DE858737C - Verfahren zum Entgasen von im Vakuum angeordneten Teilen - Google Patents

Description

• Verfahren zum Entgasen von im Vakuum angeordneten Teilen Die Erfindung betrifft ein Verfahren, welches dazu dient, Teile von Vakuumgefäßen oder Teile, welche in solche Vakuumgefäße eingebaut sind, so zu entgasen, daß auch nach längerer Zeit und vor allem hei Erhitzung aus ihnen keine Gase mehr frei werden, die das Vakuum nennenswert beeinträchtigen könnten. Insbesondere beim Bau von Entladungsgefäßen besteht die Forderung, die im Vakuum befindlichen Teile so weit gasfrei zu machen, daß im Betrieb selbst bei größter Strombelastung keine neuen. Gasausbrüche zu erwarten sind, die das Vakuum und .damit die Betriebseigenschaften des Entladungsgefäßes verschlechtern können. Besonders wichtig ist eine sorgfältige Entgasung vor allem bei sog. abgeschmolzenen Entladungsgefäßen, die nach erfolgter Evakuierung von der Vakuumpumpe getrennt werden, also, mit anderen Worten, ohne Vakuumpumpe betrieben werden sollen.
• Die Entgasung von Entladungsgefäßen wird zur Zeit so vorgenommen, daß man die in Betracht kommenden Teile z. B. durch Belastung des Gefäßes mit der größtmöglichen Stromstärke so weit erhitzt, daß man annehmen kann, daß bei den im Betrieb vorhandenen Temperaturen keine neuen Gasausbrüche mehr auftreten. Der Erhitzung der einzelnen Teile sind jedoch Grenzen gesetzt, da anderenfalls Lötnähte oder vakuumdicht isolierte Durchführungen beschädigt werden können.
• Das Verfahren der Erfindung erleichtert nun das Austreten von Gasresten aus im Vakuum befindlichen Teilen wesentlich, so daß man mit geringeren Entgasungstemperaturen oder unter Umständen sogar ohne künstliche Temperaturerhöhung auskommt. Die Besonderheit des erfindungsgemäßen Entgasungsverfährens besteht darin, daß die zu entgasenden Teile im Vakuum mit Ultraschallwellen beaufschlagt werden. Werden Körper im Vakuum, welches auf bekannte Weise mit Hilfe von Pumpen erzeugt worden ist, mit Ultraschallwellen beaufschlagt, so zeigt es sich, daß auf die in den kleinsten Rissen und Hohlräumen der betreffenden Körper eingeschlossene Gasreste durch die Ultraschallwellen ein Druck ausgeübt wird, durch den sie von dem festen Körper frei gemacht werden und von der angeschlossenen Vakuumpumpe abgesaugt werden können. Diese Wirkung ist so stark, daß man, wie schon gesagt, die Temperatur, bei welcher die Entgasung vorgenommen wird, nicht so hoch zu treiben braucht wie bisher. Entladungsgefäße kann man unter Umständen sogar ohne Strombelastung auf diese Weise einwandfrei entgasen.
• Bei einem Entladungsgefäß ist es selbstverständlich nicht notwendig, .die gesamte von den einzelnen Teilen festgehaltene fremde Gasmenge erst im zusammengebauten Zustand des Entladungsgefäßes zu entfernen. Die Entgasung der einzelnen Teile kann vielmehr bereits während der vorangehenden Bearbeitungsstufen vorgenommen werden, worauf dann die entgasten Teile bis zum Zusammenbau des Entladungsgefäßes in bekannter Weise in einer neutralen Atmosphäre, z. B. einer Stickstoffatmosphäre, aufbewahrt werden.
• In einem mit einer Vakuumpumpe ausgerüsteten Entladungsgefäß verschlechtert sich während längerer Betriebspausen das Vakuum wegen der stets vorhandenen Undichtigkeiten oft erheblich, wodurch die Einbauteile wiederum fremde Gase aufnehmen, die dann an ihrer Oberfläche haften. Aus diesem Grunde müssen Entladungsgefäße in Betriebspausen gelegentlich nachentgast werden. Dies kann ebenfalls unter Anwendung des Verfahrens gemäß der Erfindung geschehen. Die ausgetriebenen Gase werden- aus dem Vakuumraum durch die Vakuumpumpe abgesaugt. Gase, die während des Betriebes in das Gefäß eindringen, werden unter Umständen durch die Entladung in die Elektroden, insbesondere in die Graphitanoden, eingetrommelt. Diese Gase treten dann bei .erneuter Inbetriebsetzung des Entladungsgefäßes bzw. bei plötzlichen Überlastungen wieder aus und können zu Rückzündungen führen. Unter Umständen ist es deshalb vorteilhaft, auch während des Betriebes gelegentlich eine Nachentgasung nach dem Verfahren der Erfindung vorzunehmen. Aus diesem Grunde kann es zweckmäßig sein, auch die Möglic.hkeit einer Beschallung am Aufstellungsort vorzusehen. Den hierzu notwendigen Schwingungserzeuger kann man an das Stromrichtergefäß fest anbauen. Man kann statt dessen aber auch Ultraschallerzeuger in transportabler Ausführung benutzen, die jeweils an das neu zu entgasende Entladungsgefäß herangebracht werden.
• Nach dem vorher Gesagten ist es offenbar möglich, die Forderung nach einer Höchsttemperatur für den Betrieb eines Stromrichters fallen zu lassen, da etwaige Fremdgase bereits vor der Einschaltung des Entladungsgefäßes entfernt werden können.
• Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrenserstreckt sich nicht nur auf elektrische Entladungsgefäße. Das Verfahren kann vielmehr vorteilhaft überall dort angesetzt werden, wo es sich um gute Entgasung von im Vakuum befindlichen Teilen bandelt.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: r. Verfahren zum Entgasen von im Vakuum angeordneten Teilen, vorzugsweise zum Entgasen bzw. Nachentgasen elektrischer Entladungsgefäße, dadurch gekennzeichnet, daß die zu entgasenden Teile im Vakuum mit Ultraschall beaufschlagt werden.
2. 2. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ultraschallerzeuger fest an das Entladungsgefäß angebaut ist.