DE86728T1 - Vorrichtung fuer das ein-und/oder-ausschleusen von feststoffen durch mindestens eine oeffnung einer behandlungskammer, insbesondere unter vermindertem druck. - Google Patents
Vorrichtung fuer das ein-und/oder-ausschleusen von feststoffen durch mindestens eine oeffnung einer behandlungskammer, insbesondere unter vermindertem druck.Info
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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Claims (8)
1. Vorrichtung zum Einführen und/oder Ausziehen von Pestkörpern durch am wenigstens eine Öffnung eines
Verarbeitungsbebälters, Tiefdruckwanne oder desgleichen
hindurch, dessen Druck niedriger als der Druck des
Umgebungsraums ist, dadurch gekennzeichnet, dass diese
Vorrichtung in der Hauptsache ein ein Konvergierelement (a), einen Hals (b) und ein Divergierelement (c) inner-
"""^ lieh und nacheinander!1 olgend bildendes Venturi-Rohr
(l) aufweist, das auf der Seite des Konvergierelements
(a) mit einer Muffe (2) verbunden wird, die zum Einspritzen
einer Druckflüssigkeit und derer Ablauf nach
dem Innern des Venturi-Rohrs (l) eingerichtet ist : dass die genannte Muffe (2) mit dem. Behälter, ' Tiefdruckwanne
oder desgleichen angeschlossen werden kann und unmittelbar oder anbauweise eine -Achsialla.ufbucb.se *
(2b) ?ur Einführung und Verbindung zwischen der Öffnung
des genannten Behälters oder desfrleichens und dem Venturi-Rohr (l) innenseitig aufweist, wobei die laufbuchse (2b) mit einem geeigneten Teil des Innenraums
'"""' : des genannten Venturi-Rohrs zur Bildung in dieser Höhe
einer scharfen Querschnittsveränderung zusammenwirkt,
derer Wirkung die Ausbildung einer Zone (Z"1 dynamischer
Abdichtung in Kombination mit den Liefermengen und eier
Flüssigkeitsgeschwindigkeit ist ; und dass das oder.die Pestkörper auf der Seite des Divergierelements (c)
des Venturi-Rohrs (l), im Innenraum der Verbindun^slaufbuchse
(2b), eingeführt und bzw. ausgesogen werden, kann oder können, um ganz trocken in den Verarbeitun^sbehälter
oder desgleichen eingeführt zu werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass entsprechend der in dem Venturl-Rohr eingeführten
Länge der Laufbuchse (2b), die scharfe Querschnittsveränderung
an der Höhe des Verbindungsteile des Divergierelem&nts (a) und des Halses (b) stattfindet»
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass entsprechend der in dem Venturi-Rohr eingeführten
Länge der Laufbuchse (2b), die scharfe Querschnittsveränderung vor" dem Hals (b), in dem Divergierelement,
stattfindet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch geVennezeich-,;;;-net,.dass
entsprechend der in dem Venturi-Rohr eing-
:'■■■■': ':; .-V1:'-: führten Länge der Laufbuchse (2b), die schürfe Quer-
: ' :.:;"^^^rs Τ© il· der Länge α es
Halses (b) stattfindet.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 Ms 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Aussenquerschnitt
(S) des Endes der Laufbuchse (2) im Innenraurr des Venturi-Rohrs, sowie der Innenauerschnitt (S1) des
Venturi, rechtswinklig zum Ende der genannten Laufbuchse, in Kombination mit dem Querschnitt (sp des
■ ■ .
oder der einzuführenden Pestkörper entsprechend ■■dimensioniert
sind, damit die Leistungsfähigkeit des Systems (S) und (S1) dieselbe wie die Leistungsfähigkeit
■·.'.'■ des Systems (S) und (S1 - s) verbleibt, um den gleichem
·■ Druckgefälle-Beiwert bei der Umwandlung der Energie
herbeizuführen.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass die Flüssigkeit, etwa
am.Eintritt der Konvergierelements (a), einen Anfangsdruck
und eine Anfangszähigkeit aufweist, die-vörbestimmt
sind, wobei die Flüssigkeit durch einen Mull-
druck oder einen Druck etwa.; gleich Null in der Höhe
einer scharfen Querschnittsverbreiterung übergeht,
die durch das Ende der Laufbachse verursacht wird,,
. und. wobei die Flüssigkeit nachher am Austritt des
Divergierelements (c) den Atmospherend ruck wieder
erreicht·
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass diese Vorrichtung bei chemischen oder elektrochemischen Verarbeitungen von
Festkörpern mittels, einer Reihe von. Yera.rbeitungswmne
: ihre. Anwendung findet ; dass die erste der besagten
. Wannen an die aus dem Yenturi-Rohr (l) - Laufbuchse
(2) bestehende Einheit angeschlossen wird, wobei' das
Konvergierelement dieser Einheit an eine Tiefdruck-
; kammer angeschlossen ist ; dass jede eine der anderen
Wannen mittels zwei , a.us Venturi-Rohr (l) - Laufbuchse
(2) bestehenden Einheiten in Verbindung steht, die entgegengesetzt montiert sind, wobei die Konvergier-*
elemente dieser Einheiten mittels einer gemeinsamen Tiefdruckkammer angekuppelt werden, wahrend die letzte
Wanne am Yerarbeitungsende an eine andere, aus Yenturi-Rohr (l) - Laufbuchse (2) bestehende Einheit angeschlossen
ist, der Konvergierelement mit einer Tiefdruckkammer verbunden wird ; und dass die Konvergierelemente
leder einen aus Yenturi-Rohr (I^ - Laufbuchse
(2) bestehenden Einheit an Pumpeneinrichtungen etsprerthend
angeschlossen werden, die leder der entsprechenden Wannen zugeordnet sind.
8. Yorrichtung nach einem der "Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere aus Yenturi-Rohr
(l) - Laufbuchse (2) bestehende Einheiten derart
vereinigt sind, dass eine Anzahl von serienmässig
montierten Einheiten kombiniert wird, oder auch dass eine Anzahl von aus zwei entgegengesetzte montierten
Einheiten bestehenden Gruppen kombiniert wird.
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