DE820318C - Selenkoerper, insbesondere fuer Trockengleichrichter, Fotoelemente und lichtempfindliche Widerstandszellen - Google Patents

Selenkoerper, insbesondere fuer Trockengleichrichter, Fotoelemente und lichtempfindliche Widerstandszellen

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DE820318C
DE820318C DE1948P0010155 DEP0010155D DE820318C DE 820318 C DE820318 C DE 820318C DE 1948P0010155 DE1948P0010155 DE 1948P0010155 DE P0010155 D DEP0010155 D DE P0010155D DE 820318 C DE820318 C DE 820318C
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selenium
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Franz Dr-Ing Tuczek
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Siemens and Halske AG
Siemens AG
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Siemens and Halske AG
Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/06Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
    • H01L21/10Preliminary treatment of the selenium or tellurium, its application to the foundation plate, or the subsequent treatment of the combination

Description

  • Selenkörper, insbesondere für Trockengleichrichter, Fotoelemente und lichtempfindliche Widerstandszellen Für die technischere Anwendungen von Selen in Trockengleiehrichterii, Fotoelementen und lichtempfindlichen Widerstandszellen benutzt man allgemein bei der Herstellung Temperverfahren bei Temperaturen über 17o° C, meist solchen um etwa 20ö° C und darüber, bei denen das Selen weitgehend in die hexagonale Kristallform des metallischen Selens mit guter elektrischer Leitfähigkeit übergeht. Es ist bekannt, daß die Leitfähigkeit des so getemperten Selens durch vorher eingebrachte kleine Zusätze von Halogenen oder deren Verbindungen, wie Selenchlorür, Selenbromür, Cerjodid, bedeutend leeraufgesetzt werden kann, wovon z. B. bei der Fertigung von Trockengleichrichtern Gebrauch gemacht -,\wird, um den Durchlaßwiderstand und mit ihm die Verluste während der Flußbelastung klein zu halten und überhaupt einen ausgeprägten Gleichrichtereftekt iü erzielen: Es hat sich nuri gezeigt, daß man dem spezifischen Widerstandeines halogenhaltigen Selens noch ganz erheblich weiter, z. B. um den Faktor 1a, herabsetzen kann, wenn man dem Sülen außer dem halogenhaltigen Zusatz noch einen ebenfalls kleinen Zusatzeines chemischen Elementes von stärker elektropositivem Charakter beigibt, als das Selen ihn besitzt, im besonderen also einen Metallzusatz. Während der Metallzusatz bei Anwendung einer Temperung bei der üblichen hohen Temperatur, etwa 200° C den spezifischen Widerstand des Selens 'heraufsetzt, tritt die erwähnte Herabsetzung dann ein, wenn man bei einer Temperatur unter 17o° C, vorzugsweise bei etwa i 5o' C, getempert hat.
  • Diese Tatsache war noch nicht bekannt. Sie muß darauf zurückgeführt werden, daß bei tiefer Temperatur behandeltes Selen ganz vorzugsweise aus der monoklinen Kristallform besteht, deren spezifischer Widerstand eben bei gleichzeitiger Anwesenheit von Zusätzen elektropositiven und elektronegativen Charakters klein ist.
  • Bekannt war, daß man nach Temperung bei hoher Temperatur, d. h. etwa 2oo° C, höhere Widerstände gegenüber dem zusatzfreien Selen erhält, wenn man halogenfreiem Selen gewisse Metalle in kleiner Konzentration zusetzt. 'Nicht bekannt war dagegen, daß das Verhältnis der Widerstände solchen halogenfreien Selens mit und ohne elektropositive Zusätze nach einer Temperung um 15o° C herum sehr viel größer ist als nach einer Temperung um 2000 C herum, daß also bei niedriger Temperung das halogenfreie Selen auf elektropositive Zusätze genau umgekehrt reagiert wie das 'halogenhaltige. Zum Beispiel steigt der spezifische Widerstand des Selens ohne jeden Zusatz bei Übergang von einer einstündigen Temperung bei 21o° C zu einer gleichlangen Temperung bei i5o° C im Verhältnis q : i, hei Zusatz von 0,3% Arsen oder Tellur aber rund um den Faktor 30. Man 'kann also durch Tempern unter i70° C sowohl ein besonders niedrigohmiges wie ein besonders hochohmiges Material erhalten, je nachdem ob außer einem elektropositiven Zusatz noch ein Zusatz mit einer elektronegativen, z. B. halogenhaltigen Komponente beigegeben wird oder nicht.
