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Verfahren und Vorrichtung zum kathodischen Aufsprühen eines Mehrschichtfilmes aus einer oder mehreren Substanzen auf ein Werkstück
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum kathodischen Aufsprühen eines Mehrschichtfilmes aus einer oder mehreren Substanzen auf ein Werkstück in der Weise, dass aus zwei oder mehreren, die Substanzen enthaltenden Kathoden oder Elektroden auf das Werkstück aufgesprüht wird, wobei eine relative Drehung zwischen den Kathoden oder Elektroden und dem Werkstück in Ebenen ausgeführt wird, die in Abständen entlang der Drehachse liegen.
Für Ablagerungen durch kathodisches Versprühen, z. B. für die Herstellung von optischen Interferenzfiltern, kommt die Herstellung von Mehrschichtüberzügen aus verschiedenen Substanzen in Betracht. Die Herstellung von Schichten durch Kathodenzerstäubung unter Verwendung mehrerer, voneinander unabhängiger Elektroden (Kathoden) ist in der deutschen Patentschrift Nr. 703001 sowie in der deutschen Patentschrift Nr. 675731 beschrieben, wobei die letztere auch die Verwendung von mehreren Elektroden aus verschiedenen Materialien lehrt, die abwechselnd unter Strom gesetzt werden, so dass sich Mehrschichtlagen aus verschieden zusammengesetzten Schichten bilden.
Die kombinierte Anwendung der Kathodenzerstäubung und des Hochvakuumverdampfens ist aus der brit. Patentschrift Nr. 655, 661 bekanntgeworden.
Bei den üblichen Vorrichtungen zum kathodischen Sprühen, bei denen das Werkstück auf einer festen Unterlage innerhalb einer Vakuumkammer gelagert und eine feststehende, aus der zu versprühenden Substanz bestehende Kathode oberhalb der Werkstückunterstützung aufgehängt ist, können diese Mehrschichtüberzüge nur unter Wechsel der Kathode für jede Lage hergestellt werden, zu welchem Zwecke es notwendig ist, das Vakuum aufzuheben und es sodann bis zu einem bestimmten Mass wieder neu zu bilden, jedesmal, wenn die Kathode gewechselt wird. Dieser Vorgang ist umständlich und zeitraubend.
Die vorliegende Erfindung, die die aufgezeigten Nachteile vermeidet, besteht darin, dass die Kathoden oder Elektroden Sektorenform aufweisen und im Winkel verstellt in bezug auf die Drehachse angeordnet sind, um wahlweise Schichten von gleichförmiger oder abgestufter Stärke zu erzeugen.
Auf diese Weise wird durch wechselweise Verbindung jeder Kathode oder Elektrode mit einer Hochspannungsquelle und durch Drehung des Tisches während des Versprühen jeder Kathode oder Elektrode aufeinanderfolgend eine Reihe von Überzügen auf das Werkstück unter Bildung einer zusammengesetzten Schicht aufgetragen. Damit eine zusammengesetzte Schicht aus Filmen von verschiedenen Substanzen erhalten werde, ist es nur notwendig, dass die Kathoden oder Elektroden wenigstens je eine aus den verschiedenen Substanzen enthalte.
Die Kathoden oder Elektroden sind vorzugsweise bogenförmig und ihr Öffnungswinkel kann zwischen weiten Grenzen schwanken, z. B. von 10 bis 180 , während die Winkelverstellung der Elektroden, d. 1. der Abstand der Elektroden untereinander, so sein muss, dass die gleichmässige Verteilung der abgesprühten Substanzen nicht beeinträchtigt wird. Die erwünschte Verstellung kann für die notwendige Anzahl von Kathoden oder Elektroden mit Hilfe einiger einfacher Versuche rasch ermittelt werden.
Die Erfindung betrifft weiters eine Vorrichtung, bestehend aus einer Vakuumkammer mit darin befindlichem, drehbarem Arbeitstisch zur Aufnahme des mitzudrehenden Werkstückes, mehreren die Aufsprühsubstanz bzw. diese Substanzen enthaltenden Kathoden und einer Einrichtung zum Antrieb des
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Tisches während des aufeinanderfolgenden Aufsprühens von jeder der Kathoden, die dadurch gekenn- zeichnet ist, dass jede Kathode Sektorform aufweist und in einer Ebene parallel zum Tisch festange- ordnet ist und die einzelnen Kathoden gegeneinander im Winkel zueinander in bezug auf die Drehachse des
Tisches verstellt sind. Vorzugsweise entspricht hiebei der Versetzungsgrad der Oberfläche jeder Kathode in radialer Richtung dem gewünschten Änderungsgrad der Dicke des auf dem Werkstück aufzubringenden Films in der gleichen Richtung.
