DE849570C - Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien - Google Patents

Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien

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DE849570C
DE849570C DEP40569A DEP0040569A DE849570C DE 849570 C DE849570 C DE 849570C DE P40569 A DEP40569 A DE P40569A DE P0040569 A DEP0040569 A DE P0040569A DE 849570 C DE849570 C DE 849570C
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Werner Fanselau
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Robert Bosch Fernsehanlagen GmbH
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Fernseh GmbH
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Description

  • Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien Es ist bereits vorgeschlagen worden, für die Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien das aus der Autotypie bekannte Chromlackkopierverfahren dadurch brauchbar zu machen, daß die Folien auf "Cräger aus Glas oder anderen geeigneten Stoffen durch Aufdampfen und anschließende galvanische Verstärkung eigens zu diesem Zweck aufgebracht werden.
  • Die Oberfläche solcher galvanisch erzeugten Folien. z. I'). Kupferfolien, ist z\\-ar, makroskopisch gesehen. x`>llig eben und für die 1?rzielung genügend gleichmäßiger Chromlackschichten durchaus geeignet. Sie sehen aber doch nicht mehr spiegelnd aus wie die ursprünglichen Glasplatten, sondern haben eine halbmatte bis matte Oberfläche. Mikroskopisch betrachtet weisen sie eine ihrer Kristallstruktur entsprechend zerklüftete Oberfläche auf. Bei höheren Maschenzahlen bewegen sich aber die Netzquadrate und Netzstege durchaus in mikroskopischen Größenordnungen. Will man daher Netzfolien herstellen, die linear 40o bis iooo Maschen pro Zentimeter, d. h. also 16o ooo bis i ooo ooo Maschen pro Quadratzentimeter haben, dann führt diese Oberflächenrauheit der Kupferfolie bereits zu unscharfen Konturen der Stege beim Kopieren.
  • Als Negative werden Spiegelglasplatten verwendet, auf die eine Silberschicht aufgedampft wurde. In diese Silberschicht wird mittels sehr präzise arbeitender Teilritzmaschinen das Kreuzraster eingeritzt, beispielsweise in beiden Koordinatenrichtungen 4o Striche pro Millimeter. Dann entsteht ein Kreuzraster, bei dem die undurchsichtigen Quadrate stehenbleiben, während die Stege durchsichtig sind. Beim Kopieren ergibt sich auf der Chromlackschicht der Kupferfolie das Umgekehrte davon. Die Quadrate bekommen kein Lieht, lösen sich also bei der Entwicklung heraus, die Stege dagegen werden belichtet und gehärtet und bleiben stehen. Wenn nun ein solches aus einer Spiegelglasplatte bestehendes Rasternegativ mit einer Folie zum Zweck der Kontaktbelichtung Schicht auf Schicht zusammengelegt wird, ist es klar, daß infolge der rau'hen Oberfläche der Folie bei so extrem hohen Maschenzahlen Unschärfen und verwaschene Ränder der Stege eintreten müssen. Es erwächst daher die Aufgabe, das Chromlacknetzbild auf eine spiegelnd blanke Oberfläche der Metallfolie zu )>ringen, damit beim Kopieren beide aufeinanderzulegende Schichten spiegelnd sind und guten Kontakt ergeben.
  • Schleifen und Polieren der empfindlichen dünnen Folien ist jedoch nicht möglich, und es bildet einen Gegenstand der vorliegenden Erfindung, die hierdurch bedingten Schwierigkeiten zu umgehen, indem auf die Trägerglasplatte nicht zuerst die Kupferfolie und dann das Chromlackbild gebracht wird, sondern umgekehrt zuerst das Netzbild und auf dieses erst durch Aufdampfen und galvanisches Verstärken die Folie aufgebracht wird.
