DE7012990U - Einrichtung zum perforieren von metallteilen. - Google Patents

Description

DAIMIP\'LN oClii.LX MfinuJ'acturiiiii Company Limited, Kyoto, Japan

Einrichtung zum Pe r lor i eren von Metal I teil «η >

Die XeiK'imiii I)«·11 i Γ Γ1 e i tie I i mi chi um.'/ium Perforieren von ? t; La I 1 te i 1 on _r insbesondere von diiinicii >.:«; t.i 1 I ρ I .ι t t cn , mittels ui sclici Λ t χ ti ι· r .

inc TccliiiiK /ujt iii· j .-v! c ! I iiiu' ·' c f <; j i:it er »in·¹ iuit Kormiims t»*rn versehener ' 'e t a I 1 t e ι I e ;·μ t I e ! s (lt*x sot! ·μι·ιιιιι t en Πιο to—.. c/— ve j laiir eas , dem ein ihn t <»-■; ι av i erpi J n/ i ρ /Ai Ui linde 1 .1, ist in <)ei iii—,ten /ei I in »roiicra Γι» f anti ant mitei.s riie:llichi'ii I !-elin ι sch en iictiieleii an ι? »Ήe 11 rl e t »vorder). Unter don im Handel crli. llMchen iiliKeJii, die mittels dieser Technik cr/.'H:l ϊ\.·ι '«-η, !)"t Julien sich bei srv i e 1 swe i se l.ochtuas— iiCii ί .ir h'.ij hi'criisi'iiiiiiiM'ii, die ve r seil i edenar t iss ten Nietall — .siehe, ι i ·· .ii.iiT*·! von Bl enilenver seit 1 η ..sen , Vakuiiri—V^rer«iiiiiip— f eriii.isken /,ur rie ι .-■ i .«> 1 1 ujil' e 1 ei, t ι on i scher Teile und viele and erc.

Bei der Her.s tei .1 uui: dieser Ai t ι i e ι mittels der erwähnten Ätztechnik wird bei relativ 2i'riiiK,»r ljicke der zu bearhei-

tenden, blanken Metaliplatte eine gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht mit dem gewünschten Muster photographisch auf die Platte aufgedruckt und von einer Seite her ntwickelt. Dabei beschränkt sich die Entwicklung allerdings nicht auf das photographische Verfahren. Anschlieliend wird der chemische Ätzvorgang ausschließlich von der Seite her vorgenommen, auf der sich die Schablonenschicht befindet und dadurch werden die gewünschten Perforationen entsprechend der Schablone ausgearbeitet oder gewissermaßen "ausgestanzt". In vielen Fället wird jedoch auch die Metallplatte auf ihren beiden Seiten mit genau ausgerichteten Schablonenschichten versehen und anschließend der Ätzvorgang gleichzeitig von beiden Seiten her durchgeführt. Diese Arbeitsweise ist gegenüber dem zuerst erwähnten Verfahren von Vorteil, da sich dadurch Perforationen mit höherer Genauigkeit dann erhalten lassen, wenn die blanken Metallplatten gleiche Dicke aufweisen. Jedoch hat sie sich für höchste Genauigkeitsansprüche hinsieht·ich der Formgebung bisher als nicht ausreichend erwiesen e

Dies ist hauptsächlich darauf zurückzuführen, daß während des Ätzvorganges bei der chemischen Ätzung zwar ein Fortschreiten der Metallabtragung lediglich in einer vertikal zur blanken Oberfläche verlaufenden Richtung erwünscht ist, tatsächlich jedoch ein gewisses Maß an seitlicher Ätzabtragung unverineiulich ist. Dies verursacht jedoch eine Veränderung der Zusammensetzung und der Temperatur der Ätzflüssigkeit sowie der Zusammensetzung des zu ätzenden Materials, was insgesamt ir einer Veränderung der Abtragungsgeschwindigkeit und insbesondere in einer seitlichen Deformation und Abweichung von der vorgeschriebenen Grolle und Gestalt der Perforationen resultiert.

