DE845275C - Verfahren zur Feinstrukturanalyse strukturell inhomogener Objekte mittels Elektronenstrahlen - Google Patents

Description

• Die Untersuchung der Feinstruktur mittels Elektronenstrahlen an flächenhaft ausgedehnten, strukturell heterogenen Objekten erfordert bei dem heutigen Stand der Technik gesonderte Aufnahmen für verschiedene Teile des Objektes. Das Lochkameraverfahren gibt zwar die Möglichkeit der feinstrukturellen Abbildung eines größeren Bereichs des Objektes, ohne aber bei von Ort zu Ort veränderlicher Feinstruktur desselben im Allgemeinfall aus einer Aufnahme quantitative Angaben gleicher Genauigkeit über die Gitterparameter verschiedener Teile des Objektes zu ermöglichen.
• Es kommt daher ein neues Verfahren zur Anwendung, bei dem aus einer Aufnahme quantitative Aussagen gleicher Genauigkeit über die Gitterstrukturen eines ausgedehnten Teiles des Objektes möglich sind. Diese Übersichtsaufnahmen entstehen dadurch, daß aus dem von einem Teilausschnitt des Objektes erzeugten Beugungsbild durch eine Spaltblende nur ein schmaler, durch den Mittelpunkt des Beugungsbildes verlaufender Streifen ausgeblendet wird (s. Figur). Nunmehr kommen durch eine Verschiebung des Objektes nacheinander verschiedene Teile desselben zur Abbildung. Wird zugleich mit dem Objekt auch die Photoplatte hinter dem Spalt verschoben, so werden die einzelnen spaltförmigen Ausschnitte aus den von verschiedenen Teilen des Objektes erzeugten Beugungsbildern kontinuierlich nebeneinandergereiht. Da die Teilausschnitte alle den Mittelpunkt der Beugungsbilder enthalten, sind sie alle quantitativ auswertbar. Durch verschiedene Wahl des Übersetzungsverhältnisses der entsprechenden Verschiebungen von Objekt pnd Photoplatte kann die Vergrößerung der Übersichtsaufnahme in der Richtung der Verschiebung des Objektes geändert werden. An Stelle von Objekt und Photoplatte können auch Primärstrahl und Spalt oder andere einander @,tsn-echende bilderzeugende Elemente gekoppelt verschoben werden. Das Verfahren ist auch anwendbar im Verein mit anderen feinstrukturanalytischen Verfahren. In allen Fällen, wo das Lochkameraprinzip zur Anwendung kommt, kann an die Stelle der spaltförmigen Ausblendung aus dem Beugungsbild eine Begrenzung der Primärintensität auf ein entsprechend schmales Flächenelement des Objektes treten.

Claims (1)

1. PATENT ANS PR I`Clil:: i. Verfahren zur Feinstrukturanalyse strukturell inhomogener Objekte mittels Elektronenstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß aus den Debye-Kegeln, die durch verschiedene Teile eines flächenhaft ausgedehnten Objektes oder durch ein zeitlich veränderliches Objekt aus einem Elektronenstrahl entstehen, ein durch den unabgelenktenElektronenstrahl hindurchgehendes, lineares Teilsegment ausgesondert und auf einem senkrecht zur Längsausdehnung dieses Segmentes bewegten Film registriert wird. z. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Aussonderung der von einem Punkt des Objektes zur Übersichtsaufnahme beigetragenen Streuintensit:it durch eine Spaltblende erfolgt. 3. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilsegmente durch Begrenzung der Primärintensität auf ein entsprechend schmales Flächenelement des Objektes erzeugt werden. q.. Verfahren nach Ansprüchen i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Übersichtsaufnahme eines in einer Richtung ausgedehnten Teiles des Objektes so erzeugt wird, daß Objekt und Photoplatte oder andere einander entsprechende bilderzeugende Elemente in dieser Richtung senkrecht zum Primärstrahl bewegt werden.