DE7242022U

DE7242022U - Vorrichtung vom baustein-typ fuer die benutzung in einem baustein-aetzsystem

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Publication number: DE7242022U
Application number: DE19727242022
Authority: DE
Original assignee: Chemcut Corp State College Pa (vsta)
Current assignee: Chemcut Corp State College Pa (vsta)
Priority date: 1971-11-15
Filing date: 1972-11-15
Publication date: 1976-10-07
Also published as: GB1378237A; JPS5617431B2; JPS4857845A; FR2160475A1; IN140495B; DE2256018C3; DE2256018B2; IT970907B; FR2160475B1; DE2256018A1; SE400150B

Description

DR. MÜLLER-BORE dipl-phys DR. MANIT7 dipl.-chem. or DF.UFEL DIPL.-ING. FINSTERWALD ClPL.-IN-3. GRÄMKÜW

PATENTANWÄLTE

MUnchea, den I5. November 1972 Hak/SV - G 2620

OHEKCUT COHPOEATION
500 Science Park fioad, State College, Pennsylvania / USA

Vorrichtung vom Baustein-Typ für die Benutzung xn einem Baustein-Ätzsystem

Ls ist üblich, für das Ätzen von Platter,, für gedruckte Schaltungen und das Ätzen von anderen Gegenständen eine Ätzmaschine bzw. Ätzanordnung vorzusehen, die eine gewünschte Kapazität und gewünschte üigenschaften aufweist. Wenn beispieleweise opül- bzw. wässerungsstationen erwünscht sind, werden solche -Stationen in die Ätzanordnung eingefügt. In gleicher Weise werden, wenn. Trocknungsstationen gewünscht sind, solche ebenfalls in die Ätzanordnung eingefügt. In Fällen, bei denen besondere .anordnungen erwünscht sind, beispielsweise wenn längere Ätzzexten oder eine größere Kapazität erwünscht sind, ist es bekannt, Mthrfach-Ätzanordnungeii (multiple etching machines) in .Reihenschaltung in. einer Produktionslinie bzw. I-roduktions-

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kette eine hinter der anderen anzuordnen, um eine Verlängerung von deren effektiven Kammerlänge zu erreichen.

Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Systeme mit der Fähigkeit für ein schnelles und Wirkungβvolles Anordnen und Konstruieren einer Ätzanordnung auf der Basis eines Maßsystems (on a customized basis), indem eine gewünschte itzkapazität, eine gewünschte Spülkapazität, eine gewünschte Trocknungskapazität, etc. in der Schaffung von Bausteinen vorgesehen wird, die in Einheiten oder in Gruppen kombiniert werden können, um eine gewünschte Behandlung zu erreichen.

Erfindungsgemäß werden die Bausteine miteinander verbunden, sorgfältig ausgerichtet und gemeinsam angetrieben mir· Mitteln, die vorgesehen sind, um einen Antrieb eines Bausteins mit dem Antrieb eines anderen leicht zu verbinden.

Die Erfindung betrifft also einen Baustein oder mehrer« Bausteine, die in einer Linie mit anderen Bausteinen verbindbar sind für eine Maßkonstruktioi: (customized construction) einer Ätzanordnung, wobei jeder Baustein mit einem Antrieb zur Erleichterung der Verbindung des Antriebs mit einem nächsten benachbarten Baustein, mit Mitteln zur Erleichterung der Verbindung jedes Bausteins mit einem nächst benachbarten Baustein ebenso wie zur Erleichterung von deren Ausrichtung vorgesehen ist. Somit bilden die Antriebsrerbindung, die Bausteinverbindung und die Ausrichtungsmerkmale getrennt und zusammen die wesentlichen Merkmale der Erfindung mit anderen Merkmalen wie den Antriebseinzelheiten, die ebenfalls erfindungswesentliche Abschnitte umfassen.

Ziel der Erfindung ist also die Schaffung eines Bausteine für das Einsetzen in eine Ätzanordnung, der mit einem nächst benachbarten Baustein verbindbar ist, wobei die Antriebe der benachbarten Bausteine miteinander kuppelbar b) ad und eine einfache Ausrichtungseinrichtung zum Verbinden benachbarter Bausteine vorgesehen ist.