Besonders in Fällen, in denen -Jer At ivorfiuiifc nl eich/ei tig von beiden Selten der Hetaüpioi iv u^i tiurciiiisfUhri »irt!, macht sich die Veränderung det AbtragungHpeschwindigkeit in doppeltem Maße bemerkbar und resultiert In einer entsprechenden Unbrauchbarkeit auf (irund der geringen Formgenauigkeit. Beim Atzen lediglich von einer Seit« her dringt das Ätzmedium bis zum Ende des AtiVorgang«», alHo bis die Perforationen erzeugt yind, in ho starkem .MaUe seitlich ein, daü sich die Gröüenabmeasunken der Perforationen auf der anderen Seite als proportional zur ijlcke der Metallpl ' t,e erweisen und somit eine noch iterinitere Genauijr,-keit des hergestellten Produktes vorliegt.

Nun ist es allerdings bei Loctnnasken für Farbfernuehriiliren wünschenswert, daß die durch den Ätzvorgang erzeugten Perforationen von einer zur anderen Seite der V· *all|ilatte sich vergrößern, d.h. mit anderen Worten in einer Hichtung die Seitenwände der Perforationen kegel- oder keilförmig zueinander verlaufen. Damit soll vermieden werden, daü die durch die Perforationen zur fluoreszierenden Schicht hindurchtre— tenden Elektronenstrahlen die Seitenwände der Perforationen treffen und dadurch entweder abgelenkt oder gestreut werden. Das gleiche gilt für die Öffnungsgitter von Trinitron-Bildröhren, obwohl diese in ihrer Form von den gewöhnlichen Lochmasken abweichen. Um bewußt Perforationen mit dieser Keiloder Kegelform zu erhalten, ist bisher beim Ätzen von beiden Seiten her entweder die Gittergröße der gedruckten Schablonen unterschiedlich gewählt worden oder es sind unterschiedliche Mengen von Ätzflüssigkeit den beiden Seiten der Metall« platte zugeführt worden. Dies ist beispielsweise dadurch erfolgt, daß man den Aussprühdruck der Flüssigkeit aus Düsen

unterschiedlich gehalten hat. lis sind auch bereits beide Maunnhmeri ζυ,κ,ϊ r iuh au^tweiidct werden. Auen in ni phpu Küllen. in denen et« «unz wesentlich auf die genaue ürölie des kleinsten Durchmessers der Perforationen ankommt, läiit sich trotz der verwendeten Maßnahmen die.se Grolle nicht genau einhalten, wu« uu' den doppelten l'flekt der unterschiedlichen Abtrugungsi'eachw Indl nke ι t en von beiden sei Leu her zurückzuführen ist. Hlrr/u küimt, dall, abwe chend von der Herstellung der konventlonellen Lochmasken mit ihren unabhängig voneinander geformten Fei loiHti ( i.t-n, es bei den Trini tron-üf fnung.Süi tern absolut, wicht in ι-. ι , dall in einer vorbestimmten Richtung geuau ausgerichtete umi ,.rallel zueinander liegende feine Längsschlit-/e geschaffen itciden, Es hat sich gezeigt, dall beim Atzen von beiden Jeiten her die Herstellung derartiger Offnungsgitter sehr erschwert wird, da die zwischen den Langssch I i t /en stehen— bleibendenMetallstege schon beim Auftreten geringer Kräfte brechen oder sich verdrehen können. Dabei reichen beispielsweise schon die Druckkräfte beim Aufsprühen der Atζ ι Jussίκ-keit aus« Selbstverständlich sind aiii diese tVeise deseliad i ^te Gitter nicht mehr für die praktische Vei ivendiuii! »eeiünet.

