DE813913C - Vakuumgefaess aus Metall - Google Patents

Description

• Vakuumgefäße aus Metall haben gegenüber solchen aus Glas den Vorteil geringerer Empfindlichkeit gegen Schlag oder Stoß und gegen Temperaturunterschiede. Außerdem können Metallgefäße in wesentlich größeren Abmessungen als Glasgefäße hergestellt werden. Die Metallgefäße besitzen jedoch insofern Nachteile, als ihre Oberfläche, selbst wenn sie mechanisch geschliffen und poliert ist, im Gegensatz zu Glas in ihre Mikrostruktur immer noch so rauh und porig ist, daß sie in hohem Maße Gase und andere Stoffe absorbiert und adsorbiert. Dadurch wird der Pumpvorgang erheblich verlängert, und zwar meistens in unkontrollierbarer Weise.
• Die Erfindung betrifft ein Vakuumgefäß aus Metalls bei dem die Absorption von Fremdstoffen an der Innenwandung durch Verringerung der Mikrooberfläche weitgehend vermieden ist und die Pumpzeiten somit erheblich herabgesetzt werden içönnen. Das wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Innenflächen des Vakuumgefäßes elektrolytisch poliert werden.
• Die elektrolytische Politur, die in bekannter Weise durch anodische Behandlung des Metalles erfolgt, besteht im wesentlichen darin, daß alle Zacken und Spitzen der Metalloberfläche so weit abgetragen werden, bis das reine Kristallgitter freigelegt ist.
• Im Gegensatz zur mechanischen Politur, bei der eine verschmierte Kristallfläche von relativ grober Mikrostruktur entsteht, die zudem durch Korrosion noch weiter aufgerauht wird, sind elektrolytisch polierte Oberflächen im wesentlichen so glatt wie Glasoberflächen. Auch ihre Beständigkeit gegen Korrosion ist die bestmögliche, die bei dem verwendeten Material überhaupt zu erhalten ist.
• Als Material für die Gefäße können die bekannten Metalle in Frage kommen. Vorteilhaft sind korrosionsbeständige Stähle, insbesondere V 2 A-Stahl.
• Die Erfindung kann mit Vorteil überall da Verwendung finden, wo große Metallgefäße als Vakuumgefäße vorhanden sind und diese gegebenenfalls auch häufig wieder mit Luft gefüllt und dann wieder ausgepumpt werden müssen. Dieses Problem liegt zum Beispiel bei Aufdampfapparaten vor, bei denen irgendwelche Teile im Hochvakuum mit einem metallischen oder unmetallischen Belag versehen werden sollen. Auch in der Elektronik, insbesondere bei Elektronenmikroskopen, kann die Erfindung von Bedeutung sein.
• In der Zeichnung ist eine Aufdampfapparatur mit einem Vakuumgefäß aus Metall nach der Erfindung als Ausführungsbeispiel schematisch und im Schnitt -dargestellt.
• Ein metallischer Rezipient I, z. B. aus V2 A-Stahl, ist unter Zwischenfügung einer Vakuumdichtung auf eine metallische Grundplatte 2 aufgesetzt.
• Die Evakuierung erfolgt über die ebenfalls metalllische, vakuumdicht angeschweißte Rohrleitung 3.
• Im Vakuumgefäß auf der Grundplatte 2 befestigt befindet sich der Trägerkörper 4, der zur Aufnahme der zu bedampfenden Teile, z. B. der Glaslinsen 5, dient. Die zu verdampfende Substanz befindet sich in der Schale 6, die nach der Evakuierung des Gefäßes durch Stromzufuhr über die Anschlüsse 7 elektrisch zum Glühen gebracht wird. Die Pumpzeit ist abhängig von den im Gefäß vorhandenen und an den inneren Oberflächen haftenden Gasen und Dämp fen. Die Innenflächen des Rezipienten I, der Grundplatte 2 und der Rohrleitung 3, sowie gegebenenfalls auch die Oberflächen anderer Metallteile im Gefäß, also z. B. des Trägerkörpers 4, sind erfindungsgemäß elektrolytisch poliert, so daß ihre Okklusionsfähigkeit für Gase und Dämpfe weitgehend herabgesetzt ist.
• PATENTANSPROCHE: I. Vakuumgefäß aus Metall, dadurch gekennzeichnet, daß seine Innenflächen elektrolytisch poliert sind.

Claims (1)

1. 2. Vakuumgefäß nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß es aus rostfreiem Stahl besteht.