DE705794C

DE705794C - Verfahren und Vorrichtung zur Kathodenzerstaeubung

Info

Publication number: DE705794C
Application number: DEB178289D
Authority: DE
Inventors: Wilhelm Burkahardt; Dr Rudolf Reinecke
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1937-04-29
Filing date: 1937-04-29
Publication date: 1941-05-09

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung Die Erfindung betrifft .ein Verfahren. zur Kathodenzerstäubung, welches sich dadurch auszeichnet, daß der zu zerstäubende draht-oder bandförmige Kathodenwerkstoff in die Zerstäubungskammer durch eine im Kathodenhalter angeordnete entsprechende öffnung fortlaufend der Abstäubung gemäß nachgeführt wird. Die Zuführung des Kathodenwerkstoffs kann dabei vorteilhaft aus einer am Kathodenhalter angeordneten gasdichten, verschließbaren Vorratskammer vorgenommen werden, die mit der Zerstäubungskammer durch die öffnung des Kathodenhalters in Verbindung steht. Auf diese Weise ist es möglich, die Zerstäubung unter gleichbleibenden Bedingungen durchzuführen, ohne den Zerstäubungsvorgang vorzeitig unterbrechen zu müssen. Das bei den bekannten Vorrichtungen lästige Auswechseln des Kathodenwerkstoffs unter Luftzutritt in die Zerstäubungskammer vor endgültiger Metallisierung des Gegenstandes wird somit vermieden.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens, die sich ,auszeichnet durch einen mit einer öffnung versehenen Kathodenhalter, an dem sich eine vakuumdicht verschließbare Vorratskammer für die Aufnahme des draht- oder bandförmigen Kathodenwerkstoffs anschließt. Der Kathodenwerkstoff, z. B. in Form eines Metalldrahtes oder -bandes, kann vorteilhaft auf einer Rolle drehbar in der Vorratskammer angeordnet sein, die mit einer Fördervorrichtung versehen ist, die den Draht durch die öffnung in dem Kathodenhalter in die Kathodenzerstäubungskammer einführt. Die Fördervorrichtung kann vorzugsweise aus einem Motor bestehen, dessen Rotor innerhalb der Vakuumkammer angeordnet ist und dessen Stator sich außerhalb der Vakuumkammer befindet. Der mit der Öffnung versehene Kathodenhalter kann in die Irma=, thodenzerstäubungskaminer durch ein in deren Wandung angeordnetes 1-o2h isoliert einge,' führt und durch eine den Katliodenhaltet-: in geringem Abstand umgebende Metalltunkleidung abgeschirmt sein. Durch die Abschirmung wird insbesondere der Vorteil gro-L;er Betriebssicherheit auch bei hohen Spannun-en oder Leistungen erreicht. Das Abschirmen des Kathodenträgers durch Metallumkleidung an sich ist nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung.
In der Zeichnung ist die Erfindung an zwei Ausführungsbeispielen in schematischer Darstellung näher erläutert, und nvar zeigt die Abb. i einen Schnitt durch eine Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung mit durchbohrtem Kathodenhalter zur Zuführung des zu zerstäubenden Werkstolles.
Abb.2 einen Schnitt durch die an dein zu zerstäubenden Draht angreifenden Förderrollen, Abb. ; einen Schnitt durch eine andere Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung mit besonderer Ausbildung des AntriebsmotQ,P für den nachzuführenden Kathodendraht und Abb..l einen Schnitt durch die an dem zu zerstätibeilden Draht angreifenden Förderrollen.
In der Abb. i. die einen Schnitt' durch eine Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung darstellt, ist z die Wandung der evakuierbaren Kathodenzerstäubungskanüner, 2 der Boden der Kathodenzerstäubungskammer, 3 ein Stutzen zum Anschluh an eine Vakuumpumpe, .1 ein Stutzen zum Einführen eines Gases, 5 ist der mit einer Durchbohrung 6 versehene Kathodenschalter, durch die der zu zerstäubende Kathodenwerkstoff ;, z. B. ein Draht oder Band. fortlaufend entsprechend der Abstäubung eingeführt wird. 8 ist eine metallische L-rnhüllung des Kathodenträgers, die zii dessen Abschirmung dient, um unliebsame Nebenentladungen zu verhindern. Die metallische Umhüllung kann am Ende noch eine mit einem Loch für den Durchtritt des Kathodendrahtes versehene Kappe 8" tragen. Der Kathodenhalter 5 ist gegenüber der Bodenplatte 2 der Zerstäubungskammer durch einen Isolierring 9 isoliert. io und z 1 sind zwei Dichtungsringe, z. B. aus Blei oder Kupfer, 12 sind isoliert eingesetzte Schrauben zum Anpressen des Kathodenhalters an den Boden des Zerstäubungsgefäßes. An den Kathodenhalter 5 schließt sich eine Vorratskammer i ;, die mit einem Deckel gasdicht verschließbar ist, an. In der Vorkammer 13 ist die Rolle 1.1. auf der sich der zu zerstäubende draht- oder bandförmige Kathodenstoff aufgewickelt belindet, drehbar gelagert, 15 ist eine gasdicht in die Vork -aiiiiner 13 eingeführte Antriebstt-elle, die eine Rolle 16 an ihrem freien Ende trägt, welche zusammen mit der in der Abb. 2 dargestellten Gegenrolle i; die Förderung des Metalldrahtes ; übernimmt. 15 ist ein Stromzuführungskabel, «-elches an dem Kathodenhalter 5 befestigt ist und zur Zuführung der Zerstäubungsspannung dient.
Die Abb.3, die eine andere Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung darstellt, unterscheidet sich von der Vorrichtung nach Abb. i im wesentlichen nur dadurch, daß für den Antrieb des zu zerstäubenden Drahtes ; ein Motor vorgesehen ist, dessen Rotor i g im Innern der Vakuumkammer in zwei Lagern. 2o und 21 drehbar angeordnet ist und dessen Stator 22 außerhalb der Vakuumkammer angeordnet ist. Zwischen dem Stator 22 und dem Rotor i9 befindet sich die Gefäl3~vaiidung 23. die z. B. zylindrisch ausgebildet sein kann und die vorzugsweise aus Aluminium hergestellt wird. Der Motor treibt über ein Schneckengetriebe 2,4 und KegelradgetriCbe 25 die eigentliche Antriebsrolle 26 für den Metalldraht 7 an, welche zusammen mit der Gegenrolle 27, wie die Abb. .l zeigt, den Metalldraht fördert. 28 ist eine Schutzkappe über dem Stator.
An einer Zerstäubungskammer können auch mehrere derartige Zuführungsvorrichtungen angeordnet werden, und zwar kann die Zuführung von oben, von der Seite oder von unten erfolgen. Die Drähte oder Bänder können je nach Bedarf in die Kathodenzerstäubungskainmer beliebig weit eingeführt werden.

