DE2256018C3

DE2256018C3 - Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen

Info

Publication number: DE2256018C3
Application number: DE19722256018
Authority: DE
Inventors: Conrad Dale Spring Mills Pa. Shakley
Original assignee: Chemcut Corp (eine Gesellschaft Ndgesdstaates Delaware) State College Pa Us
Current assignee: Chemcut Corp (eine Gesellschaft Ndgesdstaates Delaware) State College Pa Us
Priority date: 1971-11-15
Filing date: 1972-11-15
Publication date: 1984-08-16
Also published as: DE2256018B2; JPS4857845A; GB1378237A; DE7242022U; IN140495B; FR2160475A1; SE400150B; IT970907B; FR2160475B1; JPS5617431B2; DE2256018A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen, die eine Vielzahl von einzelnen Behandlungsstationen umfaßt, durch die die zu behandelnden Gegenstände kontinuierlich befördert werden.

Es ist üblich, für das Ätzen von Platinen für gedruckte Schaltungen und das Ätzen von anderen Gegenständen sowie für die damit verbundenen Behandlungsschritte eine Anordnung vorzusehen, die neben der eigentlichen Ätzstation beispielsweise auch Spül- bzw. Wässerungsstationen und/oder Troeknungsstaiionen usw, umfaßt. In Fällen, bei denen besondere Anordnungen erwünscht sind, beispielsweise wenn längere Ätzzeiten oder eine größere Kapazität erwünscht sind, ist es bekannt, Mehrfach-Älzanordnungen hintereinander in einer Produktionslinie anzuordnen, um eine Verlängerung beispielsweise der effektiven Ätzkammerlänge zu erreichen.

Bei diesen nach dem Stand der Technik bekannten

Anordnungen wurde zwar durch die verschiedensten Größen und Ausführungsformen versucht, eine möglichst optimale Anpassung an den jeweiligen Bedarfsfall zu erreichend Dennoch hat es sich in der S Praxis herausgestellt, daß die Flexibilität und Anpassungsfähigkeit dieser bekannten Anlagen nicht ausreicht, um den überwiegenden Teil der konkret auftretenden Bedarfsfälle ohne Ober- bzw. Unterdimensionierung genau abzudecken. Insbesondere de häufig ίο notwendig werdende nachträgliche Umbau bzw. die nachträgliche Erweiterung bereits vorhandener Anlagen läßt sich im allgemeinen nicht ohne tiefgreifende, zu langen Stillstandszeiten führende, mit hohen Kosten verbundene bauliche Maßnahmen durchführen. Ein besonderes Problem ergibt sich hierbei auch aus der Tatsache, daß die einzelnen Behandlungsstaiionen jeweils ihre eigenen Fördereinrichtungen für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände besitzen, wobei jede dieser Fördereinrichtungen ihr eigenes, teueres Antriebsaggregat umfaßt, das beim Zusammenstellen der einzelnen Stationen zu einem Gesamtsystem oft nur unter Schwierigkeiten an die Transportgeschwindigkeit und Kapazität der anderen Antriebsaggregate angepaßt werden kann.

Auf diesem Stand der Technik aufbauend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Behandeln, insbesfendere.zum Ätzen von Gegenständen der eingangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglicht, schnell und wirkungsvoll eine Anlage zu konstruieren und aufzubauen, die auf den jeweiligen

Kundenbedarf genau zugeschnitten ist und auch

nachträglich durch einfachste Maßnahmen erweitert bzw. variiert werden kann.

Zur Lösung dieser Aufgabe nach der Erfindung wird

vorgesehen, daß die an den nach dem Baukastenprinzip als Bausteine ausgebildeten Behandlungsstaiionen befindlichen, sich jeweils über nahezu die gesamte Länge der Behandlungsstationen erstreckenden, zum Antrieb der für den Weitertransport ^er zu behandelnden Gegenstände vorgesehenen Fördereinrichtungen dienenden und zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente mit Zahnrädern bestückten Wellen an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden durch Zusammenstecken drehfesl miteinander verbindbar sind.