Π 7.10.7 B

Erfindungsgemäß ist somit eine Anordnung zum Ausführen eines Ätzarbeitsgangee möglich, die eine Vielzahl von in Reihe veroundenen Bausteinen verwendet.

Bei einem erfindungsgemäßen Ätz sy stern sind eosiit einzelr.e und diskrete Bausteine vorgesehen, von denen Jeder seine eigene Funktion ausführt, wobei die Bausteine iu Reihenanordnung in Längsrichtung verbindbar, durch eine geeignete ütift-Loch-Anordnung ausrichtbar und mit einem gemeinsamen Antrieb für alle Bausteine durch die Benutzung von Antriebsstangen verbindbar sind, die von Jedem der Bausteine getrag m werden und bei der Verbindung benachbarter Bausteine miteinander kuppelbar sind.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung 'beispielsweise beschrieben j in dieser zeigt:

Pig. 1 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Ätzanordnung,

Fig. 2 eine Draufsicht eines Bausteins der in Fig. 1 gezeigten Anordnung im allgemeinen längs Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Seitenansicht der am oberen ünde der Fig. 2 dargestellten Antriebsanordnung im allgemeinen Längs Linie IH-III in Fig. 2,

Fig. 4- eine perspektivische Ansicht der in Fig. J dargestellten Antriebsanordnung,

Fig. 5 eine vergrößerte t^uerscLnittsansicht durch eine Kegelradanordnung gemäß der Erfindung im allgemeinen lä.sgs Linie V-V in Fig. 2,

Fig. 6 eine Stimansicht des in Fig. 5 dargestellten Lagers im allgemeinen längs LinieVI-VI in Fig. 5»

Fig. 7 eine Querschnittsar>sieht durch ein Drucklager gemäß der Erfindung im allgemeinen längs Linie VII-VII in Fig. und

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>nr;; 0 7.10.76

ii'ifc,. ti eiiie:. Lürigsschnitt durch ein Paar von Antriebssahnrädern und ηι.ί Druckleger iia allgemeinen entlang Linie VIII-VIII la if'j.g-,. ?.

Nach Fi^. 1 umfaßt eia Beiz- bzw. Ätssystem 10, im folgenden Atzanordnung 10 genannt, einen Kingangsförderer-Modul bzw. -Baustein 11, einen Ätzer-Baustein 12, einen Behandlung, sfluid-Uiedergewinnungsbaustein 13, einen rezirkulierenden Spül- bzw. Wässerungsbausteiu 14, zusätzliche Wässerungs- bzw. Spülbausteine 15 und 16, Abdeckungs- oder Ätzgrund- bzw. Schutz-Abstreif bzw. -Abziehbausteine 17 und 18, einen Trockner-Baustein 20 uii. einen Ausgangsbaustein 21. Alle Modulen bzw. Bausteine 11 bis 18, PO und 2Λ sind in Längsrichtung in Reihenschaltung angeordnet und jeder ist mit einer Fördereinrichtung vorgesehen auia Fördern von zu ätzenden Gegenständen von links nach rechts durch die Anordnung mit verschiedenen Bausteinen, wie es in Fig. 1 dargestellt ist.

Für die Zv ecke der 1-atentanmeldung sind die Funktionen der individuellen Bausteine insoweit, als sie voa inander abweichen, nicht von kritischer Bedaiung, außer insoweit, als alle Bausteine zusammenwirken, um eine Ätz anordnung vorzusehen, die so ausgelegt sein kann, daß sie einen weiten Bereich von Erfordernissen erfüllt. So kann es in einigen Fällen erwünscht sein, zwei oder mehr Ätzkwumer-Bausteine 12 zu benutzen oder weniger Spül- bzw. Wässerungsbausteine 14, 15 und 'i6 und mehr Trockner-Bausteine 20 zu benutzen, etc.. Im Betrieb der Anordnung 10 werden zu ätzende Gegenstände auf dem Eingangsförderer-Baustein 11 angeordnet und entlang diesem gefördert mittels eines geeigneten Förderersystems, el as sich drehende, quer angeordnete Stäbe bzw. Stangen mit daran angebrachten sich drehenden Kadern umfaßt, um zu deiu Ätzbaustein 1,° gefördert zu werden.