Ausgehend von diesem Stand tier Technik ist es .uitüah«· der vorliegenden Neuerung, eine Einrichtung d<·! ι·ΐ na an»', s lesthilderten Art vorzuschlagen, mittels tier die ·.· es» h ι I de t t ei· ichwierigkeiten beim At'/eii von heilen .Sei ten her heseiti l „ei den und die die Herstellung von Per fo r.i t i <»ΐι··ιι .ti i t eriiei)' Ic'i rou«rei Genauigkeit und unter erheblich g f ι i ι tr «· ι < / UhI,a»r il-r Ki/en— gung von / SHct'.iiU mesliil h't . · tisbe icm-l»· j e -ml I ηίιΊι lie Menerunasgemulle Kl nrl ι h tuiij; /in i!e » 11 >· I I ιιημ vim l ι I it ι ι cnti-ι' Γ Γ-nun^ st, 1 11 pm elcnfii. ;',ur L.mhuiiu «ti »■-·*€-» >v 11 Γ *.- > 111 * · wind η»·ΐι»· ι nut s — in;» hü eint· Einrichtung ν n rn»· Hrh I .w ei., ill«· u ek eiui /e I eh η« ' ι .; f

durch eine erste Ätzkawtaer, eine Verrichtung zum Aufbringen einer Abdeekschieht auf die Platten, eine zweite Ätzkammer zur Aufnahme der mit der Abdeckschieht versehenen Platten und durch je eine zwischen der ersten Atzkanimer und der Vorrichtung zum Aufbringen der Abdeckschicht sowie zwischen der Vorrichtung zum Aufbringen der Abdeckschicht und der zweiten Ätzkammer befindlichen Transportvorrichtung zur B förderung der Platten.

Weitere Vorteile der vorliegenden Neuerung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der beiliegenden Zeichnungen sowie aus den weiteren Unteransprüchen. Es zeigen:

Fig. 1, IA und 2, 2A zwei unterschiedliche Arbeitsweisen

gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 3 und 5A bis 3D aufeinander folgende Bearbeitungsstufen

an Werkstücken, die die Wirkungsweise der neuerungsgemäßen Einrichtung veranschau'ichen, und

Fig. h eine schematische Darstellung der neu-

erungsgemäben Ätzeinrichtung.

Gemäß dem bekannten Verfahren, bei dem von beiden Seiten her geätzt wird, wie dies in den Figuren 1, iA dargestellt ist, werden zuerst gleichartige, gegen Atzung widerstandsfähige Schablonenschichten 5a und 5b, genau zueinander ausgerichtet, auf den einander gegenüberliegenden Flächen einer blanken Metallplatte 6 auigebracht. Dies vollzieht sich gewöhnlich in der Weise, daß zuerst auf beiden Flächen ein photoempfindliches Kunstharz aufgebracht wird, das bei Belichtung aushärtet. Hierfür eignet sich z.B. das unter der Bezeichnung KPR oder TPH im Handel befindliche Kunstharz. Auch eine photoempfindliche Flüssigkeit, die ebenfalls bei Belichtung aushärtet, kann verwendet werden, wofür sich Bichromat-haltiger Leim oder PVA eignet. Schließlich läßt sich auch eine sogenannte positiv-positiv-lichtempfindliche Flüssigkeit einsetzen, die bei Belichtung löslich wird. Anschließend an das Aufbringen einer dieser Schichten wird dicht eine Negativplatte mit dem gewünschten Muster aufgelegt und der Druckvorgang: durch Einstrahlung von Licht von beiden Seiten mittels Lichtquellen hoher Intensität - Lichtbogen- oder Quecksilberlampen - durchgeführt. Anschließend wird entwickelt, die Schicht gehärtet und gebrannt.