Durch diese erfindungsgemäße Anordnung wird es möglich, das in der Fördertechnik an sich bekannte Baukastenprinzip in besonders einfacher Weise auf Anlagen anzuwenden, in denen beispielsweise Platinen für gedruckte Schaltungen geätzt und weiteren Vorbereitungs- und Nachbehandlungsschritten unterworfen werden. Es können sehr schnell und wirtschaftlich kundenorientierte, »maßgeschneiderte« Konstruktionen von Ätzanlagen entworfen und aufgebaut

Si werden, die im allgemeinen mit nur einem einzigen Antriebsaggregat für sämtliche, an den einzelnen Behandlungsstationen zum Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehene Fördereinrichtungen auskommen. Darüber hinaus wird dem Anwender die Möglichkeit gegeben, eine einmal gekaufte Anlage mit dem steigenden Bedarf wachsen zu lassen bzw. neuen Erfordernissen anzupassen, ohne daß die bereits vorhandenen Anlagentcile dadurch an Wert oder Brauchbarkeit verlieren bzw. teuren Änderungseingriffen unterworfen werden müssen.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung ist darin zu sehen, daß eine nach diesem Baukastenprinzip aufgebaute Ät/.anlage auch dann mit

nur einem einzigen Antriebsaggregat für sämtliche Fördereinrichtungen auskommt, wenn nachträglich einzelne Behandlungsstationen an beliebigen Stellen der Anlage hinzugefügt bzw. herausgenommen werden.

Aus der US-PS 3066 396 ist zwar eine aus Untereinheiten bestehende Montagebank bekannt, die durch das Aneinanderfügen einer "Beliebigen Anzahl von soichen Untereinheiten in gewünschter Weise verlängert bzw. verkürzt werden kann. Diese Druckschrift beschäftig sich jedoch in keiner Weise mit den mit einer Flüssigkeitbehandiung der durchlaufenden Teile verbundenen Problemen und unterscheidet sich auch hinsichtlich der Art und Weise, wie die einzelnen Komponenten antriebsmäßig zu einem Gesamtsystem verbunden werden, von der beanspruchten Anordnung.

In der DE-OS 14 81 313 ist ein Fördertisch für eine Vorrichtung zum beidseitigen Behandeln, insbesondere zum Ätzen flacher Gegenstände mittels gesprühter Flüssigkeiten beschrieben. Dieser Fördertisch weist eine Vielzahl von sich quer zur Förderrichtung erstrecken- jo den Förderwalzen auf. die von einem gemeinsamen Motor über eine gemeinsame Förderkette angetrieben werden. Die ganze Anordnung stellt eine in sich völlig geschlossene Einheit dar und es sind dieser Druckschrift keinerlei Hinweise zu entnehmen, auf welche Weise mehrere solcher Einheiten in einem Baukastensystem aneinandergefügt und antriebsmäßig miteinander verbunden werden könnten.

Auch die in der US-PS 27 48 919 beschriebene Rollenbzw. Walzenförderstrecke, bei der einzelne Walzen durch axiale Verschiebung des an ihrem einen Ende angebrachten Kegelzahnrades von der gemeinsamen Antriebswelle entkoppelt werden können, so daß sie nur noch leer mitlaufen, gibt keinerlei Hinweise auf eine Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe.

Das gleiche gilt auch für die Artikel aus dem »Industrie-Anzeiger« 1961, Nr. 73. Seite 30. und der »Metalloberfläche« 1961, Heft 7. Seiten 209 bis 212. in denen nur ganz allgemein davon die Rede ist. daß z. B. Galvanisieranlagen nach dem Baukastenprinzip aufgebaut sein können. Insbesondere hinsichtlich der Art der Beförderung der zu behandelnden Gegenstände bestehen hier tiefgreifende Unterschiede zum Erfindungsgegenstand, da die hierfür vorgesehene Fördereinrichtung b-ii Galvanisieranlagen eine selbständige, von den _4S Γ .handlungsstationen vollständig getrennte, über diesen angeordnete Vorrichtung bildet, die dazu eingerichtet ist, an ihr aufgehängte Gegenstände weiterzutransportieren und in bestimmten zeitlichen bzw. räumlichen Abständen über eine vorgegebenen Höhe abzusenken und in dieser Lage für ewige Zeit zu belassen. Eine solche Anlage ist nicht für die kontinuierliche Weiterbeförderung der zu behandelnden Gegenstände, wie sie in Ätzanlagen erforderlich ist, geeignet; sie wird von einem Umbau der Behandlungsanlage selbst nur dann betroffen, wenn die Anzahl der Fahrwerke geändert

Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgetnäßen Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden einen nicht kreisrunden, insbesondere einen rechteckigen Querschnitt besitzen. Hierdurch ergibt sich beim Zusammenstecken der einzelnen Behandlungssuuionen ein besonders wirksamer, in beiden Drehrichiungen mechanisch stabiler Eingriff für d;e drehfeste Verbindung der an den ein/einen Bausteinen befindlichen Antriebswelle.

Fine besonders leicht zu handhabende und für

schnelle Umrüstungen geeignete Anordnung ergibt sich dadurch, daß zur drehfesten Verbindung der Wallen an ihren an den Berührungsstellender Bausteine befindlichen Enden Hülsen vorgesehen sind, deren innere öffnung an die Querschnittsform der Wellen angepaßt ist und die im Gleitsitz auf die Wellen aufschiebbar sind Durch die Verwendung dieser Hülsen können die einander gegenüberliegenden Enden benachbarter Wellen identische Querschnitte besitzen, so daß sich eine unterschiedliche Ausformung der beiden Enden einer einzelnen Welle erübrigt und die Variabilität der Anordnung erhöht wird.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnung ist vorgesehen, daß die Hülsen einen integralen Bestandteil eines der zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente dienenden- Zahnräder bilden. Hierdurch wird es möglich, auch in unmittelbarer Nähe der Berührungsstellen der "Bausteine Förder- und Führungselemente vorzusehen, die durch entsprechende, auf den Antriebswellen zugeordnete Zahnräder mittelbar oder direkt angetrieben werden.

Besonders einfach gestaltet sich die aus Antriebswellen und Aniriebszahnrädern bestehende Anordnung, wenn die Hülsen mit ihrer Länge genau auf den Soll-Abstand aufeinanderfolgender Zahnräder abgestimmt sind In diesem Fall kann die Antriebswelle durchgehend z. B. mit einem rechteckigen Querschnitt ausgebildet sein und die auf ihr erforderlichen Antriebszahnräder werden beim Zusammenbau der Vorrichtung auf die Antriebswelle aufgeschoben und durch die zwischen ihnen befindlichen, als Distanzeiemenie dienenden Hülsen auf dem erforderlichen Soll-Abstand gehalten.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben, in dieser

F i g. 1 eine Seitenansicht einer Ätzanordnung, die mit dem erfindungsgemäßen Förderantrieb ausgestattet ist,

Fig.2 eine Draufsicht eines Bausteins der in F:j. 1 gezeigten Anordnung im allgemeinen längs Linie H-II in Fig.'

Fig.3 eine Seitenansicht der am oberen Ende der F i g. 2 dargestellten Antriebsanordnung im allgemeinen längs Linie HI-III in F i g. 2.

Fig.4 eine perspektivische Ansicht der in Fig.3 dargestellten Antriebsanordnung,

Fig.5 eine vergrößerte Querschnittsansicht durch eine Kegelradanordnung gemäß der Erfindung im allgemeinen längs Linie V-V in F i g. 2,

Fig.6 eine Stirnansicht des in Fig.5 dargestellten Lagers im allgemeiner: längs Linie VI-VI in F i g. 5,

F i g. 7 eine Querschnittsansicht durch ein Drucklager gemäß der Erfindung iin allgemeinen längs Linie VII-VIl in Fig. 2und

Fig.8 einen Längsschnitt durch ein Paar von Antriebszahnrädern und ein Drucklager im allgemeinen entlang Linie VIII-VIII in Fi g. 2.