Geeignete Abschnitte der zu ätzenden Gegenstände, boispielaweiee wenn ea Tafeln bzw* Platten für gedruckte Schaltungen sind, sind vorher maskiert worden oder ee ist auf diese eine Schutzschicht aufgebracht worden, so daß die unmaskierten Abschnitte frei sind, um geätzt zu werden, während die maskierten Abschnitte nicht geätzt werden j dabei werden die unmaskierten Abschnitte der Gegenstände mit Eisen-III-Chlorid oder einen», anderen geeigneten Ätzmittel geätzt, das auf die Gegenstände mittels Düsen, Strahlen oder irgendeines anderen geeigneten Ätzmittel-Zuführsystems in der Ätzkammer 12 aufgebracht wird, wenn die Gegenstände durch die Kammer 12 gefördert werden. Die Gegenstände werden kontinuierlich gefördert, als nächstes zu der Ätzmittel-Wiedergewinnurigseinrichtung 13» wobei Strahlen von Luft oder dergleichen das Ätzmittel wiedergewinnen für eine Rücklieferung durch irgendeine nicht gezeigte geeignete Einrichtung zurück zu der Ätzstation oder dem baustein 12. Die Gegenstände werden dann kontinuierlich beispielsweise zu einer Reihe von Spül- bzw. Wässerungsbausteinen 14, 15 und 16 geliefert, wobei Wasser oder irgendein anderes geeignetes Spülfluid auf die Gegenstände aufgebracht wird, um von diesen restliches Ätzmittel abzuspülen. Während der kontiuuierlithen Förderung der Gegenstände können diese dann zu einer Reihe von Schutzschicbt-Entfernungsstationen wit den Stationen 17 und 18 gefördert werden, wobei die Maskierung oder Schutzschicht, die vorher auf die Gegenstände aufgebracht worden ist, von diesen entfernt werden kann durch Anwendung eines geeigneten Lösungsmittels odei dergleichen bei diesen j die Gegenstände werden dann zu einer Trocknungsstation oder einem Baustein 20 gefördert, wo heiße Luft oder dergl. benutzt werden kann, um die Gegenstände zu trocknen und diese dann zu einer Ausgangsstation oder dem Baustein 21 zu liefern. Wie oben erwähnt worden ist, kann jegliche Anzahl von den oben erwähnten Bausteinen benutzt werden, entweder einzeln oder in Kombination, um die gewünschte Behandlung in einer Ätzaaordnung zu erhalten, oder Duplikate solcher Bausteine könr-en benutzt werden, falls es erwünscht ist.

Alle Bausteine aind miteinander in im wesentlichen der gleichen Weise und durch die gleichen Verbindungsmittel und Fluchtasge-Mittel verbunden, wie deren Antriebssystem« in ähnlicher Weise verbunden sind, so daß es für die Zwecke der Erfindung lediglich erforderlich ißt, in einzelnen die Vetbindungsweise eines gegebenen Bausteins mit dessen in Reihenschaltung verbundenen, benachbarten Bausteinen zu beschreiben, wobei diese Verbindungsweise in allgemeiner Weise anwendbar ist. Sas fördersystem für die Ätzanordnung 10 wird in üblicher Weise mittels eines geeigneten Elektromotors oder dergl. angetrieben, der mit einer Antriebsstange (oder einer Vielzahl von Stangen), die nur einem gegebenen Baustein zugeordnet ist, verbunden ist, wodurch alle Antriebsmittel für die verschiedenen Baustoine dadurch angetrieben werden, da diese Antriebsmittel untereinander verbunden sind.

Im folgenden wird Bezug genommen auf die Fig. 2 bis 4, in denen ein Wässerungs- bzw. Spülbaustein 15 besonders im einzelnen dargestellt ist. Der Baustein 15 ist mit einem Bausteinkörper 22 vorgesehen, der in strichpunktierten Linie an dem oberen und unteren En£e der Fig. 2 aas Gründen der Klarheit dargestellt ist, um :aicbt andere Merkmale .3er Darstellung in Fig. 2 zu verdecken.

Ein Paar von Rahmenteilen 23 und 24 werden benutzt, die in geeigneter Weise mit dem Bausteinkörper 22 durch nicht im einzelnen dargestellte Mittel verbunden sind.