In Figur i sind mit dem Bezugszeichen 7 die freiliegenden Metallflächenbereiche bezeichnet, auf denen sich keine Schablonenschicht befindet und die durch Ätzung abgetragen werden sollen. Die so vorbereitete, mit der Schablonenschicht überzogene Metallplatte 6 wird dann gleichzeitig von beiden Seiten

her mit Äw^f"iü.':-iigkeit bespült und dadurch eine gleichmäßige Abtragung ■:** freiliegenden Flächen 7 durch die Ätzwirkung des verwende·.,':- Mediums so bewirkt, daß eich die erzeugten öffnungen weitgehend ..λ der Mittelebene der Metallplatte 6 treffen- Daraufhin sind die gewünschten durchgehenden Öffnungen 8 (Figur 1A) entstanden. Nach Erreichung dieser Stadiums wird der Ätzvorgang abgebrochen und die Schablonenschichten 5a, 5b werden mittels eines geeigneten Stoffes abgezogen oder abgespült.

Als Ätzflüssigkeit eignen sich alle Chemikalien, die chemisch das verwendete Metall der Metallplatte auflösen. Die häufigste Verwendung findet eine wässrige Ferrichlorid-Löeung für das Bearbeiten von Eisen- oder Kupferplatten.

Wie bereits erwähnt, vollzieht sich der Abtragungsvorgang nicht lediglich in einer Richtung normal zur Oberfläche der Metallplatte, sondern auch quer dazu. Daraus resultiert, dai? jede Perforation 8 nach innen zu sich verkleinert, d.h. mit anderen Worten, der Durchmesser am größten in der Nähe der Plattenoberfläche und am kleinsten im Bereich von deren Mittelebene 9 ist. Der Durchmesser ändert sich jedoch auf Grund dee doppelten Effektes der Abtragung von beiden Seiten her mit weiterem Fortschreiten. Daraus ergibt sich, daß auf Grund der Ätzbedingungen eine erhebliche Veränderung und Abweichung von der ursprünglich gewünschten Formgebung auftritt.

In Figur 2 iet eine weitere Vorgangsweise nach dem Stand der Technik dargestellt, wobei ebenfalls von beiden Seiten her geätzt wird. Dabei sind die Schablonenbilder der auf beiden Seiten angeordneten Schablonenschichten 5a und 5"b in ihrer Größe unterschiedlich jedoch hinsichtlich der zentralen Achsen der öffnungen zueinander ausgerichtet. Derartige Schablonenschichten lassen sich leicht durch bekannte Photographiertechniken herstellen.

Die Größe der freiliegenden Flächenbereiche 10a und 10b, von denen Metall abgetragen wird, unterscheiden sich somit von

einander. So ist bei dem Ausführungebeispiel gemäß Figur 2 jeder der Flächenbereiche 10a auf der Oberseite der Platte kleiner als die „'lächer.bereiche 10'¹ auf der Unterseite.

Wird unter dieser Voraussetzung der Ätzvorgang von beiden 'Seiten her durchgeführt, so erhält man Perforationen 8, bei denen der kleinste Durchmesser 9 in der Nähe der Oberseite der Platte liegt (Figur 2A). Auch in diesem Fall verdoppelt sich der Effekt der seitlichen oder Quervergrößerung der Perforationen auf Grund der gleichzeitigen Ätzwirkung von beiden Seiten her, so daß sich die Größe des kleinsten Durchmesserbereiches 9 nicht mit Sicherheit und genau einhalten läßt.

Abweichend von den vorstehenden bekannten Vorgängen beim Ätzen von beiden Seiten her vollzieht sich das erfindungsgemäße Ätzverfahrer, gemäß den schematise!?^ !^..,-Stellungen in den Figuren 3 und 3A bis 3D.

In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird coenfalls zuerst auf beiden Seiten der Metallplatte 6 (Fif *r 3) eine gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht 5a und 5^ auf gebracht, und zwa/. in der Weise, die bereits vorstehend in Zusammenhang mit den Figuren 1 und 2 erläutert worden ist. Anschließend wird von beiden Seiten her ein»³ erste leichte Vorätzung, vorzugsweise gleichzeitig, durchgeführt (Figur 3A). In diesem Stadium ist es allerdings nicht notwendig, von beiden Seiten her zu ätzen. Der Vorätzvorgang kann auch nur von einer Seite her durchgeführt werden. In letzterem Falle wird vorzugsweise von der Seite her geätzt, auf der die freiliegenden Flächenbereich? (die Oberseite in Figur 3) kleiner·sind, soba^ . diese Flächenbereiche (10a und 10b) sich auf beiden Seiten der Platte überhaupt unterscheiden.