Nach Fig. 1 umfaßt ein Beiz- bzw. Ätzsystem 10, im folgenden ÄtzanoHnung 10 genannt, einen Eingangsförderer-Baustein 11. einen Ätz-Baustein 12, einen Behandlungsfluid-Wiedergewinnungsbaustein 13, einen rezirkulierenden Spül- bzw. WässerungsbauMeLi 14, zusätzliche Wässerungs- bzw. Spülbausteine 15 und 16, Abdeckungs- oder Ätzgrund- bzw. Schutz-Abstreifbzw. -Abziehbaustein- 17 und 18, einen Trockner-Baustein 20 und einen Ausgangsbauslein 21. Alle Bausteine 11 bis 18,20 und 21 sind in Längsrichtung hintereinander

angeordnet und jeder ist mit einer Fördereinrichtung versehen, die zum Fördern von zu ätzenden Gegenständen von links nach rechts durch die Anordnung mit verschiedenen Bausteinen dient, wie es in Fig. I dargestellt ist.

Für die Beschreibung des Ausrührungsbeispiels sind die Funktionen der individuellen Bausteine insoweit, als sie voneinander abweichen, nicht von kritischer Bedeutung, außer insoweit, als alle Bausteine zusammenwirken, um eine Ätzanordnung zu bilden, die so ausgelegt sein kann, daß sie einen weiten Bereich von Erfordernissen erfüllt. So kann es in einigen Fällen erwünscht sein, zwei oder mehr Ätz-Bausteine 12 zu benutzen oder weniger Spül- bzw. Wässerungsbausteine 14, 15 und 16 und mehr Trockner-Bausteine 20 zu ij benutzen, usw. Im Betrieb der Anordnung 10 werden zu ätzende Gegenstände auf dem Eingangsförderer-Baustein Il angeordnet und entlang diesem mittels eines Füfderersysic—iS gefördert, das sich drehende, quer angeordnete Stäbe bzw. Stangen mit daran angebrach- to ten sich drehenden Rädern umfaßt, um zu dem Ätzbaustein 12 gefördert zu werden

Geeignete Abschnitte der zu ätzenden Gegenstände, beispielsweise wenn es Tafeln bzw. Platten für gedruckte Schaltungen sind, sind vorher mittels Maske abgedeckt worden oder es ist auf diese eine Schutzschicht aufgebracht worden, so daß die nicht abgedeckten Abschnitte frei sind, um geätzt zu werden, während die abgedeckten Abschnitte nicht geätzt werden; dabei werden die nicht abgedeckten Abschnitte der Gegenstände mit Eisen(l!l)-chlorid oder einem anderen geeigneten Ätzmittel geätzt, das auf die Gegenstände mittels Düsen. Strahlen oder irgendeines anderen geeigneten Ätzmittel-Zuführsystems in dem Ätz-Baustein 12 aufgebracht wird, wenn die Gegenstände durch den Baustein 12 gefördert werden. Die Gegenstände werden kontinuierlich gefördert, als nächstes zu der Ätzmittel-Wiedergewinnungjieinrichtung 13, wobei Strahlen von Luft od. dgl. das Atzmittel für eine Rücklieferung durch irgendeine nicht gezeigte geeignete Einrichtung zurück zu der Ätzstation oder dem Baustein 12 wiedergewinnen. Die Gegenstände werden dann kontinuierlich beispielsweise zu einer Reihe von Spül- bzw. Wässerungsbausteinen 14,15 und

16 geliefert, wobei Wasser oder irgendein anderes geeignetes Spülfluid auf die Gegenstände aufgebracht wird, um von diesen restliches Ätzmittel abzuspülen. Während der kontinuierlichen Förderung der Gegenstände könnend diese dann zu einer Reihe von Schutzschicht-Entfernungsstationen wie den Stationen

17 und 18 gefördert werden, wobei die Maske oder Schutzschicht, die vorher auf die Gegenstände aufgebracht worden ist, von diesen durch Anwendung eines geeigneten Lösungsmittels od. dgl. entfernt werden kann; die Gegenstände werden dann zu einer Trocknungsstation 20 gefördert, wo heiße Luft od. dgL benutzt werden kann, um die Gegenstände zu trocknen und diese dann zu einer Ausgangsstation 21 zu liefern. Wk: oben erwähnt worden ist, kann jegliche Anzahl von den obenerwähnten Bausteinen benutzt werden, entweder einzeln oder in Kombination, um die gewünschte Behandlung in einer Ätzanordnung zu erhalten, wie auch Duplikate solcher Bausteine benutzt werden können, falls es erwünscht ist