  • Erfindungsgemäß wird zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien ein Verfahren verwendet, bei dem unter Benutzung bekannter Autotypieverfahren auf einen durchsichtigen Träger mit spiegelnder Oberfläche erst das Chromlackbild der Netzfolie aufkopiert und dann erst durch Vakuumbedampfung und galvanische Verstärkung die Folie erzeugt wird. Da aber das Netzlackbild direkt auf der Glasplatte ziemlich fest haftet und daher beim Abziehen der Folie nicht mit Sicherheit abgelöst werden kann, wird zweckmäßig erst noch eine Behelfsaufdampfschicht auf die Glasplatte gebracht, dann das Lackbild und zuletzt durch Aufdampfen und galvanische Verstärkung die Folie erzeugt. Es ist günstig, die Ränder der Folie so weit galvanisch zu verstärken, daß sie steif und frei tragend werden. \"orteilhafter-«-eise wird die Folie gemeinsam mit den Schichten von der Trägerplatte abgehoben und nach Abdeckung der Rückseite unter Köntrolle der Durchsicht geätzt.
  • An Hand eines Beispiels sei der Werdegang einer solchen Netzfolie im einzelnen erläutert: Die vorbereitete und gereinigte Glasplatte wird zunächst mit einer Aufdampfschicht von Kupfer oder Silber oder irgendeinem anderen Metall versehen. Die Dicke dieser Aufdampfsc'hicht muß so sein, daß sie eben undurchsichtig ist. Dann läßt sie sich später verhältnismäßig leicht von der Platte abheben. Jetzt wird in gewohnter Weise die Chromlackschicht erzeugt und durch Kontaktbelichtung das Netzbild hergestellt. Danach wird die Platte erneut im Vakuum bedampft, so daß das Lackbild nunmehr beiderseits von den Metallaufdampfschichten abgedeckt ist. Es folgt die galvanische Verstärkung bis zur erforderlichen Dicke der Folie, also etwa 5 ,u. Nun deckt man die Oberfläche der Folie, die ja bei dieser Methode die Rückseite darstellt, mit einem gut deckenden, aber durchsichtigen Lack so weit ab, daß nur ein mehrere Millimeter breiter Rand frei bleibt. Die Platte wird erneut in (las galvanische Bad gehängt und so lange darin belassen, bis der vom Abdecklack frei gebliebene Rand etwa eine Stärke von r Ihm erreicht hat, also steif und selbsttragend geworden ist. Jetzt kann das Ganze von der Glasplatte abgehoben werden. Die dünne Folie befindet sich in einen steifen Rahmen gefaßt. Ihre Rückseite ist mit Lack gegen das Ätzmittel geschützt. :\uf ihrer (> >erfläche sitzt (las Lackbild zwischen den heilen spiegelblanken Aufdampf schichten. Beim Ätzen wird zunächst die obere Aufdampfschicht weggelöst, und das Lackbild tritt wieder zutage. Beim weiteren Ätzen werden dann wie üblich die Quadrate herausgelöst, während die Stege stehenbleiben. Infolge der Durchsichtigkeit des Abdecklackes kann genau beobachtet werden, wann die Ätzung beendet ist und die Folie aus dem Ätzbad entfernt werden muß. Nach dem Ablösen des Abdecklackes und der Chromlacknetzstege ist die Netzfolie fertig.
  • Auf diese Weise gelingt es, das Netzbild auf eine spiegelnde Fläche zu kopieren und jegliche Unschärfe beim Kopieren zu vermeiden. Ebenso können Netzfolien mit 16o ooo bis zu i ooo ooo Maschen pro Ouadratzentimeter hergestellt werden. Hier ist die Grenze erreicht, bis zu der Rasternegative auf mechanischem Wege durch Teilmaschinen hergestellt werden können. Um die Maschenzahl noch weiter zu steigern, müssen andere Verfahren zur Negativherstellung herangezogen werden. Das erfindungsgemäßeKopier-undÄtzverfahrendagegen entspricht den höchsten Anforderungen, die hinsichtlich der 'Maschenzahl gestellt «-erden könnten. So ist es nach der geschilderten Methode beispielsweise möglich, als Rasternegative thermisch aufgerissene Silberraster zu verwenden, wie sie als Mosaikelektroden bei Ikonoskopen verwendet werden und durch Aufreißen aufgedampfter Silberschichten bei 5oo° in kleinsteTröpfchen von durchschnittlich'/2 y Durchmesser entstehen. Bei Benutzung solcher Silberpunktraster als Negative konnten Netzfolien von 6 ooo ooo bis zu 20 000 000 'Maschen pro Quadratzentimeter hergestellt «erden.
  • Die Anwendung dieses Verfahrens ermöglicht es, die bei Bildzerlegerröhren für Fernsehzwecke benötigten feinen Netze mit der für (las hohe Auflösungsvermögen dieser Röhren erforderlichen Maschenzahl herzustellen.