Zwischen den Rahmenteilen 23 und 24 erstreckt sich eine Vielzahl von Fördererstangen 25, die in Querrichtung mit Abstand angeordnete drehbare Glieder 26 aufweisen, die in bezug auf üie Stangen 25 starr angebrecht sind für eine Drehung mit diesen. Die drehbaren Glieder 26 können ausgesparte Ausschnitte an ihrem Umfang (nicht mit Bezugeziffer bezeichnet) aufweißen, vie es in Fig. 5 dargestellt ist, um einen wirksameren Antrieb für zu diesen gelieferte Gegenstände und von diesen weg geförderte Gegenstände vorzusehen.

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Die Enden der Stangen 25 sind in geeigneten Stütz- bzw. Lagergliedem 27 gelagert, die allgemein von einer Polyvinylchlorid-Konstruktion sind, um einem Ätzmittel wie Eisen-III-Chlorid oder dergl. zu widerstehen. Sie meisten, wenn nicht alle Glieder der Konstruktion in den verschiedenen Bausteinen bestehen entweder aus Polyvinylchlorid, Polyäthylen oder weisen eine Titan-Konstruktion zu dem gleichen Zweck auf.

Das Lagex'slied 27 ist ein in einem Stück gegossenes bzw. geformtes Glied von im allgemeinen zylindrischer Konstruktion, das an seinem einen Ende eine Schulter 28 aufweist, die gegen eine Oberfläche des Rahmengliedes 23 angeordnet ist, und freigelassene oder unterschnittene Bez'eiche 30, wie sie in den Fig. 5 und 6 dargestellt sind, zwischen Loch- bzw. Öffnungs-Berührungs-Abschnitten 31 umfaßt, wobei ebenfalls Löcher bzw. Öffnungen 32 vorgesehen sind, die mit den ausgesparten Bereichen 30 und den Bereichen 31 zusammenwirken, um einen gewünschten Elastizitätsbe^rrag bzw. -wert für die Glieder 27 vorzusehen, um deren Preßpaßsitz-Eingriff mit Bohrungen oder öffnungen 35 der Hahmenglieder 23, wie es ia den Pig. 5 und 6 dargestellt ist, su erleichtern- Dadurch ist ein leichtes Entfernen und Austauschen der Lagerglieder 27, wenn es erforderlich ist, möglich und wird ebenfalls das Austauschen einer gesamten Antriebsstange 25 von Zeit zu Zeit erleichtert.

Entlang einer Seite des Bausteins 15 ist ein Kegelrad 35 vorgesehen, das an der Stange 25 in Preßsitz-Beziehung mit dieser fest angebracht ist, wobei das Kegelrad 35 einen Umfang 36 aufweist, der abgeschrägt ist, um mit abgeschrägten Abschnitten aller Zähne des Zahnrades 35 einen im allgemeinen geraden, kreisförmigen Umdrehungszylinder zu bilden, der eiae Achse in der Linie mit der Achse der Stange oder Welle 25 aufweist.

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Zwischen dem gezahnten Abschnitt dea Kegelrades 35 und dor Schulter 28 des Lefsergliedes 27 int ein mit Zahnrad gezahnter Umfang 37 vom Spurrad- bzw. Stirnrad-Typ vorgesehen für ein Kämmen, falls ee erwünscht ist, mit einem anderen dazu pascenden Spurrad bzw. Stirnrad 30, das an einem Ende einer Welle 40 getragen wird, auf der ein Zylinder 41 oder dergl. angebracht ist, im allgemeinen an einem Ende eines Bausteins, um das Flachlegen bzw. Planlsgen eines durch den Baustein 15 Geförderten Gegenstandes oder desaen Vorschub zu dom nächsten benachbarten Gegenstand zu erleichtern, ijomit wird der 2'jylinder 41 durch die Zahnräder 37 und 38 von dem Kegelradabschnitt 35 angetrieben.

Das Kegelrad 35 wird von einem weiterer. Kegelrad 41 angetrieben, das bevorzugt integral konstruiert ist mit einem geeigneten Abstand shaltergIied 42 und im allgemeinen aus Polyvinylchlorid aufgebaut ist außer, wenn ein solches Zahnrad 41 gegen ein Drucklager 43 angeordnet wird, wie es nachfolgend beschrieben wird.