Anschließend 'wird eine ebenfalls gegen die Ätzung widerstandsfähige Abdeckschicht 11 über die ganze Fläche einer der Vor-

geätzten Seiten aufgebracht, wenn beide Seiten vorgeätzt worden waren. Wenn lediglich eine Seite dem Vorätzvorgang unterzogen worden war, wird diese mittels der Abdeckschicht 11 (Figur 3B) überzogen. Auch hier wird somit die Abdeckschicht auf die Seite aufgebracht, auf der die freiliegenden Metallflächenbereiche kleiner sind, wenn sie eich unterscheiden. Durch die Abdeckschicht 11 v/erden also die flachen, durch die Vorätzung entstandenen Ausnehmungen 12a bedeckt, Eo ist hier von wesentlicher Bedeutung, daß die Ausnehmungen 12a (Figur 3B) einschließlich ihrer üeitenwände tatsächlich vollständig durch die Abdeckschicht 11 überzogen sind, so daß sie auf jeden Fall keiner Atzwirkung unterliegen können.

Anschließend wird der zweite Ätzvorgang durchgeführt, der sich von der anderen Seite her, die keine Abdeckschicht träft (Figur 3B) vollzieht. Dieser zweite Ätzvorgang wird fortgesetzt, bis die Ausnehmungen oder Perforationen 12b die auf der öeite der Abdeckr.chicht 11 liegenden Au^nelunungen 12a erreichen. Nach der εο erfolgten Herstellung der durchgehenden Perforationen v/erden die Abdeckschicht 11 und die Sohablonenuchichton 5a und 5b abgezogen. Das so hergestellte Produkt besitzt Perforationen 13 mit der gewünschten Ausbildung, deren Seitenwände in einir Richtung sich verengen und deren kleinster Durchmesser 9 in der Nähe der einen Seite, wie in Figur 3D dargestellt, liegt.

Durch das erfinäungsgemäße Verfahren wird somit die Genauigkeit, mit der sich der kleinste Durchmesser 9 jeder Perforation 13 herstellen läßt, erheblich vergrößert. Das beruht in der Hauptsache darauf, daß selbst bei Auftreten geringer Abweichungen in der Geschwindigkeit der Metallabtragung die Seitenwände der flachen Ausnehmungen 12a, die lediglich durch den Vorätzvorgang erzeugt worden sind, einen nahezu senkrecht zur Metallplattenoberfläche verlaufenden Gradienten aufweisen. Dort ist nämlich der Ätzvorgang nur leicht durchgeführt worden, so daß bei vorsichtigem Fertigätzen - mit geringer Abtragungsgeschwindigkeit nach der Ausbildung der Perforationen mit der gewünschten· Ge-

Btaltung die Größe des kleinsten Durchmessers 9 praktiBoh unverändert bleibt. Auf diese Weise läßt sich ein Artikel mit der gewünschten hohen Genauigkeit herstellen.

Im folgenden v/ird eine Mnriohtung zur Durchführung des neuen Ätzverfahrens unter Bezugnahme auf Figur 4 erläutert»

Wie sich aus .em dargestellten Plußdiagramm entnehmen läßt, ist am äußersten linken Ende eino Bahnrolle 15 oder eine Austausoh-Bahnrolle 16 angeordnet, auf der eine Bahn aus blankem Metallblech aufgerollt ist,.die bereits auf beiden Seiten die gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht trägt. Diese Schicht ist mittels hier nicht zur Diskussion stehender bekannter Verfahren aufgebracht worden. Die Blechbahn 17 wird duroh eine geeignete Antriebsvorrichtung von der Rolle 15 abgezogen und läuft durch eine Verbindungseinrichtung 18 sowie durch einen Zeitausgleichsmechanismue 19 in einen Beiztank 20. Die Verbindungseinrichtung 18 und der Zeitausgleichsmechanismue 19 sind so ausgebildet, daß das nintere Ende der Blechbahn, das von der Rolle 15 abläuft, mit dem vorderen Ende der von der Austausch-Rolle 16 herangeführten Blechbahn verbunden werden kann, um einen gleichmäßigen Ätzvorgang zu gewährleisten.

