DE7707767U1

DE7707767U1 - Halterung fuer substratplaettchen

Info

Publication number: DE7707767U1
Application number: DE7707767U
Authority: DE
Original assignee: Balzers Hochvakuum 6200 Wiesbaden GmbH
Current assignee: Balzers Hochvakuum 6200 Wiesbaden GmbH
Priority date: 1977-03-14
Filing date: 1977-03-14
Publication date: 1977-09-08
Also published as: FR2384151A1; US4182265A; CH631638A5; FR2384151B1; GB1562273A

Description

BALZERS HOCHVAKUUM GMBH," Stemenssträsse 11, 6200 Wiesbaden-Noraenstadt ■

Halterung für Substratplättchen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halterung für Substratplättchen (engl. wafer), vorzugsweise für die Behandlung in einer Vakuumbedampfungsanlage. An solche Halterungen werden verschiedene Anforderungen gestellt. Sie sollen betriebss'i^vzr sein und aus wenigen einzelnen Bauteilen bestehen. Innige d?r beim Betrieb unvermeidlich eintretenden Verschmutzung dt nämlich eine regelmässige Reinigung erforderlich und die damit verbundene Arbeit ist umso grosser, aus je mehr einzelnen Teilen die Halterung besteht (Zerlegung, Wiederzusammenbau, Reinigung der Einzelteile).

Weiter sollen die Halterungen so konstruiert sein, dass das Einlegen der Plättchen vor der Behandlung und das Wiederherausnehmen nach der Behandlung nicht nur von Hand sondern auch mit automatischen Ladevorrichtungen bewerkstelligt werden kann. Die Be-

7707767 08.09.77

Schickung von Hand ist nicht nur langsamer sondern hat den Nachteil, dass die Plättchen, wenn sie z.B. mit Pinzetten am Rand angefasst werden, leicht beschädigt werden können. Bei automatischen Beschickungseinrichtungen dagegen lässt sich dies weitgehend vermeiden und damit die Ausschussquote niedriger halten.

Die vorliegende Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, eine Haltevorrichtung für Substratplättchen ju schaffen, welche mit einer geringen Zahl von Handgriffen das Einsetzen eines Plättchens in die Halterung und das Wiederherausnehmen ermöglicht, eine grosse Haltesicherheit auch bei grösseren Abmessungen der Plättchen bietet und sich besonders für die Anwendung in Verbindung mit automatischen Beschickungs- und Entnahmevorrichtungen eignet.

Diese erfindungsgemässe Halterung für Substratplättchen besteht aus einer Grundplatte mit einem in einer Oeffnung der Grundplatte drehbaren Haltering mit einer Schulter für die Auflage-des zu behandelnden Plättchens und ist dadurch gekennzeichnet, dass der Haltering mehrere parallel zur Ringebene verlaufende Schlitze aufweist, denen Je ein am äusseren Umfang des Halterings an der Grundplatte befestigter, durch den Schlitz hindurchragender und das zu haltende Plättchen übergreifender Haltestab zugeordnet ist.

7707767 08.01.77

In einer besonderen Ausführungsform werden am Umfang des Halteringes 4 Schlitze mit zugeordneten Haltestäben vorgesehen, wobei die Haltestäbe durch die Enden von V-förmigen Federn gebildet werden. Dieses Ausführungsbeispiel wird nachfolgend an Hand der anliegenden Zeichnung näher beschrieben.

Die Figur 1 zeigt einen Radialschnitt durch die Haltevorrichtung, die Figur 2 eine Ansicht von oben,

die Figur 3 einen Schnitt nach der Linie AA der Figur 2 und die Figur 4 einen Schnitt nach der Linie BB von Figur 1.

In den Figuren 1, 2 und 3 ist die Haltevorrichtung mit eingelegtem Substratplättchen in geschlossenem, in Figur 4 dagegen in offenem Zustand dargestellt. 1 bezeichnet die Grundplatte, deren Grosse und Form der jeweiligen Einspannvorrichtung der Anlage, in der die Behandlung der Plättchen durchgeführt werden soll, angepasst ist. Bei Vakuumaufdampfanlagen z.B. kann die Grundplatte die Form einer Kalotte aufweisen, die der Dampfquelle gegenüber angeordnet ist. Die Grundplatte besitzt eine oder mehrere Oeffnungen 2 für die Aufnahme drehbarer Halteringe 3· Die Halteringe weisen ihrerseits eine ringförmige Schulter 4 für die Auflage der zu halternden Plättchen 5 auf. Der im Ausführungsbeispiel gezeigte Ring ist mit vier parallel zur Ringebene verlaufenden Schlitzen 6 versehen, wobei jedem

7707767 oe.ea77

der Schi ,ze ein Haltestab "( zugeordnet ist. Die Hsltestäbe sind ausserhalb des Ringes 3 ^{an der} Grundplatte bei 8 befestigt unj ragen in Schliessposition der Halterung durch die Schlitze 6 hindurch in den Innenraum des Ringes hinein, wobei sie das zu halternde Plättchen übergreifen, wie aus den Figuren 1 bis 3 zu ersehen ist.