Die Zahnräder 35 sind somit erfindungsgemäß angetriebene Zahnräder und die Zahnräder 41 Antriebszahnrader.

Die Antriebszahnräder 41 sind auf einer geeigneten Antriebest ange oder Einrichtung 44 angebracht, die im allgemeinen von einer Titan-Konstruktion ist und einen rechtwinkligen v^uerschnitt in Querrichtung gesehen aufweist, für eine Antriebsberührung mit einer rechtwinklig konstruierten öffnung 48 in dem Zahnrad 41. Die Öffnung 48 mit rechtwinkligem Querschnitt erstreckt sich durch das Abstandshaltergli^d 42, das im allgeaeinen integral mit dem Zahnrad 41 hergestellt ist, wie es oben beschrieben worden ist.

Die Antriebsstange 44· besteht somit im allgemeinen aus einem einzigen, in Längsrichtung gerichteten G¹Lied, das sich im wesentlichen von einem Ende des Bausteins zu dem anderen erstreckt, obgleich dasselbe aus einer Vielzahl von Stangenabschnitten 4-4 bestehen kann, die miteinander in rechtwinkligen öffnungen 48 der Zahnräder 41 oder Abstandshalter 48 gewünschtenfalls verbunden sein können. Ob die Stange 44 al3 ein Einzelstück konstruiert ist oder aus einer Vielzahl von Teilen besteht, es umfaßt erfindungsgemäß eine Antriebseinrichtung.

Es ist im allgemeinen erwünscht, um die Wirkung der Gleitreibung auf ein Minimum herabzusetzen, einige der Antriebezehnräder, insbesondere die, welche drehende AbBchnitxe in Berührung mit nicht drehenden Abschnitten aufweisen, in Polyäthylenkonstruktion vorzueehen, wie das Zahnrad 46, das eine Oberfläche 47 in Berührung mit einer Oberfläche 4ü des Drucklagerblockes 43 aufweist, um Axialdruck durch die gesamte Antriebsanordnung für den Baustein 15 aufzunehmen. Im allgemeinen besteht das Zahnrad 46 zusammen mit dem zugeordneten Abstandshalter 50 zwischen sich selbst und dem benachbarten Zahnrad au« einer Polyäthylenkonstruktion und es weist ebenfalls eine rechtwinklige Öffnung, die durch dieses angeordnet ist, auf, um einen Antriebseingriff mit einer Stange 44 zu erleichtern, die eine im allgemeinen rechtwinklige Ciuerschnittskonfiguration aufweist.

E ε wird somit ebenfalls ein Zahnrad 46 benutzt, um ein angetriebenen Zahnrad, wie ans Zahnrad 35 anzutreiben.

Die Drucklager 4-3 .sind an einem Rahmenteil ?3 des Baunteinkör- pcn: durch geeignete mit Gewinde versehene Verbindungsglieder $2 rngebracht, wie er ir Fig. 7 dargeotellt ist, und sie dienen neben dent Aufnehmen eines in Längsrichtung gerichteten Diuckes ebenfalls dnzu, die Positionierung der Antriebsstange ?7 aufrechtzuerhalten, indem bJ^ die Positionierung der Zahnräder 41, 46 und der von diesen getra^eneri Abstandshalter 4?, 50 relativ ;^r,u dein Jipiuuente.il ?3 aufrecht einhalten.

E$j können somit verschiedene der Bausteine verbunden sein für einen Antriebüeingi'iff aller Stangen ?5 und Hollen 41 auf diesen durch eine gemeinsame (Quelle; dabei kann an in Längsrichtung mit Abstand angeordneten. Enden der Bausteine die Antriebsstange 44 mit einer Antriebsstange 44 eines nächst benachbarten Bausteins durch ein geeignetes Zahnradglied 41 verbunden sein, das ein integral verbundenes Abstandsglied 42, das mit diesem verbunden ist, aufweist oder gewünschtenfalls kann das Abstandsglied 4? von dem Zahnrad 41 getrennt sein, wobei es jedoch in jedem Fall beispielsweise das linke linde eines Antriebs stange 44, wie es in Fig. 3 dargestellt ist, und ebenfalls das rechte Ende einer nächst benachbarten Antriebsstange 44 von einer nächst folgenden Einheit oder einem solchen Baustein, wie dem in Fig. 3 gezeigten Baustein 16 aufnimmt .