Der Beiztank 20 enthält irgendeine geeignete Beiz- oder Reinigungsflüssigkeit, die mittels eines motorgetriebenen Rührwerkes umgerührt wird, um gleichförmige Ätzwirkung zu erzielen. Nach der Beizbehandlung wird die Blechbahn in einen Spültank geführt, wo sie auc .Sprühdüsen mit Wasser besprüht und dadurch von der Beizflüssigkeit befreit wird. Anschließend läuft die Blechbahn 17 in eirj erste Ätzkammer 22.

In der ersten Ätzkammer 22 sind Düsengruppen 23 zueinander gegenüberliegend längs des "Bahnverlaufes der Blechbahn angeordnet, die die Ätzflüssigkeit auf beide Seiten der Blechbahn 17 aufsprühen. Die Düsengruppen 23 können in einer Ebene senkrecht zur Vorwärtsbewegung der Blechbahn 17 verschwenkt oder verschoben werden, um dadurch bei Bedarf die Ätzwirkung zu

vergleichmäßigen. Die Ätzflüssigkeit wird den Düsengruppen aus einer entsprechenden Vorratequelle zugeführt, wobei die auf die Blechbahn 17 aufgeeprühte und dann wieder ablaufende Ätzflüssigkeit auf dem Boden der Kammer zusammengefaßt und «sr Vcrratsqusll« ?ur Wiederverwendung erneut zugeführt wird.

Xm Dach der Ätzkammer 22 iet ein Abeaugrohr 24 vorgesehen, auB dem die während des Ätzvorgangee entstehenden Gase oder Dämpfe abgeführt werden können. Die Atzkammer 22 enthält darüberhinauB in geeignetem Abstand voneinander angeordnete Rollen 25 _t durch welohe die Blechbahn 17 bei ihrem Verlauf durch die Kammer geführt wird.

In der ersten Ätzkammer 22 wird auf beiden Seiten der Blechbann 17 ηυ eine leichte Ätzung vorgenommen und dadurch die in Figur 3A erhaltene Auebildung von Perforationen erreicht. Wenn die Blechbahn 17 mit dem so eingeätsten Muster die Kammer 22 verläßt, durchläuft aie Luftmesser 26 am Auslas der Kammer, durch welche die noch vorhandene Überschüssige Ätzflttseigkeit beseitigt wird. Die so behandelte Blechbahn gelangt nun in eine Waschkammer 27. In der Waochkammer 27 wird die Bahn zuerut mit Wasser besprüht, um jegliche restliche Ätzflüssigkeit und deren Ätzwirkung zu beseitigen, und ansohließend in einen Spültank 28 getaucht. Zusätzlich wird sie anschließend noch einmal besprüht, um sie effektiv und mit Sicherheit von Ätzflüssigkeit rein zu erhalten. Die ge-Bäuberte Blechbahn 17 gelangt in eine Trockenkammer 29t wo sie unter Heißluft getrocknet wird und tritt anschließend in eine Kammer 30 ein, in der eine dem Ätzmedium widerstehende Abdeckschicht aufgebracht wird.

In der Kammer 30 befindet sich eine Sprühvorrichtung 31, die ebenfalls in einer Ebene vertikal zur Bewegungsrichtung der Elechbahn 17 eohwenk- oder verschiebbar ist. Diese Besprüheinrichtung 31 sprüht auf die Seite der Blechbahn, auf der der Vorätzvorgang durchgeführt worden ist, ein Mittel auf, das gegen gas Ätzmedium widerstandsfähig ist, bis die ganze

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Fläche (vgl. Figur 3B) vollständig davon abgeduckt ist. Es ii.t von wesentlicher Bedeutung, daß die flachen Ausnehmungen, (Ue durch den Vorätzvorgang erzeugt worden Bind, effektiv vollständig bedeckt werden, um diese Ausnehmungen jeglicher Atswirkung in den darauffolgenden Ätzschritten zu entziehen.