Alk Bausteine sind miteinander in im wesentlichen der gleichen Weise und durch die gleichen Verbindungsmittel und Fluchtungs-Mittel verbunden, wie deren Antriebssysteme in ähnlicher Weise verbunden sind, so daß es lediglich erforderlich ist, im einzelnen die Verbindungsweise eines gegebenen Bausteins mit dessen benachbarten Bausteinen zu beschreiben, wobei diese Verbindungsweise in allgemeiner Weise anwendbar ist. Das Fördersystem für die Ätzanordnung 10 wird in üblicher Weise mittels eines geeigneten Elektromotors od. dgl. angetrieben, der mit einer Antriebsslangc (oder einer Vielzahl von Stangen), die nur einem gegebenen Baustein zugeordnet ist. verbunden isi. wodurch alle Antriebsmittel für die verschiedenen Bausteine dadurch angetrieben werden, da diese Antriebsmittel untereinander verbunden sind.

Im folgenden wird Bezug genommen auf die F i g. 2 bis 4, in denen ein Wässerungs- bzw. Spülbaustein 15 besonders im einzelnen dargestellt ist. Der Baustein 15 weist einen Bausteinkörper 22 auf. der in strichpunktierten Linien an dem oberen und unteren Ende der F i g. 2 aus Gründen der Klarheit dargestellt ist. um nicht andere Merkmale der Darstellung in F i g. 2 zu verdecken.

Ein Paar von Rahmentcilen 23 und 24 werden benutzt, die in geeigneter Weise mit dem Bausteinkörper 22 durch nicht im einzelnen dargestellte Mittel verbunden sind.

Zwischen den Rahmenteilen 23 und 24 erstreckt sich eine Vielzahl von Förderstangen 25, die in Querrichtung mit Abstand angeordnete drehbare Glieder 26 aufweisen.-die in bezug auf die Stangen 25 für eine Drehung mit diesen starr angebracht sind. Die drehbaren Glieder 26 können ausgesparte Ausschnitte an ihrem Umfang (nicht mit Bezugsziffer bezeichnet) aufweisen, wie es in F i g. 5 dargestellt ist, um einen wirksameren Antrieb für ihnen zugeführte und von ihnen weg geförderte Gegenstände zu bilden.

Die Enden der Stangen 25 sind in geeigneten Stützbzw. Lagergliedern 27 gelagert, die allgemein von einer Polyvinylchlorid-Konstruktion sind, um einem Ätzmittel wie Eisen(lll)-chiorid od. dgl. zu widerstehen. Die meisten, wenn nicht alle Glieder der Konstruktion in den verschiedenen Bausteinen bestehen entweder aus Polyvinylchlorid, Polyäthylen oder weisen eine Titan-Konstruktion zu dem gleichen Zweck auf.

Das Lagerglied 27 ist ein in einem Stück gegossenes bzw. geformtes Glied von im allgemeinen zylindrischer Konstruktion, das an seinem einen Ende eine Schulter 28 aufweist, die gegen eine Oberfläche des Rahmenteiles 23 angeordnet ist, und freigelassene oder unterschniltene Bereiche 30, wie sie in den F i g. 5 und 6; dargestellt sind, zwischen Loch- bzw. öffnungs-Beruh-/ nings-Abschnitten 31 umfaßt, wobei ebenfalls Löcher bzw. öffnungen 32 vorgesehen sind, die mit den _: ausgesparten Bereichen 30 und den Bereichen 31 zusammenwirken, um einen gewünschten Elastiziiätsbetrag bzw. -wert für die Glieder 27 vorzusehen, um deren ] Preßpaßsitz-Eingriff mit Bohrungen oder öffnungen 33S der Rahmenteile 23, wie es in den Fig.5 und 6 dargestellt ist, zu erleichtern. Dadurch ist ein leichtes Entfernen und Austauschen der Lagerglieder 27, wenn es erforderlich ist. möglich und wird ebenfalls das Austauschen einer gesamten Antriebsstange 25 von Zeit zu Zeit erleichtert. ■