Claims

1'.mew:vxsrni'clm:: i. Verfahren zur Kathodenzerstäubung, dadurch gekennzeichnet, daß der zu zerstäubende draht- oder bandförmige Kathodenwerkstoff in die Zerstäubungskammer durch eine im Kathodenhalter angeordnete Bohrung fortlaufend der Abstäubung entsprechend nachgeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, dal.; die Zuführung des Kathodenwerkstoffes atis einer am Kathodenhalter angeordneten gasdichten, verschließbaren Vorratskammer vorgenommen wird. die mit der Zerstäubungskammer durch die Bohrung des Kathodenhalters in Verbindung steht.

3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch i und 2, gekennzeichnet durch einen mit einer Bohrung versehenen Kathodenhalter, an den sich eine vakuumdicht verschließbare Kammer für die Aufnahme des draht-oder bandförmigen Kathodenwerkstoffes anschließt. ,i.

Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Kathodenwerkstoff, z. B. ein Metalldraht oder -band, auf einer Rolle drehbar in der Vorratskammer angeordnet ist und daß eine Fördervorrichtung für den Draht vorgesehen ist, die diesen durch die Bohrung in dem Kathodenhalter in die Kathodenzerstäubungskammer einführt.

5. Vorrichtung nach Anspruch q., dadurch gekennzeichnet, daß die Fördereinrichtung für den Metalldraht aus einem Motor besteht, dessen Rotor innerhalb der Vorratskammer angeordnet ist und dessen Stator sich außerhalb der Vahüumkammer befindet. '6. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der mit der Bohrung versehene Kathodenhalter in die Kathodenzerstäubungskammer durch ein in deren Wandung angeordnetes Loch isoliert eingeführt ist und daß eine den Kathodenhalter in geringem Abstand Metallumkleidung diesen abschirmt.