Die Blechbahn wird dann in eine Trockenkammer 32, die mit Heißluft arbeitet, geführt und gelangt anschließend in eine zweite Ätzkammer 33.

Lie zweite Ätzkammer 33 enthält Düsengruppen 34 zum Aufsprühen von AtzflUssigkeit, ei: Absaugrohr 35 und Tragrollen 36, die insgesamt in Anordnung und Gestaltung denjenigen entsprechen, die bereits in der ersten Ätzkammer 22 enthalten t;nd. Unterschiedlich zwirohen den beiden Ätzkammern ist nur, daß ci'.e zweite Ätzkaminer im allgemeinen länger als die erste iut und daß die Düeengruppen 34 lediglich längs einer Seite des "bahnverlauf es angeordnet sind. Selbstverständlich ist dies die Sejte, die der mit der Abdeckschicht versehenen Seite der Blechbahn gegenüber liegt. Der Atzvorgang vollzieht sich daher lediglich von der nichtabgedeckten beite, bis die erwünschten Perforationen in der Blechbahn 17 hergestellt üind.

Beim Verlassen der zweiten Ätzkammer 33 gelangt die Blechbahn erneut zwischen Luftmesser 37, die jegliche überschüssige Ätsflüssigkeit von ihrer Oberfläche entfernen. Anschließend wird sie in eine Waschkammer 38 geführt.

Die Waschkammer 38 ist von gleicher Gestaltung wie die V.'-isch-

kammer 27 und enthält Waseersprühdüeen dS, einen - uaertunk

40 und weitere Sprüh- oder !Schauerdüe n, «»ie du^ch die die Blechbahn zusätzlich gewaschen wird.

In einem darauffolgenden Verfahreneuchritt worden üe ^a.ahlonenachichten und difl AbdeckBchicht vor. den Seiten der hochbahn abgestreift. Dies erfolgt mitteln einer geeigneten rc·- handlungeflüaaißlceit. Das Zerschneiden der Blechbahn in■ .ii.*

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gewünschten Formeinheiten oder -Pl-^.i t^n kann entweder vor
oder nach dem AbstreifVorgang voiii,&e^ werden.

In dem vorstehend geschilderten Aus führung s"b ei spiel wird

die erste Ätsbehandlung auf beiden Seiten der Blechbahn voll- >

zogen. Selbstverständlich ist es jedoch möglich, diese Ätz- ■■',

behandlung nur auf einer Seite durchzuführen, d.h. auf der .]

Seite, die später mit der Abdeckschicht versehen wird. In [

Figur 4 ist dies die oben liegende Seite der Blechbahn. . f

Das Aufbringen der Abdeckschicht kann außer mittels der hier |

gezeigten Sprühtechnik durch sonstige bekannte Einrichtungen %

vollzogen werden. Auch die Transporteinrichtung, die bei dem %

dargestellten Ausführungsbeispiel verwendet wird, beschränkt i

sich nicht auf die in Figur 4 gezeigte, mit dem Fördersystem }

in horizontaler Richtung, wobei die Achsen der Walzen hori- |

zontal liegen. Es ist auch möglich, ein Vertikal-Transport- *

System anzuordnen, in dem dann entsprechend die Achse z.B. ·;