Ferner bezieht sich die Erfindung noch auf eine Vorrichtung mit einer Dampfquelle zur Ablagerung eines Films auf das Werkstück durch Verdampfung, die durch eine solche Anordnung der Dampfquelle innerhalb der Kammer gekennzeichnet ist, dass der Einfallswinkel der Dampfatome auf die Werkstückoberfläche höchstens 600 beträgt.
In den Zeichnungen ist : Fig. 1 ein schematischer Schnitt einer erfindungsgemässen-Sprühvorrichtung ;.
Fig. 2 eine Draufsicht ; Fig. 3 ein schematischer Schnitt durch eine bekannte Ausführungsform einer Vorrichtung, in dem die durch sie erzeugten verschiedenen Dicken des Films übertrieben dargestellt sind ; Fig. 4a, bzw. Fig. 4b zeigen zwei Kathodenformen für die erfindungsgemässe Vorrichtung ; Fig. 5 bzw. 6 zeigenMehrschichtablagerungen. die mit der erfindungsgemässen Vorrichtung erzeugt wurden ; Fig. 7 - 10 sind Darstellungen der Charakteristiken von erfindungsgemäss unter verschiedenen Bedingungengewonne- nen Filmen ; Fig. 11 ist ein schematischer Schnitt durch eine weitere Anordnung zur Kombination von kathodischem Sprühen und Aufdampfen : Fig. 12 ist ein Horizontalschnitt nach der Linie XII-XII der Fig. 11.
In Fig. 1 und 2 ist 1 eine zylindrische Vakuumkammer, in deren Grundfläche ein Auslass 2 zum Anschluss an eine (nicht gezeichnete) Vakuumpumpe vorgesehen ist. Ein flacher, kreisrunder und angetrie- bener Arbeitstisch 3 ist nächst dem Kammerboden um eine Achse 4 drehbar angeordnet, die mit jener der Kammer zusammenfällt.
Von der Decke der Kammer getragen und gegen sie elektrisch isoliert, sind zwei Kathoden 5 und 6 aus verschiedenen Materialien angeordnet, die in Mehrschichtgestalt auf einem flachen, vom Werktisch getragenen Werkstück 7 abgelagert werden sollen. Diese Kathoden haben Kreissektorgestalt mit einem Öffnungswinkel von 0 und stehen voneinander um einen Winkele ab. Die Kathoden sind durch einen Zweiwegschalter 8 mit dem negativen Pol 10 einer Gleichstromhochspannungsquelle verbunden, deren positiver Pol (bei 9) an die Vakuumkammer 1 und an Erde gelegt ist.
Um die Absprühung von der vom Werkstück weg gelegenen Kathodenfläche zur Kammerdecke zu unterdrücken, stehen die Kathoden von dieser um eine Strecke X ab, die kleiner ist als der dunkle Raum der Kathode, wie dies in der brit. Patentschrift Nr. 610, 529 beschrieben ist.
Mit Hilfe des Zweiwegschalters 8 kann die eine oder die andere Kathode Strom aufnehmen, so dass ihr Material auf das auf dem umlaufenden Arbeitstisch liegende Werkstück in Form eines Filmes von im wesentlichen gleichmässiger Stärke aufgesprüht wird. Nachdem der Film die gewünschte Dicke erreicht hat, wird die andere Kathode an die Hochspannungsquelle angeschaltet und ein Film des andern Elektrodenmaterials auf dem bereits gebildeten Film niedergeschlagen, wobei ein Mehrschichtüberzug entsteht.
Vorkehrung zum Unterbringen einer bei 11 schematisch angedeuteten Dampfquelle innerhalb der Kammer zum Ablagern von Schichten durch Aufdampfung ist getroffen ; und diese Einrichtung enthält zur Aufnahme des zu verdampfenden Materials einen Behälter oder Tiegel mit elektrischer Heizung, die mittels Leitungen durch die Wände der Kammer 11 hindurch, mit einer Wechselstromquelle 12 verbunden ist.
