zwischen den Flanschen 8 und 11 und ist dort in nicht näher dargestellter Weise eingespannt. Ein das Filtervlies umgebender Dichtring 19 sichert die Vakuumdichtheit im Bereich dej; Filtervlieses 18.

Es besteht auch die Möglichkeit, das Filtervlj.es 18 im Bereich des Flansches 3 anzuordnen, insbesondere dann, wenn der Flansch 3 unmittelbar an eine zu evakuierende Anlage angeschlossen wird. Wesentlich ist, daß sämtliche von der Vakuumpumpe 1 angesaugter Gase durch das Filterflies 18 hindurchtreten.

Bei größeren Nennweiten kann es zweckmäßig sein, das Filtervlies zu stützen. Dieses kann beispielsweise mit Hilfe eines nicht dargestellten Stützguwebes erfolgen, das dem erfindungsgemäßer] Filtervlies anliegt.

Claims

89.007 GM LEYBOLD AG Köln-Bayenthal Filter fUr den Einsatz bei Vakuumpumpen ANSPRÜCHE

1. Filter für den Einsatz im Ansaugbereich einer Vakuumpumpe,
dadurch gekennzeichnet, daß es ein Filtervlies (18) mit Edelstahlfasern ist.

2. Filter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Edelstahlfasern eine Stärke von wenigen, vorzugsweise 4 &mgr; haben.

3. Filter nach Anspruch 1 oder 2. dadurch gekennzeichnet, daß ^s als versintertes Metallfaservlies mit einem Gewicht von ca. 800 bis 1000 g/m² und einer Porösität von mehr als 9 0 Prozent ausgebildet ist.

4. Filter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es zwischen zwei Flanschen (8, 11) eingespannt ist.

5. Filter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es einem Stützgewebe anliegt.

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6. Filter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem Ansaugbereich, in dem sich das Filtervlies befindet, ein Grobfilter (13) vorgelagert ist.

7. Filter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Grobfilter (13) siphonartig gestaltet ist.