Dieses Hineinragen ist jedoch nur bei einer bestimmten Position des drehbaren Halteringes möglich. In dieser wird ein eingelegtes Substratplättchen durch die übergreifenden Stäbe festgehalten, die Halterung ist dann geschlossen. Wird der Haltering aus dieser Schliessposition heraus um einen bestimmten Winkel verdreht, dann werden dadurch die Haltestäbe mehr oder weniger nach aussen gedruckt, wie die Figur 4 erkennen lässt, bis sie das Substratplättchen nicht mehr übergreifen; der Verschluss ist dann geöffnet und das Plättchen kann aus der Halterung herausgenommen werden.

Die beschriebene Einrichtung eignet sich insbesondere für die B^r ■ Schickung mittels automatischer Ladevorrichtungen, weil das Schliessen und Oeffnen mit einem definierten Drehwinkel betriebssicher bewerkstelligt werden kann. Es ist dann auch zweckmässig, den Haltering als Kupplungselement für die Uebertragung einer Drehbewegung von der Ladevorrichtung auf den Haltering zum Zwecke des Schliessens und Oeffnens auszubilden. Im einfachsten Falle genügt hiefür eine

7707767 08.89.77

konische Andrehung, wie sie in Figur 1 gezeigt ist. Auch könnte der Rand des Ringes zu diesem Zweck mit einem Zahnkranz als Kupplungselement versehen werden.

In der Figur 1 ist mit 9 das Dispenserrohr einer Ladevorrichtung angedeutet,, welches nach Aufsetzen auf den konischen Rand des Laderinges 3 ein Substratplättchen an diesen abgibt, wobei dann durch Drehen um einen festen Winkel die zuvor offene Haltevorrichtung geschlossen wird. Beim Entladen erfolgt derselbe Vorgang in umgekehrter Weise.

Bei dem Ausführungsbeispiel dienen die Haltestäbe gleichzeitig noch dazu, den Haltering an der Grundplatte festzuhalten. Zu diesem Zweck sind sie relativ zum Haltering so angeordnet,dass zwei der Haltestäbe auch in geöffnetem Zustand nur soviel nach aussen gespreizt sind, dass sie zwar das Substratplättchen nicht mehr übergreifen, wohl aber noch im Eingriff mit den ihnen zugeordneten Schlitzen bleiben. Diese beiden Haltestäbe - in Figur 4 mit 7' bezeichnet - klemmen dann auch in geöffnetem Zustand den Haltering, der an seiner anderen Seite 3' wie ein Flansch ausgebildet ist, an der Grundplatte fest.

Die Erfindung ist nicht natürlich auf die Halterung kreisförmiger Substratplättchen beschränkt. Der Innenraum des Rin<?e~ 3 und die Schulter 4 können auch anderen Formen von Substratplättchen ange-

7707767 08.0977

■ - 6 -

passt werden (z.B. quadratischen Plättchen), solange nur die Haltestäbe und Schlitze so angebracht werden können, dass sie das Plättchen im Schliesszustand der Haltevorrichtung übergreifen.

Claims

SCHUTZANSPRUECHE

1. Halterung für Substratplätcchen bestehend aus einer Grundplatte mit einem in einer Oeffnung der Grundplatte drehbaren Haltering mit einer Schulter für die Auflage des zu behandelnden Plättchens, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltering mehrere parallel zur Ringebene verlaufende Schlitze aufweist, denen je ein am äusseren Umfang des Halteringes an der Grundplatte befestigter, durch den Schlitz hindurchragender und das zu haltende Plättchen übergreifender Haltestab zugeordnet ist und dass der Haltering gleichzeitig als Betätigungseinrichtung für die Haltestäbe ausgebildet ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennz eichret, dass die Haltestäbe durch die Enden von V-förmigen Federn gebildet sind.

J). Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltering als Kupplungselement für eine Drehbewegung ausgebildet ist.

7707767 oa.os.77

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzei chnet, dass die Grundplatte eine Mehrzahl von üeffnungen mit Halteringen besitzt.

5· Vorrichtung nach Anspruch h, dadurch gekenn zeichnet, dass die Grundplatte als Kalotte einer Auf dampfanlage ausgebildet ist.

PR 7766

7707767 08.09.77