Entlang einer Seite des Bausteins 15 ist ein Kegelrad^ 35 vorgesehen, das an der Stange 25 im Preßsitz fest angebracht ist, wobei das Kegelrad 35 einen Umfang 3$ aufweist, der abgeschrägt ist, um mit abgeschrägten. Abschnitten 36 aller Zähne des Zahnrades 35 einen \ψ allgemeinen geraden, kreisförmigen Umdrehungszyliri-S der zu bilden, der eine Achse in der Linie mit der Achsei

der Stange oder Welle 25 aufweist.

Zwischen dem gezahnten Abschnitt des Kegelrades 35 und der Schulter 28 des Lagcrgliedcs 27 ist ein mit Umfangszähncn versehenes Zahnrad 37 vorgesehen, um, falls es erwUnscni ist, mit einem anderen dazu passenden Zahnrad 38 zu kämmen, das an einem Ende einer Welle 40 getragen wird, auf der eine Walze 45 oü. dgl. angebracht ist, im allgemeinen an einem Ende eines Bautijins, um das Flachlegen bzw. Planlegen eines durch den Baustein 15 geförderten Gegenstandes oder dessen Vorschub zu dem nächsten benachbarten Gegenstand /u erleichtern. Somit wird die FörJerwalzc 45 durch die Zahnräder 37 und 38 von dem Kcgclradabschniit 35 angetrieben.

Has Kegelrad 35 wird von einem weilcren Kegelrad 41 angetrieben, das bevorzugt integral konstruiert ist mit einer Hülse als Abstandsglied 42 und im allgemeinen aus Polyvinylchlorid aufgebaut ist außer, wenn ein solches Zahnrad 41 gegen ein Drucklager 43 angeordnet wird, wie es nachfolgend beschrieben wird.

Die Zahnräder 35 sind somit angetriebene Zahnräder und die Zahnräder 41 Antriebszahnräder.

Die Antriebszahnräder 41 sind auf einer geeigneten Antriebswelle 44 angebracht, die im allgemeinen von einer Titankonstruktion ist und einen rechtwinkligen Querschnitt aufweist, für eine Formschlußberührung mit einer rechtwinkligen öffnung 48 in dem Zahnrad 41. Die öffnung 48 mit rechtwinkligem Querschnitt erstreckt sich durch die Hülse 42. die im allgemeinen integral mit dem Zahnrad 41 hergestellt ist, wie es oben beschrieben worden ist.

Die Antriebswelle 44 besteht somit im allgemeinen aus einem einzigen, in Längsrichtung gerichteten Glied, das sich im wesentlichen von einem Ende des Bausteins /U dem anderen erstreckt, obgleich dasselbe aus einer Vielzahl von Stangcnabschnitten 44 bestehen kann, die miteinander in rechtwinkligen öffnungen 48 der Zahnräder 4{ oder Hülsen 42 verbunden sein können.

Es ist im allgemeinen erwünscht, um die Wirkung der Gleitreibung auf ein Minimum herabzusetzen, einige der Antriebszahnräder, insbesondere die, welche drehende Abschnitte in Berührung mit nicht drehenden Abschnitten aufweisen, in Polyäthylenkonstruktion vorzusehen, wie das Zahnrad 46, das eine Oberfläche 47 in Berührung mit einer Oberfläche 49 des Drucklagerblokkes 43 aufweist, um Axialdruck durch die gesamte Antriebsanordnung für den Baustein 15 aufzunehmen. Im allgemeinen besteht das Zahnrad 46 zusammen mit dem zugeordneten als Hülse ausgebildeten Abstandshalter 50 zwischen sich selbst und dem benachbarten Zahnrad 41 aus einer Polyäthylenkonstruktion und es weist ebenfalls eine rechtwinklige durch es hindurchgehende öffnung auf, um einen Antriebseingriff mit einer Welle 44 zu erleichtern, die eine im allgemeinen rechtwinklige Querschnittskonfiguration aufweist.