Claims (5)

  1. PATEN TANSI'RI'CIIE: i. Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien unter Benutzung bekannter Autotypieverfähren, dadurch gekennzeichnet,daß auf einen durchsichtigen Träger mit spiegelnder Oberfläche erst das Chrolnlackbild der Netzfolie aufkopiert und dann erst durch Vakuumbedampfung und galvanische Verstärkung die Folie erzeugt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß erst eine Aufdampfschicht, dann das Lackbild und zuletzt durch Aufdampfen und galvanische Verstärkung die Folie erzeugt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch r und z, dadurch gekennzeichnet, daß die Ränder der Folie so weit galvanisch verstärkt werden, daß sie steif und frei tragend sind. .
  4. 4. Verfahren nach Anspruch i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie gemeinsam mit den Schichten gemäß Anspruch i und a von der Trägerplatte ahgehohen und nach Abdeckung der Rückseite unter Kontrolle der Durchsicht geatzt wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch i bis ,4, dadurch gekennzeichnet, claß beim Kopieren als Negativ ein thermisch aufgerissenes Silberpunktraster verwendet wird. G. Elektronenröhre für Fernsehzwecke u. dgl., welche eine sehr feinmaschige Netzfolie enthält, dadurch gekennzeichnet, daß diese durch Aufkopieren des Chromlackbildes auf einen durchsichtigen Träger gemäß Anspruch i bis 5 hergestellt ist. Angezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 725 735, 656 o63, 68.2 47o, 687 215.
DEP40569A 1949-04-22 1949-04-23 Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien Expired DE849570C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1086103B (de) * 1956-06-07 1960-07-28 Freiberger Praez Smechanik Veb Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege
DE1182690B (de) * 1961-05-19 1964-12-03 Siemens Ag Anwendung eines galvanoplastischen Verfahrens zur Herstellung von Profilgittern zur Farbsteuerung bei Farbbildroehren

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE656063C (de) * 1933-07-30 1938-01-28 Telefunken Gmbh Anordnung zum Ausgleich der Empfindlichkeitsunterschiede einer lichtelektrisch wirksamen Flaeche
DE687215C (de) * 1936-02-22 1940-01-25 Zeiss Ikon Akt Ges Verfahren zur Herstellung von rasterfoermig unterteilten Photokathoden
DE682470C (de) * 1935-03-13 1940-02-27 Fernseh Akt Ges Verfahren zur Herstellung gegeneinander isolierter Flaechenstuecke eines leitenden Stoffes durch Aufdampfen auf eine isolierende Flaeche bei Mosaikelektroden
DE725735C (de) * 1934-05-25 1942-10-10 Loewe Radio Ag Verfahren zur Herstellung von feinunterteilten Metallschichten fuer Mosaikraster-Photozellen zur Ladungsspeicherung

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE656063C (de) * 1933-07-30 1938-01-28 Telefunken Gmbh Anordnung zum Ausgleich der Empfindlichkeitsunterschiede einer lichtelektrisch wirksamen Flaeche
DE725735C (de) * 1934-05-25 1942-10-10 Loewe Radio Ag Verfahren zur Herstellung von feinunterteilten Metallschichten fuer Mosaikraster-Photozellen zur Ladungsspeicherung
DE682470C (de) * 1935-03-13 1940-02-27 Fernseh Akt Ges Verfahren zur Herstellung gegeneinander isolierter Flaechenstuecke eines leitenden Stoffes durch Aufdampfen auf eine isolierende Flaeche bei Mosaikelektroden
DE687215C (de) * 1936-02-22 1940-01-25 Zeiss Ikon Akt Ges Verfahren zur Herstellung von rasterfoermig unterteilten Photokathoden

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1086103B (de) * 1956-06-07 1960-07-28 Freiberger Praez Smechanik Veb Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege
DE1182690B (de) * 1961-05-19 1964-12-03 Siemens Ag Anwendung eines galvanoplastischen Verfahrens zur Herstellung von Profilgittern zur Farbsteuerung bei Farbbildroehren

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