DE711401C - Anordnung zur Abdichtung metallischer Vakuumgefaesse, insbesondere Kathodenzerstaeubungsapparate - Google Patents

Description

• Anordnung zur Abdichtung metallischer Vakuumgefäße, insbesondere Kathodenzerstäubungsapparate Die Dichtung von metallischen Vakuumgefäßen, insbesondere Kathodenzerstäubungsapparaten, elektrischen Vakuumglüh- bzw. Schmelzöfen und -Vakuumreaktions:apparatcn, hat man bisher meist in der Weise vorgenommen, daß man zwischen zwei Flansche eine Dichtung einlegte und die Flansche zusammenpreßte. Bei dieser- Dichtungsart steht die Dichtung unter einem sehr hohen Anpreßdruck, der bei haubenförmig ausgebildeten Apparaten noch um das Gewicht der abnehmbaren Haube vermehrt ist. Diese Dichtungsart hat sich bei Vakuumapparaten nicht gut bewährt, da durch den hohen Dichtungsdruck das elastische Dichtungsmaterial, vorzugsweise Gummi, einer relativ raschen Zerstörung anheimfällt, da durch den hohen Anpreßdruck ,die Elastizitätsgrenze des Gummis vielfach überschritten wird und durch sich niederschlagenden Staub dann leicht eine Ausbildung von feinen Kanälen eintritt, durch die die Außenluft in das Innere des Vakuumapparates eindringen kann. Es ist ferner bekannt, Dichtungsringe in im Querschnitt halbkreisförmigen Nuten festzulagern. Es ist an sich bekannt, Dichtungsringe zu kühlen. Ferner ist ein gasdichter Verschluß für Metalldampfapparate mit Quecksilberdichtung bekannt, der gekennzeichnet ist durch einen Ring, der in mit Dichtungsmaterial gefüllte Ringnuten der abzudichtenden Teile eingreift und als Außenwand für die Quecksilberdichtung :dient. Derartige Quecksilberdichtungen sind wegen der schädlichen Eigenschaften des Quecksilbers unerwünscht. Es sind ferner Nutdichtungen bekannt, die durch Anpreßmittel in Spalte eingepreßt werden. Diese haben den Nachteil, daß nach dem jedesmaligen öffnen neue Dichtungsringe in die Spalte eingepreßt werden müssen, was sehr umständlich und zeitraubend ist. Durch die Erfindung werden die geschilderten Nachteile vermieden.
• Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Abdichtung metallischer Vakuumgefäße, insbesondereKathodenzerstäubungsapparate,,elek trische Vakuumglüh- bzw. Schmelzöfen und Reaktionsapparate, bei der zur Aufnahme von Dichtungsringen in dem einen Ab:dichtungskonu@s zwei oder mehrere Ringnuten angeordnet sind, welche sich dadurch auszeichnen; daß die in dem inneren Konus angeordneten Ringnuten an der einen Seite in eine konische Gleitfläche auslaufen, die mit :dem aufzusetzenden äußeren Konus einen keilförmigen Spalt bildet, in den der Dichtungsring beim Aufsetzen des äußeren Konus gepreßt wird, daß beide Teile des Vakuumgefäßes mit Stutzflächen versehen sind und daß der eine Teil des Vakuumgefäßes sich auf dem anderen Teil, z. B. dem Unterteil, derart abstützt, daß die Konusflächen @einander nicht berühren. Dabei können. vorteilhaft einer oder beide Dichtungskonusse kühlbar ausgebildet werden. So kann z. B. ein ringförmiger Kühlkanal vorgesehen werden. Dadurch, daß sich der eine Teil des Vakuumgefäßes auf dem anderen Teil, z. B. dem Unterteil, abstützt, werden die Dichtungsringe entlastet, so da.ß diese eine lange Lebensdauer haben. Die Abdichtung gemäß der Erfindung mit den gleitenden Dichtungsringen bietet den Vorteil, daß immer .eine saubere gleichmäßige Abdichtung -erzielt wird, während durch die Kühlung eine unerwünschte Erwärmung der Dichtungsringe, die sonst zur vorzeitigen Zerstörung des Dichtungsmaterials führt, vermieden wird.
• In der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Schnitt durch einen Teil .eines Vakuumgefäßes ,mit dem Unterteil i und dem Oberbeil 2, welcher sich mit der Fläche 3 auf dem Unterteil abstützt. Der Unterteil des Vakuumgefäßes ist mit dem Dichtungskonus ¢ und der Oberteil mit dem Dichtungskonus 5 versehen. In dem Dichtungskonus q. sind erfindungsgemäß zwei Ringnuten 6 und 7 angeordnet, die an der einen Seite in die konischen Gleitflächen 8 bzw. 9 auslaufen, die mit dem aufzusetzenden anderen Konus 5 einen keilförmigen Spalt i o bzw. i i bilden, in den die Dichtung 12 bzw. 13 beim Aufsetzen des anderen Konus 5 gepreßt werden. In dem einen Konus q. ist ferner ein Kühlkanal i q. angeordnet, dem durch die Leitung 15 ein Kühlmittel zugeführt wird. Die Abbildung zeigt den Vakuumapparat im geschlossenen Zustand mit den @eingepreßten Dichtungsringen. Wird der Konus 5 abgehoben, so schnellen nie Dichtungsringe in die Ringnut 6 bzw. 7 zurück. Der Oberteil 2 ist ferner mit einem Kühlmantel 16 versehe:

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Anordnung zur Abdichtung metallischer Vakuumgefäße, insbesondere Katho d enzerstäubungsapparate, elektrische Vakuumglüh- bzw. Schmelzöfen und Vakuumreaktionsappar.ate, bei der zur Aufnahme von Dichtungsringen in dem einen Abdichtungskonus zwei oder mehrere Ringnuten angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die in dem inneren Kanus angeordneten Ringnuten an der -einen Seite m eine konische.Gleitfläche (8, 9) auslaufen, die mit dem aufzusetzenden äußeren Konus einen keilförmigen Spalt bildet, in den der Dichtungsring beim Aufsetzendes äußeren Konus gepreßt wird, daß beide Teile des Vakuumgefäßes mit Stützflächen versehen sind und daß der eine Teil des Vakuumgefäßes sich auf dem anderen Teil, z. B. dem Unterteil, derart abstützt, daß die Konusflächen einander nicht berühren.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder beide Dichtungskonusse kühlbar ausgebildet sind.