Es wird somit ebenfalls ein Zahnrad 46 benutzt, um ein angetriebenes Zahnrad, wie das Zahnrad 35 anzutreiben.

Die Drucklager 43 sind an einem Rahmenteil 23 des Bausteinkörpers durch geeignete mit Gewinde versehene Verbindungsglieder 52 angebracht, wie es in Fig.7 dargestellt ist, und sie dienen neben dem Aufnehmen eines in Längsrichtung gerichteten Druckes ebenfalls dazu, die Positionierung der Förderstange 25 aufrechtzuerhalten, indem sie die Positionierung der Zahnräder 41, 46 und der von diesen getragenen Hülsen 42, 50 relativ zu dem Rahmenteil 23 aufrechterhalten.

Es können somit verschiedene der Bausteine verbun

den sein für einen Antriebseingriff aller Stangen 25 und Förderwagen 45 durch eine gemeinsame Quelle; dabei kann an in Längsrichtung mit Abstand angeordneten Enden der Bausleine die Aniriebswelle 44 mit einer Antriebswelle 44 eines benachbarten Bausteins durch ein geeignetes Zahnradglicd 41 verbunden sein, das eine integral verbundene Abstandshülse 42 aufweist oder gewünschtcnfalls kann die Hülse 42 von dem Zahnrad 41 getrennt sein, wobei es jedoch in jedem Fall

ίο beispielsweise das linke Ende einer Antriebswelle 44. wie es in F i g. 3 dargestellt ist. und ebenfalls das rechte Ende einer nächst benachbarten Antriebswelle 44 von einer nächst folgenden Einheil oder einem solchen Baustein, wie dem in Fig. 3 gezeigten Baustein 16

■ 5 aufnimmt.

Benachbarte Bausteine, wie die Bausteine 15 und 16 sind in Fluchiung gebracht, damit die durch die sich drehenden Glieder 26 gebildeten Fördermittel für alle dieser Einheiten eine gemeinsame planare bzw. ebene

»ο Förderfläche aufweisen ynd dam:! ebenfalls die Antriebswellen 44 f>ir diese in richtiger Weise fluchten, wobei männliche und weibliche Ausrichtungsgliedcr bzw. Ausrichtungsglicder in Form von Steckern und Dosen, bevorzugt Paßstifte bzw. Zylinderstifte 55 benutzt werden, die geeignet sind für ein Einsetzen in geeignete Sacklöcher wie bei 56 bei einer Bewegung, z. B. der Bausteine 15 und 16 zueinander. Die Bohrungen

56 können an einem Ende eines Rahmens 23 vorgesehen sein und die Dübel oder Stifte 55 von einem benachbarten Ende eines angrenzenden Rahmens vorspringen wie dem Rahmen 23 für die Einheit 16, wie es in F i g. 3 dargestellt ist. Ein gegebener Rahmen kann zwei solche vertikal mit Abstand angeordnete Ausrichtungseinrichtungen (Dübel oder öffnungen für die Dübel) aufweisen und die Ausrichtungseinrichtungen sind für jeden der Rahmenteile 23 und 24 vorgesehen, wie es in F i g. 2 klar dargestellt ist.

Verbindup.gsblöcke 57 werden von einem Ende jeder Einheit, beispielsweise dem rechten Ende der ir. F i g. 2 dargestellten Einheit 15 getragen, die nach rechts von dieser vorspringen und geeignet sind, linke Enden von Rahmenteilen 23 und 24 einer nächst benachbarten Einheit 16 zwischen sich und gegen diese aufzunehmen, wie es in F i g. 2 dargestellt ist.

Die linken Enden der nächst benachbarten Einheiten, wie der Einheit 16. wie es in F i g. 2 dargestellt ist, sind mit Spielraum-Öffnungen 58 vorgesehen, so daß, wenn die Einheit 16 mit ihren Dübelstiften 55 in den Sacklöchern 56 angeordnet in Fluchtung gebracht ist.

solche öffnungen 58 mit Sacklöchern 60 in den Blöcken

57 fluchten, damit Schrauben 61 darin aufgenommen werden können, um benachbarte Bausteine miteinander fest zu verbinden, wie es in F i g. 2 dargestellt ist. für die Verbindung benachbarter Bausteine 14 und 15 miteinander, und um eine richtige Positionierung benachbarter Bausteine, die mi! dem richtigen Längsabstand relativ zueinander befestigt sind, zu gewährleisten und um zu verhindern, daß die Dübelstifte 55 sich aus ihren öffnungen 56 freiarbeiten.

