DE748945C

DE748945C - Verfahren zum Aufdampfen von duennen Schichten

Info

Publication number: DE748945C
Application number: DEZ26170D
Authority: DE
Inventors: Walter Rupp
Priority date: 1940-12-24
Filing date: 1940-12-24
Publication date: 1944-12-02

Description

Verfahren zum Aufdampfen von dünnen Schichten Es ist bereits bekannt, metallische Schickten auf Glas, z. B. metallische Spiegelbelegungen, durch Aufdampfen herzustellen. Das zu @-erdampfende Metall ist hierbei in einem von einer Seite offenen, mit einer elektrischen Heizwicklung versehenen Gefäß untergebracht.
Die erhaltenen Schichten sind bei Verwendung einer solchen Anordnung im allgemeinen nicht über die gesamte Fläche gleichmäßig dick. Es ist deshalb notwendig, die aufgedampfte Schicht nachzuarbeiten, z. B. zu polieren, wenn größere Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Schicht gestellt werden.
Neuerdings ist es nun in vielen Fällen, z. B. bei reflexmindernden Schichten auf optischen Teilen, deren Herstellung'an sich ebenfalls bekannt ist, erforderlich, eine, über die gesamte Fläche, atif welche aufgedampft werden soll, gleichmäßig verteilte Schichtdicke oder eine Schicht mit bestimmter Verteilung der Dicke zu erhalten. Es ist zwar bereits bekannt, zur Erlangung eines Keils mit verlaufender Schichtdicke zwischen der Verdampfungsquelle und dein zu verdampfenden Träger rotierende Scheiben mit verhältnismäßig einfachen Aussparungen anzuwenden. Ferner ist eine Verdampfungsquelle bekannt, die einen gerichteten Dampfstrahl erzeugt. Durch die bekannten Einrichtungen erzielt man jedoch nicht die im Rahmen der vorliegenden Aufgabe erforderliche Genauigkeit der Schichtdicke, die insbesondere bei der Herstellung von reflexmindernden Schichten verlangt wird.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erst durch die Erfindung. Diese besteht in einem Verfahren zum Aufdampfen von dünnen Schichten, z. h. reflexmindernden Schichten mit vorbestimmter bzw. gleichmäßiger Verteilung der Schichtdicke und ist dadurch gekennzeichnet, daß. eine Verdanipfungsquelle mit diffuser Verteilung des zu verdampfenden Stoffes, bestehend aus einem bis auf eine kleine i_)ffnung geschlossenen heizbaren Hohlkörper, in Verbindung mit einer vor der Verclampfungsquelle angeordneten, mit geeigneten Aussparungen versehenen, rotierenden Scheibe angebracht ist. Unter dem Ausdruck diffus wird eine Verdampfungsquelle verstanden, deren Streucharakteristik dem cos 7 proportional ist.
Ein Ausführungsheispiel nach der Erfindung ist in der Abb. i dargestellt. In dieser bedeuten i der Heizofen, der zweckmäßig mit einer Kühlfalle zum Entfernen des beim Verdampfen entstehenden Kristallwassers kombiniert ist, :2 die Offnung des Heizofens, 3 die Heizwicklung, .I eine bewegliche, z. B. rotierende Scheibe und 3 die zu be;darnpfende Fhiche. Die Abb. 2 zeigt eine Scheibe -, die mit einer Aussparung (, versehen ist, um auf einer planen. Aufdampfungsfläche eine gleichinäf@ige Schichtdicke zu erhalten. Die die Vertc ilung des aufzudampfenden Stoffes beeinflussende Fläche; wird durch eine Verstrel.ung 8 am Rand der Scheibe .1 gehalten.
In einzelnen Füllen kann auf die Anwendung einer--bcwegliclien Scheibe unter Umständen verzichtet werden, z. B. dann, wenn eine konkave Kugelfläche, beispielsweise eine Linsenfläche, mit einer dünnen Schicht gleichmäßiger Schichtdicke überzogen werden soll. In diesem Fall wird die Verdampfungsquelle zweckm<ililig int Abstand des doppelten Kriiniinuiigsradiuc der Kugelfläche angebracht.
Das erfindungsgem:iße -erfahren ist nicht nur zur Herstellung reflexmindernder Schichteil geeignet, sondern kann auch beispielsweise bei Spiegelbelegungen, beim Aufbringen voll lichtelektrischen Schichten usw. angewendet werden.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Aufdampfen von diinnen Schichten, z. B. reflezinindernden Schichten, mit vorbestimmter, insbesondere gleichmäßiger Verteilung der Schichtdicke, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verdarnpfungquelle mit diffuser Verteilung des zu verdampfenden Stoffes, bestehend aus einem bis auf eine kleine U)ffnung geschlossenen heizbaren Hohlkörper, in Kombination mit einer vor der Verdampfungsquelle angebrachten, mit geeigneten Aussparungen versehenen, rotierenden Scheibe angebracht ist. z. Abänderung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in den Fällen, wo der zu bedampfende Körper eine kugelsymmetrische, gegenüber der Verdampfungsquelle konkave 0berfliiclie hat, die diffuse Verdampfungsquelle im Abstand des doppelten Krümmungsraditis der Kugelfläche angebracht ist. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstandes vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen «-orden: USA.-Patentschrift ...... Nr. a 16o 981; britische - ...... - -1S3029.