der Bahnrolle 15 vertikal liegt. T

In der erfindungsgemäßen Einrichtung wird also zuerst gemäß *

dem entsprechenden Verfahren auf die beiden Seiten einer Me- 4 tallbahn je eine Schablonenschicht 5a, 5b genau zueinander ' | ausgerichtet aufgebracht und dann werden die freiliegenden j> Oberflächenbereiche 10a, 10b der Bahn einem leichten Ätzvorgang in der ersten Atzkammer 22 unterzogen, so daß sich · ■ die flachen Ausnehmungen 12a, 12b bilden (Figur 3A). :; Daraufhin wird lediglich eine der beiden Seiten der Blech- : bahn mit einer Abdeckschicht 11 in der Kammer 30 versehen j und auf diese Weise diese Seite gegen jegliche Ätzwirkung " geschützt. Anschließend wird die nicht mit der Abdeck- i schicht 11 versehene Seite in der zweiten Ätr.keKiser 33
dem Fertig-Ätzvorgang unterzogen, indem die flachen Aus- /j nehmungen 12b allmählich tiefer und weiter werden, bis der Abtragungsvorgang die Abdecköchicht 11 Jiber den flachen Ausnehmungen 12a auf der gegenüberliegenden Seite
(Figur 3C) erreicht. In diesem Stadium sind die Perfora-

₍", /■■ ■ ■ 4 ; :. r t ι

-H-

4!

tionen 13 in der Metallbahn oder Metallplatte hergestellt. Wie vorstehend schon erläutert, läßt sich somit der engste Durchmesser 9 der Perforationen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und durch Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung mit erhöhter Abmessungsgenauigkeit herstellen. Daruberhinaus erhält man die zweite, von der Abdeckschicht 11 bedeckte Fläche der Metallbahn mit größerer Genauig 3it eben ausgerichtet, da die Abdeckschicht 11 während des Ätzvorganges eine Stützwirkung ausübt. Dies gilt sogar bei der Verwendung von Blechstärken und Materialien, die der Stoßoder Schlagwifkung der aufgesprühten Ätzflüssigkeit oder sonstigen auftretenden Kräften einen nur geringen Widerstand leisten können, wie das im allgemeinen bei den "Trinitron"-öffnungsgittern der Fall ist. Durch die Abdeckschicht 11 wird somit zusätzlich das Eisiko eines Brechens oder Verdrehens der zwischen den Perforationen stehenbleibenden Metallstege während oder nach dem Ätzvorgang herabgesetzt. Es hat sich gezeigt, daß selbst bei Verwendung von Blankmaterial, das zur teilweisen Biegung oder Verziehung neigt, bei dem erfindungsgemäßen Verfahren keine Gefahr einer entsprechenden Beschädigung jesteht;^sSaß sich die durch das Verfahren ermöglichte Herstellungsweise mit hoher Funktionssicherheit vollzieht.

Claims (5)

Schutzansprüche

1. Einrichtung zum Perforieren von Metallteilen, insbesondere von dünnen Metallplatten, mittels chemischer Ätzung, gekennzeichnet durch eine erste Ätzkammer (22), eine Vorrichtung (31) zum Aufbringen einer Abdeckschicht (Ii) auf die Platten (6, 17), eine zweite Ätzkammer (33) zur Aufnahme der mit der Abdeckschicht (ll) versenenen Platten (6, 17) und je eine zwischen der ersten Ätzkammer (22) und der Vorrichtung (31) zum Aufbringen einer Abdeckscbicht sowie zwischen der Vorrichtung (31) zum Aufbringen einer Abdeckschicht und der zweiten Ätzkammer (33) befindliche Transportvorrichtung zur Beförderung der Platten,

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Sprühdüsen (23) zum Aufsprühen der Ätzflüssigkeit in der ersten Ätzkammer (22) angeorunet sind.

3. Einrichtung naoh Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühdüsen (23) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Platten (6, 17) schwenk- und/oder verschiebbar sind.

k. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum Aufbringen der Abdeckschicht (11) eine Sprühanordnung (31) ist.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühanordnung (31) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Platten (6, 17) schwenk- und/oder verschiebbar ist.

ό. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Ätzkammer (33) zum Aufbringen der Ätzflüssigkeit ebenfalls Sprühdüsen (3M enthält.