Infolge Form und Stellung der Kathoden ist es möglich, den Schmelztiegel innerhalb der Kammer so unterzubringen, dass das Verhältnis des lotrechten Abstandes h des Schmelztiegels vom Tisch zu seinem Abstand r von der Tischrotationsachse derart ist, dass ein Optimum an geforderter Gleichmässigkeit des Überzuges erhalten wird.
Auf diese Weise ist es möglich, durch Absprühen von der Kathode niedergeschlagene Überzüge mit durch Vakuumverdampfung gewonnenen Überzügen abwechseln zu lassen.
Bisher war es üblich, beim Entwerfen einer Sprühvorrichtung die Hochspannung gleichzurichten, um sicherzustellen, dass die Absprühung nur von der gewünschten Elektrode und nicht von einer andern Metallausrüstung im Apparat ausgeht. Es wurde gezeigt, dass es zur Verhinderung eines positiven Ionenbeschusses von geerdeten Ausrüstungen nicht notwendig ist, die Hochspannungszufuhr gleichzurichten, wenn beide Seiten einer Wechselstromquelle gegen Erde isoliert sind bzw. mit zwei isolierten Elektroden in der Vakuumkammer verbunden sind. Diese arbeiten dann wechselweise als Kathoden und Anoden.
Ein solches System ist für lange, flache Werkstücke schwierig zu betreiben, weil, wenn die Elektrode aus zwei im wesentlichen halbkreisförmigen Hälften gebildet ist, die kreisförmige Streuung der Absprü- hung ein Muster auf dem Werkstück erzeugt, hervorgerufen von Schwankungen in der Stärke der entlang
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der Fläche desArbeitstisches abgelagerten Schichten. Wird das Werkstück gedreht, ist dieser Verstreuungskreis, das Muster, nicht mehr örtlich begrenzt, vielmehr ist die Ablagerung gleichförmig, wenn man sie entlang irgend eines zum Mittelpunkt der Elektrode sowie des Arbeitstische konzentrisch verlaufenden Kreises misst.
Die Verteilung des Filmes entlang einer radialen, vom Zentrum des Halters abgehenden Linie, kann gleichmässig erhalten werden, wenn man die Elektroden etwas verformt und bzw. oder ihren Winkel ändert.
Daher kann die erfindungsgemässe Vorrichtung für nicht gleichgerichtete Hochspannungszufuhr dadurch angewendetwerden, dass zwei segmentförmige Elektroden vorgesehen werden, von denen jede mit einer Seite einer Wechselstromhochspannungsquelle verbunden ist.
Ein derartiges System kann mit Hilfe dreier Elektroden auch für Dreiphasenstrom verwendet werden bei Ersparung der Kosten von Gleichrichtern.
Für normale Überzugsarbeit sind Filme von gleicher Stärke nötig, aber gelegentlich ist es auch notwendig, Filme herzustellen, deren Stärke nach irgend einem besonderen Gesetz schwankt. Da es bei der erfindungsgemässen Vorrichtung möglich ist, durch geeignete Formung der Kathoden oder Elektroden einen gleichförmigen Überzug zu erzeugen, ist es ebenso möglich, die Filmdicke entlang einer radialen Linie durch Verformung der Kathoden oder Elektroden entsprechend zu variieren. Bei der bekannten Vorrichtung (Fig. 3) mit einer grossen, tellerförmigen Kathode 13 und einem ortsfesten Tisch ist der abgelagerte Film 14 über eine kleine zentrale Fläche gleichförmig und nimmt gegen die Ränder der Kathode zu ab, wie dies bei 15 dargestellt ist.
Dies ist durch Randverluste an abgesprühtem Metall infolge seitlicher Diffusion (bei 16) verursacht, und es ist nicht möglich, die allgemeine Art der Filmverteilung abzuändern, nämlich sie vollständig gleichförmig zu gestalten oder auch nur die Verteilung des Films in einer Vorrichtung mit tellerförmiger Kathode zu verändern, weil die Verteilung der Ablagerung durch die Gestalt des Systems festgelegt ist.