  • Gerade diese Tatsache ist - z. B. von besonderer Bedeutung für 'den Selengleichrichter. Der Flußwiderstand setzt sich zusammen aus dem sog. Bahnwiderstand, das ist der Widerstand des größten Teils der Selenschicht und dem Flußwiderstand der chemischen Sperrschicht, das ist die der wirksamen Elektrode zugekehrte Randschicht, in der die Dichte der Halogenstörstellen gegenüber der Hauptmasse des Selenkörpers wesentlich verringert ist. Der Widerstand dieser beiden Teile, d. h. also der gesamte Flußwiderstand, wird nach der Erfindung durch die Zumischung elektropositiver Bestandteile herabgesetzt.
  • In der Sperrichtung wird der Widerstand praktisch allein getragen von dem Teil der chemischen Sperrschicht, dem durch Verarmung an leicht beweglichen Ladungsträgern die Störleitfähigkeit weitgehend entzogen ist: physikalische Sperrschicht. Dies ist die der wirksamen Metallelektrode benachbarte Schicht. In ihr spielt die Eigenleitfähigkeit des Selens eine wesentliche Rolle. Bei den bisher üblichen Selengleichrichtern wird die anzustrebende 1lochohmigkeit dieser Schicht erreicht einmal durch die Bildung einer chemischen Sperrschicht durch den Vorgang der elektrischen Formierung, außerdem aber durch einen Zusatz eines sehr kleinen Prozentgehaltes von Thallium in der als Elektrode aufgebrachten Legierung. Das Thallium diffundiert in sehr großer Verdünnung in die elektrodennächste Schicht des Selenkörpers hinein und bewirkt hier durch Herabdrücken der Eigenleitfähigkeit den erwünschten Widerstandsanstieg bei Sperrichtung, der in Flußrichtung durch Diffusion der Leitungselektronen unwirksam wird. Setzt man das Thalliurn in einem geeignet bemessenen Prozentsatz von vornherein nicht dem Elektrodenmaterial, sondern dein Selen selbst zu, so wird in der physikalischen Sperrschicht während der Sperrzeiten der `Viderstand ebenfalls und sogar in erhöhtem Maße heraufgesetzt, in den Flußzeiten kommt dagegen die Herabsetzung des Widerstandes der Hauptmasse des Selens durch den elektropositiven Zusatz zur Wirksamkeit, sofern man die neue Vorschrift einer niedrigen Temperung beachtet hat. Während bei den bisherigen Herstellungsverfahren, ohne Zusatz eines Elementes, das elektropositiver ist als das Selen, die Heraufsetzung des Sperrwiderstandes durch einen Metallzusatz beschränkt ist auf die Verwendung von Thallium, weil dieses Element sich durch seine besonders große Diffusionsfähigkeit im Selen auszeichnet, kann man bei dem Verfahren gemäß der Erfindung auch andere Stoffe nehmen, wie z. B. das Arsen, das den Widerstand des halogenfreien Selens ebenfalls in sehr hohem Maße heraufsetzt. Eine große Beweglichkeit des die Leitfähigkeit des Selens beeinflussenden Zusatzes, wie das Thallium sie besitzt, ist durchaus unerwünscht, weil durch die mit der Wanderung verbundenen Konzentrationsänderungen zeitliche Veränderungen der elektrischen Eigenschaften zur Folge haben.