Benachbarte Bausteine, wie die Bausteine 15 und 16 sind in Fluchtung gebracht, damit die durch die sich drehenden Glieder 26 vorgesehenen Fördermittel für alle dieser Einheiten eine gemeinsame planare bzw. ebene Förderfläche aufweisen und damit ebenfalls die Antriebsstangen 44 für diese in richtiger Veise fluchten, wobei männliche und weibliche Ausrichtungsglieder bzw. Ausrichtungsglieder in Form von Steckern und Dosen, bevorzugt vom Paßstift- bzw. Zylinderstift-Typ 55 benutzt werden, die geeignet sind für ein Einsetzen in geeignete Sacklöcher wie bei 56 bei einer Bewegung der Bausteine wie der Bausteine 15 und 16 zueinander. Die Bohrungen 56 können an einem Ende eines Halmens 23 vorgesehen sein und die Dübel oder Stifte 55 von einem benachbarten Ende eines angrenzenden kahmens vorspringen wie dem Rahmen 23 für die Einheit 16, wie es in Fig. 3 dargestellt ißt. Ein gegebener liohnien kann zwei solche vertikal mit Abstand angeordnete Aucricbtungseinrichtungen (Dübel oder öffnungen für die Dübel) aufweisen und die Ausrichtun^seinrichtungen sind für jeden der Kahmenteile 23 und 24 vorgesehen, wie es/n Fig.2 klar dargestellt ist.

Verbindungsblöcke 57 werden von einem Ende jeder Einheit, beispielsweise dem rechten Ende der in Fig. P dargestellten Einheit 15 getragen, die nach rechts von dieser vorspringen und geeignet &'.. .\d, linke Enden von Rahmenteile;i 23 und 24 einer nächst benachbarten Einheit 16 zwischen sich und gegen diese aufzunehmen, wie es in Fig. 2 dargestellt ist.

Die linken Enden der nächst benachbarten Einheiten, wie der Einheit 16, wie es in Fig. ?. dargestellt ist, sind mit Jpielraum-öffnungen 58 vorgesehen, so daß, wenn die Einheit 16 mit ihren Dübelstiften 55 in den 3acklöchern 56 angeordnet in Fluchtung gebracht ist, solche Öffnungen 5Ö mit 3acklöchern 60 in den Blöcken 57 fluchten, damit Schrauben 61 darin aufgenommen werden können, um benachbarte Bausteine miteinander fest zu verbinden, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, für die Verbindung benachbarter Bausteine "A und 15 miteinander, und um eine richtige Positionierung benachbarter Bausteine, die mit dem richtigen Längsabstand relativ zueinander befestigt sind, zu gewährleisten und um zu verhindern, daß die Dübelstifte 55 sich aus ihren öffnungen 56 freiarbeiten.

Die Fluchtung und Verbindung angrenzender bzw. benachbarter Bausteine miteinander kann erfindungsgemäß leicht ausgeführt werden, um die Bausteine selber zu verbinden und eine wirksame Verbindung der Antriebseinrichtungen für deren Fördersysteme zu gewährleisten und aufrechtzuerhalten.

Die Dübelstifte 55 können ebenfalls von einer Titan-Konstruktion sein, wie die Blöcke 57 ebenfalls entweder aus Titan oder einem anderen Material bestehen, das den. Ätzmitteln oder dergleichen widersteht.