Bei der erfindungsgemässen Vorrichtung mit geformten Kathoden oder Elektroden und einem rotierenden Werkstücktisch ist es möglich, die Geschwindigkeit der Änderung der Kathodenfläche, gemessen vom Zentrum der Kathode aus zu ihrem äusseren Rand, zu variieren, wie in Fig. 4a und 4b veranschaulicht.
Alsdann wird eine Schicht erzeugt, deren Stärke in radialer Richtung annähernd im Zusammenhang mit der Geschwindigkeit der Änderung der Kathodenfläche in radialer Richtung variiert.
Für bestimmte optische Zwecke ist es notwendig, auf einer kreisrunden Glasplatte einen Metallüberzug zu erzeugen, dessen optische Dichte entlang einer radialen Linie allmählich zunimmt und der, auf einem zum Mittelpunkt der Platte konzentrischen Kreis gemessen, gleichförmig ist. Dies kann erreicht werden, indem man die Filmstärke in Richtung gegen den Plattenumfang dadurch zunehmen lässt, dass man die Kathode in die bei 17 in Fig. 4a veranschaulichte Form bringt. Umgekehrt kann durch Formgebung der Kathode, gemäss 18 in Fig. 4b, die Filmstärke gegen den Umfang der Platte zu fortlaufend abnehmen.
Die Vorrichtung nach Fig. l ist zur Herstellung eines gleichmässig starken Filmes auf einem Werkstück besonders wertvoll, das z. B. im wesentlichen den ganzen Tisch überdeckt ; solch ein Apparat wäre dann besonders zweckmässig, wenn das Werkstück bzw. die zu überziehenden Artikel in Form einzelner grosser Platten sind. Im Falle kleinerer Artikel, z. B. kleiner Scheibchen, können die Artikel in einem Ring auf dem umlaufenden Tisch angeordnet werden, und in diesem Falle können die nach einwärts gerichteten Enden der Kathoden gekürzt werden, indem man einen kleinen Teil ihrer spitzen Enden derart beseitigt, dass am Innenende der Elektrode eine konkave Randfläche entsteht, deren Achse mit der Rotationsachse des Arbeitstische zusammenfällt. Diese Scheibchen können z. B.
Sonnenbr1llengläser sein, auf deren Oberflächen ein aus Eisenoxyd bestehender absorbierender Film mit Hilfe der beschriebenen Vorrichtung aufgesprüht wird. Bei der Herstellung von Sonnenbrilleng1äsem ist es üblich, die Gläser mit einem abgestuften Überzug auszustatten, der Licht selektiv absorbiert und die grössere Lichtintensität In Rechnung zieht, welche in den oberen Teil der Gläser, vom Himmel oder von der Sonne her, einfällt. Solch abgestufte Überzüge können dadurch erhalten werden, dass man die Gläser auf den Werktisch in Form eines mit dessen Achse koaxialen Ringes auflegt und Kathoden verwendet, die die In den Fig. 4a oder 4b gezeigte Form haben. Nach Aufsprühen desElsenoxydfilmes werden die Gläser durch Dampfkondensation mit einem Film aus Magnesiumfluorid oder Siliziummonoxyd zur Herabsetzung ihrer Spiegelung überzogen.
Wie im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben, können die"V-förmigen Kathoden zur Herstellung von Filmen durch Versprühung im Verein mit Aufdampfung verwendet werden. Sind keine Kathoden vorfanden, entspricht die optimale Lage der Dampfquelle, behufs maximaler Gleichmässigkeit in der Dicke des Niederschlages durch Aufdampfung, ungefähr einem Abstand von der Rotationsebene des Werkstückes gleich dem Radius des Werktisches, d. i. r= h, wie dies in Fig. 11 gezeigt ist. Die günstigste Lage hängt
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von einer Anzahl Faktoren ab, darunter von der Charakteristik der Dampfabgabe der Dampfquelle.
Haupt- sächlich sind drei Formen von Dampfquellen bekannt, nämlich a) eine punktförmige Quelle, die eine gleichmässige Dampfabstrahlung nach allen Richtungen ergibt, b) eine Fläche, die Dampf innerhalb eines festen Winkels von 211'abstrahlt, und c) eine gerichtete Quelle, bei welcher die Seiten eines die zu ver- dampende Substanz enthaltenden Tiegels die Weite und Streuung des Dampfstrahles in verschiedenem
Masse einengen. Die Herstellung gleichförmiger Niederschläge mit allen drei Arten von Dampfquellen gelingt, wenn die Dampfquelle in bezug auf den Arbeitstisch, wie oben beschrieben, so eingestellt wird, dass im Falle der Type c) der Dampfstrahl nicht auf einen so kleinen Winkel eingeengt ist, dass die Ar- beitsfläche dem ausgestrahlten Dampf nicht mehr vollkommen ausgesetzt ist.