  • Durch die Wahl ;der Art und der Konzentration des Zusatzes kann das Verhältnis der spezifischen Widerstände, die mit und ohne die Mitwirkung von Halogenstörstellen sich einstellen, weitgehend gesteuert werden. Insbesondere ist es möglich, durch eine räumliche Variation der Dichte der Zusätze, z. B. in der Schicht unmittelbar vor der Elektrode, die Eigenschaften des Gleichrichters, wie die Form der Gleichrichterkennlinie oder die Spannungsfestigkeit zu beeinflussen. Iiiie räumliche Verschiedenheit kann hergestellt werden z. B. durch Aufdampfen mehrerer Schichten von Selen mit verschiedenem Gehalt an den verwendeten Zusätzen.
  • Als Vorteile der Anwendung des Erfindungsgedankens in Selentrockengleichrichtern ergeben ,sich, wie aus dem vorstehenden ersichtlichist, niedrigere Verluste und damit erhöhte Belastungsfähigkeit ,in Fluß- und Sperrichtung, ferner geringere Auswirkung der unvermeidlichen zeitlichen Änderungen des Fluß- und Sperrwiderstandes, da sich gleiche prozentuelle Änderungen dieser Größen um so weniger auswirken, je kleiner der Flußwiderstand und je größer der SperrNviderstand gegenüber dem Widerstand des Verbrauchers sind. Darüber hinaus aber hat bei dem bisher üblichen Selengleichrichter die Einfrierung der bei Temperaturen über etwa i70° C stabilen hexagonalen Kristallform eine geringe Temperaturfestigkeit des Widerstandes zur Folge, die eine Erhöhung der Betriebstemperatur über 7o bis 8o° C ausschließt, weil etwa bei diesen Temperaturen schon eine Umwandlung in das bei tieferen Temperaturen stabile monokline Selen einsetzt, während bei Anwendung der vorgeschlagenen niederen Temperung von dem monoklinen Selen Gebrauch gemacht wird, das erst bei der höheren Temperatur von über i70° C in die liexagonale hristaliforin übergeht. 1)ie Erfindung bringt also auch eine höhere Temperaturbelastbarkeit mit sich. Ferner sei darauf hingewiesen, daß die N ieideruhmigkeit auch eine Erweiterung der Anwendung des Selengleichrichters auf höhere Frequenzen zul:ißt, wegen Zurücktretens des Kapazitätseinflusses.
  • :alles was über die Anwendung des Erfindungsgedankens auf den Selengleichrichter gesagt wurde, ist ohiae weiteres zu übertragen auf Anwendungen als spannungsabhängiger @@Tiderstand, z. B. in der Foren einer Kombination mehrerer gleichartiger oder ungleichartiger Selengleichrichter. Außer oder neben der Spannuirgsabhängigkeit kann in solchen Gebilden auch die Temperaturabhängigkeit des Widerstandes ausgenutzt werden.
  • In der gleichen Weise wie im Trockengleichrichter können auch in den Selenfotoelementen Zusätze elektropositiver Elemente mit Erfolg verwendet werden. Auch hier ist eine Heraufsetzung des Sperrwiderstandes erwiinsclit, der als Innenwiderstand groß sein soll gegenüber dem Widerstand des äußeren Schließungskreises, weil nur darin der in diesem fließenden Fotostrom proportional mit der Beleuchtungsstärke zunimmt, und ebenso ist auch der Bahnwiderstand, der als Teil des Außenwiderstandes in Erscheinung tritt, möglichst klein zu halten. Von besonderer Bedeutung kann ein extrem kleiner Widerstand eines Selenkörpers bei einem Fotoelement, .z. B. einer Hinterwandzelle, werden, bei der zur Vermeidung einer unerwünschten Begrenzung des wirksamen Wellenlängenbereiches und einer Herabsetzung der Empfindlichkeit durch eine lichtdurchlässige Metallelektrode diese durch eine gitterförmige Elektrode ersetzt ist. In diesem Fall kommt es darauf an, den Widerstand zwischen dein Ursprungsort der lichtelektrisch frei gewordenen Elektronen zu der Gitterelektrode möglichst klein zu machen. Je besser die Leitfähigkeit des Selens ist, um so größer kann der Abstand der Gitterstäbe voneinander gemacht werden, ohne daß der Widerstand im Verhältnis zum Sperrwiderstand zu groß wird, um so wenigerLicht wird also durch die Elektrode weggenommen.