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'..·..: L -,dbaur to i. ·-. :.n ■. :.on r^-cbenen oysten woir.t iru ?,1 Igen·>ί ·ιen nur \urrichtu-;i;r>~i ttol, Verbindungsmittel und ei:: für eine Verbindung r:.:t einem benachbarten Baustein geeignetes Antriebsglied :vi seinem oL)ie.-i End-.- iuf, während die Bausteins, wie die Baustein⁰ 1° und 1?, dir: zwischen anderen Bausteine'.! in ei neu >/stein nnfT^ordnot nind, wie es in ?ig. Λ dargestellt ist, solche V.^bi'^ui;".",-, Au r. r ich tu rigs- und Antriebrs-V'erbindungs-Einrichtuif'en an beiden Enden aufweinen.

h.vfindun^s^eniäß kf^nnen mehrere der 3nuate.ine zusammen ohne die Anwendung cin<>.v Ätzbaur^teinen als nolchem in einera Gyoter: benutzt vieriun, '"^eIspieinweise für Ii--inigungszwecke oder dergleichen in Verbindung mit oysteraen, bei denen Ätzen als solchen nicht erwünscht oder nicht erforderlich ist.

Weiterhin wird der Begriff "Ätzen" (etchin.-) in seinem weiten Ginne verstanden und umfaßt nicht nur das Entfernen von Metall, :-ondern auch das selektive Lntfernen eines 3ubstratc:aterials-, ob ein so]ches Material metallisch odor nichtmetallisch (beispielsweise ein poInneres Material oder der^l ) ist= Andere '!typen, von oy st einen, di" unter e: " '^ri reiche Definition des Begriffs "Ätzen" fallen, können Entwicklungsprozesse, beispielsweise bei der iintwickliin^ von photoresistivem Material (photoresist material) für die Arbeit bei fjed ruckt on ochaltuncen oder für eine Benutzung bei graphischen Arbeitsgänge), bzw. DruckvorgSngen, wie in der Lithographie, dein Tiefdruck und der photoraechanisehor. Vervielfältigung, urafassen.

- J¹tjfinpprijehe -

"■■■■ ."-ν. in. Vi-

Claims

PATENTANWÄLTE.

MANITZ, FINSTERWALD & G RAM KOW

G ^r/2 ¹V₁I &:?_.<) München, den ß, APR,

Gh em cut Corporation ü/?./\> - G ;X3^3C)

Neue Schut ζansprüche

1. Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen, die eine Vielzahl von einzelnen Bohandlungsstationen umfaßt, durch die die zu behandelnden Gegenstände kontinuierlich befördert werden,, dadurch gekennzeichnet , daß die an den nach dem Baukastenprinzip als Moduln ausgebildeten Bohandlungsstationen (11 bis 21) befindlichen, sich ,jeweils über nahezu die gesamte Länge der Belmndlungsst at ionen (11 bis 21) erstreckenden, zum Antrieb der für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehenen Fördereinrichtungen (25, 26) dienenden und zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente (25, 41) mit Zahnrädern (4-1, 4G) bestückten Wellen (44) an ihren an den Berührungssteilen der Moduln befindlichen Enden durch einfaches Zusammenstecken drehfest miteinander verbindbar sir.de

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch f: e I; e η η ζ e i c h net, daß dia Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden einen nicirt kreisrunden Querschnitt besitzen.

5. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet, daß die Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden einen rechteckigen Querschnitt besitzen.

DR. G. MANITZ -DIPL. -IN G. M. FINSTERWALD D I PL. -I NC. W. G R AM KOW ZENTR AL KASSE Il Λ YER. V O IKS I) λ -. M ·

ö MÜNCHhN 22, hOlltRT-KOCH-STRASSE I 7 STUTTGART 50 lUADCANNVl/vTTl MÜNCHEN. K O N T O - N U V. M ί υ "V^

TEL. I0M9I22 42M. TULEa 5-29672 PATMF SEELBERGSTR.23/25.TE^.I07in5ö726l PO ^ TS C MECK: M Ü NCMI N ~ T O '.' >\ O

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4·. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zur drehfeeten Verbindung der Wellen (4-4·) an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden Hülsen (4-2) vorgesehen sind, deren innere öffnung an die Ouerschnittsform der Wellen (V)·) angepaßt ist und die im Gleitsitz auf die Wellen (4-4-) aufschiebbar sind.

5· Anordnung nach Anspruch 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (4-2) einen integralen Bestandteil
eines der zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente (25» 4-1) dienenden Zahnrades (4-1,4-6) bilden.

6. Anordnung nach Anjspruch 4· oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (4-2) mit ihrer Länge genau auf den Abstand aufeinanderfolgender Zahnräder (4-1,4-6) abgestimmt sind.