Wird ein umlaufender Arbeitstisch und eine Dampfquelle zusammen mit "V" -fórmigen Elektroden verwendet (Fig. 11), so verhindern die Elektroden 41 und der zugeordnete geerdete Schirm 42, dass ein
Quantum des Dampfes den Arbeitstisch erreicht.
Dieser abgestufte Schatten weist Halb-und Schlagschatten auf, und wenn der Werktisch rotiert, ist ein Teil des im Halbschatten eingeschlossenen Werkstückes konstant dem Dampfstrahl ausgesetzt, während der von der Rotationsachse entfernt liegende Teil des Werkstückes während eines Teiles jeder Tischum- drehung abgeschirmt ist. Dies gibt eine Veränderung in der abgelagerten Filmstärke, die von einem Maximum in der Mitte des Werkstückes bis zu ungefähr der Hälfte des Maximums am Rand des Werk- stückes schwankt.
Wenn jedoch die Dampfquelle in die Stellung A gebracht würde, wäre die Grösse des
Halbschattens durch die Grösse der Dampfquellenausstrahlungszone begrenzt, die viel kleiner ist als in Stellung B der Quelle ; durch vorsichtige Einstellung der Quelle in die Stellung A ist es möglich, einen sehr gleichmässig aufgedampften Film zu erzeugen.
In manchen Fällen jedoch kann es erwünscht sein, die Dampfquelle in Stellung B oder auch in einer Stellung zwischen A und B zu haben. Es ist z. B. bekannt, dass manche Substanzen körnige Struktur zeigen, wenn sie durch Dampfkondensation abgelagert werden, wobei die Dampfatome auf die Oberfläche der zu behandelnden Fläche unter einem grossen Einfallswinkel aufprallen, d. i. der Winkel zur Senkrechten auf die zu behandelnde Oberfläche. Dieser Effekt entsteht, weil die schräg aufprallenden Atome an den äusseren Flächen der vorher abgelagerten Kerne oder Oberflächenvorragungen kondensieren, die dann in schräger Richtung zur behandelten Fläche schneller wachsen als in Richtung parallel zur genannten Fläche.
Wenn die Dampfquelle in Stellung A ist und h gleichgemacht wurde r, dann kann der Einfallswinkel zwischen 0 und etwa 60 schwanken und bei seinem grösseren Wert kann der Dampf einen Film von körniger Struktur bilden und es kann der aufgedampfte Niederschlag im Mittelteil der Werkfläche hart und dicht, an den Rändern jedoch weich und porös sein. In Stellung B der Dampfquelle oder in einer Stellung zwischen A und B ist der maximale Wert des Einfallwinkels herabgesetzt und die Körnung dadurch verhindert oder wenigstens erheblich vermindert. Anderseits ist es bei einer solchen Einstellung der Dampfquelle schwieriger, die relativen Abstände der Elektroden sowie der Dampfquelle von dem Werktisch so einzustellen, dass die Dicke des Dampffilmes im Mittelteil nicht grösser wird als an den Rändern.
Sind jedoch die Werkstücke kleine Artikel und in Ringform um den Werkstückhalter angeordnet, so Ist die Dickenzu- nahme des Niederschlages in der Mitte des Werkstückhalters nicht so sehr zu bemängeln und die Dicke des Films auf jedem kleinen Artikel wird im wesentlichen gleichmässig sein.
Obwohl die Erfindung auf dem Gebiet der elektronischen Ablagerung von Metallen und Dielektrika allgemeine Anwendung findet, werden zwei besondere Beispiele hier angeführt : a) Herstellung von Mehrschichtinterferenzfiltern.