  • Ein weiteres Anwendungsgebiet für den Erfindungsgedanken stellen die Selenwiderstandszellen für lichtelektrische Steuerzwecke dar. Bei ihnen ist es einerseits erwiinscht, finit so dünnen Schichten zu arbeiten, daß sie vom Licht durchdrungen werden können, damit das Verhältnis vom Dunkelwert zum Hellwert des Widerstandes groß wird, wodurch aber der Widerstand der Selenzelle hochohmig wird, andererseits soll bei direkter Relaisschaltung der Widerstand der Selenzelle dem Wicklungswiderstand eines magnetischen Relais möglichst gleichgemacht werden, um eine möglichst große Amperewindungszahl zu erzielen. Durch den Wickelraum der Relais und die anwendbarenDraht-und Isolationsstärken sind die Wir@dungszahlen selbst aber begrenzt. Mit den im vorstehenden angegebenen Mitteln läßt sich der Zellenwiderstand dem Relaiswiderstand leicht anpassen.
  • Es hat sich gezeigt, daß die wi@derstanidherabsetzende Wirkung nicht unbegrenzt mit steigendem Gehalt an elektropositiven Zusätzen zuzunehmen braucht, z. B. ist bei 0,3 % Selenchlorür ein Zusatz von nur 0,031/o Tellur wirksamer als ein zehnmal größerer. Wenn man daher Wert darauf legt, eine möglichst hohe Leitfähigkeit zu erzielen, so muß mau den geeigneten Prozentgehalt des Zusatzes ermitteln. Die Zusätze können in elementarer Pulverform dem flüssigen Selen beigemengt werden.
  • Unter Selenkörper soll in den Ansprüchen ein in seiner Forrngebunig dem Anwendungszweck angepaßter Körper aus Selen verstanden werden, der z. B. aus einer dünnen, auf einem metallischen oder nichtmetallischen, z. B. keramischen Träger aufgeschmolzenen, aufgespritzten oder aufgedampften Schicht bestehen kann.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Selenkörper, insbesondere für Trockengleichrichter, Fotoelemente und lichtempfindliche Widerstandszellen, dadurch gekennzeichnet, daß-er bei Temperaturen unter i7o° C vorzugsweise bei i5o° C getempert ist.
  2. 2. Selenkörper nach Anspruch i, da@diurch gekennzeichnet, daß das Selen Zusätze eines oder mehrerer chemischer Elemente solcher Art enthält; die stärker elektropositiven Charakter haben als das Selen selbst.
  3. 3. Selenkörper nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet, daß er außer einem oder mehreren Zusätzen mit elektropositivem Charakter auch einen oder mehrere Zusätze enthält, die elektronegativer sind als das Selen, im besonderen Halogene oder Verbindungen mit solchen. d.
  4. Selenkörper nach Anspruch i .und 2 oder 3, dadurchgekennzeichnet, daß dieelektropositiven Zusätze in elementarer Pulverform dem geschmolzenen Selen zugesetzt wurden.
  5. 5. Selen'körper nach Anspruch i und 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusätze zusammen weniger als i Gewichtsprozent betragen.
  6. 6. Selenkörper nach Anspruch i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichte der Zusätze in dem Selenkörper, insbesondere in der Nähe der auf dem Selenkörper aufliegenden Elektrode räumlich verschieden ist, z. B. durch Aufdampfen' mehrerer Schichten von Selen mit verschiedenem Gehalt an den verwendeten Zusätzen.
DE1948P0010155 1948-10-02 1948-10-02 Selenkoerper, insbesondere fuer Trockengleichrichter, Fotoelemente und lichtempfindliche Widerstandszellen Expired DE820318C (de)

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