DE841140T1 - Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaften eines Formwerkzeuges durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung - Google Patents

Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaften eines Formwerkzeuges durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung

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DE841140T1
DE841140T1 DE0841140T DE97309023T DE841140T1 DE 841140 T1 DE841140 T1 DE 841140T1 DE 0841140 T DE0841140 T DE 0841140T DE 97309023 T DE97309023 T DE 97309023T DE 841140 T1 DE841140 T1 DE 841140T1
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mold
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gas
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Bae Hyeock Chun
Byoung Chul Lee
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Claims (11)

DE/EP O 841 UO &Pgr; ANSPRUCHE
1. Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaft eines Formwerkzeugs, welches umfaßt:
(a) zuerst Behandlung der Formoberfläche mit reaktivem oder inertem Gasplasma,- und
(b) sodann Aufbringen eines dünnen Films von Plasmapolymer auf der Formoberfläche durch Plasmapolymerisierung.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das inerte Gasplasma aus Argongas in Schritt (a) gewonnen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem das reaktive Gasplasma aus einem reaktiven Gas in Schritt (a) gewonnen wird, das aus der Gruppe gewählt wird, die aus Sauerstoff, Luft und Wasserdampf besteht.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der Plasmapolymerfilm aus einer Mischung von Silan und Kohlenwasserstoff in Schritt (b) gewonnen wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, bei welchem der Kohlenwasserstoff aus der Gruppe gewählt wird, die aus Methan, Ethan, Ethylen, Acetylen, Benzol, Wasserstoff und einer Mischung derselben besteht.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei
DE/EP O 841 UO Tl
welchem der Plasmapolymerfilm aus einem Organosilan in Schritt (b) gewonnen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, bei welchem das Organosilan aus der Gruppe gewählt wird, welche aus Methylsilan, Ethylsilan, Methyltrichlorsilan, Dimethylsilan, Trimethylsilan, Tetramethylsilan, Trimethylethoxysilan, Methyltrimethoxysilan, Methyltrimethoxisilan, Hexamethyldisiloxan, Tetramethyldisilan, Hexamethyldisilan und Tetramethyldisiloxan besteht.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der Plasmapolymerfilm aus einem Fluorkohlenwasserstoff in Schritt (b) gewonnen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei welchem der Fluorkohlenwasserstoff Hexafluorethylen ist.
10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Aufbringen von Plasmapolymer durch Plasmapolymerisierung in Schritt (b) mit Trägergas durchgeführt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, bei welchem das Trägergas aus der Gruppe gewählt wird, die aus Argon, Helium, Neon, Sauerstoff und Wasserstoff besteht.
DE0841140T 1996-11-12 1997-11-10 Verfahren zur Verbesserung der Entformungseigenschaften eines Formwerkzeuges durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung Pending DE841140T1 (de)

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