Die Fiuchtung und Verbindung angrenzender bzw. benachbarter Bausteine miteinander kann leicht ausgeführt werden, um die Bausteine selber zu verbinden und eine wirksame Verbindung der Antriebseinrichtung für deren Fördersysteme zu gewährleisten und aufrechtes zuerhalten.

Die Dübelstifte 55 können ebenfalls von einer Titan-Konstruktion sein, wie die Blöcke 57 ebenfalls entweder aus Titan oder einem anderen Material

bestehen, das den Ätzmitteln od. dgl. widersteht.

Ein Endbaustein in einem gegebenen System weist im allgemeinen nur Ausrichtungsmittel, Verbindungsmittel und ein für eine Verbindung mit einem benachbarten Baustein geeignetes Antriebsglied an seinem einen Ende auf, während die Bausteine, wie die Bausteine 12 und 13, die zwischen anderen Bausteinen in einem System angeordnet s:.id. wie es in Fig. I dargestellt ist, solche Verbindungs-, Ausrichtungs- und Antriebs-Verbindungs-Einrichtungen an beiden Enden aufweisen.

Erfindungsgemäß können mehrere der Bausteine zusammen ohne die Anwendung eines Ätzbausteines als solchem in einem System benutzt werden, beispielsweise für Reinigungszwecke od. dgl. in Verbindung mit Systemen, bei denen Ätzen als solches nicht erwünscht

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oder nicht erforderlich ist.

Weiterhin wi*d der Begriff »Ätzen« in seinem weiten Sinne verstanden und umfaßt nicht nur das Entfernen von Metall, sondern auch das selektive Entfernen eines Substratmaterials, ob ein solches Material metallisch oder nichtmetallisch (beispielsweise ein polymeres Material od. dgl.) ist. Andere Typen von Systemen, die unter eine solche Definition des Begriffs »Ätzen« fallen, können Entwicklungsprozesse, beispielsweise bei der Entwicklung von lichtempfindlichem Schulz- bzw. Abdecklack für die Arbeit bei gedruckten Schaltungen oder für eine Benutzung bei graphischen Arbeitsgängen bzw. Druckvorgängen, wie in der Lithographie, dem Tiefdruck und der photomechanischen Vervielfältigung, umfassen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen, die eine Vielzahl von einzelnen Behandlungsstationen umfaßt, durch die die zu behandelnden Gegenstände kontinuierlich befördert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die an den nach dem Baukastenprinzip als Bausteine ausgebildeten Behandlungsstationen (11—18, 20, 21) befindlichen, sich jeweils über nahezu die gesamte Länge der Behandlungsstationen (11—18,20,21) erstreckenden, zum Antrieb der für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehenen Fördereinrichtungen (25,26) dienenden und zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente (25,45) mit Zahnrädern (41,46) bestückten Wellen (44) an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden durch Zusammenstecken drehfest miteinander verbindbar sssil.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden einen nicht kreisrunden Querschnitt besitzen.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden einen rechteckigen Querschnitt besitzen.

4 Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur drehfesten Verbindung der Wellen (44), insbesondere an ihren an den BeiiihrungJ.tellen der Bausteine befindlichen Endtn, Hülsen (42,50) vorgesehen sind, deren innere öffnung an die ^uerschnittsform der Wellen (44) angepaßt ist und die im Gleitsitz auf die Wellen (44) aufschiebbar sind.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,-daß die Hülsen (42, 50) einen integralen Bestandteil eines der zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente (25, 45) dienenden Zahnräder (41,46) bilden.

6. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (42, 50) mit ihrer Länge genau auf den Soll-Abstand aufeinanderfolgender Zahnräder (41,46) abgestimmt sind.