Interferenzfilter werden mit verschiedenenSpektralcharakteristiken durch aufeinanderfolgende Ablagerung dielektrischer Materialien von verschiedener optischer Dicke laufend erzeugt. Z. B. kann ein Spiegel, der hohe Reflexion in einem Wellenlängenbereich und hohe Durchlässigkeit in einem andern Wellen- längenbereich hat, durch aufeinanderfolgende Ablagerung von Schichten aus Materialien mit grossem und kleinem Brechungsindex hergestellt werden, wobei jede Schichte eine konstante optische Dichte oder Dicke aufweist. Es ist schwierig, durch Vakuumverdampfung hochdauerhafte Filter dieser Art, wegen der zur Verfügung stehenden Materialien, zu erzeugen.
Die Erfindung ermöglicht es, die dauerhaftesten Überzüge auszunützen, die entweder durch Vakuumverdampfung oder durch kathodische Versprühung erhalten werden können. Die meisten Materialien mit hohem Brechungsindex, die vakumnverdampft werden können. sind nicht dauerhaft oder optisch absorbierend ; Materialien mit hohem Brechnungsindex können aber durch die bekannte Technik des Versprühen eines Metalles in sauerstoffhaltiger Atmosphäre zur Oxydniederschlagbildung hergestellt werden. Diese Technik ist als "reaktives" Sprühen bekannt, aber sie ist jedoch zur Herstellung dauerhafter Oxydüberzüge mit niedrigem Brechungsindex (-l, 3) nicht branch- bar, da diese in der Natur nicht vorzukommen scheinen.
Ein ausserordentlichdauerhaftes Material mit
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Die Kurven von Fig. 9 sind solche, die unter gleichen Bedingungen erhalten wurden wie jene der Fig. 7, aber unter Verwendung einer Kathode inGestalt eines 90 igen Kreisausschnittes. Die Kurven 34, 35 und 36 wurden erhalten bei 30 sec Aufsprühen und Abständen d = 19, 25 bzw. 32 mm, während die Kurve 37 bei 1 min Aufsprühen und einem Abstand d = 38 mm erhalten wurde.
Schliesslich zeigen die Kurven der Fig. 10 den elektrischen Widerstand in verschiedenen Abständen vom Mittelpunkt eines kreisförmigen Filmes aus Kadmiumoxyd, welcher durch Aufsprühen während zwei Minuten in einem Argon- und Sauerstoffgemisch niedergeschlagen wurde, wobei die Kathode gleich jener war, die zur Gewinnung der Kurven der Fig. 9 verwendet wurde, nämlich ein 90 iger Sektor, dessen Spitze jedoch abgerundet war. Die Rotationsgeschwindigkeit des Werktisches ist 30 Umdr/min, die Span- nung 3 kV und die Stromstärke 0, 5 A. Die Kurven 38, 39 und 40 wurden bei Abständen d = 19, 25 bzw.
38 mm erhalten. Die Erfindung betrifft ein kathodisches Sprühsystem, mittels dessen entweder aufge- sprühteMetallfi'Lme oder aufgesprühte Metalloxyde aufeinanderfolgend sowie mit oder ohne Zwischenlage von vakuumverdampften Schichten auf der Oberfläche des Werkstückes erzeugt werden können. wobei jeder dieser Filme gewünschtenfalls yon im wesentlichen überall gleicher Dicke sein oder bei entsprechender Formung der Kathoden vorbestimmte Dickenschwankungen aufweisen kann. Die geometrische Form der negativen Elektroden eignet sich für Wechselstromhochspannung, wodurch teure Gleichrichter erspart werden können.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Verfahren und Ausführungen der Vorrichtungen beschränkt. So könnte statt eines umlaufenden Arbeitstisches und feststehender Elektroden, der Tisch unbeweglich und die Elektroden so ausgebildet sein, dass sie um eine Achse des Tisches rotieren.
PATENTANSPRÜCHE :
EMI6.1
zen auf ein Werkstück in der Weise, dass aus zwei oder mehreren, die Substanzen enthaltenden Kathoden oder Elektroden auf das Werkstück aufgesprüht wird, wobei eine relative Drehung zwischen den Kathoden oder Elektroden und dem Werkstück in Ebenen ausgeführt wird, die in Abständen entlang der Drehachse liegen, dadurch gekennzeichnet. dass die Kathoden oder Elektroden Sektorenform aufweisen und im Winkel verstellt in bezug auf die Drehachse angeordnet sind, um wahlweise Schichten von gleichförmiger oder abgestufter Stärke zu erzeugen.